JPH038702B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH038702B2 JPH038702B2 JP58052008A JP5200883A JPH038702B2 JP H038702 B2 JPH038702 B2 JP H038702B2 JP 58052008 A JP58052008 A JP 58052008A JP 5200883 A JP5200883 A JP 5200883A JP H038702 B2 JPH038702 B2 JP H038702B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- turbidity
- photodetector
- optical axis
- receiving surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、散乱光の強度を測定して被検液の濁
度を求める濁度計に関するものである。
度を求める濁度計に関するものである。
液体の濁度を測定する場合、液体の透過光の強
度を測定するように構成した濁度計、液体からの
散乱光の強度を測定するように構成した濁度計、
液体の透過光と液体からの散乱光の強度の比を測
定するように構成した濁度計又は液面からの散乱
光の強度を測定するように構成した濁度計等が従
来用いられていること周知の通りで、これらの濁
度計は、何れも例えば水道水の濁度又は排水の濁
度のように比較的高い濁度の場合には満足すべき
測定結果が得られるが、最近必要性が著しく増す
と共に重要視されるに到つている極めて低濁度の
測定、例えば半導体の製造工程に用いられる超純
水、逆浸透膜法による海水の淡水化過程における
水又はボイラー用純水のように濁度の極めて低い
液体の濁度測定に際しては、ppbオーダーの濁度
測定が要求されるため上記従来の各種濁度計では
十分に満足すべき測定結果を得ることは不可能で
ある。
度を測定するように構成した濁度計、液体からの
散乱光の強度を測定するように構成した濁度計、
液体の透過光と液体からの散乱光の強度の比を測
定するように構成した濁度計又は液面からの散乱
光の強度を測定するように構成した濁度計等が従
来用いられていること周知の通りで、これらの濁
度計は、何れも例えば水道水の濁度又は排水の濁
度のように比較的高い濁度の場合には満足すべき
測定結果が得られるが、最近必要性が著しく増す
と共に重要視されるに到つている極めて低濁度の
測定、例えば半導体の製造工程に用いられる超純
水、逆浸透膜法による海水の淡水化過程における
水又はボイラー用純水のように濁度の極めて低い
液体の濁度測定に際しては、ppbオーダーの濁度
測定が要求されるため上記従来の各種濁度計では
十分に満足すべき測定結果を得ることは不可能で
ある。
即ち、上記従来の各種濁度計を大別すると、光
路にセル窓を備えた濁度計とセル窓を備えない濁
度計の２種類に分けることが出来るが、セル窓は
使用中に汚れが付着し、入射光又は透過光がセル
窓を透過する際に汚れによつて望ましくない散乱
光を生じ、この散乱光が受光系に入つて迷光とな
り信号対雑音比を劣化せしめるため、被検液が前
記のように濁度の極めて低い液体の場合には測定
不能となる場合も生ずる。
路にセル窓を備えた濁度計とセル窓を備えない濁
度計の２種類に分けることが出来るが、セル窓は
使用中に汚れが付着し、入射光又は透過光がセル
窓を透過する際に汚れによつて望ましくない散乱
光を生じ、この散乱光が受光系に入つて迷光とな
り信号対雑音比を劣化せしめるため、被検液が前
記のように濁度の極めて低い液体の場合には測定
不能となる場合も生ずる。
セル窓を備えない濁度計においては、例えば液
槽の上縁から被検液をオーバーフローせしめる
か、適宜の高さから被検液を自由落下せしめる等
の手段によつて被検液に自由表面をもたせるよう
に構成しているが、被検液が自由表面を有するた
め空気中の濁質が被検液中に混入して測定誤差を
生ずるおそれが多く、又、濁度計以外の部分から
の迷光が混入して信号対雑音比を劣化せしめ、更
に被検液をオーバーフロー又は自由落下せしめる
には比較的多量の被検液を要し、被検液の量の制
御幅も狭いため、特に超純水のように液量に制約
のある場合の濁度測定には甚だ不適である。
槽の上縁から被検液をオーバーフローせしめる
か、適宜の高さから被検液を自由落下せしめる等
の手段によつて被検液に自由表面をもたせるよう
に構成しているが、被検液が自由表面を有するた
め空気中の濁質が被検液中に混入して測定誤差を
生ずるおそれが多く、又、濁度計以外の部分から
の迷光が混入して信号対雑音比を劣化せしめ、更
に被検液をオーバーフロー又は自由落下せしめる
には比較的多量の被検液を要し、被検液の量の制
御幅も狭いため、特に超純水のように液量に制約
のある場合の濁度測定には甚だ不適である。
又、比較的高い濁度範囲の測定に供する濁度計
の校正用標準液、例えば濁度零の標準液として
は、例えば活性炭フイルタでろ過して得られた液
体が被検液に対して十分透明であれば、この液体
を濁度零の標準液として利用可能であるが、上記
のように濁度の極めて低い超純水等の濁度測定に
おける標準液としては、この被検液よりも更に十
分濁度の低い液体を調製する必要があるが、この
ような液体の調製技術は極めて難しい技術とな
る。
の校正用標準液、例えば濁度零の標準液として
は、例えば活性炭フイルタでろ過して得られた液
体が被検液に対して十分透明であれば、この液体
を濁度零の標準液として利用可能であるが、上記
のように濁度の極めて低い超純水等の濁度測定に
おける標準液としては、この被検液よりも更に十
分濁度の低い液体を調製する必要があるが、この
ような液体の調製技術は極めて難しい技術とな
る。
本発明は、迷光の影響を受けることなく、濁度
の極めて低い場合でも正確な測定の行い得る濁度
計を実現することを目的とする。
の極めて低い場合でも正確な測定の行い得る濁度
計を実現することを目的とする。
第１図は、本発明の一実施例の要部を示す断面
概略図（第２図のＢ−Ｂ断面図）、第２図は、第
１図のＡ−Ａ断面概略図、第３図は、第２図のＣ
−Ｃ断面概略図で、各図において、１は有底筒型
の測定槽で、側壁を透明体を以て形成し、図には
示していないが側壁上部又は上底壁に被検液の流
入管を接続し、側壁下部又は下底壁に流出管を接
続して測定槽１内に被検液を連続的に流入流出せ
しめるか、流入管及び流出管を開閉して被検液を
測定槽１内に断続的に流入流出せしめるように構
成してある。図には測定槽１の横断面の形状を円
形ならしめた場合を例示してあるが、方形等任意
形状に形成して差支えなく、又、測定槽１の側壁
全体を透明体を以て形成する代りに不透明体を以
て形成し、後述する入射光及び散乱光の各光路に
対応する側壁個所にセル窓を設けるようにしても
よい。２は光源で、例えばレーザー光源より成
る。３は可動反射鏡で、例えば電動機及びカム装
置等より成る駆動源（図示していない）により反
射角度が一定微小範囲内において周期的に変化す
るように駆動せしめられる。４は集光レンズで、
その光軸を可動反射鏡３の反射光の変化光軸の中
心位置にほぼ一致せしめてある。５もまた集光レ
ンズで、その光軸を測定槽１内に入射する光束の
光軸に対してほぼ直角となるように設けてある。
６は光検出器で、例えば光電変換器より成り、そ
の受像面を集光レンズ５の結像面にほぼ一致せし
めてある。
概略図（第２図のＢ−Ｂ断面図）、第２図は、第
１図のＡ−Ａ断面概略図、第３図は、第２図のＣ
−Ｃ断面概略図で、各図において、１は有底筒型
の測定槽で、側壁を透明体を以て形成し、図には
示していないが側壁上部又は上底壁に被検液の流
入管を接続し、側壁下部又は下底壁に流出管を接
続して測定槽１内に被検液を連続的に流入流出せ
しめるか、流入管及び流出管を開閉して被検液を
測定槽１内に断続的に流入流出せしめるように構
成してある。図には測定槽１の横断面の形状を円
形ならしめた場合を例示してあるが、方形等任意
形状に形成して差支えなく、又、測定槽１の側壁
全体を透明体を以て形成する代りに不透明体を以
て形成し、後述する入射光及び散乱光の各光路に
対応する側壁個所にセル窓を設けるようにしても
よい。２は光源で、例えばレーザー光源より成
る。３は可動反射鏡で、例えば電動機及びカム装
置等より成る駆動源（図示していない）により反
射角度が一定微小範囲内において周期的に変化す
るように駆動せしめられる。４は集光レンズで、
その光軸を可動反射鏡３の反射光の変化光軸の中
心位置にほぼ一致せしめてある。５もまた集光レ
ンズで、その光軸を測定槽１内に入射する光束の
光軸に対してほぼ直角となるように設けてある。
６は光検出器で、例えば光電変換器より成り、そ
の受像面を集光レンズ５の結像面にほぼ一致せし
めてある。
第４図は、光検出器の検出信号の処理回路の一
例を示すブロツク線図で、６は第２図及び第３図
に示した光検出器、７は前置増幅回路、８は交流
増幅回路、９は高域通過ろ波器、１０は整流回
路、１１は平滑回路、１２は出力端子である。
例を示すブロツク線図で、６は第２図及び第３図
に示した光検出器、７は前置増幅回路、８は交流
増幅回路、９は高域通過ろ波器、１０は整流回
路、１１は平滑回路、１２は出力端子である。
測定槽１内に被検液を連続的又は断続的に流入
流出せしめると共に、光源２からのレーザー光を
可動反射鏡３及び集光レンズ４を介して測定槽１
内の被検液中に入射せしめると、この入射光の光
軸は可動反射鏡３の反射角の周期的変化に応じて
第１図に示した光軸１３1と１３2の間で周期的に
平行移動し、被検液から発する散乱光の一部、即
ち入射光軸が平行移動的に位置変化する平面にほ
ぼ直角方向に散乱する光の中、第２図に向つて下
方に散乱する光は集光レンズ５を介して光検出器
６の受光面に入射するが、この光検出器６の受光
面に入射する散乱光の入射角は被検液への入射光
軸の平行移動的位置変化に応じて周期的に変化す
るので、この入射角の変化範囲に応じて光検出器
６の受光面積を適当に選ぶか、集光レンズ５と光
検出器６の間隔を適当ならしめることにより、第
３図示のように入射光軸が１３1及び１３2に一致
するか、１３1及び１３2に近づいた際に集光レン
ズ５を透過した散乱光が光検出器６の受光面から
完全に逸れて受光面に入射せず、入射光軸が１３
１と１３2の中間に在る場合における散乱光のみが
光検出器６の受光面に入射するように形成する
と、光検出器６の検出信号を前置増幅回路７（第
４図）で増幅した信号の波形は、第５図（横軸は
時間ｔ、縦軸は増幅信号の大きさS0）に示すよう
に、振幅が入射散乱光の光量（即ち被検液の濁
度）に対応すると共に、光源２の輝度に対応し、
周期が可動反射鏡３の反射角の変化周期に対応す
る交流成分と、入射迷光の光量変化に応じて比較
的緩やかに振幅の変動する成分との合成波形とな
るが、可動反射鏡３の反射角の変化周期を適当に
短かく選ぶと短時間内においては可動反射鏡３の
反射角の変化周期に対応する周期を有する交流成
分に対して迷光成分はほぼ直流信号とみなし得る
程度に振幅の変動周期が長いのが一般である。
流出せしめると共に、光源２からのレーザー光を
可動反射鏡３及び集光レンズ４を介して測定槽１
内の被検液中に入射せしめると、この入射光の光
軸は可動反射鏡３の反射角の周期的変化に応じて
第１図に示した光軸１３1と１３2の間で周期的に
平行移動し、被検液から発する散乱光の一部、即
ち入射光軸が平行移動的に位置変化する平面にほ
ぼ直角方向に散乱する光の中、第２図に向つて下
方に散乱する光は集光レンズ５を介して光検出器
６の受光面に入射するが、この光検出器６の受光
面に入射する散乱光の入射角は被検液への入射光
軸の平行移動的位置変化に応じて周期的に変化す
るので、この入射角の変化範囲に応じて光検出器
６の受光面積を適当に選ぶか、集光レンズ５と光
検出器６の間隔を適当ならしめることにより、第
３図示のように入射光軸が１３1及び１３2に一致
するか、１３1及び１３2に近づいた際に集光レン
ズ５を透過した散乱光が光検出器６の受光面から
完全に逸れて受光面に入射せず、入射光軸が１３
１と１３2の中間に在る場合における散乱光のみが
光検出器６の受光面に入射するように形成する
と、光検出器６の検出信号を前置増幅回路７（第
４図）で増幅した信号の波形は、第５図（横軸は
時間ｔ、縦軸は増幅信号の大きさS0）に示すよう
に、振幅が入射散乱光の光量（即ち被検液の濁
度）に対応すると共に、光源２の輝度に対応し、
周期が可動反射鏡３の反射角の変化周期に対応す
る交流成分と、入射迷光の光量変化に応じて比較
的緩やかに振幅の変動する成分との合成波形とな
るが、可動反射鏡３の反射角の変化周期を適当に
短かく選ぶと短時間内においては可動反射鏡３の
反射角の変化周期に対応する周期を有する交流成
分に対して迷光成分はほぼ直流信号とみなし得る
程度に振幅の変動周期が長いのが一般である。
前置増幅回路７の増幅出力信号は交流増幅回路
８を介して高域通過ろ波器９に加えられるが、そ
の遮断周波数を適当に選んでおけば、迷光に対応
する成分が遮断され、可動反射鏡３の反射角の変
化周期に対応する交流成分のみが取出されて整流
回路１０で整流され、平滑回路１１を介して出力
端子１２に送出される。
８を介して高域通過ろ波器９に加えられるが、そ
の遮断周波数を適当に選んでおけば、迷光に対応
する成分が遮断され、可動反射鏡３の反射角の変
化周期に対応する交流成分のみが取出されて整流
回路１０で整流され、平滑回路１１を介して出力
端子１２に送出される。
したがつて端子１２の出力信号の大きさから被
検液の濁度を求めることが出来る。又、端子１２
の出力信号には迷光に対応する成分が含まれてい
ないから濁度の低い場合でも良好な信号対雑音比
を以て測定を行うことが出来、更に被検液の濁度
が零であれば、端子１２の出力は零となるから濁
度零の標準液による零点較正は不要である。
検液の濁度を求めることが出来る。又、端子１２
の出力信号には迷光に対応する成分が含まれてい
ないから濁度の低い場合でも良好な信号対雑音比
を以て測定を行うことが出来、更に被検液の濁度
が零であれば、端子１２の出力は零となるから濁
度零の標準液による零点較正は不要である。
以上は可動反射鏡３の反射光を集光レンズ４を
介して被検液中に入射せしめ、その光軸を周期的
に平行移動せしめるように構成した場合を例示し
たが、集光レンズ４を省いて可動反射鏡３の反射
光を直接測定槽１内に入射せしめ、被検液中にお
ける入射光の光軸を周期的に放射状に変動せしめ
るように構成しても本発明を実施することが出来
る。
介して被検液中に入射せしめ、その光軸を周期的
に平行移動せしめるように構成した場合を例示し
たが、集光レンズ４を省いて可動反射鏡３の反射
光を直接測定槽１内に入射せしめ、被検液中にお
ける入射光の光軸を周期的に放射状に変動せしめ
るように構成しても本発明を実施することが出来
る。
第６図は、本発明の他の実施例の要部を示す断
面概略図（第７図のＢ−Ｂ断面図）、第７図は、
第６図のＡ−Ａ断面概略図、第８図は、第７図の
Ｃ−Ｃ断面概略図で、本実施例においては、光源
２からの光束を直接測定槽１内の被検液中に入射
せしめ、入射光軸の側方に散乱した光の一部を集
光レンズ５で集光し、集光レンズ５の結像面にほ
ぼ一致せしめて設けた可動反射鏡３′を介して光
検出器６に受光せしめると共に、前実施例と同様
の駆動源により可動反射鏡３′の反射角を周期的
に変化せしめ、光検出器６の受光面積に応じて可
動反射鏡３′の反射角の変化範囲を適当に選ぶか、
可動反射鏡３′と光検出器６の受光面との間隔を
適当に選ぶことにより、可動反射鏡３′の反射角
が一定角度以上に振れた際の反射光が光検出器６
の受光面から逸れて受光面に入射しないように構
成すると共に、光検出器６の検出信号を前実施例
と同様に処理することにより被検液の濁度を正確
に測定することが出来る。
面概略図（第７図のＢ−Ｂ断面図）、第７図は、
第６図のＡ−Ａ断面概略図、第８図は、第７図の
Ｃ−Ｃ断面概略図で、本実施例においては、光源
２からの光束を直接測定槽１内の被検液中に入射
せしめ、入射光軸の側方に散乱した光の一部を集
光レンズ５で集光し、集光レンズ５の結像面にほ
ぼ一致せしめて設けた可動反射鏡３′を介して光
検出器６に受光せしめると共に、前実施例と同様
の駆動源により可動反射鏡３′の反射角を周期的
に変化せしめ、光検出器６の受光面積に応じて可
動反射鏡３′の反射角の変化範囲を適当に選ぶか、
可動反射鏡３′と光検出器６の受光面との間隔を
適当に選ぶことにより、可動反射鏡３′の反射角
が一定角度以上に振れた際の反射光が光検出器６
の受光面から逸れて受光面に入射しないように構
成すると共に、光検出器６の検出信号を前実施例
と同様に処理することにより被検液の濁度を正確
に測定することが出来る。
以上何れの実施例においても可動反射鏡３又は
３′の反射角を周期的に変化せしめるように構成
したが、第１図ないし第３図に示した実施例にお
いては反射鏡３を固定して集光レンズ４の光軸を
周期的に変化せしめ、第６図ないし第８図に示し
た実施例においては反射鏡３′を固定して集光レ
ンズ５の光軸を周期的に変化せしめるように構成
しても本発明を実施することが出来、又、何れの
実施例においても被検液から発した散乱光の中、
入射光軸とほぼ直角方向の散乱光を光検出器６に
受光せしめるように構成したが、適当な角度範囲
ならば入射光軸に対して斜方向の散乱光を光検出
器６に受光せしめるように構成してもよく、更に
光源２としてレーザー光源を用いる代りに、輝度
の高い適当な光源の発する光を絞り及び集光レン
ズ等を用いて細い光束となし、これを被検液に入
射せしめるようにしても本発明を実施することが
出来る。
３′の反射角を周期的に変化せしめるように構成
したが、第１図ないし第３図に示した実施例にお
いては反射鏡３を固定して集光レンズ４の光軸を
周期的に変化せしめ、第６図ないし第８図に示し
た実施例においては反射鏡３′を固定して集光レ
ンズ５の光軸を周期的に変化せしめるように構成
しても本発明を実施することが出来、又、何れの
実施例においても被検液から発した散乱光の中、
入射光軸とほぼ直角方向の散乱光を光検出器６に
受光せしめるように構成したが、適当な角度範囲
ならば入射光軸に対して斜方向の散乱光を光検出
器６に受光せしめるように構成してもよく、更に
光源２としてレーザー光源を用いる代りに、輝度
の高い適当な光源の発する光を絞り及び集光レン
ズ等を用いて細い光束となし、これを被検液に入
射せしめるようにしても本発明を実施することが
出来る。
尚、以上何れの実施例においても光源２の輝度
を測定中一定に保つことは比較的容易であるが、
輝度の変動を避け得ないような場合には、第１
図、第２図、第６図及び第７図に点線を以て示す
ように被検液を透過した光のすべてを受光する補
償用光検出器１４を設け、例えば光検出器１４の
受光面を測定槽１の側壁に密着せしめると共に、
透過光のすべての受光に差支えない範囲で受光面
積を出来るだけ小ならしめる等の手段によつて迷
光の入射を防ぎ、光検出器１４の検出信号を適宜
増幅した後、第４図に示した平滑回路１１の平滑
出力との比を求めるように構成することにより光
源２における輝度の変動の影響を除くことが出来
る。
を測定中一定に保つことは比較的容易であるが、
輝度の変動を避け得ないような場合には、第１
図、第２図、第６図及び第７図に点線を以て示す
ように被検液を透過した光のすべてを受光する補
償用光検出器１４を設け、例えば光検出器１４の
受光面を測定槽１の側壁に密着せしめると共に、
透過光のすべての受光に差支えない範囲で受光面
積を出来るだけ小ならしめる等の手段によつて迷
光の入射を防ぎ、光検出器１４の検出信号を適宜
増幅した後、第４図に示した平滑回路１１の平滑
出力との比を求めるように構成することにより光
源２における輝度の変動の影響を除くことが出来
る。
以上の説明から明らかなように、本発明は被検
液に入射する光の光軸の側方へ散乱する光の量に
対応する振幅を有する交流信号を形成し、この交
流成分のみを取出して整流することにより迷光の
影響を除いて濁度の極めて低い場合においても正
確な濁度測定を行い得るもので、その効果甚だ大
である。
液に入射する光の光軸の側方へ散乱する光の量に
対応する振幅を有する交流信号を形成し、この交
流成分のみを取出して整流することにより迷光の
影響を除いて濁度の極めて低い場合においても正
確な濁度測定を行い得るもので、その効果甚だ大
である。
第１図ないし第３図は、本発明の一実施例を示
す図、第４図は、検出信号の処理回路の一例を示
す図、第５図は、作動説明のための波形図、第６
図ないし第８図は、本発明の他の実施例を示す図
で、１：測定槽、２：光源、３及び３′：可動反
射鏡、４及び５：集光レンズ、６及び１４：光検
出器、７：前置増幅回路、８：交流増幅回路、
９：高域通過ろ波器、１０：整流回路、１１：平
滑回路、１２：出力端子、１３1及び１３2：光軸
である。
す図、第４図は、検出信号の処理回路の一例を示
す図、第５図は、作動説明のための波形図、第６
図ないし第８図は、本発明の他の実施例を示す図
で、１：測定槽、２：光源、３及び３′：可動反
射鏡、４及び５：集光レンズ、６及び１４：光検
出器、７：前置増幅回路、８：交流増幅回路、
９：高域通過ろ波器、１０：整流回路、１１：平
滑回路、１２：出力端子、１３1及び１３2：光軸
である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 十分な光量を有し、近似的に細線とみなし得
る平行光束を被検液中に入射せしめると共に、こ
の入射光束の光軸位置を一定平面における微小範
囲内で周期的に変化せしめ、前記入射光束の光軸
の側方に散乱する光を集光して光検出器の受光面
に結像せしめると共に、前記被検液中への入射光
束の光軸位置変化に応じて前記光検出器の受光面
への結像を周期的に受光面から完全に逸脱せし
め、前記光検出器の検出信号の交流分から被検液
の濁度を求めるように構成したことを特徴とする
濁度計。 ２ 十分な光量を有し、近似的に細線とみなし得
る平行光束を被検液中に入射せしめ、この入射光
束の光軸の側方に散乱する光を集光して光検出器
の受光面に結像せしめると共に、前記集光された
散乱光の光軸を周期的に変化せしめて前記光検出
器の受光面への結像を周期的に受光面から完全に
逸脱せしめ、前記光検出器の検出信号の交流分か
ら被検液の濁度を求めるように構成したことを特
徴とする濁度計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200883A JPS59176652A (ja) | 1983-03-28 | 1983-03-28 | 濁度計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5200883A JPS59176652A (ja) | 1983-03-28 | 1983-03-28 | 濁度計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59176652A JPS59176652A (ja) | 1984-10-06 |
| JPH038702B2 true JPH038702B2 (ja) | 1991-02-06 |
Family
ID=12902788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5200883A Granted JPS59176652A (ja) | 1983-03-28 | 1983-03-28 | 濁度計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59176652A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2636962B1 (fr) * | 1988-09-28 | 1992-02-07 | Generale Sucriere Sa | Procede et dispositif de delevurage d'un vin |
| WO2018190627A1 (ko) * | 2017-04-11 | 2018-10-18 | 엘지이노텍(주) | 액체 렌즈 제어 회로 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50139779A (ja) * | 1974-04-25 | 1975-11-08 | ||
| JPS5713338A (en) * | 1980-06-27 | 1982-01-23 | Power Reactor & Nuclear Fuel Dev Corp | Measuring apparatus for concentration of sodium mist |
| JPS57134659U (ja) * | 1981-02-17 | 1982-08-21 |
-
1983
- 1983-03-28 JP JP5200883A patent/JPS59176652A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59176652A (ja) | 1984-10-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4402607A (en) | Automatic detector for microscopic dust on large-area, optically unpolished surfaces | |
| US4152070A (en) | Turbidimeter | |
| JPS63143830A (ja) | ヘイズ欠陥検出方法 | |
| JPH038702B2 (ja) | ||
| JPH08304050A (ja) | 磁気ディスクの磁気膜欠陥検査装置 | |
| US6522405B2 (en) | Method and apparatus for monitoring sub-micron particles | |
| US20190302027A1 (en) | Method and apparatus for determining solids content in a liquid medium | |
| US6844537B2 (en) | Method and device for measuring the velocity of a moving surface | |
| RU2235991C1 (ru) | Бесконтактный мутномер | |
| JPS63292039A (ja) | 液体中微粒子検出装置 | |
| JPH11344443A (ja) | ろ過水測定用高感度濁度計 | |
| US3706497A (en) | Method and apparatus for determining colorimetric concentrations | |
| JPH11326188A (ja) | 油膜検知装置 | |
| US3694087A (en) | Suspended particle light reflection measurement method and apparatus | |
| JPH0438279Y2 (ja) | ||
| RU2294997C1 (ru) | Оптико-электронная система для настройки и диагностики технического состояния бумагоделательных машин (варианты) | |
| JPH01277740A (ja) | 水中濁度計装置 | |
| JP3008850U (ja) | メンテナンスフリー濁度測定装置 | |
| RU2018116C1 (ru) | Способ определения показателя рассеяния света в жидких средах и устройство для его осуществления | |
| JPS62137542A (ja) | 粉体濃度測定装置 | |
| JPS62135750A (ja) | 浸漬形濁度計 | |
| SU462119A1 (ru) | Мутномер | |
| JP2565274B2 (ja) | 高さ測定装置 | |
| RU1784880C (ru) | Устройство дл определени содержани взвешенных частиц в жидких средах | |
| JP4306924B2 (ja) | 物体表面の光沢度判別方法 |