JPH0379237A

JPH0379237A - 電気加工装置

Info

Publication number: JPH0379237A
Application number: JP1212736A
Authority: JP
Inventors: Toshiro Higuchi; 俊郎樋口; Kozo Takeda; 幸三武田; Osamu Kitagawa; 修北川; Masashi Watanabe; 雅司渡辺
Original assignee: Toray Precision Co Ltd
Current assignee: Toray Precision Co Ltd
Priority date: 1989-08-17
Filing date: 1989-08-17
Publication date: 1991-04-04
Anticipated expiration: 2013-09-03
Also published as: JP2792929B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、放電加工装置や電解加工装置などの電気加工
装置に係り、特に、加工電極の送り機構の改良に関する
。

［従来の技術］周知のように、この種の電気加工装置は、被加工物と加
工電極とを微小な間隙を隔てて対向させつつ加工ｔｉを
送り進めて行くことにより、加工電極に対応したくぼみ
加工を行っている。従来、加工電極の送り機構としては
、油圧シリンダやパルスモータによるサーボアクチュエ
ータが利用されている。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、上述したような従来装置によれば、次の
ような問題点がある。

（＋）　　即ち、油圧シリンダやパルスモータを用いた
加工電極の送り機構によれば、送り機構自体が相当大き
くなって重量も嵩むために、加、エテーブル上に立設さ
れた堅固な支柱で送り機構を支持している。そのため、
被加工物が大きくなると、上記の支柱が邪魔になって、
被加工物が加工テーブルに載らなくなり、加工ができな
くなるという問題点が生じる。

（２）　　また、送り機構が大きいために、被加工物の
小さなスペース内に送り機構を挿入して加工することが
困難であるという問題点がある。

（３）大型の送り機構を自由な角度に設定することが機
構上、困難であるので、被加工物の上面から加工を施す
のが普通である。そのため、例えば被加工物の側面に穴
加工を施そうとすれば、その加工面が上になるように被
加工物を回転移動させなければならないという煩わしさ
もある。

（４）油圧シリンダを用いた送り機構では、弁の作動か
らシリンダの作動までの応答時間が長い。

また、パルスモータを用いた送り機構では、減速機とネ
ジ送り機構が用いられ、しかも、微小移動調整が可能な
ように減速比の大きな減速機構を設けているため、これ
らのギヤ機構のバラクラフシなどのために加工電極の送
りの応答性が悪くなる。

そのため、加工速度を速めると、被加工物と加工電極と
の間で一定の微小間隙を保つことが困難になり、異常放
電が生じて加工精度が損なわれるという問題点を生じる
。このような異常放電を防ぐために、加工電極の送り速
度を遅くしたり、あるいは、放電電流を小さくするとい
う手段も採られるが、このような手段によれば加工能率
が低下するという別異の問題点が生じる。

本発明は、上記のような問題点を解決するためになされ
たものであって、特に、第１の発明は、加工電極の送り
機構を小型、かつ軽量なものにすることを目的とし、ま
た、第２の発明は、上記の目的に加えて、加工電極の送
りの応答性を速くして、被加工物と電極の間の間隙を精
度よく制御することができる電気加工装置を提供するこ
とを目的とする。

［課題を解決するための手段］上記の目的を達成するために、本発明は次のような構成
を備えている。

即ち、請求項（１）に記載の第１の発明は、加工電極と
被加工物とを間隙を隔てて対向させた状態で被加工物の
加工を行う電気加工装置において、摺動抵抗が付与され
た状態で摺動自在に支持された移動体と、前記移動体に
対して、圧電素子、電歪素子、磁歪素子などの歪素子を
介在して連結された慣性体とを含む加工電極送り機構を
備え、前記歪素子を伸縮駆動した際の前記慣性体の衝撃
力で移動体を変位させることにより、前記移動体に関連
して設けられた加工電極を移動させるようにしたもので
ある。

また、請求項（２）に記載の第２の発明は、前記第１の
発明の各構成に加えて、加工電極と被加工物との間の間
隙の大きさを検出する間隙検出手段と、前記間隙検出手
段からの検出信号に基づき、前記間隙を一定に維持する
ように歪素子を駆動制御する間隙制御手段とを備えたも
のである。

［作　用］本発明の作用は次のとおりである。

第１の発明によれば、歪素子が伸長または収縮する際の
応力によって慣性体が衝撃的に駆動され、その反動（衝
撃力）が移動体に付与された摺動抵抗に打ち勝って移動
体を微小移動させることにより加工電極が移動する。

第２の発明によれば、加工電極と被加工物との間の間隙
の大きさが検出され、その検出信号に基づき、前記間隙
あるいは放電加工状態が所定の範囲あるいは状態（火花
放電）となるように歪素子が駆動制御される。

［実施例］以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。

玉土裏誰炎第１図は、本発明の一実施例に係る放電加工装置の概略
構成を示したブロック図である。

図中、符号１は、加工電極５を移動させるための送り機
構である。この送り機構１は、回動自在に支持された筒
状のガイド２を備え、このガイド２の下部に移動体３が
摺動自在に挿入されている。

移動体３は、ガイド２の下部周面に設けられた、押圧力
のｍ整可能なスプリング４によって側面から押圧されて
おり、この押圧力によって移動体３の摺動に対して摺動
抵抗が付与されるように構成されている。移動体３の下
面には加工電極５が装着されており、移動体３の上面に
は移動体３の位置検出に使用されるロッド６が立設され
ている。

このロッド６に、圧電素子、電歪素子、磁歪素子などの
公知の歪素子７と、慣性体８とがその順に遊嵌され、移
動体３と慣性体８とが前記歪素子７を介して連結されて
いる。ガイド２の上部内側には差動トランス９などの位
置検出機構が設けられており、この差動トランス９でロ
ッド６の昇降量を検出することによって、加工電極５の
位置を検出するように構成されている。

符号１０は、放電加工時の加工電極５の送りとは別に、
加工電極５を任意の位置に移動させるための送り制御回
路である。この送り制御回路１ｏは、差動トランス９か
ら与えられた位置検出信号Ｓｌと、加工電極５の設定位
置に応じて予め設定された位置指令信号Ｓ２との偏差Ｓ
３を出力する差分回路ＩＩと、偏差Ｓ３に応じた周波数
をも、たパルス信号である移動信号Ｓ４を出力する電圧
−周波数変換回路１２と、加工電極５の移動方向を指定
するための移動方向指定回路１３とを含む、移動方向指
定回路１３から出力されたＵＰ／ＤＯＷＮ信号Ｓ５は、
スイッチＳＷＩを介して歪素子駆動回路２０に与えられ
、電圧−周波数変換回路１２から出力された移動信号Ｓ
４はスイッチＳＷ２を介して歪素子駆動回路２０に与え
られる。

符号３０は、加工電極５と被加工物Ｗとの間に微小な間
隙δを維持しながら放電加工を進めるための放電加工制
御回路、符号２０は、歪素子駆動回路である。この放電
加工制御回路３０は、加工電掘５と被加工物Ｗとの間に
高電圧を印加するための電源回路３１と、加工中の放電
電流を検出する放電電流検出回路３２とを含み、電源回
路３１中の抵抗Ｒと放電電流検出回路３２は、加工電極
５と被加工物Ｗとの間の間隙を間接的に検出する間隙検
出手段を形成している。そして、該手段の放電電流検出
回路３２は放電電流を電圧値に変換した放電電流検出信
号、即ち、間隙に対応する信号ｓ６を電圧−周一　波数
変換回路３３と比較回路３４とに出力する。この電圧−
周波数変換回路３３および比較回路３４と歪素子駆動回
路２０は、歪素子７を駆動制御する間隙制御手段を形成
している。そして、該手段の比較回路３４は、加工電極
５と被加工物Ｗとの最適な間隙δ、あるいは放電状態に
応じて予め定められた基準値ｖａｔｖと、前記放電電流
検出回路Ｓ６とを比較し、その比較出力であるＵＰ／Ｄ
ＯＷＮ信号Ｓ７を加工量設定回路３５と、スイッチＳＷ
Ｉを介して歪素子駆動回路２０とに出力する。電圧−周
波数変換回路３３の出力信号である移動信号Ｓ８は、ス
イッチＳＷ３およびスイッチＳＷ２を介して歪素子駆動
回路２０と、加工量設定回路３５とにそれぞれ与えられ
る。加工量設定回路３５は、放電加工すべき加工量（具
体的には、所定位置にセットされた加工電極５を、′そ
の位置から下降させる距離）を予めプリセットされるＵ
Ｐ／ＤＯＷＮカウンタがら構成されおり、比較回路３４
からＵＰ信号を与えられているときは、電圧−周波数変
換回路３３がらの移動信号Ｓ８をＵＰカウントし、ＤＯ
ＷＮ信号を与えられているときは移動信号ｓ８をＤＯＷ
Ｎカウントする。加工量設定回路３５０力ウントアツプ
信号、および加工開始指令はスイッチＳＷ３へ開閉制御
信号として与えられ、また、前記加工開始指令は電源回
路３１に含まれるスイッチＳＷ４の開閉制御信号として
も与えられる。

歪素子駆動回ｌｌＲ２Ｏは、移動方向指定回路■３また
は比較回路３４から与えられたＵＰ／ＤＯＷＮ信号Ｓ４
またはＳ７と、電圧−周波数変換回路１２または３３か
ら与えられた移動信号Ｓ４またはＳ８とに基づいて、移
動体３を下降微動あるいは上昇微動させるための駆動信
号Ｓ９を歪素子７に出力する。

なお、間隙検出手段は、間隙が検出できれば他の公知の
手段であってもよく、また、間隙制御手段は歪素子駆動
回路２ｏ自体、あるいは他の回路からパルス信号が得ら
れれば、電圧−周波数変換回路３３を備えなくてもよい
。

次に上述した構成を俯えた実施例の動作を説明する。

まず、本実施例における加工電極５の移動原理を説明す
る。

歪素子を用いた衝撃力による微小移動装置についは、特
開昭６３−２９９７８５号公報に詳しく開示されている
ので、ここではその−例を第２図および第３図を参照し
て説明する。

加工電極５を下降させようとする場合、第２図（Ｃ）の
左図に示したような駆動信号Ｓ９が歪素子７に与えられ
る。駆動信号Ｓ９が電圧■１であるとき、歪素子７は第
３図（Ａ−１）に示すような収縮した状１（長さＬの状
Ｂ）にある０次に、駆動信号Ｓ９のレベルを電圧ものレ
ベルにまで徐々に下げていく、これにより、歪素子７は
伸長して長さＬ＋ΔＬになる。このとき、移動体３はス
プリング４によって与えられる摺動抵抗により静止して
おり、慣性体８だけが変位する（第３図（Ａ−２）参照
）、このような状態から、駆動信号Ｓ９のレベルをＶ、
からｖＩに急激に戻すと、歪素子７の急激な収縮により
慣性体８が下降し、歪素子７を介して移動体３に下方向
の衝撃力を与える。

この衝撃力が移動体３の摺動抵抗よりも大きくなると、
その衝撃力の大きさに応じた微小距離だけ移動体３が下
降し、これに伴って加工量ｉ５も下降する（第３図（Ａ
−３）参照）。

加工電極５を上昇させようとする場合は、第２図（Ｃ）
の右図に示したような駆動信号Ｓ９が歪素子７に与えら
れる。駆動信号Ｓ９が電圧■２であるとき、歪素子７は
第３図（Ｂ−１）に示すように伸長した状！！Ｉ（長さ
し＋ΔＬの状態）にある。駆動信号Ｓ９のレベルを電圧
ｖＩのレベルまで徐々に上げていくと、これにより歪素
子７は収縮して長さしになる。このとき、移動体３はス
プリング４によって与えられる摺動抵抗により静止して
おり、慣性体８だけが変位する（第３図（Ｂ−２）参照
）、このような状態から、駆動信号Ｓ９のレベルをｖｌ
からｖ２に急激に戻すと、歪素子７の急激な伸長により
慣性体８が上昇し、歪素子７を介して移動体３に上方向
の衝撃力を与える。この衝撃力が移動体３の摺動抵抗よ
りも大きくなると、その衝撃力の大きさに応じた微小距
離だけ移動体３が上昇し、これに伴って加工電極５も上
昇する（第３図（Ｂ−３）参照）。

以上のような加工電極５の移動原理を使用した本実施例
装置の動作を以下に説明する。

放電加工を開始するに際して、まず、加工電極５を所定
位置にまで下降させるための位置指令信号Ｓ２が送り制
御回路１０に与えられるとともに、移動方向指定回路１
３に移動方向（この場合、下方向）が指定される。なお
、加工電極５を所定位置にまで移動させる際（加工開始
指令が与えられていない場合）には、スイッチＳＷＩ、
ＳＷ２は送り制御回路１０側に設定されている。

下降指令を与えられＩこ移動方向指定回路１３からは、
ＤＯＷＮ信号Ｓ５が出力され（第２図（ａ）参照）、こ
のＤＯＷＮ信号Ｓ５が歪素子駆動回路２０に与えられる
。

一方、加工電極５の現在位置は差動トランス９によって
検出されており、その位置検出信号Ｓ１が送り制御回路
ｌＯの差分回路１１に与えられている。

差分回路１１は、位置指令信号Ｓ２と位置検出信号Ｓ１
との偏差Ｓ３を電圧−周波数変換回路１２に出力し、電
圧−周波数変換回路１２がその偏差Ｓ３に応じた周波数
をもった移動信号Ｓ４を出力する（第２図Φ）の左図参
照）。この移動信号Ｓ・４がスイッチＳＷ２を介して歪
素子駆動回路２０に与えられる。その結果、歪素子駆動
回路２０は移動体３を下降微動させる駆動信号３９（第
２図（Ｃ）の左図参照）を歪素子７に出力する。これに
より、加工電極５が移動体３と一体になって、所定位置
にまで下降する（第２図（ｄ）の左図参照）。

放電加工を開始する際には、所定位置にセットされた加
工電極５を、その位置からどれだけ下降させるかを加工
量設定回路３５にプリセットすることによって、被加工
物Ｗの加工量が設定される。

そして、オペレータからの加工開始指令により、スイッ
チＳＷＩ、ＳＷ２が放電加工制御回路３０側に切り換え
られるとともに、放電加工制御回路３０のスイッチＳＷ
３およびＳＷ４がＯＮ状態に切り換えられる。その結果
、電源回路３１によって、加工電極５と被加工物Ｗとの
間に高電圧が印加され上述した送り制御回路１０によっ
て所定位置にまで下降された加工電極５と、被加工物Ｗ
との間隙が、放電が開始される間隙よりも広い場合、加
工開始指令が与えられても直ぐには放電が起こらないの
で、放電電流検出信号Ｓ６は零である。その結果、比較
回路３４からＤＯＷＮ信号Ｓ７が出力される。一方、電
圧−周波数変換回路３３に入力される放電電流検出信号
Ｓ６が零のとき、電圧−周波数変換回路３３は、比較的
に周波数の高い移動信号Ｓ８を出力する。歪素子駆動回
路２０は、上述した比較回路３４からのＤＯＷＮ信号Ｓ
７と、電圧−周波数変換回路３３からの移動信号Ｓ８を
与えられることにより、加工電極５を下降微動させるた
めの駆動信号３９（第２図（Ｃ）の左図参照）を歪素子
７に出力する。

加工電極５と被加工物Ｗとの間隙が徐々に小さくなって
いくと、あるところで放電が開始する。

電圧−周波数変換回路３３は、放電電流検出信号Ｓ６の
増加に伴って、移動信号Ｓ８の周波数が低くなるように
電圧−周波数変換する。その結果、加工電極５が被加工
物Ｗに近づくにつれて、その下降速度は低下する。

放電電流検出信号Ｓ６が基準値Ｖ　Ｉ！Ｆに略等しいか
、あるいはそれ以下である場合、比較回路３４からＤＯ
ＷＮ信号Ｓ７が歪素子駆動回路２０に与えられるので、
加工電極５は下降し続ける。また、前記ＤＯＷＮ信号Ｓ
７が加工量設定回路３５に与えられることにより、加工
量設定回路３５は移動信号Ｓ８をＤＯＷＮカウントする
結果、加工量設定回路３５の計数値は最初に設定された
てリッセト値から次第に減少していく、つまり、移動信
号Ｓ８の積算値は、加工電極５の下降量に対応するから
、加工量設定回路３５の計数出力は、所要量の加工を施
すには加工電極５をあととれたけ下降すればよいかを示
すことになる。

加工量設定回路３５がカウントアツプするまで、即ち、
所要量の加工が終了する以前は、スイッチＳＷ３はＯＮ
状態であるから、移動信号ｓ８はスイッチＳＷ３．ＳＷ
２を介して歪素子駆動回路２０に与えられる。

一方、加工中に加工電極５が下降しすぎて、間隙δが小
さ（なりすぎた場合、放電電流検出回路３２によって大
きな放電電流が検出される。放電電流検出信号Ｓ６が基
準値■□、よりも太き（なると、比較回路３４はＤＯＷ
Ｎ信号からＵＰ信号に切り替わる（第２図（ａ）参照）
、このＵＰ信号が歪素子駆動回路２０に与えられること
により、歪素子駆動回路２０は、加工電極５を上昇させ
るための駆動信号Ｓ９（第２図（Ｃ）の右図参照）を歪
素子７に出力する。これにより、加工電極５が上昇微動
され（第２図（ｄ）の右図参照）、間隙δが拡がる。比
較回路３４からＵＰ信号が出されると、この信号を人力
している加工量設定回路３５がＵＰカウントに切り換え
られ、移動信号Ｓ８をＵＰカウントする結果、加工電極
５が上昇した分だけ、加工量設定回路３５の計数値が補
正される０間隙δが最適値になると比較回路３４が再び
Ｄ　ＯＷ　Ｎ　（ｆ号に切り換えられ、上述と同様に放
電加工が進められる０以上のようにして、加工電極５と
被加工物Ｗの間隙δを最適値に維持しながら、放電加工
が進められる。

所要量の加工が施されて加工量設定回路３５がカウント
アツプすると、加工量設定回路３５から出力されるカウ
ントアツプ信号により、スイッチＳＷ３がＯＦＦ状態に
切り換えられて移動信号Ｓ８が遮断されることにより、
加工電極５の下降が停止されて、放電加工が終了する。

なお、本発明は、次のように変形実施することもできる
。

（１）第１図に示した実施例では、移動体３に摺動抵抗
を付与する手段としてスプリング４を使用したが、これ
は第４図に示すように、ガイド２と移動体３とをそれぞ
れ磁性材料で構成し、前記移動体３にコイル４１を巻回
した電磁石を構成して、移動体３とガイド２との間に電
磁力を作用させることにより、移動体３に摺動抵抗を付
与するようにしてもよい、、この実施例によれば、コイ
ル４１に流す電流を制御することにより、摺動抵抗の増
減を容易に実現することができる。移動体３を永久磁石
で構成することによって、移動体３に摺動抵抗を付与す
るようにしてもよい。

（２）第５図に示した実施例は、移動体３と慣性体８と
の間に電極送り用の歪素子７ａを介在させ、移動体３と
加工電極５との間に間隙調整用の歪素子７ｂを介在させ
ている。この実施例によれば、電極送り用の歪素子７ａ
を送り制御回路１０からの移動信号に基づき駆動し、加
工電極５の移動を速やかに行う一方、間隙調整用の歪素
子７ｂを放電加工制御回路３０からの移動信号に基づき
駆動することにより、加工電極５と被加工物Ｗとの間隙
を高速かつ精度よく制御することができる。加工電極５
の移動と、間隙の制御とはそれぞれ個別に行うことも、
両者を同時に行うことも可能である。

なお、歪素子７に駆動信号を与えて間隙を制御する場合
においては、加工電極５自体が慣性体として作用して移
動体３に衝撃力を与えることにより移動体３を動かし、
その結果として加工電極５が変位するようになっている
。もちろん、歪素子７ｂと加工電極５との間に、別の慣
性体を設けるようにしてもよい。

（３）第６図は、本発明に係る電気加工装置をロボット
ハンドに取り付けた適用例を示している。

即ち、本発明によれば、送り機構１を小型かつ軽量に構
成することができるから、送り機構１を口゛ボットハン
ド４２に取り付けるができる。このような加工装置によ
れば、被加工物Ｗの上面のみならず傾斜した任意の面に
も所望の穴加工を施すことができるので、加工効率を著
しく向上することができる。

（４）第７図は、複数個の送り機構１を支持台４３に取
り付けた加工装置を示している。各送り機構１は、それ
ぞれ小型に形成することができるので密接した状態を配
置され、しかも、各送り機構ｌは、独立して駆動するこ
とができるので、従来装置のように一体形成された加工
電極で複数個所の穴加工を施していた装置に比較して、
各穴加工の精度を向上させることができる。

（５）第８図は、本発明を電解加工装置に適用した例を
示している。

この電解加工装置は、移動体３、歪素子７、慣性体８よ
りなる送り機構が中空状に形成されている。ポンプ４５
から供給された電解液４６は前記中空内を流れて、慣性
体８の下端に取り付けられた絶縁体４４の先端部から噴
出し、この噴流に電流を流すことにより穴加工を施して
いる。上述の実施例で説明したと同様に、歪素子７に駆
動信号を与えることにより、絶縁体４４が微小ピッチで
駆動されるので、高精度の加工を施すことができる。

（６）第９図は、その他の応用例を示している。

この応用例は、送り機構１はパルスモータ４５を利用し
たサーボ系で構成され、加工電極５と被加工物Ｗとの間
隙を制御するために歪素子７が使用されている。即ち、
加工電極５を昇降させるためのパルスモータ５０の回転
量がロータリエンコーダ５１で検出され、この検出信号
が差分回路５２に帰還される。差分回路５２は、前記検
出信号と位置指令信号との差分出力を、電圧−周波数変
換回路５３に与える。この電圧−周波数変換回路５３の
出力信号がモータ駆動回路５４を介してパルスモータ５
０に与えられることにより、加工電極５が指定位置に送
られるようになっている。

一方、間隙制御系は、第１図で説明したと同様の放電加
工制御回路３０と歪素子駆動回路２０とを含み、加工電
極５は歪素子７を介して移動体に連結されている。移動
体３は、スプリング４によって摺動抵抗が付与されてい
る。この応用例によれば、歪素子７の伸縮駆動により加
工電極５自体が慣性体として作用して移動体３に衝撃力
を与えることにより、移動体３が移動し、これに伴って
加工電極５も変位する。このような応用例によっても、
加工電極５と被加工物Ｗとの間隙が高精度に制御できる
ので、加工精度が向上するという効果を得ることができ
る。なお、このような応用例においても、第１図の実施
例と同様に慣性体を個別に設けた構成にしてもよい。

［発明の効果］以上の説明から明らかなように、請求項（１）に記載の
第１の発明によれば、歪素子を伸縮駆動した際の慣性体
の衝撃力を利用して移動体を変位させることにより、こ
の移動体に関連して設けられた加工電極を微小駆動する
ように構成しているから、パルスモータや油圧シリンダ
などのサーボ系を利用した従来装置に比較して、加工電
極の送り機構の小型化、および軽量化を図ることができ
る。したがって、本発明によれば、加工電極の送り機構
をロボットハンドなどに取り付けて自在に移動させるこ
とが容易になり、その結果、大型の被加工物への加工や
、被加工物の任意面への加工、さらには小さなスペース
内の加工などを容易に行うことができる。

また、第２の発明によれば、加工電極と被加工物との間
隙に応じて歪素子が高速に駆動されて、前記間隙を最適
な距離に速やかに設定することができる。したがって、
本発明によれば、放電電流が比較的に大きな状態であっ
ても前記間隙が最適な状態に維持されるから、加工能率
の向上とともに、加工精度の向上も図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例に係る放電加工
装置の説明図であり、第１図はその概略構成を示したブ
ロック図、第２図は動作波形図、第３図は送り機構の動
作説明図である。第４図は移動体へ摺動抵抗を付与する
手段の変形例の説明図、第５図は二個の歪素子を使用し
た変形例の説明図、第６図は送り機構をロボットハンド
に取り付けた加工装置の説明図、第７図は複数の送り機
構を備えた加工装置の説明図、第８図は本発明のその他
の実施例である電解加工装置の説明図、第９図は本発明
の詳細な説明図である。１・・・送り機構　　　　２・・・ガイド３・・・移動
体　　　　　４・・・スプリング５・・・加工電極　　
　　６・・・ロンドア、７ａ、７ｂ・・・歪素子８・・・慣性体　　　　　９・・・差動トランスｌＯ・
・・送り制御回路　　１１・・・差分回路１２・・・電
圧−周波数変換回路１３・・・移動方向指定回路２０・・・歪素子駆動回路３０・・・放電加工制御回路３１・・・電源回路３２・・・放電電流検出回路３３・・・電圧−周波数変換回路３４・・・比較回路３５・・・加工量設定回路４１・・・コイル４２・・・ロボットハンド４３・・・支持台Ｗ・・・被加工物ＳＷｌ、ＳＷ２．ＳＷ３・・・スイッチＳｔ・・・位置
検出信号Ｓ２・・・位置指令信号Ｓ３・・・偏差３４、Ｓ８・・・移動信号Ｓ５．３７・・・ＵＰ／ＤＯＷＮ信号Ｓ９・・・駆動信号 ■□、・・・間隙設定用の基準値 δ・・・間隙

Claims

【特許請求の範囲】

（１）加工電極と被加工物とを間隙を隔てて対向させた
状態で被加工物の加工を行う電気加工装置において、摺動抵抗が付与された状態で摺動自在に支持された移動
体と、前記移動体に対して、歪素子を介在して連結され
た慣性体とを含む加工電極送り機構を備え、前記歪素子
を伸縮駆動した際の前記慣性体の衝撃力で移動体を変位
させることにより、前記移動体に関連して設けられた加
工電極を移動させるようにしたことを特徴とする電気加
工装置。
（２）請求項（１）に記載の電気加工装置において、加
工電極と被加工物との間の間隙の大きさを検出する間隙
検出手段と、前記間隙検出手段からの検出信号に基づき、前記間隙を
一定に維持するように歪素子を駆動制御する間隙制御手
段と、を備えた電気加工装置。