JPH0375831U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0375831U JPH0375831U JP8774289U JP8774289U JPH0375831U JP H0375831 U JPH0375831 U JP H0375831U JP 8774289 U JP8774289 U JP 8774289U JP 8774289 U JP8774289 U JP 8774289U JP H0375831 U JPH0375831 U JP H0375831U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recess
- flange
- vacuum device
- airtight
- circumferential
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)
Description
第１図は本考案による真空装置のポート部の断
面図、第２図は本考案の他の実施例のポート部の
断面図である。 １……真空装置側のフランジ、２……相手側の
フランジ、３，４……周回凹部、５，６……周回
突起、７……ガスケツト、８……締め付けビス、
９，１０……溝。
面図、第２図は本考案の他の実施例のポート部の
断面図である。 １……真空装置側のフランジ、２……相手側の
フランジ、３，４……周回凹部、５，６……周回
突起、７……ガスケツト、８……締め付けビス、
９，１０……溝。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空装置のフランジに該フランジを周回す
る対向凹部を設け、その凹部に軟金属製のガスケ
ツトを配置した気密構造であつて、上記フランジ
を周回している各凹部にそれぞれ径の異なる周回
突起を設け、上記凹部に配置したガスケツトに上
記周回突起を食い込ませて気密状態を得ることを
特徴とした真空装置の気密構造。 (2) 上記凹部にそれぞれ径と高さの異なる複数
個の周回突起を設け、該凹部に配置した上記ガス
ケツトに該周回突起を食い込ませて気密状態を得
ることを特徴とした真空装置の気密構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8774289U JPH0375831U (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8774289U JPH0375831U (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375831U true JPH0375831U (ja) | 1991-07-30 |
Family
ID=31637383
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8774289U Pending JPH0375831U (ja) | 1989-07-25 | 1989-07-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0375831U (ja) |
-
1989
- 1989-07-25 JP JP8774289U patent/JPH0375831U/ja active Pending