JPH0386579A - アライメントマークの取り込み方法 - Google Patents
アライメントマークの取り込み方法Info
- Publication number
- JPH0386579A JPH0386579A JP1224068A JP22406889A JPH0386579A JP H0386579 A JPH0386579 A JP H0386579A JP 1224068 A JP1224068 A JP 1224068A JP 22406889 A JP22406889 A JP 22406889A JP H0386579 A JPH0386579 A JP H0386579A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- alignment mark
- transparent substrate
- printing
- reflective surface
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Printing Methods (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は印刷工程等に於けるアライメントマークの取り
込み方法に関する。
込み方法に関する。
液晶カラーデイスプレー等に使用されるカラーフィルタ
ーは、ガラス等からなる透明基板の上に、赤、緑、青の
所！ｗＲＧＢ三原色からなる精細パターンをミクロンオ
ーダーの細い画線を繰り返し連続形成して製造されるこ
とが多い。画線を形成する手段としては、凹版若しくは
凹版オフセット印刷法が高精度であることと、コスト面
から多用されているが、赤、緑、青とインキを取り替え
て印刷する際にはそれぞれ所定寸法（例えば１００ ｎ
）だけ精確に位置をずらして印刷する必要がある。この
ため、刷版と基板の双方に所謂位置合わせのためのアラ
イメントマークを適宜の手段によって形成しておき、双
方のアライメントマークの位置関係を観察して位置合わ
せすることが行われている。
ーは、ガラス等からなる透明基板の上に、赤、緑、青の
所！ｗＲＧＢ三原色からなる精細パターンをミクロンオ
ーダーの細い画線を繰り返し連続形成して製造されるこ
とが多い。画線を形成する手段としては、凹版若しくは
凹版オフセット印刷法が高精度であることと、コスト面
から多用されているが、赤、緑、青とインキを取り替え
て印刷する際にはそれぞれ所定寸法（例えば１００ ｎ
）だけ精確に位置をずらして印刷する必要がある。この
ため、刷版と基板の双方に所謂位置合わせのためのアラ
イメントマークを適宜の手段によって形成しておき、双
方のアライメントマークの位置関係を観察して位置合わ
せすることが行われている。
透明なガラス基板上に反射効率の高い金属クロム等によ
って、例えば十字形等のアライメントマークを形成して
おき、上方からＣＣＤカメラ等で観察すると、アライメ
ントマークの部分からは他の部位より格段に強い光が反
射して来るため容易にアライメントマークの存在を確認
することが出来る。しかし、金属クロム等によるアライ
メントマークを予め基板上に形成しておくのは、蒸着工
程とエツチング工程が余分に必要となるため、特に高い
精密性が要求されるものにしか製造コストの点から適用
することが出来ないと云う問題点がある。これに対し、
多段階印刷の最初の印刷時にアライメントマークを同時
印刷しておき、次の印刷ではこのアライメントマークか
ら所定方向に所定距離だけ基板を移動して印刷する方法
も実施されている。しかし、この場合にはアライメント
マークの印刷面と、透明な基板表面との反射率の差が金
属クロムの様には大きくないため、アライメントマーク
の境界部を鮮明に認識することが困難であり、従って精
確な位置合わせが要求される精密印刷には適用し難いと
云う問題点があった。
って、例えば十字形等のアライメントマークを形成して
おき、上方からＣＣＤカメラ等で観察すると、アライメ
ントマークの部分からは他の部位より格段に強い光が反
射して来るため容易にアライメントマークの存在を確認
することが出来る。しかし、金属クロム等によるアライ
メントマークを予め基板上に形成しておくのは、蒸着工
程とエツチング工程が余分に必要となるため、特に高い
精密性が要求されるものにしか製造コストの点から適用
することが出来ないと云う問題点がある。これに対し、
多段階印刷の最初の印刷時にアライメントマークを同時
印刷しておき、次の印刷ではこのアライメントマークか
ら所定方向に所定距離だけ基板を移動して印刷する方法
も実施されている。しかし、この場合にはアライメント
マークの印刷面と、透明な基板表面との反射率の差が金
属クロムの様には大きくないため、アライメントマーク
の境界部を鮮明に認識することが困難であり、従って精
確な位置合わせが要求される精密印刷には適用し難いと
云う問題点があった。
本発明は上記した従来技術の課題を解決するためになさ
れたもので、アライメントマークを透明基板上に形成し
、該透明基板のアライメントマーク下方に反射面を設け
、該反射面からの反射光をＣＣＤカメラにより観察する
ことを特徴とするアライメントマークの取り込み方法で
ある。
れたもので、アライメントマークを透明基板上に形成し
、該透明基板のアライメントマーク下方に反射面を設け
、該反射面からの反射光をＣＣＤカメラにより観察する
ことを特徴とするアライメントマークの取り込み方法で
ある。
本発明によれば、アライメントマークの下方にには反射
面が設けられており、該反射面からは周囲に比べて格段
に強い光が反射されるので、ＣＣＤカメラはアライメン
トマークを鮮明に認識することが出来る。
面が設けられており、該反射面からは周囲に比べて格段
に強い光が反射されるので、ＣＣＤカメラはアライメン
トマークを鮮明に認識することが出来る。
次に本発明を図示の一実施例に基づいて詳細に説明する
。 図中１はＲＧＢ三原色の精細パターンを印刷形成するた
めのガラス製の透明基板であり、定盤２の上に適宜の手
段（例えば裏面より真空吸引）によって固定されている
。透゛明基板１の上方には２台のＣＣＤカメラ３がアラ
イメントマーク４を観察可能に設置されている。透明基
板１の表面部には第１回目の印刷で既に１００μ諺幅の
赤色の画線５と２個のアライメントマーク４が同時に印
刷されている。精細パターンを形成する赤色の画線５は
この場合３００ｕ＋ピツチで平行に多数印刷されており
、アライメントマーク４はパターン形成域の外周部に十
字形にくり抜いた状態に赤色のインキ６で形成されてい
る。アライメントマーク４を臨む定盤２の上面は鏡面に
加工されて、上方からの光を良く反射する反射面２１と
なっている。 従って、２台のＣＣＤカメラ３それぞれの側から適度の
強さの光を対峙するアライメントマーク４に向けて発光
させると、赤色のインキ６が印刷された所では該インキ
６に吸収されたり、表面の凹凸部で乱反射して戻って来
る光が少ないために画像が暗くなるが、赤色のインキ６
が印刷されていない所謂アライメントマーク４の所では
、下方の反射面２１から強い光が反射して帰って来るの
で第３図に示す様にアライメントマーク４はその境界部
まで鮮明に認識される。従って、ＣＣＤカメラによる観
察画像を微小な画素に分解して解析すると、その精確な
位置を把握することが出来る。 隣接する２本の赤色の画線６同士の間はそれぞれ２００
ｎであり、この間に１００ｎ幅の緑色の画線と青色の画
線を重なり合つことも、離間することもなく順次印刷す
るためには、基板１が固定されている定盤２を精確に左
右何れかの方向に１００μｍづつ２度移動させなければ
ならないが、上記した様にＣＣＤカメラ３によって透明
基板１の左右に印刷形成されたアライメントマーク４を
観察すると、その位置が容易に精確に把握出来るので、
ステップパ一方式等の適宜の手段を用いて移動すれば、
所望の精細パターンを容易に印刷形成することが出来る
。 尚、透明基板１の下方に設ける反射面は、定盤２を鏡面
加工する他、金属クロム等を蒸着した後研摩しても良い
し、反射率に優れたアルミホイル等を挿設して形成する
ものであっても構わない。 アライメントマーク４の形状についても特に限定するも
のではないので、従来採用されている形状の中から適宜
選定すれば良いし、第４図に示す様に透明基板１にイン
キ６等で印刷形成したものであっても構わない。又、Ｃ
ＣＤカメラ３は透明基板１を水平方向に直線的に移動さ
せる場合には１台だけ設置しても良いが、透明基板１の
設置向きも問題となる場合には、水平面内での回転に対
応すべく少なくとも２台設置する必要がある。
。 図中１はＲＧＢ三原色の精細パターンを印刷形成するた
めのガラス製の透明基板であり、定盤２の上に適宜の手
段（例えば裏面より真空吸引）によって固定されている
。透゛明基板１の上方には２台のＣＣＤカメラ３がアラ
イメントマーク４を観察可能に設置されている。透明基
板１の表面部には第１回目の印刷で既に１００μ諺幅の
赤色の画線５と２個のアライメントマーク４が同時に印
刷されている。精細パターンを形成する赤色の画線５は
この場合３００ｕ＋ピツチで平行に多数印刷されており
、アライメントマーク４はパターン形成域の外周部に十
字形にくり抜いた状態に赤色のインキ６で形成されてい
る。アライメントマーク４を臨む定盤２の上面は鏡面に
加工されて、上方からの光を良く反射する反射面２１と
なっている。 従って、２台のＣＣＤカメラ３それぞれの側から適度の
強さの光を対峙するアライメントマーク４に向けて発光
させると、赤色のインキ６が印刷された所では該インキ
６に吸収されたり、表面の凹凸部で乱反射して戻って来
る光が少ないために画像が暗くなるが、赤色のインキ６
が印刷されていない所謂アライメントマーク４の所では
、下方の反射面２１から強い光が反射して帰って来るの
で第３図に示す様にアライメントマーク４はその境界部
まで鮮明に認識される。従って、ＣＣＤカメラによる観
察画像を微小な画素に分解して解析すると、その精確な
位置を把握することが出来る。 隣接する２本の赤色の画線６同士の間はそれぞれ２００
ｎであり、この間に１００ｎ幅の緑色の画線と青色の画
線を重なり合つことも、離間することもなく順次印刷す
るためには、基板１が固定されている定盤２を精確に左
右何れかの方向に１００μｍづつ２度移動させなければ
ならないが、上記した様にＣＣＤカメラ３によって透明
基板１の左右に印刷形成されたアライメントマーク４を
観察すると、その位置が容易に精確に把握出来るので、
ステップパ一方式等の適宜の手段を用いて移動すれば、
所望の精細パターンを容易に印刷形成することが出来る
。 尚、透明基板１の下方に設ける反射面は、定盤２を鏡面
加工する他、金属クロム等を蒸着した後研摩しても良い
し、反射率に優れたアルミホイル等を挿設して形成する
ものであっても構わない。 アライメントマーク４の形状についても特に限定するも
のではないので、従来採用されている形状の中から適宜
選定すれば良いし、第４図に示す様に透明基板１にイン
キ６等で印刷形成したものであっても構わない。又、Ｃ
ＣＤカメラ３は透明基板１を水平方向に直線的に移動さ
せる場合には１台だけ設置しても良いが、透明基板１の
設置向きも問題となる場合には、水平面内での回転に対
応すべく少なくとも２台設置する必要がある。
以上説明した様に、本発明になるアライメントマークの
取り込み方法はアライメントマークを透明基板上に形成
し、該透明基板のアライメントマーク下方に反射面を設
け、該反射面からの反射光をＣＣＤカメラにより観察す
る方法であるため、アライメントマークを強い反射光で
鮮明に端部まで認識することが出来る。従って、位置合
わせが容易にしかも精度良く行える様になったので、例
えば近年需要の急増している大型液晶デイスプレーに対
応可能なカラーフィルター等の製造に適用して実用的な
効果を奏するものである。
取り込み方法はアライメントマークを透明基板上に形成
し、該透明基板のアライメントマーク下方に反射面を設
け、該反射面からの反射光をＣＣＤカメラにより観察す
る方法であるため、アライメントマークを強い反射光で
鮮明に端部まで認識することが出来る。従って、位置合
わせが容易にしかも精度良く行える様になったので、例
えば近年需要の急増している大型液晶デイスプレーに対
応可能なカラーフィルター等の製造に適用して実用的な
効果を奏するものである。
第１図は一実施例の説明図、第２図はその要部の断面拡
大説明図、第３図はアライメントマークの観察画像の説
明図、第４図はアライメントマークの他の形成法を示す
説明図である。 ■・・・透明基板、 ２・・・定盤、 ２１・・・反射面、 ３・・・ＣＣＤカメラ、 ４・・・アライメントマーク、 ５・・・画線、 ６・・・インキ。
大説明図、第３図はアライメントマークの観察画像の説
明図、第４図はアライメントマークの他の形成法を示す
説明図である。 ■・・・透明基板、 ２・・・定盤、 ２１・・・反射面、 ３・・・ＣＣＤカメラ、 ４・・・アライメントマーク、 ５・・・画線、 ６・・・インキ。
Claims (1)
- アライメントマークを透明基板上に形成し、該透明基板
のアライメントマーク下方に反射面を設け、該反射面か
らの反射光をＣＣＤカメラにより観察することを特徴と
するアライメントマークの取り込み方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1224068A JPH0386579A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | アライメントマークの取り込み方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1224068A JPH0386579A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | アライメントマークの取り込み方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0386579A true JPH0386579A (ja) | 1991-04-11 |
Family
ID=16808066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1224068A Pending JPH0386579A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | アライメントマークの取り込み方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0386579A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5806424A (en) * | 1993-10-22 | 1998-09-15 | Elliot; Daniel J. | Apparatus and method for registering silk screens |
| US5847689A (en) * | 1993-10-22 | 1998-12-08 | Elliot; Daniel J. | Apparatus and method for registering silk screens |
| US6055908A (en) * | 1997-11-27 | 2000-05-02 | Av Flexologic B.V. | Method and device for positioning printing plates |
| JP2005254762A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Toppan Printing Co Ltd | 画像形成方法及び画像形成装置 |
| JP2012209465A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Toppan Printing Co Ltd | 電界効果トランジスタの製造方法及びそれに用いる製造装置 |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP1224068A patent/JPH0386579A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5806424A (en) * | 1993-10-22 | 1998-09-15 | Elliot; Daniel J. | Apparatus and method for registering silk screens |
| US5847689A (en) * | 1993-10-22 | 1998-12-08 | Elliot; Daniel J. | Apparatus and method for registering silk screens |
| US6055908A (en) * | 1997-11-27 | 2000-05-02 | Av Flexologic B.V. | Method and device for positioning printing plates |
| JP2005254762A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Toppan Printing Co Ltd | 画像形成方法及び画像形成装置 |
| JP2012209465A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Toppan Printing Co Ltd | 電界効果トランジスタの製造方法及びそれに用いる製造装置 |
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