JPH0390841A - 元素分析計 - Google Patents
元素分析計Info
- Publication number
- JPH0390841A JPH0390841A JP22734989A JP22734989A JPH0390841A JP H0390841 A JPH0390841 A JP H0390841A JP 22734989 A JP22734989 A JP 22734989A JP 22734989 A JP22734989 A JP 22734989A JP H0390841 A JPH0390841 A JP H0390841A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- plasma
- atomized
- nebulizer
- elemental analyzer
- Prior art date
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- Pending
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- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔Nξ業上の利用分野〕
本発り」は大略大気圧中で維持されたプラズマ中に霧化
された試料を4人しで消離し、原子やイオン状態にして
冗素分析を打つ装「tに関する0例えばこのような装f
y(としては^′6周波誘導プラズマ(1,CP、2’
/MHz)やマイクロ波プラズマなどを用いる元素分析
計がある。
された試料を4人しで消離し、原子やイオン状態にして
冗素分析を打つ装「tに関する0例えばこのような装f
y(としては^′6周波誘導プラズマ(1,CP、2’
/MHz)やマイクロ波プラズマなどを用いる元素分析
計がある。
従来の元素分析計におけるプラズマへの試料導入は実公
昭63−17001や特開昭62−195543に記載
のように、ネプライザ(1?化器)にて霧化された後、
スプレーチェンバを通って直接プラズマに導入されてい
た。
昭63−17001や特開昭62−195543に記載
のように、ネプライザ(1?化器)にて霧化された後、
スプレーチェンバを通って直接プラズマに導入されてい
た。
上記従来技術は、霧化された試料を全量プラズマに導入
するためプラズマの温度が低ドして、感度がドがるとい
う問題があった。特にプラズマの体積が小さく、プラズ
マガス流量の少ないマイクロ波プラズマの場合には、プ
ラズマ温度の仰トが激しく試料流量を微小量とすること
が必要であった。溶液試料をキャリヤガスの負圧により
霧化するネプライザを用いる場合、ある−窓以上のキャ
リヤガス流量で霧化せねばならない、それ以トの場合は
霧化の割合が変動したり、全く試料を吸い上げないとい
ったことが生しるため、微小社の一部は難しいという問
題があった。
するためプラズマの温度が低ドして、感度がドがるとい
う問題があった。特にプラズマの体積が小さく、プラズ
マガス流量の少ないマイクロ波プラズマの場合には、プ
ラズマ温度の仰トが激しく試料流量を微小量とすること
が必要であった。溶液試料をキャリヤガスの負圧により
霧化するネプライザを用いる場合、ある−窓以上のキャ
リヤガス流量で霧化せねばならない、それ以トの場合は
霧化の割合が変動したり、全く試料を吸い上げないとい
ったことが生しるため、微小社の一部は難しいという問
題があった。
本発明の目的は、従来のネプライザを用いても微小量の
霧化された試料を安定してプラズマに導入することがで
きるようなVi置を提供することにある。
霧化された試料を安定してプラズマに導入することがで
きるようなVi置を提供することにある。
上記目的を達成するために1本発明はネプライザからプ
ラズマに達する間に、−化された試料の一部を逃がし、
試料の一部がプラズマに導入されるようにしたものであ
る。
ラズマに達する間に、−化された試料の一部を逃がし、
試料の一部がプラズマに導入されるようにしたものであ
る。
また、上記問題はマイクロ波プラズマでより顕著に生じ
ており、マイクロ波で放電維持される装置において、上
記構成の効果が最も良く発揮される。
ており、マイクロ波で放電維持される装置において、上
記構成の効果が最も良く発揮される。
ネプライザにて資化された試料の一部を大気中に逃がす
ことによって、プラズマに送られる試料量は微小となり
、プラズマを^温度に保つことができる。このため試料
量が減少したにもかかわらず晶感度の元素分析計が実現
できる。
ことによって、プラズマに送られる試料量は微小となり
、プラズマを^温度に保つことができる。このため試料
量が減少したにもかかわらず晶感度の元素分析計が実現
できる。
以ト1本発明の一実施例を第1図により説明する。
第1図は元素分析計の構成要素のうち試料の導入部を説
明するものである。1は試料、2は同軸型ネプライザ、
;3はスプレーチェンバ、4は霧化された試料の分岐部
、5はコックである。ネプライザ2の外側用筒部にキャ
リヤガスを流すことによって試料1が吸い一部げられ、
スプレーチェンバ3の内側に向って霧化された試料が飛
び出す。スプレーチェンバ3で粒径の大きい鱒(試料)
は分離されて頌に付着し、ドレインに流れていく。粒径
の小さい鱒(試料)はキャリヤガスによってプラズマの
方向に運ばれるが、分岐部4から試料およびキャリヤガ
スの一部分がコック5を通って大気中に放出される。放
出される量の割合はコックの開き具合を変えることによ
り調節される。プラズマに送られる試料の割合をモニタ
ーするため分岐部4以降に流量計を設けたり1分岐部4
に大気との圧力差を測定できるようにするのも良い。
明するものである。1は試料、2は同軸型ネプライザ、
;3はスプレーチェンバ、4は霧化された試料の分岐部
、5はコックである。ネプライザ2の外側用筒部にキャ
リヤガスを流すことによって試料1が吸い一部げられ、
スプレーチェンバ3の内側に向って霧化された試料が飛
び出す。スプレーチェンバ3で粒径の大きい鱒(試料)
は分離されて頌に付着し、ドレインに流れていく。粒径
の小さい鱒(試料)はキャリヤガスによってプラズマの
方向に運ばれるが、分岐部4から試料およびキャリヤガ
スの一部分がコック5を通って大気中に放出される。放
出される量の割合はコックの開き具合を変えることによ
り調節される。プラズマに送られる試料の割合をモニタ
ーするため分岐部4以降に流量計を設けたり1分岐部4
に大気との圧力差を測定できるようにするのも良い。
第2Hに本実施例の効果を示した。内径2.31のね英
管内にアルゴンガス流jIt1.5Q/l1inで流し
て、マイクロ波電力1kWで放電維持されているマイク
ロ波プラズマ中に、第111!ffの実施例を用いて霧
化した試料を送り込んだ結果である。T$:。
管内にアルゴンガス流jIt1.5Q/l1inで流し
て、マイクロ波電力1kWで放電維持されているマイク
ロ波プラズマ中に、第111!ffの実施例を用いて霧
化した試料を送り込んだ結果である。T$:。
料はカルシウム5PP−とジルコニウム1.0Opp鳳
の欄ぺ一!試料である。
の欄ぺ一!試料である。
ネプライザに流すアルゴンガス流量は0.4a/win
であり、これより少ないと安定に試料を霧化するのが困
難になってくる。プラズマからの信号強度はイオン線(
Ca IJ:193.36”/n m、 Z r u3
43.823 n m )の発光弾度を測定した。
であり、これより少ないと安定に試料を霧化するのが困
難になってくる。プラズマからの信号強度はイオン線(
Ca IJ:193.36”/n m、 Z r u3
43.823 n m )の発光弾度を測定した。
鍮2図で、プラズマに送られる試料の割合が1.0
とは、コック5を閉めた場合を意味し、霧化された試料
はすべてプラズマに送られる。第2図に示したように、
試料の一部を大気中に放出した場合の方が、プラズマに
送られる試料量が少ないにもかかわらず、プラズマの温
度が高くなって信号強度は増加する。
とは、コック5を閉めた場合を意味し、霧化された試料
はすべてプラズマに送られる。第2図に示したように、
試料の一部を大気中に放出した場合の方が、プラズマに
送られる試料量が少ないにもかかわらず、プラズマの温
度が高くなって信号強度は増加する。
本発明によれば、プラズマの温度を^くすることができ
るので^感度の元素分析計が実現できる。
るので^感度の元素分析計が実現できる。
また、本発明はプラズマの体積の小さいマイクロ波プラ
ズマにおいて、より顕暑な効果を5I!揮することがで
きる。
ズマにおいて、より顕暑な効果を5I!揮することがで
きる。
第1図は本発明の一実施例の元素分析計の試料−化部の
側断面図、第2図は本発明の実施例の元素分析計の検出
感度の測定図である。 2・・・同軸型ネプライザ、3・・・スプレーチェンバ
、5・・・コック。
側断面図、第2図は本発明の実施例の元素分析計の検出
感度の測定図である。 2・・・同軸型ネプライザ、3・・・スプレーチェンバ
、5・・・コック。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、大略大気圧で維持されたプラズマ中に霧化された試
料を導入して元素分析を行う装置において、霧化器から
上記プラズマに達するまでの間に、霧化された試料の一
部を大気圧中へ逃がす機構を有することを特徴とする元
素分析計。 2、上記プラズマがマイクロ波電力により維持されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の元素分
析計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22734989A JPH0390841A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 元素分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22734989A JPH0390841A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 元素分析計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0390841A true JPH0390841A (ja) | 1991-04-16 |
Family
ID=16859412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22734989A Pending JPH0390841A (ja) | 1989-09-04 | 1989-09-04 | 元素分析計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0390841A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03113165U (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-19 |
-
1989
- 1989-09-04 JP JP22734989A patent/JPH0390841A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03113165U (ja) * | 1990-03-06 | 1991-11-19 |
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