JPH038895U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH038895U JPH038895U JP5452889U JP5452889U JPH038895U JP H038895 U JPH038895 U JP H038895U JP 5452889 U JP5452889 U JP 5452889U JP 5452889 U JP5452889 U JP 5452889U JP H038895 U JPH038895 U JP H038895U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heater
- coil
- quartz
- quartz tube
- bobbin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 10
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Resistance Heating (AREA)
Description
第1図は本考案の一実施例による二重コイルと
してヒータコイルを巻回されたボビンの縦断面図
、第2図は同実施例のボビンに二重コイルを巻回
した状態を示す斜視図、第3図は同実施例のボビ
ンを採用した工業用ヒータの断面図、第4図a〜
dは本考案による工業用ヒータの種々のスペーサ
の構造例をそれぞれ示す断面図、第5図はさらに
別のスペーサの構造を示す縦断面図、第6図a及
びbは本考案の別の実施例による工業用ヒータの
縦及び横断面図、第7図a及びbは第6図による
工業用ヒータの変形例の縦及び横断面図、第8図
a及びbは本考案のさらに別の実施例による工業
用ヒータの縦及び横断面図、第9図はさらにまた
別の実施例による工業用ヒータの縦及び横断面図
並びに第10図は従来の対応するコイル状ヒータ
用のボビン部分縦断面図である。 1,56,60……外筒用石英管、5,15,
25,35,45……スペーサ、10……ボビン
、11,50……ボビン用石英管、12……コイ
ルガイド用線状体、21,65……ヒータコイル
、55……コイルガイド用突起、57……スペー
サ管、61〜64……スペーサ管。
してヒータコイルを巻回されたボビンの縦断面図
、第2図は同実施例のボビンに二重コイルを巻回
した状態を示す斜視図、第3図は同実施例のボビ
ンを採用した工業用ヒータの断面図、第4図a〜
dは本考案による工業用ヒータの種々のスペーサ
の構造例をそれぞれ示す断面図、第5図はさらに
別のスペーサの構造を示す縦断面図、第6図a及
びbは本考案の別の実施例による工業用ヒータの
縦及び横断面図、第7図a及びbは第6図による
工業用ヒータの変形例の縦及び横断面図、第8図
a及びbは本考案のさらに別の実施例による工業
用ヒータの縦及び横断面図、第9図はさらにまた
別の実施例による工業用ヒータの縦及び横断面図
並びに第10図は従来の対応するコイル状ヒータ
用のボビン部分縦断面図である。 1,56,60……外筒用石英管、5,15,
25,35,45……スペーサ、10……ボビン
、11,50……ボビン用石英管、12……コイ
ルガイド用線状体、21,65……ヒータコイル
、55……コイルガイド用突起、57……スペー
サ管、61〜64……スペーサ管。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) ボビンの周面にヒータコイルが巻回された
ヒータ本体を外筒用石英管に挿入して、流体槽内
へ装着させた状態で外部から給電するように構成
した工業用ヒータにおいて、 前記ボビンが、石英製の管の周面に石英製のコ
イルガイドを螺旋状に付設して構成されているこ
とを特徴とする工業用ヒータ。 (2) コイルガイドが、石英製の一連の線状体で
ある請求項1に記載の工業用ヒータ。 (3) コイルガイドが、石英製の間欠的に配列さ
れた突起である請求項1に記載の工業用ヒータ。 (4) 巻回されたヒータコイルの表面を外筒用石
英管の内面から離間させるべく、スペーサをボビ
ン及び前記外筒用石英管の内面間に設けた請求項
1に記載の工業用ヒータ。 (5) コイルガイドが、巻回されたヒータコイル
の表面を外筒用石英管の内面から離間させるスペ
ーサとしても機能するように、前記表面よりも高
く形成されている請求項1に記載の工業用ヒータ
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5452889U JPH038895U (ja) | 1988-08-02 | 1989-05-15 |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10208588 | 1988-08-02 | ||
| JP5452889U JPH038895U (ja) | 1988-08-02 | 1989-05-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH038895U true JPH038895U (ja) | 1991-01-28 |
Family
ID=31718123
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5452889U Pending JPH038895U (ja) | 1988-08-02 | 1989-05-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH038895U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012146851A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS3622266Y1 (ja) * | 1959-03-14 | 1961-08-26 | ||
| JPS5027017U (ja) * | 1973-07-05 | 1975-03-28 |
-
1989
- 1989-05-15 JP JP5452889U patent/JPH038895U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS3622266Y1 (ja) * | 1959-03-14 | 1961-08-26 | ||
| JPS5027017U (ja) * | 1973-07-05 | 1975-03-28 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012146851A (ja) * | 2011-01-13 | 2012-08-02 | Tokyo Electron Ltd | 電極製造装置、電極製造方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |