JPH037880Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子線反射回折像を得る装置に関す
る。

電子顕微鏡においては、通常の透過像の他に
種々の像を観察できるようになつており、電子線
反射回折像もこのような像の一つとして、観察さ
れている。

第１図は、この電子線反射回折像を得るための
従来の装置を示すもので、図中１は電子銃、２は
集束レンズ、３は対物レンズ、４は中間レンズ、
５は投影レンズであり、６は螢光板である。この
ような構成の従来においては、集束レンズ２によ
つて形成される電子銃のクロスオーバー像Ｐを対
物及び中間レンズ３，４により投影レンズ５の物
面に結像せしめ、更に投影レンズ５により、この
クロスオーバー像Ｐの像を螢光板６上に結像させ
ると共に、その表面が光軸Ｃに対して僅かな角度
を有するように、試料７を投影レンズ５と螢光板
６との間に配置し、電子線EBを光軸Ｃに沿つて
試料７に入射せしめている。この電子線EBの試
料７への入射によつて試料７より回折された電子
線DBは螢光板６上に投影され、螢光板６には例
えば、第２図に示す如き回折像DPが表示される。

しかしながら、第１図及び第２図から明らかな
ように、従来においては、螢光板６の一部にのみ
電子線回折像を表示できるだけであり、表示面を
有効に使用して回折像を表示することはできなか
つた。

又、標準試料の電子線反射回折像と分析すべき
試料の電子線反射回折像とを比較しようとする
と、試料を交換する等の面倒な作業を行わなけれ
ばならず、短時間に両像を切換えて比較観察する
ことができない。

本考案は、このような従来の欠点を解決し、表
示又は記録面全体に回折像を投影し得ると共に、
短時間に異なつた試料の電子線反射回折像を切換
えて観察できる電子線反射回折像観察装置を提供
することを目的としている。

本考案は電子銃よりの電子線のクロスオーバー
像を像表示のための検出面上に結像させるための
最終段集束レンズを含むレンズ系が備えられ、該
最終段集束レンズと該検出面との間に光軸から所
定の距離をおいて光軸に対して略対称的に複数の
試料が配置され、該複数の試料は互いに向き合う
面が前記検出面側を向くように光軸方向に対して
僅かに傾斜して配置され、前記最終段集束レンズ
の近傍に偏向器が配置され、該偏向器によつて光
軸から離れる向きに偏向された電子線を表面に対
して僅かな角度を成して前記複数の試料のうちの
一方に入射させるため前記最終段集束レンズによ
つて兼ねられるか又は別個に設けられた偏向手段
が配置され、電子線が照射される試料を前記複数
の試料間で切換えるための切換手段が備えられた
電子線反射回折像観察装置を特徴としている。

以下、図面に基づき本考案の実施例を詳述す
る。

第３図は本考案の一実施例を示すもので、第３
図においては、第１図と同一の構成要素に対して
は同一番号が付されている。

１２は偏向コイルであり、１３は極性切換回
路、１４は偏向コイル１２に偏向電流を供給する
ための偏向電源である。投影レンズ５と螢光板６
との間には分析対象となる試料７ａと標準試料７
ｂが配置されている。これら試料７ａ，７ｂは光
軸Ｃから所定の距離をおいて光軸Ｃに対して略対
称的に配置されている。試料７ａ，７ｂは互いに
向き合う面が螢光板側を向くように光軸Ｃの方向
に対して僅かに傾斜して配置されている。

このような構成において、前述した従来と同様
に、各レンズの励磁強度を調節して電子銃のクロ
スオーバー像Ｐを螢光板６上に結像させる。次
に、電源１４及より偏向コイル１２に供給される
電流を調節することにより、偏向コイル１２によ
つて光軸Ｃから離れる向きに偏向された電子線を
投影レンズ５に入射させる。投影レンズ５は偏向
作用が有るため、電子線EBを光軸Ｃに向かう向
きに振り戻すが、投影レンズ５によつて振り戻さ
れた電子線が表面に対して僅かな角度を成して分
析対象試料７ａに入射するように偏向電源１４よ
り偏向コイル１２に供給する電流を調整する。

その結果、電子線EBは試料７ａに入射して反
射され、電子線反射回折像が螢光板６上に投影さ
れる。試料７ａの面が光軸Ｃに対して従来より大
きな角度を成して配置された状態で、試料７ａよ
り反射された回折電子線DBを螢光板６上に投影
できるため、螢光板６の全面を有効に用いて電子
線反射回折像を螢光板６上に表示できる。

そこで、分析対象である試料７ａに基づく電子
線反射回折像に代えて標準試料７ｂの電子線反射
回折像を表示しようとする場合には、極性切換回
路１３を操作して偏向電源１４から偏向コイル１
２に供給される電流の向きを逆にする。その結
果、電子線EBは第３図の点線で示すようにコイ
ル１２によつて偏向された後、投影レンズ５によ
つて最初の場合とは逆向きに偏向されて標準試料
７ｂに入射する。その結果、標準試料７ｂに基づ
く電子線反射回折像が分析対象試料の場合と同様
に螢光板６上に表示される。

上述した実施例は本考案の一実施例を示すもの
で、本考案は変形して実施できる。

例えば、上述した実施例においては、投影レン
ズ５を偏向手段として兼用させるようにしたが、
偏向コイル１２を投影レンズの下段に配置すると
共に、偏向コイル１２によつて光軸から離れる向
きに偏向された電子線を振り戻すための偏向コイ
ルをコイル１２の下段に設けるようにしても良
い。

又、上述した実施例においては、表示のための
検出面として螢光板を用いたが、本考案は回折像
を表示装置に接続される光電検出面上に投影する
場合にも同様に適用できる。

以上の説明より明らかなように、本考案によれ
ば、表示面上を有効に使用して回折像を投影でき
るだけでなく、切換手段を操作することにより、
異なつた試料に基づく電子線反射回折像を容易に
切換えて観察可能であり、分析対象試料の電子線
反射回折像を標準試料等のそれと容易に対比観察
でき、試料の分析性能を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来装置を例示するための図、第２図
は従来の欠点を説明するための図、第３図は本考
案の一実施例を示すための図である。 １：電子銃、２：集束レンズ、３：対物レン
ズ、４：中間レンズ、５：投影レンズ、６：写真
フイルム、７ａ：分析対象試料、７ｂ：標準試
料、１２：偏向コイル、１４：偏向電源、１３：
極性切換回路、Ｃ：光軸、EB：電子線、DB：回
折電子線。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子銃よりの電子線のクロスオーバー像を像表
   示のための検出面上に結像させるための最終段集
   束レンズを含むレンズ系が備えられ、該最終段集
   束レンズと該検出面との間に光軸から所定の距離
   をおいて光軸に対して略対称的に複数の試料が配
   置され、該複数の試料は互いに向き合う面が前記
   検出面側を向くように光軸方向に対して僅かに傾
   斜して配置され、前記最終段集束レンズの近傍に
   偏向器が配置され、該偏向器によつて光軸から離
   れる向きに偏向された電子線を表面に対して僅か
   な角度を成して前記複数の試料のうちの一方に入
   射させるため前記最終段集束レンズによつて兼ね
   られるか又は別個に設けられた偏向手段が配置さ
   れ、電子線が照射される試料を前記複数の試料間
   で切換えるための切換手段が備えられた電子線反
   射回折像観察装置。