JPH038439U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示すウエーハ立
替機の原理図、第２図ａ〜第２図ｄは、その回転
式ガイドバーのテーパ溝を示すガイドバー側面図
、第３図は、ウエーハ収納器の一具体例を示すギ
ヤリアの斜視図、第４図〜第７図は、従来のウエ
ーハ立替機の一具体例とその動作例を説明する概
略正面図、第８図は、従来のウエーハ立替機の他
の例を示す概略正面図、第９図は第４図〜第８図
に示したウエーハ立替機の把持部の内面より見た
正面図、第１０図は、その従来のウエーハ立替え
時の移し替え失敗を示す模式図である。 ７……ウエーハ、９……把持部、９ａ，９ｂ…
…側板、９ｃ……保持溝、２０ａ，２０ｂ……ガ
イドバー、２４ａ_１，…，２４ａ_４，２４ｂ_１，
…２４ｂ_４……テーパ溝、２５ａ，２５ｂ……係
止部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 一対の側板を対向・配置した把持部と、 上記側板内面に、半導体ウエーハの厚さに略等
   しい幅で一定数刻設されるウエーハ保持溝と、 上記各側板間に出入し、上記ウエーハ保持溝に
   半導体ウエーハを収納又は解放する一組の係止部
   と、 回転自在な多面体側面に形成され、上記ウエー
   ハ保持溝と同じ間隔で対応し、かつ、各側面毎に
   異なるテーパ幅状溝が形成されている回転式ガイ
   ドバーとを具備したことを特徴とするウエーハ立
   替機。