JPH0376063B2 - - Google Patents

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JPH0376063B2
JPH0376063B2 JP57179979A JP17997982A JPH0376063B2 JP H0376063 B2 JPH0376063 B2 JP H0376063B2 JP 57179979 A JP57179979 A JP 57179979A JP 17997982 A JP17997982 A JP 17997982A JP H0376063 B2 JPH0376063 B2 JP H0376063B2
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scanning
photoelectric conversion
output signal
laser beam
beam spot
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Jinichi Hongo
Shoichi Ito
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Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0376063B2 publication Critical patent/JPH0376063B2/ja
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    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04NPICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N1/00Scanning, transmission or reproduction of documents or the like, e.g. facsimile transmission; Details thereof
    • H04N1/04Scanning arrangements, i.e. arrangements for the displacement of active reading or reproducing elements relative to the original or reproducing medium, or vice versa

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  • Signal Processing (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はレーザビーム走査系のビーム位置検出
装置に関する。
〔従来技術〕
レーザビームやプリンタや読み取り装置等で
は、記録面や読み取り面等の被走査面にビームス
ポツトを形成するレーザビームを偏向制御し、前
記ビームスポツトで被走査面を走査している。そ
してプリンタにおいては記録情報でレーザビーム
を変調するタイミングとビームスポツト位置を整
合するため、また読み取り装置においてはビーム
スポツト位置と光電変換手段の動作タイミングを
整合するため等の関係で、ビームスポツトの走査
開始検出が行なわれる。この走査開始検出は、被
走査面の有効領域以外のレーザビーム偏向走査光
路中に光電変換形の受光素子を配置し、レーザビ
ームスポツトがこの受光素子を走査したときに得
られる出力信号をビームスポツトの走査開始検出
基準信号としている。
しかしレーザビーム走査係の機械的寸法に狂い
が発生してレーザビームがこの受光素子に正しく
照射されなくなると検出誤差が発生し、遂には走
査開始検出が不能になる問題がある。特にレーザ
ビーム走査の該走査方向に対する直角方向の位置
ずれ量が大きくなるとこの問題点が現われる。こ
の現象を第1図を参照して説明する。第1図aの
ような長方形の受光面1aをもつフオトダイオー
ド等の光電変換素子に対してビームスポツト2a
が走査された場合の光電変換素子1の検出出力信
号は第1図bの特性Aとなる。これに対しビーム
スポツト2bが走査された場合の光電変換素子1
の検出出力信号は特性Bとなる。これらの出力信
号A,BをVthなる閾値で有無判断すると、ビー
ムスポツト2bの走査開始(特性B)は検出でき
ないことになる。またこれより小さいVth′なる閾
値で有無判断をすれば、ビームスポツト2bの走
査開始も検出できるがビームスポツト2aの走査
開始検出に対してΔtなる検出誤差が発生する。
しかも閾値を小さくすることでノイズの影響を受
けやすくなる。
従つてこのような光電変換素子の受光面とビー
ムスポツトの前記直角方向の位置ずれによる問題
をなくするために、組み立てや保守時にシンクロ
スコープを用いて光電変換素子の出力信号を観察
し、相対位置調整作業を実施していた。しかし測
定機器を必要とする面倒さがあると共に装置が稼
働状態にあるときには位置ずれ状態を検出するこ
とができない欠点がある。
測定機器を用いずしかも装置が稼働中でも位置
ずれ状態を検出するために、第2図のように、受
光面3a,3bをもつ走査位置ずれ検出用の光電
変換素子を設け、この光電変換素子から得られる
出力信号の大きさを比較し、その差の大きさから
ずれ量を検出するようにすることが考えられる。
この場合は、ビームスポツト4の中心が2つの光
電変換素子の受光面3a,3bの中間位置を走査
していれば、両光電変換素子の検出信号の大きさ
は等しい。そしてビームスポツト走査位置が直角
方向の何れかにずれれば検出信号の大きさに差が
生ずるから、ビームスポツト4が光電変換素子1
の中心位置を走査している状態で2つの光電変換
素子の検出信号の大きさが等しくなるようにこれ
らを配し、稼働中に大きさとその極制を観察すれ
ばビームスポツトの走査位置ずれ量とずれ方向を
検出できる。しかしこの場合でも、レーザビーム
光量が片寄つたり2つの光電変換素子間に光電変
換特性の差があつたりすると、位置ずれ検出誤差
が発生し、前述した問題点の発生を防止すること
が困難になる。
〔発明の目的〕
従つて本発明の目的は、レーザビーム走査系に
おいて、レーザビーム走査方向と直角方向の走査
位置ずれを走査系の稼働中に確実に検出できるビ
ーム位置検出装置を提供することにある。
〔発明の概要〕
この目的を達成するため、本発明は、レーザビ
ーム走査方向の幅が前記走査方向と直角方向の走
査位置に応じて順次変化する受光面を有し、この
受光面が前記レーザビームの偏向走査光路中に配
置されて該受光面を走査する前記ビームスポツト
の走査方向に対する直角方向の走査位置に応じた
光電変換出力信号を出力する光電変換手段と、こ
の光電変換手段から得られる前記光電変換出力信
号と前記ビームスポツトが前記受光面の走査方向
に対する直角方向の基準走査位置を走査するとき
に出力される光電変換出力信号に相当する基準信
号を比較する比較回路手段とを設け、この比較回
路手段の出力信号によつて前記受光面を走査する
前記ビームスポツトの前記基準走査位置に対する
直角方向の走査位置ずれを検出するようにしたこ
とを特徴とし、検出出力信号の時間幅を位置検出
要素とすることにより光電変換手段の光電変換特
性やビームスポツト光量のばらつきによる検出誤
差を少なくするものである。
〔発明の実施例〕
第3図〜第5図は本発明の一実施例を示すもの
で、第3図は電気回路図、第4図は光電変換素子
の受光面と検出信号波形図、第5図は走査位置ず
れ検出特性図である。
第3図において光電変換素子5はオペアンプ6
の(−)入力端子と負電源(−V)の間に接続さ
れ、オペアンプ6の(+)入力端子は接地され
る。コンパレータ7の(+)入力端子はオペアン
プ6の出力端子に接続され、(−)入力端子は閾
値電源(+Vth)に接続される。積分回路8はオ
ペアンプ8aと抵抗8bとコンデンサ8cで構成
される。オペアンプ8aの(−)入力端子はコン
パレータ7の出力端子に接続され、(+)入力端
子は接地される。コンパレータ9,10は前記光
電変換素子5の受光面を走査するビームスポツト
の走査位置が受光面の所定の範囲内にあるか否か
を判断するもので、コンパレータ9の(−)入力
端子とコンパレータ10の(+)入力端子が前記
積分回路8の出力端子に接続され、またコンパレ
ータ9の(+)入力端子には範囲設定電源(−
Ve1)、コンパレータ10の(−)入力端子には
範囲設定電源(−Ve2)がそれぞれ接続される。
11,12は発光ダイオードで、コンパレータ
9,10の各出力端子と正電源(+V)の間にそ
れぞれ接続される。ウインド型コンパレータ13
は光電変換素子5の受光面を走査するビームスポ
ツトの位置ずれ量の限界を判断するもので、コン
パレータ13a,13bと抵抗13c,13dと
ダイオード13eで構成され、コンパレータ13
a,13bの各(−)入力端子は前記積分回路8
の出力端子に接続され、コンパレータ13aの
(+)入力端子は限界設定電源(−Vref1)、コン
パレータ13bの(+)入力端子には限界設定電
源(−Vref2)が接続される。そしてコンパレー
タ13bの出力端子と正電源(+V)の間には発
光ダイオード14が接続される。そして、コンパ
レータ7の出力端子からはビームスポツトが光電
変換素子5の受光面を走査したことを示す走査開
始検出基準信号Vsを得るようにする。
このよう電気回路において、光電変換素子5が
第4図aに示すようにビームスポツト15の走査
方向と直角方向に伸びる始端縁とこの始端縁に対
して傾斜した終端縁を有し走査方向の幅が走査位
置によつて順次異なる受光面5aを有するもので
あると、コンパレータ7の出力信号Vsは第4図
bに示すように、ビームスポツト15aの走査位
置のくり返し操作でVsa、ビームスポツト15b
の走査位置のくり返し走査でVsb……となる。こ
の出力信号Vsを積分回路8で積分すると積分出
力信号V0は第5図aに示すように走査位置に応
じて変化する。ビームスポツト15cの走査位置
が中心であつてビームスポツト15b,15dの
走査位置間に調整しようとする場合には、ビーム
スポツト15bのくり返し走査によつて得られる
積分出力信号−V0bに等しい電圧に範囲設定電源
(−Ve1)を設定し、ビームスポツト15dのく
り返し走査によつて得られる積分出力信号−V0d
に等しい電圧に範囲設定電源(−Ve2)を設定す
る。これにより、第5図bのように、ビームスポ
ツト15がビームスポツト15b,15e間をく
り返し走査していれば2つのコンパレータ9,1
0の出力はハイレベルで発光ダイオード11,1
2は共に消灯している。そしてビームスポツト1
5の走査位置がこの範囲よりビームスポツト15
a側にずれればコンパレータ9の出力がロウレベ
ルとなつて発光ダイオード11が点灯し、逆にビ
ームスポツト15e側にずれればコンパレータ1
0の出力がロウレベルとなつて発光ダイオード1
2が点灯する。従つてビームスポツト15の走査
位置調整作業は両発光ダイオード11,12が消
灯するようにすればよい。
また光電変換素子5がビームスポツト15の走
査を検知し得る走査位置の限界が、ビームスポツ
ト15a,15eの走査位置であるとすると、ビ
ームスポツト15aのくり返し走査によつて得ら
れる積分出力信号−V0aに遠しい電圧に限界設定
電源(−Vref1)を設定し、ビームスポツト15
eのくり返し走査によつて得られる積分出力信号
−V0eに等しい電圧に限界設定電源(−Vref2)を
設定すれば、ビームスポツト15の走査位置がビ
ームスポツト15a,15eの範囲内であつてそ
の走査を光電変換素子5が検知している状態では
コンパレータ13の出力がロウレベルとなつて発
光ダイオード14が点灯し、この状態を報知す
る。
なおビームスポツト15の走査開始検出は、コ
ンパレータ7の出力信号Vsa……の立ち上がりを
基準にして行なう。
以上の構成によれば次の効果が得られる。
(イ) 光電変換素子の受光面とビームスポツトの走
査位置ずれ状態を測定機器を用いずに観測し、
調整作業を実施できる。
(ロ) 走査位置ずれ量は光電変換素子の検知出力の
時間幅に応じて検出されるので、レーザビーム
スポツトの光量や光量変換素子の感度の変化の
影響を受けにくい。
(ハ) 1つの光電変換素子の検知出力を電気回路の
処理で、走査位置検出と走査開始検出に利用す
るので光電変換手段の構成が簡便である。
この実施例は光電変換素子5の受光面5aに対
するビームスポツト15の走査方向が逆の関係で
あつてもよい。但しその場合には走査開始検出を
コンパレータ7の出力信号Vsa……の立ち下がり
を基準にする必要がある。
第6図に示す第2の実施例は、第3図で説明し
た第1の実施例に第2の光電変換素子16を付加
し、この第2の光電変換素子16の検出出力信号
をオペアンプ17で増幅し、更にコンパレータ1
8で波形整形してコンパレータ7の出力信号と逆
極性の出力信号を得、両コンパレータ7,18の
出力信号を積分回路8で積分するようにしたもの
である。
この第2の実施例において、第7図aに示すよ
うに、第2の光電変換素子16の受光面16aが
第1の光電変換素子5の受光面5aの終端縁と平
行となるように傾斜した始端縁をもち且つ終端縁
が走査方向に直角であり、更に中心走査位置での
両受光面5a,16aの幅が等しくなるようにす
ると、ビームスポツト15のくり返し走査位置に
よつてコンパレータ7,18の出力信号+Vs,−
Vsは第7図bの+Vsa〜−Vseのようになる。こ
の両出力信号+Vs,−Vsを積分回路8で積分する
と積分出力信号V0は第8図aに示すように走査
位置に応じて変化する。ビームスポツト15cに
よるくり返し走査位置においてコンパレータ7の
出力信号+Vscとコンパレータ18の出力信号−
Vscの時間幅が等しいので積分出力信号V0はゼロ
となり、ビームスポツト15a,15bのくり返
し走査では積分出力信号V0が正、ビームスポツ
ト15d,15eのくり返し走査では積分出力信
号V0は負となる。そこで範囲設定電源(+Ve1)、
(−Ve2)をそれぞれ積分出力信号+V0b,−V0d
等しい電圧に設定し、限界設定電源(+Vref1)、
(−Vref2)をそれぞれ積分出力信号+V0a,−V0e
に等しい電圧に設定すれば、前記と同様な結果が
得られる。しかもこの第2の実施例では、ビーム
スポツト15が受光面5a,16aの走査時間幅
の差に基づいて走査位置を検出しているので、両
受光面5a,16aの幅の相対関係を正確に設定
しておけばその絶対値の変化や走査速度の変化の
影響が少ない。またビームスポツト15の走査位
置の変化に応じてコンパレータ7,18の出力時
間幅は反対特性に変化するので積分出力信号V0
の変化が大きくなり、検出精度が高くなる。
またこの第2の実施例はコンパレータ18の出
力信号−V0の立ち下がりを走査開始検出の基準
信号とすることもできる。
更に光電変換素子5,16の受光面5a,16
aはそれぞれ始端縁と終端縁を逆にしても同様の
効果が得られる。これらの場合には、走査開始検
出は走査方向に直角な端縁での出力信号の変化を
基準とするように選択する。
第9図と第10図に示す第3の実施例は第3図
〜第5図に示したように1つの光電変換素子5に
よるものでその信号処理をデイジタル化した例で
ある。光電変換素子5はオペアンプ6の(+)入
力端子と正電源(+V)の間に接続され、オペア
ンプ6の(−)入力端子は接地される。コンパレ
ータ7の(+)入力端子はオペアンプ6の出力端
子に接続され、(−)入力端子は閾値電源(+
Vth)に接続される。デイジタルカウンタ19の
イネーブル入力端子Enableはコンパレータ7の
出力端子に接続され、クロツク入力端子ckには
クロツク信号CLOCKが与えられ、クリア入力端
子Clearには遅延回路20から出力されるクリア
信号CLEARが与えられる。カウンタ19から出
力されるカウント出力信号は遅延回路20からの
トリガ信号TRIGERでトリガされるラツチ回路
21でラツチされ、ラツチした値はデイジタルコ
ンパレータ22に比較値Dioとして印加される。
コンパレータ7の出力信号Vsは前記カウンタ1
9をイネーブルにすると共に走査開始検出基準信
号として使用され、更に前記遅延回路20に入力
されて1走査毎にカウンタ19の出力をラツチす
る前記トリガ信号TRIGERを発生しその後にカ
ウンタ19をクリアする前記クリア信号CLEAR
を発生するための基準となる。コンパレータ22
はラツチ回路21の出力信号Dioと基準値Dref
比較し、その比較出力信号がインバータ23,2
4,25を介して発光ダイオード26,27,2
8に与えられる。
以上の回路構成において、前記光電変換素子5
が第10図aに示す受光面5aであるとき、この
受光面5aの中心走査位置をビームスポツト15
cが走査すると、同図bに示すようにコンパレー
タ7から出力信号Vsが発生してカウンタ19が
イネーブルになり、その間のクロツク信号
CLOCKの数Ncがカウントされる。出力信号Vs
消失すると遅延回路20はtd1の時間遅れでトリ
ガ信号TRIGERを発生しその立ち上がりでカウ
ント19のカウント出力信号をラツチ回路21に
ラツチする。その後更にtd2時間遅れでクリア信
号CLEARが発生してカウンタ19がクリアされ
る。このときのカウント出力信号すなわちコンパ
レータ22に与えられる比較値DioをDiocとすると
き、基準値DrefをDref=Diocとすれば、発光ダイ
オード27を点灯することができる。そしてビー
ムスポツト15bが受光面5aを走査するときは
比較値DioがDiobとなりDiob<Drefとなるので発光
ダイオード26が点灯し、ビームスポツト15d
が受光面5aを走査するときは比較値DioがDiod
となりDiod>Drefとなるので発光ダイオード28
が点灯する。
第11図と第12図に示す第4の実施例は第6
図〜第8図に示した第2の実施例のように2つの
光電変換素子5,16によるもものでその信号処
理をデイジタル化した例である。光電変換素子
5,16はそれぞれオペアンプ6,17の(+)
入力端子と正電源(+V)の間に接続され、各オ
ペアンプ6,17の(−)入力端子は接地され
る。コンパレータ7,18の各(+)入力端子は
それぞれ前記オペアンプ6,17の出力端子に接
続され、各(−)入力端子はそれぞれ閾値電源
(+Vth)に接続される。コンパレータ7の出力信
号Vs1は走査開始検出基準信号として利用される
と共にNANDゲート29の一方の入力端子に入
力される。コンパレータ18の出力信号Vs2は遅
延回路20に入力されると共にNANDゲート3
0の入力端子に入力される。各NANDゲート2
9,30の他方の入力端子にはクロツク信号
CLOCKが入力される。デイジタルアツプダウン
カウンタ31は、アツプカウント入力端子Up
NANDゲート29の出力端子に接続され、ダウ
ンカウント入力端子DowtがNANDゲート30の
出力端子に接続され、データ入力端子Dataには
初期値DATAが印加され、この初期値DATAは
遅延回路20からロード入力端子Loadに与えら
れるロード信号LOADによつてカウンタ31内
に取り込まれる。カウンタ31の出力端子Qから
出力されるカウント出力信号は遅延回路20から
のトリガ信号TRIGERでトリガされるラツチ回
路21でラツチされ、ラツチした値はデイジタル
コンパレータ22に比較値Dioとして印加される。
コンパレータ22はラツチ回路21の出力信号
Dioを基準値Drefと比較し、その比較出力信号が
インバータ23,24,25を介して発光ダイオ
ード26,27,28与えられる。
以上の回路構成において、前記光電変換素子
5,16が第12図aに示す受光面5a,16a
であるとき、この受光面5a,16aの中心走査
位置をビームスポツト15cが走査すると、先ず
受光面5aが走査されてコンパレータ7の出力信
号Vs1が発生するためクロツク信号CLOCKが
NANDゲート29を介してアツプダウンカウン
タ31のアツプカウント入力端子Upに与えられ、
出力信号Vs1が発生している間のクロツク信号
CLOCKの数Ne1だけアツプカウントする。次に
受光面16aが走査されてコンパレータ18の出
力信号Vs2が発生するためクロツク信号CLOCK
がNANDゲート30を介してアツプダウンカウ
ンタ31のダウンカウント入力端子Downに与え
られ、出力信号Vs2が発生している間のクロツク
信号CLOCKの数Nc2だけダウンカウントする。
コンパレータ18の出力信号Vs2が消失すると、
遅延回路20はtd1の時間遅れでトリガ信号
TRIGERを発生しその立ち上がりでカウンタ3
1のカウント出力信号をラツチ回路21にラツチ
する。その後更にtd2時間遅れでロード信号
LOADが発生してカウンタ31には初期値
DATAが取り込まれる。これによりラツチ回路
21の出力信号すなわちコンパレータ22に入力
される比較値Dioは、中心走査位置の走査ではNc1
=Nc2であるので、Dio=DATAとなつている。
従つてコンパレータ22の基準値DrefをDref
DATAとしておけば、発光ダイオード27を点
灯することができる。そしてビームスポツト15
bが受光面5a,16aを走査するときは比較値
DioがDiobとなつてDiob<Drefとなるので発光ダイ
オード26が点灯し、ビームスポツト15dが受
光面5a,16aを走査するときは比較値Dio
DiodとなつてDiod>Drefとなるので発光ダイオー
ド28が点灯する。
以上に述べた第3、第4の実施例も第1、第2
の実施例と同様に変形して実施でき、また同等の
効果を得ることができる。
なお上記4つの実施例は何れも光電変換素子
5,16を走査開始検出に利用しているが、これ
らの光電変換素子と同一走査位置に走査開始検出
専用の光電変換素子を設けてもよい。
また光電変換素子の受光面の走査方向の幅の変
化は連続的である必要はなく段階状でもよい。
〔発明の効果〕
以上のように本発明によれば、レーザビーム走
査方向の幅が前記走査方向と直角方向の走査位置
に応じて順次変化する受光面を有し、この受光面
が前記レーザビームの偏向走査光路中に配置され
て該受光面を走査する前記ビームスポツトの走査
方向に対する直角方向の走査位置に応じた光電変
換出力信号を出力する光電変換手段と、この光電
変換手段から得られる前記光電変換出力信号と前
記ビームスポツトが前記受光面の走査方向に対す
る直角方向の基準走査位置を走査するときに出力
される光電変換出力信号に相当する基準信号を比
較する比較回路手段とを設け、この比較回路手段
の出力信号によつて前記受光面を走査する前記ビ
ームスポツトの前記基準走査位置に対する直角方
向の走査位置ずれを検出するようにしたので、光
電変換手段の光電変換特性やビームスポツトの光
量のばらつきによる検出誤差を少なくできる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図a,bは光電変換手段の受光面に対する
ビームスポツト走査と出力特性図、第2図は改良
された光電変換手段の受光面とビームスポツト走
査図、第3図〜第12図は本発明の実施例を示
し、第3図は第1の実施例の電気回路図、第4図
a,bはその光電変換手段の受光面に対するビー
ムスポツト走査と出力特性図、第5図a〜cはそ
の位置検出特性図、第6図は第2の実施例の電気
回路図、第7図a,bはその光電変換手段の受光
面に対するビームスポツト走査と出力特性図、第
8図a〜cはその位置検出特性図、第9図は第3
の実施例の電気回路図、第10図a,bはその位
置検出信号波形図、第11図は第4の実施例の電
気回路図、第12図a,bはその位置検出信号波
形図である。 5……光電変換素子、5a……受光面、8……
積分回路、9,10,13……コンパレータ。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 被走査面にビームスポツトを形成するレーザ
    ビームを偏向制御してビームスポツトを走査する
    レーザビーム走査系において、レーザビーム走査
    方向の幅が前記走査方向と直角方向の走査位置に
    応じて順次変化する受光面を有し、この受光面が
    前記レーザビームの偏向走査光路中に配置されて
    該受光面を走査する前記ビームスポツトの走査方
    向に対する直角方向の走査位置に応じた光電変換
    出力信号を出力する光電変換手段と、この光電変
    換手段から得られる前記光電変換出力信号と前記
    ビームスポツトが前記受光面の走査方向に対する
    直角方向の基準走査位置を走査するときに出力さ
    れる光電変換出力信号に相当する基準信号を比較
    する比較回路手段とを設け、この比較回路手段の
    出力信号によつて前記受光面を走査する前記ビー
    ムスポツトの前記基準走査位置に対する直角方向
    の走査位置ずれを検出することを特徴とするレー
    ザビーム走査系のビーム位置検出装置。 2 特許請求の範囲第1項において、前記比較回
    路手段は、前記光電変換手段の出力信号を積分す
    る積分回路と、この積分回路の出力信号と基準信
    号の大きさの関係を判別する判別回路を備えたこ
    とを特徴とするレーザビーム走査系のビーム位置
    検出装置。 3 特許請求の範囲第1項において、前記光電変
    換手段は、前記走査方向に並べて配列され前記直
    角方向の基準走査位置における走査方向幅が等し
    く且つ前記直角方向位置に応ずる幅変化特性が逆
    の受光面をもつ2つの光電変換素子を備え、前記
    比較回路手段は、前記2つの光電変換素子から得
    られる出力信号を波形整形し且つ2つの出力信号
    が反対極性となるようにする波形整形回路と、こ
    の反対極性の2つの出力信号を積分してその差分
    を出力する積分回路と、この積分回路の出力信号
    の大きさと基準信号の大きさの関係を判別する判
    別回路を備えたことを特徴とするレーザビーム走
    査系のビーム位置検出装置。 4 特許請求の範囲第1項において、前記比較回
    路手段は、前記光電変換出力信号が存在する間に
    クロツクパルスを計数するカウンタと、このカウ
    ンタの計数値と基準値との関係を判別する判別回
    路を備えたことを特徴とするレーザビーム走査系
    のビーム位置検出装置。 5 特許請求の範囲第1項において、前記光電変
    換手段は、前記走査方向に並べて配列され前記直
    角方向の基準走査位置における走査方向幅が等し
    く且つ前記直角方向位置に応ずる幅変化特性が逆
    の受光面をもつ2つの光電変換素子を備え、前記
    比較回路手段は、一方の光電変換素子の出力信号
    が存在する間にクロツクパルスをアツプカウント
    し且つ他方の光電変換素子の出力信号が存在する
    間にクロツクパルスをダウンカウントするアツプ
    ダウンカウンタと、このアツプダウンカウンタの
    計数値と基準値との関係を判別する判別回路を備
    えたことを特徴とするレーザビーム走査系のビー
    ム位置検出装置。
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JPS5449147A (en) * 1977-09-27 1979-04-18 Canon Inc Recorder
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