JPH0378603A - 測長装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は測長装置に関し、特にサブミクロンオーダの精
度で被測定物の寸法を測定できる高精度測長装置に関す
るものである。

〔従来の技術〕

従来の測長装置の構成を第３図乃至第６図に基づいて説
明する。

第３図はＸ軸方向にのみ被測定物を移動させることので
きる１軸構造の測長装置であって反射型照明装置を備え
た測長装置の構成を示す。１は図示しない空気定盤に設
置されたステージで、このステージ１は移動部１ａを有
する。移動部１ａは、図中右側の短辺部に設けられたモ
ータ等の駆動装置２の駆動動作により送り機構３を介し
てＸ軸方向に移動する。ステージ１の移動部１ａの上に
は被測定物４を設置する試料テーブル５が固定される。

テーブル５の上方位置に、対物レンズ部が被測定物４に
対向するように配置された顕微鏡６が配設される。顕微
鏡６は顕微鏡支持スタンド７に取り付けられている。被
測定物４は、例えば液晶表示装置で用いられる多数の電
極を作製するために使用される電極パターン作製用マス
クであり、測長装置は、当該マスクにおける各電極パタ
ーン４ｐの間の寸法を測定し、当該寸法を厳格に管理す
るために使用される。上記構成により、テーブル５の上
に設置された被測定物４を顕微鏡６により観察すること
ができる。また。ステージ１の移動部１ａをＸ軸方向に
適宜に動かすことによりＸ軸方向に関し被測定物５の任
意の測定対象箇所を顕微鏡６で観察することができる。

顕微鏡６で得られる画像は、顕微鏡６に固設されたカメ
ラ８で撮像され、撮像で得られた画像情報は電気信号に
変換されて画像処理装置９の画像処理部９Ａに入力され
処理される。画像処理部９Ａの処理により、被測定物４
における測定対象箇所の顕微鏡視野内における測定基準
位置に対する相対的位置が検出される。その検出結果は
、制御装置１０に出力され、その記憶部に記憶される。

また、画像処理装置９は表示部９Ｂを有しており、これ
には画像処理部９Ａから画像データが与えられ、顕微鏡
６で観察された視野の画像が表示される。

一方、１１はレーザヘッド、１２はテーブル５の１つの
辺に沿って固定された反射用ミラー　１３はレシーバ、
１４は干渉計であり、これらのものにより既知のレーザ
変位計が構成される。レーザヘッド１１から出力された
レーザ光はミラー１２で反射され、レシーバ１３、干渉
計１４、パルスコンパレータ１５等の構成によりテーブ
ル５のＸ軸方向の移動量が測定される。この測定結果は
制御装置１０に提供され、その記憶部に記憶される。こ
の結果、制御装置１０において、前述の測定対象箇所の
基準位置に対する相対的位置に関するデータと、前記テ
ーブル５の移動量とを併せて演算することにより、被測
定物４における測定対象箇所の寸法を求めることができ
る。なお、図中１６はレーザヘッド↓１を固定するため
の固定台、１７は干渉計１４等を固定するための固定台
である。また、制御装置１０から駆動袋＠２に対し動作
指令信号が与えられている。

上記のように、顕微鏡６とカメラ８によって測定対象箇
所の画像信号を得るためには被測定物４に対して適切な
明るさの照明を行わなければならない。第３図中、１８
け光源であり、１９は光源１８を支持すると共に照明光
を顕微鏡６に導く導光管である。光源１８から発せられ
た照明光は導光管１９と顕微鏡８の内部の光路を通って
被測定物４に照射され、その反射光を利用して顕微鏡６
で画像が作られる。すなわち、光源１８は反射型照明装
置として構成されている。

上記構成を有する測長装置による測長動作を第３図及び
第４図（ａ）、（ｂ）に示す画像処理装置９の表示部９
Ｂにおける表示像を参照しながら説明する。

先ずテーブル５の上に被測定物４を配設する。

この被測定物４は、例えば第３図に示す如く複数の電極
パターン４ｐを有するマスクである。顕微鏡６の倍率を
電極パターン４ｐの全体像とその周辺が把握できる程度
（例えば５倍）に低く調整する。次いで、カメラ８によ
る撮像で得られた表示部９Ｂに表示される顕微鏡６の視
野を見ながら制御装置１０を介して又は手動でテーブル
５を移動させ、最端部の電極パターンを顕微鏡６の視野
の中に入れる。この状態で顕微鏡の倍率を高倍率に（例
えば２００倍）する。この時、表示部９Ｂには第４図（
ａ）に示される顕微鏡６の視野内の映像が映し出される
。第４図（ａ）において、Ａは顕微鏡６の視野、Ｂは視
野Ａでの測定基準位置となる中心線で顕微鏡６の中心線
と対応するもの、４１）ｔは前記最端部電極パターンの
視野Ａにおける映像、Ｃは最端部電極パターンの映像４
１）＋のエツジをそれぞれ表している。第４図（ａ）で
示された顕微鏡６の視野において、画像処理部９Ａは、
周知の投影分布法により凹凸のあるエツジＣをＣ′とし
て確定し、これにより最端部電極パターンの映像のエツ
ジＣ′と中心線Ｂとの距離１１をその間の画素数をカウ
ントすることにより求め、その値を制御装置１０に出力
し、ここにストアする。

次に、制御装置１０は駆動装置２に指令信号を出し、テ
ーブル５を移動して次の電極パターンを顕微鏡６の視野
Ａに入れる。テーブル５の移動量ｌはレーザ変位計によ
り検出され、制御装置１０に出力される。第４図（ｂ）
は上記の次の電極パターンが視野Ａに入った時の表示部
９Ｂの表示状態が示されている。第４図（ｂ）において
第４図（ａ）で示した要素と同一の要素には同一の符号
が付されている。４ｐ２は次の電極パターンの映像を示
す。映像４１）２に対してもエツジＣ″が確定され、中
心線Ｂとの距離１２が求められ、この値１２は制御装置
１０に出力される。

ここで、レーザ変位計で測定された移動量ｌは、第４図
（ａ）で示された最初の視野において顕微鏡６の中心線
に対向するマスク４上の位置と、第４図（ｂ）で示され
た次の視野において顕微鏡６の中心線に対向するマスク
４上の位置との間の間隔に等しい。従って、第４図（ａ
）、　　（ｂ）に示す視野の場合、制御装置１０は入力
された値１１　＋１２、ｌを加算して測定値Ｌ　（Ｌ＝
１．＋１２＋１）を得る。以上のようにして、第３図に
示されたマスク４、すなわち被測定物４の各電極パター
ン４ｐの間隔は、最端部の電極パターンのエツジＣを基
準とじて前述のような方法で当該エツジＣからの間隔と
して測定される。

第５図は第３図と同様に１軸構造の測長装置であって透
過型照明装置を備えたものを示す。第３図で説明した同
一の要素には同一符号を付し、その説明を省略する。以
下、相違点のみを説明する。

透過型照明装置を有する測長装置では、テーブル５′に
広い面積の孔を形成し、この孔に透明なガラス板２０が
嵌め込まれた構造となっている。

このガラス板２０の上面に前記被測定物４が設置される
。従って、ガラス板２０の寸法は被測定物４よりも大き
くなるように設定される。更にテーブル５′とその下側
のステージ１との間に比較的に大きな空間を形成し、こ
の空間に、前記顕微鏡支持スタンド７に固定された透過
型照明光源２１を顕微鏡６の光軸に合せて設置する。こ
の光源２１は点光源として構成される。このような構成
によって、被測定物４は下方から点光源２１によって透
明ガラス板２０を通して照明され、この透過光を利用し
て顕微鏡６で画像が作り出される。この画像は前述した
通りカメラ８によって撮像される。その他の構成、作用
は第３図の測長装置と同じである。

第６図は被測定物４をＸ軸方向とＹ軸方向に移動させＸ
軸及びＹ軸の各方向について寸法を測定できる２軸構造
の測長装置であって、透過型照明装置と反射型照明装置
を備える測長装置を示す。

第３図で示した要素と実質的に同一の要素には同一の符
号を付し、その説明を省略する。

この測長装置は透過型照明装置を有するため被測定物４
の下側に第５図で示した照明用点光源２１を配設する。

そのためこの点光源２１を配設するための空間が形成さ
れる。この測長装置は、被測定物４をＸ軸とＹ軸の各方
向に移動させるため、それぞれの方向の移動を可能にす
るＸ軸テーブル５ＸとＹ軸テーブル５Ｙを備えている。

下側に位置するＹ軸テーブル５Ｙは大きな面積の孔２３
を有し、且つ中央部に空間が形成されたＹ軸周ベース２
４の上にＹ軸方向に移動自在の状態で設置されている。

Ｙ軸周ベース２４の図中右側の縁にＹ軸テーブル５Ｙを
移動させる駆動装置２Ｙとその送り機構３Ｙが設けられ
ている。Ｙ軸周ベース２４の中央空間に前記点光源２１
（図示せず）が配設され、且つその電源線が２５が外部
に引き出される。上記のＹ軸テーブル５ＹはＸ軸テーブ
ル５ＸにとってＸ軸周ベースとなる。このＹ軸テーブル
５Ｙの上にＸ方向に移動自在なＸ軸テーブル５Ｘを設置
する。Ｙ軸テーブル５Ｙの図中左側の縁にＸ軸テーブル
５Ｘを移動させる駆動装置２Ｘとその送り機構３Ｘが設
けられる。Ｘ軸テーブル５Ｘは第４図で説明したテーブ
ルと同様に孔を有し、その孔に透明ガラス板２０を嵌め
込んでいる。被測定物４はガラス板２０の上に設置され
る。点光源の照明光はガラス板２０を通して被測定物４
に与えられる。

上記測長装置では、Ｘ軸方向及びＹ軸方向について被測
定物４を移動できるようにしたため、構成上以下のよう
な変更が生じる。先ず、Ｘ軸テーブル５Ｘに配設される
ミラー２２はＬ型となり、Ｘ軸周ミラ一部２２ＸとＹ軸
周ミラ一部２２Ｙが設けられる。レーザヘッド１１に対
して出力されたレーザ光をＸ軸側のレーザ光とＹ軸側の
レーザ光に分割するビームスプリッタ２６を備え、Ｘ軸
方向用のレシーバ１３Ｘ１干渉計１４Ｘ１固定台１７Ｘ
と、Ｙ軸方向用のレシーバ１３Ｙ１干渉計１４Ｙ１固定
台１７Ｙが設けられる。その他の構成については前述し
た構成、作用と実質的に同じである。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述した測長装置において透過型照明装置を有するもの
は次のような問題を有する。

先ず、第５図に示された１軸構造の測長装置では、照明
光が下方からテーブル５′上の被測定物４に当るように
するため、テーブル５′の下に点光源２１を配設するた
めの比較的に大きな空間を形成し、且つテーブル５′の
測定領域全体にわたって孔を形成し、この孔にガラス板
２０を嵌め込むようにしなければならない。従って、鉄
製テーブル５′の一部がガラス板２０となるのでテーブ
ル５′の剛性が低下するという不具合が生じる。

またテーブルが大型の場合にはテーブルに撓み変形が生
じるという不具合も発生する。このような不具合のある
テーブル５′に被測定物４を設置してその寸法の測定を
行うと、被測定物４もテーブル５′の変形に追従して変
形し、寸法測定において無視できない誤差が生じること
になる。

更に、透過型照明装置の光源２１が、従来点光源である
ために、点光源から放射された照明光は被測定物４の一
部に集中的に照射され、これに起因する照明光の熱影響
で被測定物４に局部的な熱膨張が生じ、被測定物４の測
定寸法の精度に無視できない誤差が生じるという不具合
もある。

次に、第６図に示された２軸構造の測長装置では、被測
定物４の下方に照明用点光源２１を配設し下方より被測
定物４に照明光を与えるようにするため、前記と同様に
Ｘ軸方向移動用のＸ軸テーブル５Ｘの一部に透明ガラス
板２０を設けると共に、Ｙ軸方向移動用のＹ軸テーブル
５Ｙに点光源２１を被測定物４に臨ませるための大きな
孔が形成される。従って、テーブル５Ｘ、５Ｙのそれぞ
れについて剛性が低下し、これに起因する前述した測定
誤差が生じる。また、前述した点光源による局部的熱膨
張に起因する測定誤差の問題も生じる。更に、Ｘ軸テー
ブル５ＸＳＹ軸テーブル５Ｙのそれぞれを移動させるた
めの駆動装置２Ｘ、２Ｙ及び送り機構３Ｘ、３Ｙを、点
光源を配設するため中央に空間を確保するという構造上
の制限から、各テーブルの側方縁に沿って配設し且つ各
テーブルを図示しない案内部材で支持して移動自在とす
るように構成している。この構成によれば、各テーブル
５Ｘ、５Ｙは移動機構の観点からみると一方の端縁に駆
動機構を配設した偏った駆動構造となっており、移動時
にガタが生じるのは避けられず、これが寸法の測定に誤
差として効いてくる。

本発明の目的は、上記の透過型照明装置を備え。

る１軸構造及び２軸構造の測長装置の各種問題に鑑み、
これを有効に解決すべく、透過型照明を採用した測長装
置において、被測定物を設置するテーブルの剛性を変化
させることなく且つ被測定物が局部的に熱影響を受ける
ことがないようにし、更に移動機構の配設構造に起因す
るガタをなくすように構成し、高精度の微小寸法測定を
可能にした測長装置を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明による測長装置は、被測定物を設置するテーブル
と、このテーブルを少なくとも１軸方向に移動させる移
動機構と、前記テーブルに設置された被測定物を観察す
るための顕微鏡と、顕微鏡で得られる画像を電気信号と
して入力し顕微鏡の視野内における測定対象箇所の基準
位置に対する相対的位置を検出する画像処理手段と、テ
ーブルの移動距離を測定する測定手段とを含む測長装置
において、被測定物の下側に被測定物の温度分布が均一
となる発光体を透過型照明装置として配設するように構
成される。

上記構成を有する本発明の測長装置では、前記発光体と
して、例えばシート状の形態を有したエレクトロルミネ
ッセンスランプやメツシュ状のしＥＤが使用され、これ
らは例えば試料テーブルの上に配設され、被測定物に均
一の温度分布を与える。

〔作用〕

上記構成を有する本発明の測長装置では、透過型照明装
置として使用される発光体は、被測定物に対し均一の温
度分布を与え、またその形態に基づけば試料テーブルの
上に設置することができ、測長装置の試料テーブルやテ
ーブル移動用ステージに構造的変更を加える必要がない
。そのためテーブルの剛性を高く保持することが可能で
あり、テーブルの撓みも生じない。

〔実施例〕

以下に、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図は本発明に係る測長装置の第１実施例の構成を示
し、この測長装置はＸ軸方向にのみ被測定物を移動でき
る１軸構造を有した測長装置である。基本的構成は第３
図に示した測長装置と同じであり、第１図において第３
図で示した要素と同一の要素には同一符号を付すものと
する。

ここで構成要素について概略的に説明する。第１図にお
いて、１は空気定盤（図示せず）に設置されたステージ
、１ａはステージ１上に移動自在に設けられた移動部、
２は移動部１ａを駆動させる駆動装置、３は駆動装置２
の駆動力により移動部１ａを移動せしめる送り機構、４
は被測定物、５は移動部１ａに固定され、被測定物４を
設置せしめる試料テーブルである。テーブル５上の被測
定物４に対して、その上方位置に顕微鏡６が配置される
。７は顕微鏡６を取付は支持する支持スタンド、８は顕
微鏡６で得られる画像を撮像しその画像信号を出力する
カメラ、９は画像信号を処理する画像処理部９Ａと画像
信号に基づいて画像を表示せしめる表示部９Ｂとからな
る画像処理装置、１０は画像処理部９Ａで得られたデー
タを記憶し必要に応じて演算・制御を行う制御装置であ
る。

１１はレーザヘッド、１２は反射用ミラー　１３はレシ
ーバ、１４は干渉計、１５はパルスコンパレータ、１６
．１７はそれぞれ前述した固定台である。上記の各要素
の構成、作用は従来技術の箇所で詳細に説明したので、
その説明を参照することとし、ここでは詳細に説明しな
い。

以上の構成を有する１軸構造の測長装置において、テー
ブル５の上面にはシート状のエレクトロルミネッセンス
ランプ３０が透過型照明装置として配設される。そして
、そのエレクトロルミネッセンスランプ３０の上に被測
定物４が設置される。

エレクトロルミネッセンスランプ３０は周知の通り電圧
を印加すると発光動作を行うもので、発熱量が少なく、
冷温光を放射する。図中エレクトロルミネッセンスラン
プ３０に電圧を印加する電源やその電源線は図示されて
いない。テーブル５の上に配置されたエレクトロルミネ
ッセンスランプ３０の上に設置された被測定物４は、エ
レクトロルミネッセンスランプ３０の照明光で下側より
照射されるので、被測定物４の任意の箇所を顕微鏡６で
観察することができる。顕微鏡６で得られた画像はカメ
ラ８で撮像され、画像信号として出力され、前述の通り
寸法測定、画像表示等の各処理に用いられる。

上記において、エレクトロルミネッセンスランプ３０は
冷温光を放射するので、被測定物４を高温状態に加熱す
ることはない。またエレクトロルミネッセンスランプ３
０から被測定物４に対して多少の熱が与えられたとして
も、エレクトロルミネッセンスランプ３０はシート状の
形態を有し、その上に被測定物４は載置されているので
、その熱は被測定物での温度分布が均一となるように被
測定物に与えられることになる。そのため、従来のよう
に点光源に起因した局部的加熱による被測定物４の局部
的な熱膨張が生じないので、高精度の微小寸法測定を行
うことができる。

また、エレクトロルミネッセンスランプ３０を透過型照
明装置として使用する場合、エレクトロルミネッセンス
ランプ３０を、第１図に示す如くテーブル５の上面に直
接に設置することができるので、テーブル５の下側に光
源を設置するための特別の空間を設ける必要がなく、ま
たテーブル５に孔を設けてガラス板を嵌込む必要もない
。従って、テーブル５の剛性を高く保持することができ
るので、剛性の低下、撓みに起因する測定誤差を除去す
ることができ、それ故に寸法測定の精度を高いものに保
持することができる。

上記においてエレクトロルミネッセンスランプ３０の上
に被測定物４を直接設置したが、被測定物４の設置の仕
方はこれに限定されない。例えば、エレクトロルミネッ
センスランプ３０の上に保護用の透明ガラス板を載置し
、その上に被測定物４を設置することも可能である。ま
た、エレクトロルミネッセンスランプ３０をテーブル５
の上面に設置したが、設置の仕方はこれに限定されない
。

その他１−こ１．シート状の透過型照明装置としてメツ
シュ状に配列された多数のＬＥＤを使用することもでき
る。本発明で使用される透過型照明装置としては、要す
るに、被測定物４において均一の温度分布を生じせしめ
る発光体であれば任意のものを使用することができる。

ただし、透過型照明装置として所要の明るさを有してい
るものであることが条件である。

また第１図で明らかなように、この実施例による測長装
置は、反射型の照明装置１８と導光管１９を備えており
、反射型の照明も併用することができるように構成され
ている。

第２図は本発明の第２実施例の構成を示し、この測長装
置はＸ軸方向とＹ軸方向への移動を可能にする２軸構造
の測長装置である。この測長装置の構成は第６図で示さ
れた構成と基本的に同じであり、ステージ及びテーブル
の周辺の構成が相違している。第２図において第６図で
示した同一要素には同一の符号を付し、その詳細な説明
は省略する。以下、特徴的な構成について説明する。

５は被測定物４を設置させる前記テーブルであり、この
テーブル５の上に、前記実施例の場合と同様に、エレク
トロルミネッセンスランプ３０を配置してその上に被測
定物４を設置するように構成される。テーブル５はＸ軸
方向及びＹ軸方向に移動するので、その縁にはＬ字型の
ミラー２２が設けられている。

３１ＹはＹ軸用のステージであり、このＹ軸ステージ３
１Ｙは図示しない空気定盤の上に固定されている。Ｙ軸
ステージ３１Ｙの上には図示しない移動部を介してＸ軸
ステージ３１Ｘが配設される。Ｙ軸ステージ３１Ｙの図
中手前側の短辺部の中央部に駆動装置２Ｙを設け、当該
中央部に長手方向に沿ってボールネジ等を利用した送り
機構３Ｙを配設し、これらにより前記Ｘ軸ステージ３１
Ｘを移動部を介してＹ軸方向に自在に移動するように構
成する。また、同様に、Ｘ軸ステージ３１Ｘの図中右側
の短辺部の中央部に駆動装置２Ｘを設け、当該中央部に
長手方向に沿って送り機構３Ｘを配設し、これらにより
前記テーブル５を移動部３２を介してＸ軸方向に移動す
るように構成する。以上の構成によれば、テーブル５は
Ｘ軸方向とＹ軸方向に移動させることができ、テーブル
５の上に配設される被測定物４についてＸ軸方向とＹ軸
方向の微小寸法を測定することができる。

上記構成では、透過型照明の構成を採用しても、照明装
置としてテーブル５の上に設置できるシート状のエレク
トロルミネッセンスランプ３０を使用するようにしたた
め、テーブル５の下側に光源を配設するための空間を確
保する必要がなくなった。そのため、Ｘ軸ステージ３１
ＸとＹ軸ステージ３１Ｙのそれぞれにおいて、中央部に
空間を形成する必要がなくなり、その中央部に、すなわ
ちその短辺部の中央部で且っ長辺部に沿って送り機構を
設けることができ、この構造によってそれぞれの送り動
作時に生じるガタを低減することができ、寸法測定の精
度を高く保持することができる。

なお、本実施例による測長装置でも、前記第１実施例で
説明した効果と同様な効果が生じるのけ勿論である。

〔発明の効果〕

以上の説明で明らかなように本発明によれば、試料テー
ブルやその移動ステージ等に構造的影響を与えることな
く配置することができ且つ被測定物に均一の温度分布を
与えることができるため、テーブル等の剛性の変化及び
被測定物における局所的熱影響に起因する測定誤差を排
除することができ、高い測定精度で微小寸法の測定を行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例に係る測長装置のシステム
構成図、第２図は本発明の第２実施例に係る測長装置の
システム構成図、第３図は従来の反射型照明装置を有す
る１軸構造の測長装置のシステム構成図、第４図（ａ）
、（ｂ）は画像処理装置の表示部の表示を示す図、第５
図は従来の透過型照明装置を有する１軸構造の測長装置
のシステム構成図、第６図は従来の２軸構造を有した測
長装置のシステム構成図である。 〔符号の説明〕 １・φ・、ステージ ２．２Ｘ、２Ｙ・・・駆動装置 ３．３Ｘ、３Ｙ・・・送り機構 ４・・・被測定物 ５−・φテーブル ６・・・顕微鏡 ８＠・・カメラ ９・・・画像処理装置 ９Ａ・・・画像処理部 ９Ｂ・・・表示部 １０・・・制御装置 １１・・・レーザヘッド １３．１３Ｘ、１３Ｙ・・・レシーバ １４．１４Ｘ、１４Ｙ・・・干渉計 １５・・・パルスコンパレータ ３０・−・エレクトロルミネッセンスランプ３１Ｘ・・
・Ｘ軸ステージ ３１Ｙ・・―Ｙ軸ステージ 第１図 第２図 ステージ 駆動装置 送り機構 被測定物 テーブル 閏微鏡 ８・・・カメラ ９−画像処理装置 １１−　　レーザヘッド １３−−レシーバ １４−一干渉計 ３０−・−エレクトロルミネッセンスランプ第 ３ 図 第 図 （ａ） （ｂ） 第 図

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. （１）被測定物を設置するテーブルと、このテーブルを
   少なくとも１軸方向に移動させる移動機構と、前記テー
   ブルに設置された前記被測定物を観察するための顕微鏡
   と、前記顕微鏡で得られる画像を電気信号として入力し
   顕微鏡の視野内における測定対象箇所の基準位置に対す
   る相対的位置を検出する画像処理手段と、前記テーブル
   の移動距離を測定する測定手段とを含む測長装置におい
   て、前記被測定物の下側に前記被測定物の温度分布が均
   一となる発光体を透過型照明装置として配設したことを
   特徴とする測長装置。
2. （２）請求項１において、前記発光体はシート状の形態
   を有することを特徴とする測長装置。
3. （３）請求項２において、前記発光体は冷温光を発する
   エレクトロルミネッセンスランプであることを特徴とす
   る測長装置。
4. （４）請求項２において、前記発光体はメッシュ状ＬＥ
   Ｄであることを特徴とする測長装置。
5. （５）請求項１乃至４のいずれかにおいて、前記発光体
   は前記テーブル上に配設されることを特徴とする測長装
   置。
6. （６）請求項１乃至５のいずれかにおいて、反射型照明
   装置を併せて備えることを特徴とする測長装置。