JPH0388251A - 極微量元素質量分析装置 - Google Patents
極微量元素質量分析装置Info
- Publication number
- JPH0388251A JPH0388251A JP1221431A JP22143189A JPH0388251A JP H0388251 A JPH0388251 A JP H0388251A JP 1221431 A JP1221431 A JP 1221431A JP 22143189 A JP22143189 A JP 22143189A JP H0388251 A JPH0388251 A JP H0388251A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- energy
- mass
- analysis
- mass spectrometer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は大気圧プラズマを用いた極微量元素・分析装置
に係り、特に定量性を向上させた質量分析装置に関する
。
に係り、特に定量性を向上させた質量分析装置に関する
。
従来の代表的な大気圧プラズマを用い極微量元素質量分
析装置が、アナリスト、ｖｏ ｌ、１０８ＮＱ１２９０
（１９８３年）第１０３３頁から第１０５０頁（Ｔｈｅ
Ａｎａｌｙｓｔ、 ｖｏｌ、１０８． Ｎｃ１２９０
（１９８３）ｐｐ、 １０３３−１０５０）において論
じられている。
析装置が、アナリスト、ｖｏ ｌ、１０８ＮＱ１２９０
（１９８３年）第１０３３頁から第１０５０頁（Ｔｈｅ
Ａｎａｌｙｓｔ、 ｖｏｌ、１０８． Ｎｃ１２９０
（１９８３）ｐｐ、 １０３３−１０５０）において論
じられている。
第２図は上記従来例の装置の概略図である。図において
１はプラズマトーチ、２はサンプリングコーン、３はス
キーマ、４はイオン加速電極、５はレンズ電極、６は四
重極質量分析器、７はイオン偏向電極、８はイオン検出
器である。
１はプラズマトーチ、２はサンプリングコーン、３はス
キーマ、４はイオン加速電極、５はレンズ電極、６は四
重極質量分析器、７はイオン偏向電極、８はイオン検出
器である。
この装置は、前記プラズマトーチ１で大気圧プラズマを
発生すると共に分析すべき試料をイオン化し、そこから
サンプリングコーン２、スキーマ３、およびイオン加速
電極４を用いてイオンを取り出しくイオン引出し電圧Ｖ
Ｅ）、レンズ電極５を用いて前記イオンを効率よく集束
させ、四重極質量分析器６に導入してイオンの質量を分
離し、前記イオン検出器（チャンネロトロンなど）８で
電気信号として検出することを基本としている。
発生すると共に分析すべき試料をイオン化し、そこから
サンプリングコーン２、スキーマ３、およびイオン加速
電極４を用いてイオンを取り出しくイオン引出し電圧Ｖ
Ｅ）、レンズ電極５を用いて前記イオンを効率よく集束
させ、四重極質量分析器６に導入してイオンの質量を分
離し、前記イオン検出器（チャンネロトロンなど）８で
電気信号として検出することを基本としている。
このとこ、前記イオン化のときに発生した光子や高速度
の中性粒子による検出ノイズを低減するために、前記イ
オン検出器８は中心軸上からずらして設けである。この
ため、前記イオン偏向電極７には正の電圧（偏向電圧Ｖ
Ｒ）を印加し、中心軸上を進行してきた前記イオンが前
記イオン検出器８に入射するよう偏向させていた。
の中性粒子による検出ノイズを低減するために、前記イ
オン検出器８は中心軸上からずらして設けである。この
ため、前記イオン偏向電極７には正の電圧（偏向電圧Ｖ
Ｒ）を印加し、中心軸上を進行してきた前記イオンが前
記イオン検出器８に入射するよう偏向させていた。
なお、上記大気圧プラズマとして、高周波プラズマをは
じめとしてマイクロ波プラズマ、グロー放電プラズマ、
コロナ放電プラズマ、レードプラズマなどか用いられて
いる。
じめとしてマイクロ波プラズマ、グロー放電プラズマ、
コロナ放電プラズマ、レードプラズマなどか用いられて
いる。
上記これら従来技術では、前記イオンのもつエネルギー
分布については考慮されておらず、分析の定量性に問題
があった。
分布については考慮されておらず、分析の定量性に問題
があった。
本発明の目的は、上記問題点を解決することにある。さ
らに、より質量分析の分解能を向上させることにある。
らに、より質量分析の分解能を向上させることにある。
上記目的を達成するために、本発明は、質量分析ととも
に、各質量（イオン）のエネルギー分布が求められるよ
うに、エネルギー分析器を質量分析器の前に設ける構成
としたものである。
に、各質量（イオン）のエネルギー分布が求められるよ
うに、エネルギー分析器を質量分析器の前に設ける構成
としたものである。
前記エネルギー分析器においては全入射イオンのエネル
ギー分布ｆ （Ｅ）が、前記エネルギー分析器に印加す
る電圧Ｖ、の関数ｆ（Ｖ、）として求められる（ｆ （
Ｅ） ＝ｆ （Ｖ、） ）。そして、■。
ギー分布ｆ （Ｅ）が、前記エネルギー分析器に印加す
る電圧Ｖ、の関数ｆ（Ｖ、）として求められる（ｆ （
Ｅ） ＝ｆ （Ｖ、） ）。そして、■。
を設定するとＥ、のエネルギーを持ったイオンだけが前
記質量分析器に入射され、この時の質量分析ｆ （Ｍ）
２０が求められる。一方、前記質量分析器の質量数Ｍ
を設定して前記エルギ分析器の電圧Ｖ、を掃引すると、
Ｍの質量を持つイオンのエネルギー分布ｆ（Ｅ）Ｍが求
められる。
記質量分析器に入射され、この時の質量分析ｆ （Ｍ）
２０が求められる。一方、前記質量分析器の質量数Ｍ
を設定して前記エルギ分析器の電圧Ｖ、を掃引すると、
Ｍの質量を持つイオンのエネルギー分布ｆ（Ｅ）Ｍが求
められる。
したがって、個々のイオンが各々異なったエネルギーを
持っていても、前記ｆ（Ｍ）Ｅから各イオンの割合を正
確に得ることができ、より正確な極微量元素の定量分析
ができることになる。
持っていても、前記ｆ（Ｍ）Ｅから各イオンの割合を正
確に得ることができ、より正確な極微量元素の定量分析
ができることになる。
以下１本発明の一実施例を第１図、第３図および第４図
により説明する。
により説明する。
第１図は本発明の基本構成を、第３図は本発明の構成に
より得た（Ａ）全体のエネルギー分布ｆ（Ｅ）と（Ｂ）
任意のエネルギー（１）、（２）、（３）における質量
分布ｆ（Ｍｂ：、、２．を、第４図はＭ＝１４．２８．
４０における各エネルギー分布ｆ （Ｅ ’）Ｍ−ｔ＊
、 ２８．４゜を示す。
より得た（Ａ）全体のエネルギー分布ｆ（Ｅ）と（Ｂ）
任意のエネルギー（１）、（２）、（３）における質量
分布ｆ（Ｍｂ：、、２．を、第４図はＭ＝１４．２８．
４０における各エネルギー分布ｆ （Ｅ ’）Ｍ−ｔ＊
、 ２８．４゜を示す。
第１図において、１０はプラズマトーチである。
プラズマの発生方式は、マイクロ波、高周波、グロー、
コロナ、レーザ放電などが用いられ、特定の方式に限定
させない、２０はプラズマサンプリングコーン、３０は
イオン引出し系（方式は限定しない）、４０はイオンレ
ンズ系、５０および５１はスリットＳ１およびＳ２．６
０は静電エネルギー分析器（９０° １２７．１７°
パラポリツク型など）、７０は前記倍電エネルギー分析
器６０に設けた光子や高速中性粒子などを直進させるた
めのスリット又は穴（メツシュ付がよい）、８０はイオ
ン集束電極Ｓ３．９０および９１は接地電位のスリット
Ｓ４およびＳ８．１００は質量分析器（四重横型など）
、１１０はイオン検出器（チャンネルトロンまたは二次
電子増倍管など）、１２０は電流計または電圧計である
。は電流計または電圧計である。
コロナ、レーザ放電などが用いられ、特定の方式に限定
させない、２０はプラズマサンプリングコーン、３０は
イオン引出し系（方式は限定しない）、４０はイオンレ
ンズ系、５０および５１はスリットＳ１およびＳ２．６
０は静電エネルギー分析器（９０° １２７．１７°
パラポリツク型など）、７０は前記倍電エネルギー分析
器６０に設けた光子や高速中性粒子などを直進させるた
めのスリット又は穴（メツシュ付がよい）、８０はイオ
ン集束電極Ｓ３．９０および９１は接地電位のスリット
Ｓ４およびＳ８．１００は質量分析器（四重横型など）
、１１０はイオン検出器（チャンネルトロンまたは二次
電子増倍管など）、１２０は電流計または電圧計である
。は電流計または電圧計である。
この装置の動作は次のとおりである。前記プラズマトー
チ１０で分析すべき試料をイオン化し、そこから前記プ
ラズマサンプリングコーン２０およびイオン引出し系３
０で分析すべきイオンを引出す。ここで、前記イオン引
出し系３０の一方の電極３２には負極性のイオン引出し
電圧ＶＥを印加する。前記引出されたイオンはイオンレ
ンズ系４０を形成する一方の電極４２に負極性のイオン
集束電圧ＶＦ、を印加し、後方に設けたスリットＳユ５
０を通じて前記静電エネルギー分析器６０に効率よく輸
送される。
チ１０で分析すべき試料をイオン化し、そこから前記プ
ラズマサンプリングコーン２０およびイオン引出し系３
０で分析すべきイオンを引出す。ここで、前記イオン引
出し系３０の一方の電極３２には負極性のイオン引出し
電圧ＶＥを印加する。前記引出されたイオンはイオンレ
ンズ系４０を形成する一方の電極４２に負極性のイオン
集束電圧ＶＦ、を印加し、後方に設けたスリットＳユ５
０を通じて前記静電エネルギー分析器６０に効率よく輸
送される。
前記静電エネルギー分析器６０は同心状の内型−Ｅと前
記印加電圧Ｖ０との間にはＥ ＝ ａ Ｖ、の関係があ
る。ここで、ａは定数で前記内外電極の外２ 外電極の外径ｒ□と内径ｒ２の比Ｑｎ−に依存する。ま
た、パラポリツク型の時には１人出口間の距離と電極間
隙の比に比例する。
記印加電圧Ｖ０との間にはＥ ＝ ａ Ｖ、の関係があ
る。ここで、ａは定数で前記内外電極の外２ 外電極の外径ｒ□と内径ｒ２の比Ｑｎ−に依存する。ま
た、パラポリツク型の時には１人出口間の距離と電極間
隙の比に比例する。
第３図（Ａ）は、■。を掃引して求めた。前記静電エネ
ルギー分析器６０を通過してきたイオンの数（信号強度
）ＩＥのエネルギーＥ依存性、すなわちエネルギー分布
ｆ（Ｅ）を示す、前記静電エネルギー分析器６０を通過
したイオンは（イオンのエネルギーＥ０）、スリットＳ
、５１でコリメートされるとともに、スリットＳ、（イ
オン集束電極）８０に印加した負の電圧ｖＦ、で前記ス
リットＳ２とＳ、およびＳ、でイオン集束レンズ系を形
成し、効率よく質量分析器１００に輸送される。
ルギー分析器６０を通過してきたイオンの数（信号強度
）ＩＥのエネルギーＥ依存性、すなわちエネルギー分布
ｆ（Ｅ）を示す、前記静電エネルギー分析器６０を通過
したイオンは（イオンのエネルギーＥ０）、スリットＳ
、５１でコリメートされるとともに、スリットＳ、（イ
オン集束電極）８０に印加した負の電圧ｖＦ、で前記ス
リットＳ２とＳ、およびＳ、でイオン集束レンズ系を形
成し、効率よく質量分析器１００に輸送される。
前記質量分析器１００で質量分析されたイオンは、スリ
ットＳ、９１でコリメートされた後、イオン検出器１１
０で電気信号に変換され、イオンのエネルギーＥ０での
質量分布ｆ（Ｍ）ｐａが求められる。
ットＳ、９１でコリメートされた後、イオン検出器１１
０で電気信号に変換され、イオンのエネルギーＥ０での
質量分布ｆ（Ｍ）ｐａが求められる。
第３図（Ｂ）は第３図（Ａ）のＥ＝（１）、（２）。
（３）における各質量分布（Ｍ）Ｅｉ、 ｆ （Ｍ）Ｅ
、。
、。
ｆ （Ｍ ）Ｅ３を示す。この図から、イオンのエネル
ギーによって、そのときの質量分布は大きく異なること
が分かる。とくに、エネルギーの増加とともに質量数の
小さなイオンの信号強度は大きくなり、一方質量数の大
きなイオンの強度は小さくなることが分かる。この理由
は、前記イオン化時に発生したプラズマポテンシャルｖ
ｐ（第３図（Ａ）の平均エネルギーＥ、に対応する）が Ｖｐ ｏ： ｆｌｎＭ ・・・・・・ （ａ） で与えられ、さらに、イオン電流密度ＪがＪ ｃｃ
Ｍ” Ｖｐ”−（ｎ ＝１／２〜３／２）（ｂ） なる関係にあたるためである１式（ａ）と（ｂ）から、 Ｊ （Ｘ： Ｍ” ｎＭｌｌ （ｃ） となり、イオンの信号強度はＭの増加とともに大きく減
少することになる。
ギーによって、そのときの質量分布は大きく異なること
が分かる。とくに、エネルギーの増加とともに質量数の
小さなイオンの信号強度は大きくなり、一方質量数の大
きなイオンの強度は小さくなることが分かる。この理由
は、前記イオン化時に発生したプラズマポテンシャルｖ
ｐ（第３図（Ａ）の平均エネルギーＥ、に対応する）が Ｖｐ ｏ： ｆｌｎＭ ・・・・・・ （ａ） で与えられ、さらに、イオン電流密度ＪがＪ ｃｃ
Ｍ” Ｖｐ”−（ｎ ＝１／２〜３／２）（ｂ） なる関係にあたるためである１式（ａ）と（ｂ）から、 Ｊ （Ｘ： Ｍ” ｎＭｌｌ （ｃ） となり、イオンの信号強度はＭの増加とともに大きく減
少することになる。
すなわち、前記イオン引出し電圧ＶＢが一定でも、前記
イオン化により発生したイオンはエネルギー幅−ΔＥを
有し、これらの大きさはイオンの質量数Ｍに大きく依存
することになる。
イオン化により発生したイオンはエネルギー幅−ΔＥを
有し、これらの大きさはイオンの質量数Ｍに大きく依存
することになる。
第４図は上記関係を示す実験結果である。すなわち、前
記質量分質器１００の質量数Ｍを、例えばＭ＝１４．２
８．４０に設定し、各々でのエネルギー分布ｆ（Ｅ）Ｍ
を求めたものが第４図の（イ）、（ロ）、（ハ）である
、この図から、各イオンの平均エネルギ、Ｅ□。Ｅ、、
、Ｅ４゜はＭの増加とともに小さくなる（Ｅ工、との差
を各々Ｅ１４−Ｅ２．とＥ□。
記質量分質器１００の質量数Ｍを、例えばＭ＝１４．２
８．４０に設定し、各々でのエネルギー分布ｆ（Ｅ）Ｍ
を求めたものが第４図の（イ）、（ロ）、（ハ）である
、この図から、各イオンの平均エネルギ、Ｅ□。Ｅ、、
、Ｅ４゜はＭの増加とともに小さくなる（Ｅ工、との差
を各々Ｅ１４−Ｅ２．とＥ□。
−ＥｏとするとＥｘｔ Ｅｚｓ＜Ｅｔ４Ｅ４０）−さ
らに、各イオンのエネルギー＠（半値＋１１）ΔＥ１１
、ΔＥｏもΔＥ ４− ＜ΔＥｔｅ＜ΔＥ０となること
が分かる。
らに、各イオンのエネルギー＠（半値＋１１）ΔＥ１１
、ΔＥｏもΔＥ ４− ＜ΔＥｔｅ＜ΔＥ０となること
が分かる。
したがって、従来技術のイオン引出し電圧ＶＥと偏向電
圧ＶＲを固定して求めた質量分布から得た質量分析結果
は、第３図（Ｂ）でＥ−Ｖｙ＋で求めた質量分布とは近
似的に等価となるが、イオンのもつエネルギーが不明な
ために、ＶＲの設定値によって第３図（Ｂ）のように、
種々の分布になり定量化が困難で、真の分析を行うこと
ができないより正確な定量分析を行うためには、まず、
第３図（Ａ）の全体のエネルギー分布を求め、次に平均
エネルギー分布を求め、次に、平均エネルギーＥ、で（
Ｂ）に示すような質量分布ｆ（Ｍｂ：、を求める。さら
に、ｆ（Ｍ）Ｅ、で検出されたＭについて、第４図に示
すように、各Ｍについてのエネルギー分布ｆ（Ｅｂ：を
求める。そして、各Ｍについての平均エネルギーＥＭで
の信号強度ＩＢＭ（最大値に対応）または各エネルギー
分布曲線で囲まれた面積ＳＮを用いて定量化を行う。こ
こで、上記■εＨやＳｓの算定は、前記イオン検出器１
１０からの電気信号を計算機で自動処理して行う。
圧ＶＲを固定して求めた質量分布から得た質量分析結果
は、第３図（Ｂ）でＥ−Ｖｙ＋で求めた質量分布とは近
似的に等価となるが、イオンのもつエネルギーが不明な
ために、ＶＲの設定値によって第３図（Ｂ）のように、
種々の分布になり定量化が困難で、真の分析を行うこと
ができないより正確な定量分析を行うためには、まず、
第３図（Ａ）の全体のエネルギー分布を求め、次に平均
エネルギー分布を求め、次に、平均エネルギーＥ、で（
Ｂ）に示すような質量分布ｆ（Ｍｂ：、を求める。さら
に、ｆ（Ｍ）Ｅ、で検出されたＭについて、第４図に示
すように、各Ｍについてのエネルギー分布ｆ（Ｅｂ：を
求める。そして、各Ｍについての平均エネルギーＥＭで
の信号強度ＩＢＭ（最大値に対応）または各エネルギー
分布曲線で囲まれた面積ＳＮを用いて定量化を行う。こ
こで、上記■εＨやＳｓの算定は、前記イオン検出器１
１０からの電気信号を計算機で自動処理して行う。
なお、各動作を最適化するために、少なくとも前記イオ
ンレンズ系の電極４２またはスリットＳ、ＳＯとイオン
集束電極８３８０またはスリットＳ、５１に電子的な電
流計か電圧計を直列に接続して電流や電圧をモニタする
とよい。
ンレンズ系の電極４２またはスリットＳ、ＳＯとイオン
集束電極８３８０またはスリットＳ、５１に電子的な電
流計か電圧計を直列に接続して電流や電圧をモニタする
とよい。
また、前記静電エネルギー分析器６０の内面は二次電子
放電係数の小さな材料で黒色化したり、前記穴またはス
リット７０の表面に金属メツシュを設けると信号／軸長
比や分解能をより向上させることができる。
放電係数の小さな材料で黒色化したり、前記穴またはス
リット７０の表面に金属メツシュを設けると信号／軸長
比や分解能をより向上させることができる。
さらに、前記イオンエネルギー分析系と前記質量分析系
を入換えても原理的には同じになる（但し、前記質量分
析系の分解能は低下する）。
を入換えても原理的には同じになる（但し、前記質量分
析系の分解能は低下する）。
本発明によれば、前記エネルギー分析系（静電エネルギ
ー分析器６０など）と前記質量分析系（質量分析器１０
０など）を直列に設けることにより、任意のイオンエネ
ルギーでの質量分布と任意の質量のエネルギー分布が得
られるので、分析すべき元素の定量化がより正確にでき
る効果がある。
ー分析器６０など）と前記質量分析系（質量分析器１０
０など）を直列に設けることにより、任意のイオンエネ
ルギーでの質量分布と任意の質量のエネルギー分布が得
られるので、分析すべき元素の定量化がより正確にでき
る効果がある。
第１図は本発明の一実施例の分析装置の基本構成を示す
縦断面図、第２図は従来技術の分析装置の基本構成を示
す縦断面図、第３図は本発明の一実施例による（Ａ）は
全質量エネルギー分布を示す図、（Ｂ）は特定のイオン
エネルギーにおけるイオン質量分布を示す図、第４図は
本発明の一実施例による特定の質量のイオンのエネルギ
ー分布図である。 符号の説明 １０・・・プラズマトーチ、２０・・・プラズマサンプ
リングコーン、３０・・・イオン引出し系、４０・・・
イオンレンズ系、５０，５１，９０，９１・・・スリッ
ト、６０・・・静電エネルギー分析器、７０・・スリッ
ト又は穴、８０・・・イオン集束電極、１００・・・質
量分析、１１０・・・イオン検出器、１２０・・・電流
または電圧計。 （Ａ） 〔８〕 茅 図 イオン １１．閂 （４九区） 不ｑ ｌｆｆ１ イオンＬネＩしで− Ｅ（ｚｖ）
縦断面図、第２図は従来技術の分析装置の基本構成を示
す縦断面図、第３図は本発明の一実施例による（Ａ）は
全質量エネルギー分布を示す図、（Ｂ）は特定のイオン
エネルギーにおけるイオン質量分布を示す図、第４図は
本発明の一実施例による特定の質量のイオンのエネルギ
ー分布図である。 符号の説明 １０・・・プラズマトーチ、２０・・・プラズマサンプ
リングコーン、３０・・・イオン引出し系、４０・・・
イオンレンズ系、５０，５１，９０，９１・・・スリッ
ト、６０・・・静電エネルギー分析器、７０・・スリッ
ト又は穴、８０・・・イオン集束電極、１００・・・質
量分析、１１０・・・イオン検出器、１２０・・・電流
または電圧計。 （Ａ） 〔８〕 茅 図 イオン １１．閂 （４九区） 不ｑ ｌｆｆ１ イオンＬネＩしで− Ｅ（ｚｖ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、試料導入、試料イオン化系、イオンサンプリング系
、イオン質量分析系、およびイオン検出系から成り、大
気圧プラズマでイオン化する極微量元素質量分析装置に
おいて、前記イオン質量分析系の前にイオンエネルギー
分析系を設けたことを特徴とする極微量元素質量分析装
置。 ２、前記イオンエルギー分析系に９０°型静電エネルギ
ー分析器を用いたことを特徴とする請求項１記載の極微
量元素質量分析装置。 ３、前記イオンエネルギー分析系でイオンのエネルギー
を選定した後前記イオン質量分析系で質量分析し試料の
定量分析を行うことを特徴とした請求項１もしくは２記
載の極微量元素質量分析装置。 ４、前記イオン質量分析系の質量数を設定した後前記イ
オンエネルギー分析系の分析電圧により前記質量数に対
するエネルギー分布を求めて定量分析を行うことを特徴
とした請求図１もしくは２記載の極微量元素質量分析装
置。 ５、各質量数に対する前記エネルギー分布曲線で囲まれ
た部分の面積を用いて定量分析を行うことを特徴とした
請求項４記載の極微量元素質量分析装置。 ６、前記エネルギー分布の平均エネルギー値でのイオン
信号強度（最大値）を用いて定量分析を行うことを特徴
とした請求項４記載の極微量元素質量分析装置。 ７、前記イオン検出系からの信号をコンピュータで自動
処理して分析を行うことを特徴とする請求項１乃至６の
いずれかに記載の極微量元素分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1221431A JPH0388251A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 極微量元素質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1221431A JPH0388251A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 極微量元素質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388251A true JPH0388251A (ja) | 1991-04-12 |
Family
ID=16766638
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1221431A Pending JPH0388251A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | 極微量元素質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388251A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001210270A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-08-03 | Ulvac Japan Ltd | 高周波電力印加電極に入射する高速中性粒子のエネルギーの分析方法及び分析装置 |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP1221431A patent/JPH0388251A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001210270A (ja) * | 2000-01-25 | 2001-08-03 | Ulvac Japan Ltd | 高周波電力印加電極に入射する高速中性粒子のエネルギーの分析方法及び分析装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Sztáray et al. | Suppression of hot electrons in threshold photoelectron photoion coincidence spectroscopy using velocity focusing optics | |
| US9741551B2 (en) | Ion detection | |
| US5202561A (en) | Device and method for analyzing ions of high mass | |
| Ireland et al. | Charge-mode electrometer measurements of S-isotopic compositions on SHRIMP-SI | |
| US5591969A (en) | Inductive detector for time-of-flight mass spectrometers | |
| Harycki et al. | Characterization of a high-sensitivity ICP-TOFMS instrument for microdroplet, nanoparticle, and microplastic analyses | |
| JPH02158047A (ja) | プラズマイオン源微量元素質量分析装置 | |
| US5223711A (en) | Plasma sources mass spectrometry | |
| JP3486668B2 (ja) | 同時検出同位体比質量分析計 | |
| CN106468686B (zh) | 同位素比质谱分析的动态范围改进 | |
| EP0559202B1 (en) | Secondary ion mass spectrometer for analyzing positive and negative ions | |
| Park et al. | An inductive detector for time‐of‐flight mass spectrometry | |
| GB2317047A (en) | Time-of-flight mass spectrometer | |
| CN210897194U (zh) | 一种用于飞行时间质谱仪的离子信号检测装置 | |
| US20240128070A1 (en) | Multimode ion detector with wide dynamic range and automatic mode switching | |
| US4695724A (en) | AC-modulation quadrupole mass spectrometer | |
| JPH0388251A (ja) | 極微量元素質量分析装置 | |
| CN210897193U (zh) | 一种用于四极杆质量分析器的离子信号检测装置 | |
| Bayly et al. | A mass and energy spectrometer for secondary ion analysis | |
| JP3403845B2 (ja) | 超高真空測定方法 | |
| JP2804913B2 (ja) | プラズマイオン源微量元素質量分析装置 | |
| Schweikhard et al. | Excitation and detection of ICR modes for control and analysis of a multicomponent plasma | |
| Walstedt et al. | Ionization and fragmentation of Bi microclusters by electron impact | |
| Tassotto et al. | Detection efficiency of a channel electron multiplier for low energy incident noble gas ions | |
| JPS6350749A (ja) | 四重極形質量分析計 |