JPH0386429A

JPH0386429A - 放電加工用電極

Info

Publication number: JPH0386429A
Application number: JP1221983A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Mizutani; 武水谷; Katsutoshi Yonemochi; 米持　勝利; Akiyoshi Shibuya; 澁谷　明美; Nobuhiko Sakurai; 桜井　信彦
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-08-29
Filing date: 1989-08-29
Publication date: 1991-04-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】産業上の利用分野本発明は、インクジェットプリンタ用ノズル、電子銃ア
パーチャ、流体ノズル等、特に加工ワークの円形の外周
壁、若しくは円形の外周凹入部の外周壁との同心を必要
とする直径１００ミクロン以下の微細穴を放電加工する
ために用いる放電加工用電極に関するものである。

従来の技術従来、微細穴を加工するには、マイクロドリル加工、レ
ーザ加工、電子ビーム加工、放電加工、ケミカルエツチ
ング等が用いられてきたが、いずれの加工法にかいても
、加工精度、加工の作業性および再現性など、種々の課
題があった。

しかし、最近では、単発当りの放電エネルギーを微細化
した微細放電加工専用機が実用化され、直径数十ミクロ
ンの大きさからの微細穴や軸の放電加工が行なわれるよ
うになってきた（ナショナル　テクニカル　レポート　
Ｖｏｌ、３１　　Ｎ。

５　　ｐｐ１０５）。

以下、第６図を参照しながら従来の微細穴放電加工用電
極およびこの電極を用いた微細穴の放電加工法について
説明する。第６図にかいて、１０１は微細穴放電加工用
電極であり、先端の電極部が加工穴径に対応した外径を
有する棒状に形成されている。１０２は円板状の加工ワ
ーク、１０３はＶ字状に形成され、加工ワーク１０２を
位置決め状態に保持する位置決め治具、１０４は電極１
０１と加工ワーク１０２との間に放電を生じさせる放電
回路であり、電源１０５とコンデンサ１０６と抵抗１０
７とから構成されている。

そして、壕ず、加工ワーク１０２を縁結液（図示せず）
に浸漬させ、位置決め治具１０３により所定の場所に位
置決め状態に保持する。次に、電源１０５を動作状態に
し、電極１０１を回転手段および駆動手段（共に図示せ
ず）により回転させながら矢印２方向に送り込むことに
より、電極１０１によう加工ワーク１０２に微細穴を放
電加工することができる。

発明が解決しようとする課題上記のような従来の微細穴放電加工方式により加工ワー
ク１０２にその円形の外周壁１０８に対して同心度が必
要な微細穴を放電加工するには、試し加工を行い、加工
ワーク１０２の位置を所定精度になる壕で何回か繰返し
て補正する必要がある。しかし、このような試し加工で
は、加工ワーク１０２が不良となる無駄が発生し、捷た
、加工ワーク１０２の外形寸法のバラツキにより微細穴
の同心度が異なり、精度の確保が困難であるなどの課題
があった。

本発明は、上記のような従来の課題を解決するもので、
同心に配置された中心の微細棒状電極部と外周のパイプ
状電極部により微細穴と、円形の外周壁、若しくは円形
の外周凹入部の外周壁を同じ位置で放電加工することに
より外周壁に対する同心精度が高い微細穴を簡単に加工
することができるようにした放電加工用電極を提供する
ことを目的とするものである。

課題を解決するための手段本発明は、上記目的を達成するために、導電材製のパイ
プ状電極部訃よび微細棒状電極部を備え、上記パイプ状
電極部の中心に上記微細棒状電極部を同心に配置したも
のである。

また、上記パイプ状電極部と上記微細棒状電極部を軸方
向に個別に摺動可能となるように組み合わせたものであ
る。

そして、上記パイプ状電極部をパイプ状部材により形成
し、このパイプ状部材は上記パイプ状電極部の後方内側
に小径の案内穴を有し、この小径の案内穴に微細棒状電
極部の後側部を摺動可能に支持し、または、上記パイプ
状電極部をパイプ状部材により形成し、このパイプ状部
材に釦ける上記パイプ状電極部の後方内側にガイドを固
定し、このガイドの中心の案内穴に微細棒状電極部の後
側部を摺動可能に支持することができる。

作　　　　用したがって、本発明によれば、同心に配置されている微
細棒状電極部とパイプ状電極部により加工素材に微細穴
と、円形の外周壁、若しくは円形の外周凹入部の外周壁
を同じ位置で放電加工することができるので、外周壁に
対する同心精度の良い微細穴の放電加工を行なうことが
できる。

実施例以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。

渣ず、本発明の第１の実施例について説明する。

第１図（ａ）、（ｂ）は本発明の第１の実施例に釦ける
放電加工用電極を示し、第１図（ａｔは先端部の断面図
、第１図（ｂ）は先端部の斜視図である。

第１図（ａ）、（ｂｌに示すように、放電加工用電極１
は導電材製のパイプ状部材２と微細棒状部材３により組
み合わされて構成されている。パイプ状部材２は先端部
に大径の穴４が形成され、その後方内側の中心に小径の
案内穴５が形成されている○この案内穴５に棒状部材３
が摺動可能に、かつ回転可能に挿通され、先端部にパイ
プ状（リング状）電極部６と微細棒状電極部７が形成さ
れている０すなわち、パイプ状電極部６の中心位置に微
細棒状電極７が同心に配置され、互いに軸方向に単独で
摺動可能に支持されている。パイプ状電極部６の穴４の
径と微細棒状電極部７の外径はいずれも加工ワーク１０
ａの円形の外周壁１６と同心の微細穴１５（第４図（ａ
ｔ、（ｂｌ参照）の完成形状寸法に合わせて形成されて
いる。この放電加工用電極工のパイプ状部材２と微細棒
状部材３、すなわち、パイプ状電極部６と微細棒状電極
部７が回転手段８により回転され、駆動手段９により垂
直方向（矢印Ｚ方向）に駆動される（第２図（ａｌ参照
）。

以上の構成の放電加工用電極１を用いた放電加工動作に
ついて、第２図（ａｔないしくｄｌに示す放電加工動作
説明用断面図を参照しながら説明する。

まず、加工素材１０を絶縁液（図示せず）に浸漬させ、
第２図（ａｌに示すように、パイプ状電極部６および微
細棒状電極部７と、加工素材１０とに電源１１、コンデ
ンサ１２、抵抗１３からなり、放電エネルギーを供給す
る放電回動１４を接続する。そして、電源１１を動作状
態にし、パイプ状電極部６および微細棒状電極部７を回
転手段８によシ回転状態とし、第２図（ｂｌ、（ｃｌに
示すように、微細棒状電極部７を駆動制御手段９により
矢印Ｚ方向へ送り込み、加工素材１０に微細穴１５の放
電加工を行なう。微細穴１５の放電加工が終了した時点
で、第２図（ｄｌに示すように、パイプ状電極部６を駆
動制御手段９により矢印Ｚ方向に送シ込み、加工素材１
０に円形の外周壁１６の放電加工を行なう。

以上の動作により第４図（ａｔ、（ｂｌに示すように、
円形の外周壁１６の中心に同心で、微細穴１５を有する
円板状の加工ワーク１０ａの放電加工を完成することが
できる。

このように、微細穴１５と円形の外周壁工６を同一軸心
の微細棒状電極部７とパイプ状電極部６により同じ位置
で放電加工するので、円形の外周壁１６に対する同心精
度の良好な微細穴１５の放電加工を容易に行なうことが
できる。

次に本発明の第２の実施例について説明する。

第３図は本発明の第２の実施例に釦ける放電加工用電極
を示す先端部の断面図である。

本実施例に３いては、第３図に示すように、パイプ状部
材２の内径がほぼ全長に渡って均一に形成され、パイプ
状電極部６の後方内側にガイド１７が挿入されて固定さ
れ、このガイド１７の中心の案内穴１８に微細棒状部材
３が摺動可能に支持されている。このガイド１７は金属
等の導電材、セラ□ツク等の非導電材のいずれでも良い
が、微細棒状部材３との潤滑性の良い材質を用いる必要
がある。その他の構成は上記第１の実施例と同様である
。

本実施例においても、第２図（ａｌないしくａｌおよび
第４図（ａｌ、（ｂｌに示すように、微細穴１５と円形
の外周壁１６を同一軸心の微細棒状電極部７とパイプ状
電極部６により同心で精度良く、かつ簡単に放電加工す
ることができる。

次に本発明による他の加工例につ−て第５図（ａ）、（
ｂｌを参照しながら説明する。

第５図（ａ）、（ｂｌに示すように、円形の凹入部１９
の中心に微細穴１５を加工する加工ワーク１０ｂの場合
には、微細棒状電極部７により加工素材１０に微細穴１
５の放電加工を行ない、パイプ状電極部６の第２図（ｃ
ｌ、（ｄｌにかける２方向を所定位置にコントロールす
ることによシ、環状の凹入部１９の放電加工を行ない、
環状の凹入部１９の外周壁２０．２１に対する同心精度
の良好な微細穴１５の放電加工を行なうことができる。

勿論、第５図（ａｔ、ｆｂｌに示す加工例では、上記第
１、第２の実施例に３けるパイプ状電極部６の内径を小
さくしてパイプ状電極部６を肉厚に形成する必要がある
。

な訃、上記各実施例では、微細棒状電極部７で先に微細
穴１５を放電加工し、その後、パイプ状電極部６で外周
壁１６、若しくは２０，２１を放電加工するようにして
いるが、微細棒状電極部７とパイプ状電極部６を２方向
に同時に送込んで加工を行なってもよい。筐た、棒状微
細電極部７とパイプ状微細電極部６は一体であっても良
い。

発明の効果以上要するに本発明によれば、同心に配置されている微
細棒状電極部とパイプ状電極部により加工素材に微細穴
と円形の外周壁、若しくは円形の外周凹入部の外周壁を
同じ位置で放電加工することができるので、外周壁に対
する同心精度の良い微細穴を簡単に放電加工することが
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａｔ、（ｂｌは本発明の第１の実施例にふ・け
る放電加工用電極を示し、同図（ａｌは先端部の断面図
、同図（ｂｌは先端部の斜視図、第２図（ａｔないしく
ｄｌは上記実施例による放電加工動作説明用の断面図、
第３図は本発明の第２の実施例にかける放電加工用電極
を示す先端部の断面図、第４図（ａｌ、（ｂｌは本発明
の放電加工用電極による加工の一例を示し、同図（ａｔ
は斜視図、同図（ｂｌは断面図、第５図（ａ）、（ｂ）
は本発明の放電加工用電極による加工の他の例を示し、
同図（ａｔは斜視図、同図（ｂｌは断面図である。第６
図は従来の微細穴放電加工用電極と加工法を示す斜視図
である。１・・・放電加工用電極、２・・・パイプ状部材、３・
・・微細棒状部材、５・・・案内状、６・・・パイプ状
電極部、７・・・微細棒状電極部、１０・・・加工素材
、１０ａ。１０ｂ加エワーク、１５・・・微細穴、１６・・・外周
壁、７・・・ガイド、８・・・案内穴、９・・・凹入部、２０゜１・・・外周壁。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）導電材製のパイプ状電極部および微細棒状電極部
を備え、上記パイプ状電極部の中心に上記微細棒状電極
部が同心に配置された放電加工用電極。
（２）パイプ状電極部と微細棒状電極部が軸方向に個別
に摺動可能となるように組み合わされた請求項１記載の
放電加工用電極。
（３）パイプ状電極部がパイプ状部材により形成され、
このパイプ状部材は上記パイプ状電極部の後方内側に小
径の案内穴を有し、この小径の案内穴に微細棒状電極部
の後側部が摺動可能に支持された請求項２起載の放電加
工用電極。
（４）パイプ状電極部がパイプ状部材により形成され、
このパイプ状部材における上記パイプ状電極部の後方内
側にガイドが固定され、このガイドの中心の案内穴に微
細棒状電極部の後側部が摺動可能に支持された請求項２
記載の放電加工用電極。