JPH0388342U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0388342U JPH0388342U JP1989150513U JP15051389U JPH0388342U JP H0388342 U JPH0388342 U JP H0388342U JP 1989150513 U JP1989150513 U JP 1989150513U JP 15051389 U JP15051389 U JP 15051389U JP H0388342 U JPH0388342 U JP H0388342U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- sensor
- wafers
- transfer robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Description
第１図は本考案の一実施例を示すウエハ検出装
置の斜視図、第２図はウエハセンサの配置例を示
す要部拡大図、第３図は従来例を示す概要図であ
る。 Ｗ……ウエハ、２……ウエハカセツト、３……
ウエハ搬送ロボツト、４……当該ロボツトの昇降
支持台、５……移動架、１１……ウエハセンサ、
１１ａ，１１ｂ……ウエハセンサの各素子、１２
……センサホルダ、１２ａ，１２ｂ……センサホ
ルダの両腕部、１３……連結杆。
置の斜視図、第２図はウエハセンサの配置例を示
す要部拡大図、第３図は従来例を示す概要図であ
る。 Ｗ……ウエハ、２……ウエハカセツト、３……
ウエハ搬送ロボツト、４……当該ロボツトの昇降
支持台、５……移動架、１１……ウエハセンサ、
１１ａ，１１ｂ……ウエハセンサの各素子、１２
……センサホルダ、１２ａ，１２ｂ……センサホ
ルダの両腕部、１３……連結杆。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 複数のウエハを多段に収納する前後開放型のウ
エハカセツトに対し、上下可動式のウエハ搬送ロ
ボツトでウエハをウエハカセツト内に出し入れ操
作可能に構成し、発光素子と受光素子とから成る
ウエハセンサをウエハ搬送ロボツトとともに上下
連動可能に設け、一方の素子をウエハカセツトの
前方に配置するとともに、他方の素子をウエハカ
セツトの後方に配置して構成したカセツト内ウエ
ハの検出装置において、 ウエハセンサの一方の素子と他方の素子とをウ
エハに対して傾斜状に対向させてセンサホルダの
両腕部に設け、 センサホルダを固定した連結杆をウエハ搬送ロ
ボツトの昇降支持台に係合して昇降支持台を連結
杆に摺動可能に連結し、 昇降支持台をウエハカセツトに向けて進退可能
な移動架に設けて構成したことを特徴とするカセ
ツト内ウエハの検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989150513U JPH0388342U (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989150513U JPH0388342U (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388342U true JPH0388342U (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=31696860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989150513U Pending JPH0388342U (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388342U (ja) |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP1989150513U patent/JPH0388342U/ja active Pending
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