JPH038637U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH038637U JPH038637U JP6869089U JP6869089U JPH038637U JP H038637 U JPH038637 U JP H038637U JP 6869089 U JP6869089 U JP 6869089U JP 6869089 U JP6869089 U JP 6869089U JP H038637 U JPH038637 U JP H038637U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resistor
- flow rate
- hot wire
- intake passage
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Electrical Control Of Air Or Fuel Supplied To Internal-Combustion Engine (AREA)
Description
第１図および第２図は本考案の実施例を示し、
第１図は基板上に積層化した抵抗等を示す平面図
、第２図は第１図中の矢示−方向拡大断面図
、第３図は従来技術を示す熱線式流量計の回路図
である。 １……感熱素子（熱線抵抗）、２……温度補償
抵抗、９……差動増幅器、１０……パワートラン
ジスタ、１１……バツテリ（電源）、２１……基
板、２２……基準抵抗、２３……絶縁層、２４…
…流量調整抵抗、２５……保護層。
第１図は基板上に積層化した抵抗等を示す平面図
、第２図は第１図中の矢示−方向拡大断面図
、第３図は従来技術を示す熱線式流量計の回路図
である。 １……感熱素子（熱線抵抗）、２……温度補償
抵抗、９……差動増幅器、１０……パワートラン
ジスタ、１１……バツテリ（電源）、２１……基
板、２２……基準抵抗、２３……絶縁層、２４…
…流量調整抵抗、２５……保護層。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) エンジンの吸気通路内には該吸気通路内を
流れる吸入空気によつて冷却される熱線抵抗と温
度補償抵抗とを配設し、前記吸気通路外には基準
抵抗と流量調整抵抗とを配設し、電源とアースと
の間には前記熱線抵抗、基準抵抗からなる直列回
路と前記温度補償抵抗、流量調整抵抗からなる直
列回路とを並列に接続して、ブリツジ回路を構成
してなる熱線式流量計において、前記基準抵抗と
流量調整抵抗とは、その間に薄い絶縁層を挟んで
対面するように絶縁性の基板に配設し、該基準抵
抗と流量調整抵抗との温度を均一化する構成とし
たことを特徴とする熱線式流量計。 (2) 前記基準抵抗と流量調整抵抗とは同一の抵
抗体材料を用いて形成し、前記基板上に積層化し
て配設してなる実用新案登録請求の範囲(1)項記
載の熱線式流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6869089U JPH0641133Y2 (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 熱線式流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6869089U JPH0641133Y2 (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 熱線式流量計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038637U true JPH038637U (ja) | 1991-01-28 |
| JPH0641133Y2 JPH0641133Y2 (ja) | 1994-10-26 |
Family
ID=31603341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6869089U Expired - Lifetime JPH0641133Y2 (ja) | 1989-06-13 | 1989-06-13 | 熱線式流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0641133Y2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53135041U (ja) * | 1977-03-30 | 1978-10-25 | ||
| JPS5549959U (ja) * | 1978-09-28 | 1980-04-01 | ||
| JPS5676482U (ja) * | 1979-11-15 | 1981-06-22 | ||
| JPH08203832A (ja) * | 1993-12-30 | 1996-08-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
-
1989
- 1989-06-13 JP JP6869089U patent/JPH0641133Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53135041U (ja) * | 1977-03-30 | 1978-10-25 | ||
| JPS5549959U (ja) * | 1978-09-28 | 1980-04-01 | ||
| JPS5676482U (ja) * | 1979-11-15 | 1981-06-22 | ||
| JPH08203832A (ja) * | 1993-12-30 | 1996-08-09 | Tokyo Electron Ltd | 半導体製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0641133Y2 (ja) | 1994-10-26 |
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