JPH0390877A - ベクトル物理量の分布測定装置およびその測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁界分布の測定装置に関し、特に磁気ヘッド
の漏或磁界の如く１ミクロンオーダーの微小な領域で急
激に変化する磁界の３次元分布を測定するのに適した装
Ｖｔ、および測定の方法に関する。

〔従来の技術〕

計算機用磁気ディスク装置、磁気テープ装置およびＶＴ
Ｒ等の磁気記録装暇の高密度化の進展は著しく、これら
の装置に用いられる磁気ヘッドの高性能化が要請されて
いる。高密度の磁気記録を達成するためには、急峻な記
録磁界分布を有する狭トラツクの磁気ヘッドが必要とな
る。トラック幅の減少に伴なって、磁気ヘッドのトラッ
ク幅方向への漏或磁界による隣接トラックへのにじみ書
きが問題となり、トラック幅方向への洩れ磁界の小さい
ヘッドの開発が必要となっている。このような高密度記
録に適したヘッドを開発するためには、ヘッドから発生
する記録磁界の分布を詳細に測定出来る装置の開発が重
要になっている。

磁気ヘッドの記録磁界の分布を測定する方法として、電
子ビームを磁気ヘッドのギャップの近傍に入射させ、電
子線が磁界によりローレンツ力を受けて曲げられること
を利用して、磁界分布を測定する方法が知られている。

磁界の３次元分布を測定するためには、磁界を発生する
試料を回転しながら、電子線を走査し、磁界による電子
線の偏向量をデータとして計算機等に記憶し、このデー
タを計算してもとの磁界分布を再構成する方法が取られ
ている。このような３次元の磁界分布の測定を試みた例
が、第４９１！！ｌ応用物理学会学術講演予稿集ｐ５５
９　（１９８８年１０月）、およびアイ・イー・イー・
イー・トランザクション　オンマグネチツクス、エム　
ニー　ジー２１　、（１９８５年）第１５９３頁から１
５９５頁（Ｉｔ＜ＯＨ，１°ｒａｎｓ。

Ｍａｇｎｅｔｉａｓｓ、　ＭＡＧ２１．　（１９８５）
ｐｐ１５９３〜１５９５）に述べられている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、上記の例には、測定したデータをもとにして磁
界分布を再構成する具体的な方法が述べられていない。

特に、上述の測定において、試料の回転軸に対して取直
方向の磁界成分を＋＋ｆ構成することは、従来の方法で
は困難であり、測定データから磁界の３次元分布を再構
成する方法の確立、およびこのような手段をそなえた磁
界分布８１す実装置の開発が’ｔｌまれでいた。

〔課題を解決するための手段〕

本発明では、　ｉｌｌ’ｌ定データから３次元の磁界分
布を再構成するために、試料の回転棚に平行む磁界成分
と９回転軸に垂直な磁界成分に分け、回転軸に承直な磁
界成分の再構成には、測定データに回転角度の情報を付
加した斌を用いる。これにより回転軸に平行および乗置
のいずれの成分も３次元的な磁界分布の再構成がｏｌ能
となる。以ドに本発明に用いる磁界分布測定装置ｆ’ｔ
の具体的な構成および磁界分布再構成方法を述べる。

第１回は、本発明に用いる磁界分布測定装置の構成を示
したものである。真空槽６内に設置？’ｊされた電子銃
２より電子ビーム１を発生させ、対物レンズ３により収
束した電子ビームを、試料ステージ４に搭載した試料５
の近傍に入射させる。試料の発生する磁界により偏向さ
れた電子ビームは、電子ビーム位置検出器に到達し、磁
界に応じた電子ビームの偏向量が測定される。１ｌ１１
１定データはデータ記憶部で記憶される。ｉｔｌ！Ｉ定
中に、電子ビームは電子ビーム走査＄１１御部の制御に
より、試料近傍を走査し５また、回転・移動機構をそな
えた試料ステージは試料移動回転制御部の制御により回
転する。′ＩＪ４定を終了した後、再構成演算部により
測定データを計算し、再構成計算結果を再構成結果表示
部に表示する０以上の全体の測定・計算は全体制御部に
より制御する。全体制御部、データ記憶部、再構成演算
部、再構成結果表示部は一つまたはそれ以上の計算機に
より構成する。

第２図に測定の原理を示した。試料となる磁気ヘッド７
の記録媒体対向面９の近傍に電子ビーｔ１１を通過させ
る。ギャップ８の近傍に発生する鴻洩磁界１０により電
子ビームは偏向され、電子ビ−ム位置検出器により電子
ビームの偏向ｆｔ　ｄ　ｔおよびｄｌが測定される。磁
気ヘッドの記録媒体対向１「ｎ９に対して垂直方向を２
軸に取り、記録媒体対向方＋＋’ＩｌをＸ軸、トラック
幅方向をｙ軸に取ったｌＩ４￥、１ｌＩＩＩ定中に試料
を２軸を回転軸としてｌ！！１転し。

また電子ビームをｘ−ｙ面内方向に走査して、試料の１
１１１転角Ｕ、および試料の１０１転軸と電子ビームと
の距ｉｇに対する、偏向量ｄｔ、ｄｚを測定する。

前記のように測定データはデータ記四部に記似し、再構
成演算部で再構成計算した後、再構成結果表示部に計算
結果を表示する。

次に具体的な再構成の方法について述べる。潟洩磁外を
磁気ヘッドの記録媒体対向曲走行方間すなわちＸ方向の
磁界成分Ｂｘと、トラック幅方向すなわちＸ方向の磁界
成分Ｂｙ、および記録媒体対向面に垂直方向すなわち２
方向の磁界成分Ｂｚに分離して再構成を析う、電子ビー
ムはビームに垂直な磁界の成分によりローレンツ力を受
け、ビーム走行方向および、磁界方向のいずれにも直角
の方向に偏向されるため、電子ビーム偏向量のＸ−ｙｍ
方向の成分ｄｔはＢ２のもの関数として次のように表わ
される。

ｄｌ　（ｓ、θ）＝　　ｅ／（２ｍＶ）Ｊ’　Ｂｌｄ　
Ｑ　　−（１）ここでｅは電子の屯待１ｍは電子の質猷
、■は電子の加速電圧である。息は電子ビームの走行Ｆ
ｌｉ離であり、（１）式は、ビ・−ムの偏向Ｍｄ１が電
子ビームが通った位置のＢｚの電子ビームに沿っての線
積分に比例することを表わしている。一方、電子ビーム
偏向量の２方向の成分ｄ２は、１３Ｘ、Ｂ、およびＸ軸
と電子ビーム直角方向のなす角θの関数であり、 ｄｚ　（ｓ、θ）　＝　２　／　（Ｂ−ｘｃｏｓθ＋Ｂ
ｙｓｉｎｌｊ）ｄｆｆ・・・（２） と表わされる。

本発明では、これらの測定データからＨｚの磁界分布を
再構成するために、医療機器の分野で開発されたコンピ
ュータ断胎映像法（Ｃｏｍｐｕｔ、ｅｄ丁ｏ＋ｉｏｇｒ
ａｐｈｙ　；以ドＣ′ｒと略す）の手法を用いる。

次にＣ′１′法によるＨｚの分布の再構成法について説
明する。第３図のように、Ｂ２が分布している２＝一定
の向に電子ビームｅを入射する。試料の原点と電子ビー
ムとの距離をＳ、試料のＸ軸と電子ビームの直角方向と
の角度をθとする。測定偵は直線ｅに沿ったＢｚ（ｘｌ
ｙ）の積分によって与えられるので、次のように表わさ
れる。

・・・（３） ［ＲＨｚ］　　Ｆ＋　θ）は（ｓ、、０）で指定される
直線におけるＨｚの１ＭＭ分を意味し、Ｂｚのラドン変
換という。

２次元フーリエ変換をドｈ２次元フーり逆変換をド２−
１　と表わすと、フーリエ変換の反転公式から。

ｋ３　　ｚ　＝　　Ｆ’　　！−”　　ト°　ｚＢｚ　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　　　　−（４）Ｘｅｘｐ（２ｙｃ　ｉ　１４（ｘｃ
ｏｓθ＋ｙ　ｓｉｎθ））ｌＲ１ｄＲｄθ・・・（５） 一方、−次元フーリエ変換をＦＡと表わすと。

［？’１ＲＢＺ］（ｔ＃ θ）”［ｈ’ｚＢｚコ（ｔ、ｃｏｓθ　、ｔ　ｇｉｎ　
θ）・・・（６） ＸＩＲ１６１Ｐ（２ｙｅ　ｉ　Ｒ・（ｘｃｏｓθ−ｙ　
ｓｉｎθ））ｄＲｄθ・・・（′Ｉ） （７） 式を とおくと ×１尺１ｅｘｐ（２ｔｃ　ｉ　Ｒ・（ｘｃｏｓＯ＋ｙｓ
ｉｒｌ））ｄ　ＲＸＩＲｌｅｘｐ（２ｔｃ　ｉ　Ｒ（ｘ
ｃｏｓ＆＋ｙｓｉｔｌ））ｄ　ｓ　ｄ　Ｒ・・・（１１
） 以上のように（９） 式のフーリエ変換を計算する代 りに、 あらかじめ計算した（Ｉ２）式の重み関数ｇと測定値［
Ｋ　Ｂ　ｚ］　　（ｓ　ｐ　１３　）　Ｑ）Ｍ（：Ｉ　
ンボリューション）を積分する方法をコンボリューショ
ン法という６最後に（８）式の逆射影変換によりＢｚの
分布が得られる。

以上のアルゴリズムを用いて実際に再構成計算を行うに
は、各計算式をディジタル化する。電子ビームの走査を
ｄ　１ｌｌＪ隔に行い、走査番号をｍとすると、ｓ　＝
　ｍ　ｄと表わされる。また、試料の間転をΔθ聞醐で
行い、回転番号をｎとすると、０＝ｎΔ０となる。従っ
て２１１１定値はｄ】（ｍ、ｎ）。

ｄ　ｄｍ　、　ｎ　）と表わされる（１２）式の１’（
み関数を求となる。

または再構成の時のリンギング雑音を防ぐため。

（１３）式を修正して を用いる。

− 次に。

測定値 ［ＲＢｚｌ（ｍｄ＊ ｎΔ　θ） と重み関数１１もしくはｇｚから、（１１）式に相当す
るコンボリューション計算を行う。

Ｈｚ’　（ｋｄ、　ｎΔＯ） ｍ＝−（Ｍ−１）／　２ ・・・（１５） ここで、Ｍは電子ビームの走査の数である。

次に第４図のように再構成するｘ　−ｙ　＋ｒ１１の座
標をε間隔で離散化し、ｘ＝ｐと、ｙ＝ｑεと表わす０
回転角ｎΔθの時の（ｐ＋　ｑ）点でのＢｚの値は次の
ように求める。第４図のように、直線ｎΔθに（ｐ＊ｑ
）点から垂線をドし、この交点と原点との距＃ｌｓを求
める。原点から５ｌｌｌれた位置のＢｚ’の値は、交点
に隣接したｋ、およびに＋１の格子点での８２　の値よ
り補間計算により求める１次に１以上により求めたＢｚ
’（ｐε。

ｑε；ｎΔθ）より（８）式に相当する逆射影蛮換・・
・（１６） を計算してＢ２の分布が得られる。ここでＮは回転ステ
ップの数である０以上の操作をまとめて第５図に示した
。

以上のように、電子ビームを磁界の検出手段として用い
る３次元磁界分布測定装置において、試料の回＠輔に平
行な磁界成分Ｂ２の再構成は、上述のＣ′ｒ法のアルゴ
リズムを用いることにより実現ｕＪ能である。しかし、
（２）式のように、一つの測定データが独立な二つの未
知量Ｂｘ、Ｂｙの和で示されているため、上述と同じア
ルゴリズムでＢｘ、Ｂｙの再構成を行うことは不ｔｅｌ
能である。

発明者らは、試料の回転軸に直角な磁界成分Ｂｘ、Ｂｙ
の３次元分布の再構成法について鋭意検討した結果、電
子ビームの偏向量の測定値ｄ２に試料回転角θの余弦ｃ
ｏｇ　（ｊ　　を乗じて、これを上述のＣＴ法を用いて
演算することによりＢｘの再構成が出来、またｄｚにｓ
ｉｎ　（＋　　を乗じて、演算することによりＢｙの再
構成が出来ることを見出した。

以−ドに牛の原理について示す。

本発明に使用する磁界分布測定装Ｆｔにように、空間の
漏洩磁界を８１り定する場合、磁界を生ずる原因となる
コイル、や磁石等の起磁力は測定領域には存在せず、第
２図においてｚくＯの領域に存Ｙ１ミする。従つで測定
室ＮｉｌであるＺ＞Ｏの領域の磁界分布は、Ｚ＜Ｏの領
域に存在する起磁力によって定まっている。第６図に示
すように、Ｚ＜Ｏの侮意の位置０　（ｘｏ＊　ｙ（ｌ　
　　ｚｏ）に単位の磁極があるとすると、この磁極によ
るＺ＞Ｏの点ｐ（Ｘ＋ｙ＊ｚ）の磁界は、 ・−・（１７） ・・・（１８） と表わされる。Ｚ〈０の領域の起磁力の分布は正負の磁
極の分布によって表わされるので、Ｚ〉０の空間での磁
界分布も上記の磁界の重ね合わせで表わされる。上記の
磁界分布について（３）式にボしだと同様のラドン変換
を計算すると。

［Ｒ，ＢｘＥ（Ｓ。

θ） ・・・（１９） ｌ　Ｌ＜　Ｂ　ｙ］（ｓ　ｅ Ｕ） ・・・（２０） となる。

ここでＣは Ｃ＝ξ２＋２ξ （ｓｉｎｘｏ−ｅｏｓ＆ｙｏ）＋ｓ２ −２　ｓ　（ｃｏｓθｘｏ＋５ｉｎＢｙｏ）＋ｘｏ”＋
ｙｏ”＋（ｚ＋ｚｏ）”・・・（２１） である。

（１９）　。

（２０）はそれぞれ、 ［尺Ｂｘ］（ｓ＋ Ｕ） ［ＲＨｙ］（ＳＬ− θ） 但し Ｌ）＝ｓ”＋２ｓ　　（ｘｏｃｏｓθ＋ｙａｓｉｒｌ）
＋（ｘｏｃｏｓθ−ｙｏｓｉｎ　＆　）”＋　ｘ　ｏ”
十ｙ　ｏ”＋（Ｚ　＋　ｚ　ｏ）”・・・（２４） 一方、実際に測管出来るのは（２）式に示したように、
（Ｂ　ｘｃｏｓ　Ｂ　＋Ｂ　ｙｓｉｎθ）であるから、
このラドン変換にＣＯ８θ、　ｓｉｎθを乗じた値は、
［Ｋ（Ｂｘｃｏｓθ＋Ｈｙｓｉｎ＆）］（ｓ、　＆）Ｘ
ｃｏｓθ・・・（２５） ［Ｅ（Ｂｘｃｏｓ＆＋８ｙｓｉｒｌ）］（ｓ、θ）Ｘｓ
ｊ、ｎ。

・・・（２６） 以上のように、ｘ−ｙ＋（ｒｉ内磁界威分の？１ｌｌＩ
定情ｄ２にｃｏｓ　Ｂ　　を乗じた値は、Ｘ成分の磁界
の′ｍＩｆ＆分の値に等しく、また、ｄａにｓｉｎθ　
を乗じた値はｙ成分の磁界の線積分の値に等して、従っ
て治す図に示すようにこれらの値を用いた前述のＣ′１
′法により再構成計算を行うことにより、Ｂｘ、Ｂｙの
３凍死分布の再Ｍ或がｕｊ能となる。

」二連の説明では電子ビームを用いた磁界分布の測定に
ついて述べて来たが、測定の対象とする物理量は必ずし
も磁界でなくともよく、また測定の手段は電子ビームで
なくともよい０本発明の方法により従来任意の成分が測
定できなかったベクトル量の：３次次元布が測定できる
。

本発明の測定装ｂゝ′ｔには、少なくとも８１り定領域
を通過する直線に沿ったベクトル物理量の和を測定する
機構と、試料を前記＋Ａ　′ｋＡに直角な軸を回転軸と
して回転する機構、測定する領域内を前記直線が回転軸
と直角方向に走査する機構と、　ｉ！ＩＩＩ足データ全
データてもとのベクトル物β１１量の分布を再構成する
機構が必要である。

試料のｌＩ？１転軸に平行な成分のベクトル物理量の分
布を再構成するには、前記のベクトル物理量の和を測定
する機構が、少なくとも前Ｋｅ　Ｉ！Ｆｌ　ｋ軸に平行
なベクトル物理量の和をａ＋１１定する機能を右してい
ることが必要である。この測定値から、前記のベクトル
物理量の分布を再構成する機構において５前記のコンピ
ュータ断λダ映倣法の計算手続を行うことにより、回転
軸に平行な成分のベクトル物理量の３次元分布を再構成
することが出来る。

回転軸に垂直な成分のベクトル物理量の分布の再構成は
、任意のベクトル物理量についてｕ）能ではない、空間
の磁気スカラーボランシャルＵは次のような３次元ラプ
ラス方程式を満足する。

δ”ＬＪ　　　　ａ”ｖ　　　　　ａ”ｕ−＋＋−＝０
　　　　　　・・・（Ｚ７）Ｂｘ２　　δｙ″　　　ａ
ｚ２ 磁界は１ｉ１１気スカラーボランシヤルの勾配に算しく
と表わされる。従って、このように３次１Ｇラプラス方
糊式を満足するスカラー物理量の勾配によって表わされ
るベクトル物理量については、木９．ＱＩＪの装置およ
び方法を用いて回転軸に唯直な成分のベクトル物理量の
分ＶＨ３を測定することが出来る。

本測定のためには前記の測定の機構が、回転軸に対して
垂直な成分のベクトル物理量の和をｆｔ１ｌ　足できる
機能を有していることが必要である。さらに、測定機構
が直線に対して直角成分を測定する機能を有している場
合は、前記のベクトル物理量の分布を再構成する機構に
おいて、前記の測定値に。

回転軸に直角で試料に同定した１ｌｌｌｘと直線の直角
方向のなす角０の余弦ｃｏｓθ　を乗じた値をもとに、
前記のコンピュータ断磨映像法の計算手続を行うことに
よりＸ＃４に１ド行な成分のベクトル物理量の分布を再
構成するとか出来る。また、前記の測定値に角０の正弦
ｓｉｎθ　を乗じた値をもとに、回転軸およびＸ軸にと
もに直角な軸ｙに平行なベクトル物理量の分布を再構成
するとか出来るつまた、前記測定機構が前記１保線に対
して平行な成分のベクトル物理量を測定する機能を有し
ている場合は、前述のｇｕｎθとｃｏｓ　＆は逆の関係
となり、前記測定値にｇｉｎ　１３　　を乗じた値をも
とにＸ軸方向の、ｃｏｓ　Ｂ　　を乗じた餉をもとにｙ
軸方向成分のベクトル物理量の分布を再構成するとか出
来る。

（実施例〕 本発明の方法により、Ｂｘ＝　Ｂｙ、Ｂｚの３次元分布
の再構成がロノ能であることを実証するために。

磁気ヘッドが発生する理論的な磁界分布ＢｘｓｅＢｙｓ
ｇ　Ｂｚｓについて、本発明の方法により再構成計算を
行い、再構成磁界分布Ｂｘｒ、　Ｂｙｒ＋　Ｂｚｒをも
との理論磁界分布と比較した。理論磁界分布はギャップ
長１．２μｍ、ｈラック幅６μｍ、ギャップデプス１０
μｍの磁気ヘッドについて計算により求めたものである
。まず、上述の理論磁界分布を持つ磁気ヘッドのギャッ
プ中心をｘ＝０．ｔ−ラック幅中心をｙ＝０．記録媒体
対向面をｚ＝０として、２軸を回転軸として間隔Δθ＝
１°間隔で−９０°〜９０°の範囲で試料をＩＦ５転し
、記録媒体対向面からの距Ｍｚ＝０．１ｉｔｍ　の商を
、電子ビームで間隔ｄ　＝　０　、２　ｐ　ｍ　で−１
０〜１０μｍの範囲で走査した時の測定値ｄ１（ｍ、ｎ
）、ｄｚ（ｍ、ｎ）を（１）式、（２）式に基づいて計
算により求た０次にこの測定値はもとに、第５図にボし
たように、ｄｘの測定値をそのまのＣＴ法により、また
ｄｚの測定値はｅｏｓ　ｆＪおよびｓｉｎθを乗じたイ
１〔（をｃ　’ｒ法により計算し、それぞれＢｚ、　Ｂ
ｘ、　Ｂｙの分布を求めた。再構成の際に用いた格子点
の間隔とは０．２μｍ、再構成の範囲はｘ　＝　−１０
〜１０μｍ、ｙ＝−１０〜１０μｍである。第７図にＩ
３工、第８図にはＢｙ、第９図にはＢｚの理論６Ｊ＆昇
分布と阿構成磁界分布の比較を示した。各回において（
ａ）は理論磁界分布のｚ＝０．１μｍのｘ−ｙ曲内の分
布、（ｂ）は再構成磁界分布、（ｃ）は（ａン、（ｂ）
のｙ＝一定の位１ｄにおける理論磁界分布とｌＩＪ、構
成磁界分布の比較を示したものである。第７図、第９図
では（Ｃ）でのｙの値はＯ，第８図ではｙ＝３．０μｍ
の化性での分布を示している。

第７図〜第９図のように、再構成６ｊ＆界分布は再構成
範ＩＪｔｉの端部、およびＢｙ、Ｈｚのピーク値におい
てやや計算誤差があるものの、全体的に極めて良く理論
磁界分布を再現している。

なお、本実施例では、再構成計算の方法としてコンボリ
ューション法を用いたが、コンボリューション法以外の
他のＣＴ法でも再構成は口ｆ能であり、例えば、（Ｉｔ
）式のｘ＋＜み１対数ｇを求めずに、（９）式のように
観測データの１次元フーリエ変換を求めた後、これに＋
に！、ｌを乗じて逆フーリエ変換を行って（９）式の結
果を求め、次に前と同様に（８）式により、逆射影変換
を行ってもとの分布を再構成することも出来る。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明により電子ビームを用いて磁気ヘ
ッド等の磁気コア、あるいは永久磁り等が発生する漏洩
磁界のｘ、ｙ、ｚ成分の：３次次元布を容易に、かつ高
精度に測定出来ることか明らかである。

４．１１４面の（資）車な説明 勤１図は本発明に用いる磁界分布測定装ｈゝ’／（１）
構成図を、第２図は本発明に用いる磁界分布８ＩＱ定装
置の測定の原理図を、第３図〜鎗６図はそれぞれ本発明
の磁界分布の再構成の方法を説明する概念図、第７図〜
第９図はそれぞれ本発明により４＋＋構威した磁界分布
ともとの理論磁界分布を比較したグラフの図である。

上・・・電子ビーム、２・・・電子銃、３・・・対物レ
ンズ、４・・・試料ステージ、５・・・試料、６・・・
真空槽、７・・・磁気ヘッド、８・・・ギャップ、９・
・・記録媒体対向向。

工０・・・翻洩磁昇、１１・・・電子ビーム位誼検出器
。

第 因 め ■ 拓 図 ≠ 図 な ５ 目 菌６　図 図面の浄書（内容に変更なし） 図画の浄書（内容に変更ｔ１シ） 図面の浄書（内容１こ変更なし） Ｂ工 （丁ン 図面の浄書（内容に＝更なし） 図面の浄ＩＦ（内容に変更なし） 図面の浄書（内容に変更なし） Ｂｙ（Ｔ） 図面の浄書（内容に変更なし） ８面の浄書（内容に変更々し） 図面の汀＋ｗ（内容に第四なし） β２　（Ｔ）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、試料が発生するベクトル物理量の３次元分布を測定
   する装置において、少なくとも測定領域を通過する直線
   に沿つたベクトル物理量の和を測定する機構と、試料を
   前記直線に直角な軸を回転軸として回転する機構と、測
   定する領域内を前記直線が回転軸と直角方向に走査する
   機構と、測定データを計算してもとのベクトル物理量の
   分布を再構成する機構をもち、前記ベクトル物理量を再
   構成する機構が少なくともコンピュータ断層映像法の計
   算手続を実現する手段を有しており、前記の直線に沿つ
   たベクトル物理量の和を測定する機構が、少なくとも、
   前記回転軸に平行なベクトル物理量の成分の直線に沿つ
   た和を測定する機能を有し、かつ前記のベクトル物理量
   の分布を再構成する機構が、前記の測定値から前記回転
   軸に平行なベクトル物理量の成分の分布を再構成する手
   段を有することを特徴としたベクトル物理量の分不測定
   装置。 ２、試料が発生するベクトル物理量の３次元分布を測定
   する装置において、少なくとも測定領域を通過する直線
   に沿つたベクトル物理量の和を測定する機構と、試料を
   前記直線に直角な軸を回転軸として回転する機構と、測
   定する領域内を前記直線が回転軸と直角方向に走査する
   機構と、測定データを計算してもとのベクトル物理量の
   分布を再構成する機構をもち、前記ベクトル物理量を再
   構成する機構が少なくともコンピュータ断層映像法の計
   算手続を実現する手段を有しており、前記ベクトル物理
   量が３次元のラプラス方程を満足するスカラー物理量の
   勾配で表わされる量であつて、前記の直線に沿つたベク
   トル物理量の和を測定する機構が前記直線に対して垂直
   でかつ前記回転軸に垂直なベクトル物理量の成分の直線
   に沿つた和を測定する機能を有し、前記のベクトル物理
   量の分布を再構成する機構が、少なくとも、前記の測定
   値に、前記回転軸に直角で試料に固定した軸ｘと前記直
   線の直角方向のなす角θの余弦ｃｏｓθを乗ずる手段、
   および前記の測定値に角θの正弦ｓｉｎθを乗ずる手段
   を有し、前記ｃｏｓθを乗じた値から前記ｘ軸に平行な
   成分のベクトル物理量の分布を再構成し、前記ｓｉｎθ
   を乗じた値から前記回転軸および前記軸ｘにともに直角
   な軸ｙに平行な成分のベクトル物理量の分布を再構成す
   る手段を有することを特徴とするベクトル物理量の分布
   測定装置。 ３、電子ビームが磁界の存在により偏向する原理を利用
   して、磁気コアもしくは磁石が発生する磁界の３次元分
   布を測定する装置において、少なくとも試料を電子ビー
   ムに直角な軸を回転軸として回転する機構と、測定する
   領域内を電子ビームが回転軸と直角方向に走査する機構
   と、電子ビームの偏向量を測定する機構と、測定データ
   を計算してもその磁界分布を再構成する機構をもち、前
   記磁界分布を再構成する機構が少なくともコンピュータ
   断層映像法の計算手続を実現できる手段を有し、かつ、
   前記試料の回転軸に垂直な成分の電子ビームの偏向量測
   定値から、前記回転軸に平行な成分の磁界分布を再構成
   する手段を有することを特徴とした磁界分布測定装置。 ４、電子ビームが磁界の存在により偏向する原理を利用
   して、磁気コアもしくは永久磁石が発生する磁界の３次
   元分布を測定する装置において、少なくとも試料を電子
   ビームに直角な軸を回転軸として回転する機構と、測定
   する領域内を電子ビームが回転軸と直角方向に走査する
   機構と、電子ビームの偏向量を測定する機構と、測定デ
   ータを計算してもとの磁界分布を再構成する機構をもち
   、前記の磁界分布を再構成する機構が、少なくともコン
   ピュータ断層映像法の計算手続を実現できる手段を有し
   、かつ、前記試料の回転軸に平行な成分の電子ビームの
   偏向量測定値に、前記回転軸に直角で試料に固定した軸
   ｘと電子ビームの直角方向のなす角θの余弦ｃｏｓθを
   乗ずる手段、および前記偏向量測定値に角θの正弦ｓｉ
   ｎθを乗ずる手段を有し、前記ｃｏｓθを乗じた値から
   、前記軸ｘに平行な成分の磁界分布を再構成し、前記ｓ
   ｉｎθを乗じた値から前記回転軸および前記軸ｘにとも
   に直角な軸ｙに平行な成分の磁界分布を再構成する手段
   を有することを特徴とする磁界分布測定装置。 ５、電子ビームが磁界の存在により偏向する原理を利用
   して、磁気コアもしくは磁石が発生する磁界の３次元分
   布を測定する方法において、少なくとも試料を回転する
   操作と、測定する領域内を電子ビームで回転軸と直角方
   向に走査する操作と、電子ビームの偏向量を測定する操
   作と、測定データを計算してもとの磁界分布を再構成す
   る操作を含み、前記磁界分布を再構成する操作が少なく
   ともコンピュータ断層映像法の計算操作を含み、前記計
   算操作により、前記試料の回転軸に垂直な成分の電子ビ
   ームの偏向量測定値から、前記回転軸に平行な成分の磁
   界分布を再構成することを特徴とした磁界分布の測定方
   法。 ６、電子ビームが磁界の存在により偏向する原理を利用
   して、磁気コアもしくは磁石が発生する磁界の３次元分
   布を測定する方法において、少なくとも試料を回転する
   操作と、測定する領域内を電子ビームで回転軸と直角方
   向に走査する操作と、電子ビームの偏向量を測定する操
   作と、測定データを計算してもとの磁界分布を再構成す
   る操作を含み、前記磁界分布を再構成する操作が少なく
   ともコンピュータ断層映像法の計算操作を含み、かつ前
   記試料の回転軸に平行な成分の電子ビームの偏向量測定
   値に、前記回転軸に直角で試料に固定した軸ｘと電子ビ
   ームの直角方向のなす角θの余弦ｃｏｓθを乗ずる操作
   、および前記偏向量測定値に角θの正弦ｓｉｎθを乗す
   る操作を含み、前記ｃｏｓθを乗じた値から、前記軸ｘ
   に平行な成分の磁界分布を再構成し、前記ｓｉｎθを乗
   じた値から前記回転軸および前記軸ｘにともに直角な軸
   ｙに平行な成分の磁界分布を再構成することを特徴とし
   た磁界分布測定方法。