JPH0375607A - シングルモード単一偏波光ファイバ及び製造法 - Google Patents

シングルモード単一偏波光ファイバ及び製造法

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JPH0375607A
JPH0375607A JP2189305A JP18930590A JPH0375607A JP H0375607 A JPH0375607 A JP H0375607A JP 2189305 A JP2189305 A JP 2189305A JP 18930590 A JP18930590 A JP 18930590A JP H0375607 A JPH0375607 A JP H0375607A
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JP
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optical fiber
refractive index
mode
core
polarization optical
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JP2189305A
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English (en)
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Michael J Messerly
マイクル ジョセフ メッサーリィ
Robert Onstott James
ジェームス ロバート オンストット
Raymond C Mikkelson
レイモンド チャールズ ミッケルソン
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3M Co
Original Assignee
Minnesota Mining and Manufacturing Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野] 本発明は、基本モードの1つの偏波状態のみを伝播して
光を偏波させたり偏波された光を長距離にわたって伝播
するのに使用できる光ファイバに関する。
[従来の技術] 現在、光を偏波させてシングルモード光ファイバにより
伝送する必要のある場合、通常ポラライザ本体もしくは
集積ポラライザによって行われるが、両者共極めて高価
で多くの光フアイバ応用に対して望ましくないような大
きさである。
1980年代の中頃、ヨークテクノロジー社は緊密に巻
き付けられ封止函体内に収納されたシングルモード単一
偏波光ファイバに基いたポラライザを紹介した。コイル
巻きとすることにより曲げ損失が生じ、それは応力誘起
複屈折と組み合されて、直交状態がファイバコアを伝播
する時に1つの偏波を減衰させる。ヨークデバイスは帯
域幅が比較的狭いため、使用する任意のシングルモード
光ファイバと整合させなければならない。ヨークブロー
シャ6/87(1987年6月)には少くとも200m
の帯域幅が報告されている。ヨークデバイスの開発者の
出版物にはヨークポラライザの光ファイバは、ボータイ
に似た断面ジオメトリの非対称ストレス領域及び゛−力
方向W屈折率プロファイルを与える窪んだ屈折率”、す
なわち、W字型屈折率プロファイルを有することが示さ
れている。バーンハム等の、“高複屈折ボータイ光ファ
イバの単一偏波動作”、Elec、 Lett、第19
巻、第679〜680頁(1983)参照。
(ハワード等の)米国特許第4.515.436号の第
1図、第3図及び第5図には、やはり窪んだ屈折率、す
なわちW字型屈折率プロファイルを有するシングルモー
ド単一偏波光ファイバが示されており、より詳細には“
外部クラッド領域の屈折率は内部クラッド領域の屈折率
よりも大きいがコア領域の屈折率よりは小さい″(アブ
ストラクト〉ことが示されている。中間波長における動
作によりファイバはポラライザとして作用することがで
きる。第1図及び第2図に関して、ハワードは次のよう
に言っている。
“最大帯域幅が大きな内部クラッド12を有するように
、複屈折はコア10からの距離と共に減少する。しかし
ながら、この内部クラッド領域12は、所望しない偏波
の高速トンネル損失に対して狭くしなければならない。
従って、高速トンネル損失を与えることと大きな帯域幅
を与えることの間にかね合いが存在する。′(第411
第18〜25行)ハワードの光ファイバは、コイル巻き
にしたり弯曲したすせずにポラライザとして作用するこ
とができるが、第5図の実施例は、1.5c11の曲げ
半径で4回曲げられ570n−においておよそ25n1
1の帯域幅を示す第6図の伝送データが得られた。
シンプソン等の″゛単一偏波光ファイバ°′J、 of
 Lightwave Tech、第LT−1巻、第2
号(1983)には、次のように記載されている。
゛窪んだ、すなわちW字型クラッド構造と組み合わされ
た高い応力誘起複屈折の組合せを使用する単一・偏波フ
ァイバ・・・住んだクラッドは、波長と共に急速に増大
するトンネル損失を与える。重ドープ楕円クラッドによ
り生じる異方性応力により2つの偏波に対するカットオ
フ波長が異なるようにモード有効屈折率が分割される。
シングルモード伝送ファイバに代表的なコアサイズ及び
屈折率を有するファイバに対して8%の帯域幅が達成さ
れた。1α程度のファイバ長で、1dB以下の挿入損失
で30dBよりも大きい吸光比が得られた。
有用な動作の波長はファイバを曲げることにより整調す
ることができる。(370頁〉 また、シンプソン等の“矩形偏波及び偏光維持ファイバ
の特性”Proc、 5PIF、第719巻、第220
〜225頁(1986)には、W字型屈折率プロファイ
ルを有する実質的に矩形状の偏波ファイバは、直交偏光
モード カットオフ波長を0.1μ丸引き離すモーダル
複屈折の時に、5αの長さにおいて3QdBよりも大き
い吸光比が得られたと記述されている。
“W−トンネル ファイバポラライザは、ストーレン等
の“短W−トンネル ファイバポラライザ” Elec
、 Lett、第24巻、第524〜525頁(198
8)のテストに対してまつずぐに保持され、それには3
96B偏波を行うための633 n1llにa3けるお
よそ251+1の帯域幅が示されている。
残念ながら、ストーレンのおよそ2501の帯域幅及び
前記他の出版物のいくつかは製造誤差の余裕がほとんど
無い。例えば、精密な動作波長に対して狭帯域幅半導体
光′fIA<例えば、レーザ)を作るのは困難である。
また、ストーレンや他の従来技術の光フアイバポラライ
ザを複製するようにされた一連の光ファイバでは帯域幅
の偏移が予期される。さらに、使用条件の変動により、
たとえレーザ及びポラライザが最初に整合されていても
・波長が不整合となることがある。
開本等の“平坦なりラッドを有する高複屈折偏波7フイ
バJ、 of Lightwave Tech、第LT
−3巻、第4号、第758〜762頁(1985)には
、バーンハムの出版物に゛ファスト軸をファイバコイル
の面に平行として複屈折ファイバを弯曲させた時に偏波
効果が強化される”と記載されていることが指摘されて
いる。X軸(スロー軸)に沿って窪んだ、すなわちW字
型屈折率プロファイルを有する開本のファイバはそのス
ロー軸に平行なフラットを有している。ファイバをコイ
ル巻きにすると、フラットはスロー軸を平行に維持し、
それにより実質的に広い帯域幅が得られる。開本の第9
゛図には4.50の曲げ直径において390nmの帯域
幅が得られると示されている。開本等の゛高複屈折光フ
ァイバの単一・偏波動作”鏡出剋ユ出」、第23巻、第
15号、第2638〜2641頁(1984)及び米国
特許第4゜480.897号(開本等)も参照されたい
本発明は、特定の狭帯域幅光源に慎重に整合さ仕る必要
なしに製造することができ、(曲げることなく)充分に
大きな単一偏波波長帯域幅を有する最初のシングルモー
ド単一偏波光ファイバと考えられるものを提供する。他
の重要〈r点に関しては、本発明のシングルモード単一
偏波光ファイバは、トンネル偏波状態の充分に高い吸光
係数及び伝播する偏波状態の最小減衰という点について
少くとも従来の光ファイバと同等である。
要約すれば、本発明のシングルモード単一偏波光ファイ
バは、前記出版物の0<つかと同様に、ファイバを複屈
折させる非対称ストレス領域を組み込んでいる。また、
従来のファイバと同様に、本発明のファイバも少くとも
その1つの対称軸に沿って窪んだ屈折率プロファイルを
有している、すなわち、コアもしくはクラッドよりも屈
折率が小さい中間領域によりコアはクラッドから分離さ
れている。
本発明の新しい単一偏波光ファイバ(ここでは、しばし
ば“PZファイバと呼ぶ)、が従来の単一偏波ファイバ
とどのように異なるかを知るために、選定対称軸に平行
もしくは直角とされた面偏波光線により測定された、光
ファイバの1つの対称軸からの一対の屈折率プロファイ
ルを考える。次式に従って、このような各プロファイル
からパラメータηが針棒され、 α η=fo[n (r) −nc1] r  drここに
、n (r)は偏波光線の前記2つの偏波方向の一方に
より前記対称軸に沿って測定した放射位U(r)におけ
る屈折率を表わし、nC1はコア中心からコア半径の4
〜7倍の距離にわたるクラッドの平均屈折率であって無
限大に拡大するものと考えられ、αは0と1の間の値で
あって、その精密な値はコアとクラッドの形状により決
定される。コアとクラッドが円型であればαは1であり
、ファイバが本質的に平坦な導波管として作用するよう
にコアとクラッドが延長している場合にはαは0に近す
き、中間の形状に対してはαはOと1の間である。
偏波光線の前記2つの方位の一方により決定される屈折
率プロファイルから計算される時、1つの対称軸に対す
るηは正であり(Oよす大キい)、偏波光線の直交方向
により決定される屈折率プロファイルから計算される時
は負である(0より小さい)点において、本発明の新し
い単一偏波光ファイバは従来の単一偏波ファイバとtよ
異っている。新しい光ファイバの他の各対称軸に対する
パラメータηは面偏波光線の両方位に対して正である。
以後noと呼ぶ正のη値を生じる偏波状態は曲げ及び吸
収による損失を無視すれば光の全ての有限波長に対して
案内される。以後ntと呼ばれる負のη値を生じる偏波
状態は、ある有限波長よりも長い光の全ての波長におい
てファイバ導波管からトンネルアウトされる。次に、本
発明のファイバに対しては、光の1つだけの偏波状態が
伝播される波長帯域幅は、曲げ及び吸収による案内状態
の損失を無視すれば、大きい。トンネル基準はサイモン
の相似問題に対して発せられている。゛1次元及び2次
元における弱結合シュレジンガーオベレータの境界状態
”Annals of Ph 5ics 、 97、第
279〜288頁(1976)参照。
好ましくは、前記1つの対称軸に対するηの正及び負の
債はほぼ同じ絶対債を有し、それはこれにより新しい単
一偏波ファイバの製造公差が最小となるためである。
本発明においてシングルモード光ファイバが有用である
かどうかを決定するもう1つのテスi−では、次式で示
されるパラメータXを使用している。
η −nt 本発明の光ファイバに対して、一つの対称軸に対するX
の植は−1と+1の間であり好ましくはx=0である。
他の各対称軸に対して、×はこの範囲外である。Xの値
は複屈折が増大すると低減する。従って、複屈折が大き
いと、製造公差が増大する。また、複屈折は大きくして
ファイバの性能に及ぼす環境による複屈折の影響を低減
しなGJればならない。
所与の対称軸に対して、複屈折はストレス領域の内部領
域にわたって本質的に一定であることが判った。複屈折
がファイバコアに局限されないという事実は、ファイバ
の性能に有害な影響を及ぼさないように見える。発明の
要約に載せた基準はそれでも満すことができ、ファイバ
が偏波する波長帯域幅は大きいことが判った。
ステップインデックス、W字型ファイバ内のトンネル状
態の減衰率を高めるには、コア径に対する中間領域の径
の比率をできるだけ小さくしなければならない。この比
を小さくした場合、η。とη、との間の前記所望の平衡
を維持するために、中間領域とクラッド間の屈折率差を
増大させるか、もしくはコアとクラッド間の屈折率差を
低減させなければならない。コアとクラッド間の屈折率
差はまたトンネル状態の所望のカットオフ波長が得られ
るように選定しなければならず、このカットオフ波長は
公知の関係を使用して円型対称ファイバについて計算す
ることができる。(例えば、エム、マネリー、“二重ク
ラッド シングルモードファイバ内の伝播”、IEEE
 J、 Quantum ElectronC第QE−
18巻、第4号、第535頁(1982>参照)。
中間領域に2つもしくはそれ以上の屈折率の異なる材料
を使用することにより新しい光ファイバの分散や曲げ公
差を最適化することができ、これらの1つもしくはそれ
以上の材料の屈折率は口C1を越えることができる。
本発明の好ましいPZファイバは中空水晶基板チューブ
の内面上にシリカ質層を堆積させて形成することができ
る。水晶はシリカではあるが、市販の中空基板チューブ
は不純物を含み、それにより重ドープシリカを堆積させ
るのが困難になることがある。従って、第1のシリカ質
層を純粋シリカもしくは軽ドープシリカとして屈折率が
nC1である“外部バリア”と呼ばれるものを設けるこ
とが望ましい。
第1の層が、純粋もしくは軽ドープシリカである場合に
は、次に堆積される層はストレス領域を形成することが
でき好ましくはnC1よりも小さい屈折率を有するよう
にドープされる。この上にU中間領域”と呼ばれるもの
を形成できる層が堆積され、好ましくはストレス領域と
ほぼ等しい屈折率を有するようにドープされて、案内さ
れる状態が短か過ぎる波長においてカットオフされない
ことを保証する。最終層はPZファイバのコアを形成す
ることができる。
コーティングされた基板チューブをつぶしてプリフォー
ムを作った後で、2つの直径方向に相対する平行な平坦
面をプリフォームの外面内へ研削する。研削されたプリ
フォームを引き出してPZファイバを形成づると、PZ
ファイバの外面は円筒状となり、ストレス領域は楕円状
となる。
平坦面をプリフォーム内へ研削する替りに、本発明のP
Zファイバを生成するように温度を制御しながらプリフ
ォームを平坦化して線引ぎすることができ、その外面は
ハワードの第5図に示すような実質的な楕円状となる。
本発明のPZファイバは他の形状、例えば前記開本の文
献に示されたようなPANDA構成もしくはボータイ構
成、とすることができる。
好ましくは、新しいPZファイバのストレス領域はドー
プして中間領域と同じ屈折率を有するようにし、案内さ
れる状態の任意のトンネル状態を最少限とする。ストレ
ス領域の屈折率はB2O3ドープトシリカをGO2で共
ドーピングすることにより、中間領域の屈折率と整合さ
せることができる。また、それをP2O5でドーピング
することにより、ストレス領域が堆積される温度を低下
させることができるが、リンが存在するとイオン化放躬
によりファイバが劣化することがある。
好ましくは、新しいPzファイバのコアは、酸化ゲルマ
ニウムをドープしたシリカであり、中間領域はフッソを
ドープしたシリカである。また、中間領域にP2O5を
含めると、その堆積温度を低下することができ、ここで
もイオン化放割にさらされると劣化する可能性がある。
新しいPZファイバがリンを含む場合には、外部バリア
はP2O5及びFをドープしたシリカとするのが望まし
く、前者のドーパントによりその堆積温度が低下し、後
者によりリンの存在に上る屈折率の変化が相殺される。
新しいPzファイバが楕円状ストレス領域を有する場合
、好ましくはその矩径は長径の20%〜40%である。
40%よりも大きいと、ストレス領域はコア上に所望す
る程度の応力を生ぜず、20%よりも小さいと、内部ク
ラッドを適切な厚さとするのにストレス領域の長径を極
めて大きくしなければならない。
市販のセンサーファイバと互換性を有するように、前記
方法により製造される新しいPZファイバは任意の径、
例えば850nlで作動するための80μ扉及び130
0niで作動するための125μ扉、に線引きすること
ができる。
[実施例] 第1図の光フアイバ10は、前記方法により中空基板チ
ューブを使用して製造された。堆積層により円型断面の
コア12、中間領域14、及び楕円状ストレス領域15
と楕円状外部バリ716を含む外部クラッド領域が、生
成された。外部クラッド領域は、中空基板チューブによ
り設けられたジャケット18も含んでいる。
第2a図及び第2b図の曲線20及び21は、それぞれ
、光ファイバの主対称軸に沿った方位の面偏波光線によ
り測定した、ファイバの屈折率対半径方向位置のグラフ
である。グラフは、それぞれ、主及び従対称軸により決
定される。破線22゜23はクラッドの屈折率を示す。
第3a図及び第3b図の曲線30.31は、面偏波光線
が光ファイバの従対称軸に沿った方位とされている、第
2図と同様の屈折率のグラフである。破1232.33
はクラッドの屈折率を示す。
第4図の曲線40.41は、それぞれトンネル偏波状態
及び案内偏波状態により測定した、42扉長のファイバ
の減衰対波長のグラフである。作動帯域幅42はトンネ
ル状態が少くとも3QdB減衰される波長帯域であり、
案内される状態はさらに1dB/KII以内減衰される
鯉ユ (本発明の偏波維持光ファイバの製造)A、 プリフォ
ーム°製作 本例のプリフォームは修正化学蒸着工程(MCVD)に
より製作された。この工程において、組成及び厚さが調
整されたガラスが酸素と金属塩化物もしくは臭化物との
化学反応により溶解シリカチューブの内側に堆積される
。本工程の詳細説明は米国特許明wU書第4,217.
027号(マチェズニー等)を参照されたい。
公称内径17.0m+及び公称外径20.0msの溶解
シリカチューブ(ゼネラル エレクトリフ社#982)
を堆積装置(プリフォーム旋盤、ガスフローシステム、
水素トーチ)内へ挿入した。
チ1−プ内壁を最初にフッ素でエツチングして非汚染堆
積面を生成した。次に、チューブ内壁上に4つのガラス
層を堆積した。4つの層の機能及び組成を下記に示す。
艷−曳 1−層 外部バリア 2−m ストレス領域 3−層 中間領域 4−層 コア 組  成 S i O,、/P2O5/F SiO2/B2O3/GeO2/P2O5SiO2/P
2O5/F S i 02 /Gem2 ステップ状の状態を第■表に示す。第1表の温度は溶解
シリカチューブ外面のパイロメータの読取値である。
堆積工程の完了後、内部堆積層を有する環状チューブは
標準技術によりつぶされて非中空プリフォームとした。
B、 プリフォーム整形 2つの直径方向に相対する平坦面が従来の平面研削盤及
びダイヤモンド研削トイシにより元々円筒状のプリフォ
ーム上へ研削され、各平坦面を半径方向に2.54ai
m研削した。次に、プリフォームは完全洗浄され研削手
順により生じる任意の微粒子による汚染を取り除いた。
C9ファイバー線引 ジルコニウム誘導炉を使用して、円型断面とするのに充
分な温度を維持しながらプリフォームを75μ虱径のフ
ァイバーを線引きする。炉を監視したパイロメータの読
取温度は2.125℃であった。線引きした後、ファイ
バーには紫外線により個別に硬化された2つの別々のア
クリレート層がコーティングされた。第1の7クリレー
トコーテイングはゲット社のDl−11であり、第2の
コーティングはやはりゲット社のD−100であった。
コーティングされたファイバーはリール上へ巻き取られ
た。
O3ファイバ特性 ステップA−Cにより得られるPZファイバは、次のよ
うな機械的及び光学的特性を有している。
機械的特性 コア径              4.9μ卯中間領
域径           12μ卯楕円型ストレス領
域の 長径            59μ風矩径     
       15μ卯外部バリア 長径            65μ■矩径     
       17μ卯クラツド径         
  76μ卵アクリレートコーテイング径  216μ
卯光学特性 円型偏波光線により測定した屈折率 コア             1゜462内部バリア
          1 、457ストレス領域 長径に沿って        1.457矩径に沿って
         1.4595外部バリ7     
     1.459基板チユーブ         
 1.459850nmにおける損失、被案内状態 4
.7dB/−850nsにおけるモードフィールド径5
.8μ班LP−11カットオフ波長      < 5
50tvLP−01カツトオフ波長 トンネル状fil           78Qrv減
衰が1dB/KIR増加する波長、 被案内状態           890nl偏波帯域
幅            110tv633n−にお
ける複屈折      5X 10−4ストレス領域が
非対称であるため、コアが円型であってもPZファイバ
のクラッドは円型ではない。従って、αはOと1の間で
ある。しかしながら、αをOもしくは1とすると、長軸
からは、α    ηt     77g    XO
−0,006μ77L     O,010μm   
  0.201  −0.056μm    0.00
6μm2−0.80短軸からは、 α    ηt     ’7g    XOo、oo
6μm   o、oo7μm    101  −o、
ooaμm−0,009μ77’L212となる。
新しい単一偏波光ファイバはまっすぐである時に優れた
帯域幅を有するが、弯曲もしくはコイル巻きとすること
により、より短いファイバで偏波させることができる。
偏波維持光ファイバを有するポラライザを含む任意のセ
ンサにおいて、これらの素子は、例えばファイバ ジャ
イロスコープ、磁気計及び電流センサにおいて、新しい
単一偏波光ファイバと置換できなければならない。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の好ましいシングルモード単一偏波光
ファイバの略断面図、第2a図及び第2b図は、面幅波
光線により測定した、第1例の光ファイバの屈折率対半
径方向位置のグラフをボず図、第3a図及び第3b図は
、第2図の方位と直交する面幅波光線により第2a図及
び第2b図と@様に測定した屈折率対半径方向位置のグ
ラフを示す図、第4図は、第1例のPZファイバの作動
帯域幅を示す図である。 参照符号の説明 10・・・光ファイバ 12・・・コア 14・・・中間領域 15・・・ストレス領域 16・・・外部バリア 18・・・ジャケット

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)コア及び非対称ストレス領域を含むクラッドから
    なるシングルモード単一偏波光ファイバにおいて、該フ
    ァイバは少くとも1つの対称軸に沿って窪んだ屈折率を
    有し、 選定対称軸に平行もしくは直角とされた面偏波光線によ
    り光ファイバの1つの対称軸からの一対の屈折率プロフ
    ァイルが測定され、このような各プロファイルから次式
    に従ってηが計算され、η=∫_0[n(r)−n_C
    _1]r^αdrn(r)は偏波光線の前記2つの方位
    の一方により前記対称軸に沿つて測定した半径方向位置
    (r)における屈折率を表わし、n_C_1はコア中心
    からコア半径の4〜7倍の距離にわたるクラッドの平均
    屈折率であり、αはコア及びクラッドが円型である時の
    1の値からファイバが本質的に平面導波管として挙動す
    るようにコア及びクラッドが伸長された時の0に近い値
    までを有する時、 一方の対称軸に対するηは、偏波光線の前記2つの方位
    の一方により決定される屈折率プロファイルから計算す
    る場合は正となり、偏波光線の直交方位により決定され
    る屈折率プロファイルから計算した場合は負となり、新
    しい光ファイバの他方の各対称軸に対しては、面偏波光
    線の両方位に対してηは正となる、 ことを特徴とする、シングルモード単一偏波光ファイバ
  2. (2)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、正及び負である場合のηの絶対値は、
    前記一方の対称軸に対してほぼ等しいシングルモード単
    一偏波光ファイバ。
  3. (3)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、ストレス領域は、GeO_2及びB_
    2O_3をドープしたシリカであるシングルモード単一
    偏波光ファイバ。
  4. (4)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、ストレス領域にもP_2O_5がドー
    プされているシングルモード単一偏波光ファイバ。
  5. (5)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、さらにコアと非対称ストレス領域との
    間に中間領域を有する、シングルモード単一偏波光ファ
    イバ。
  6. (6)請求項(5)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、中間領域はフッ素をドープしたシリカ
    であるシングルモード単一偏波光ファイバ。
  7. (7)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、純粋シリカの外部バリアを有するシン
    グルモード単一偏波光ファイバ。
  8. (8)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、P_2O_5及びFをドープしたシリ
    カの外部バリアを有するシングルモード単一偏波光ファ
    イバ。
  9. (9)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光フ
    ァイバにおいて、前記非対称領域は実質的に楕円型であ
    るシングルモード単一偏波光ファイバ。
  10. (10)請求項(9)記載のシングルモード単一偏波光
    ファイバにおいて、ストレス領域の矩径は長径の20%
    〜40%であるシングルモード単一偏波光ファイバ。
  11. (11)請求項(1)記載のシングルモード単一偏波光
    ファイバの製造法において、 1)届折率n_C_1を有する中空シリカ基板チューブ
    の内面上にシリカ質材の少くとも第1、第2及び第3の
    層を堆積する段階と、 2)チューブをつぶしてプリフォームとする段階と、 3)直径方向に相対する2つの平行な平坦面をプリフォ
    ームの外面内に形成する段階と、4)プリフオームを線
    引きして前記光ファイバを形成し、ここで、前記第1の
    層はn_C_1よりも小さい屈折率を有する非対称スト
    レス領域を形成し、前記第2の層はストレス領域の屈折
    率にほぼ等しい屈折率を有する中間領域を形成し、前記
    第3の層はn_C_1よりも大きい屈折率を有するコア
    を形成する段階と、 を含むシングルモード単一偏波光ファイバの製造方法。
  12. (12)請求項(11)記載の方法において、前記第1
    の層を堆積させる前に屈折率n_C_1を有する外部バ
    リアを形成する層を堆積させる段階、 を含むシングルモード単一偏波光ファイバ製造方法。
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