JPH0391576U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0391576U JPH0391576U JP15268689U JP15268689U JPH0391576U JP H0391576 U JPH0391576 U JP H0391576U JP 15268689 U JP15268689 U JP 15268689U JP 15268689 U JP15268689 U JP 15268689U JP H0391576 U JPH0391576 U JP H0391576U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic fluid
- sealing device
- pair
- annular magnet
- pole pieces
- Prior art date
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- Granted
Links
- 239000011553 magnetic fluid Substances 0.000 claims description 14
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 6
Landscapes
- Sealing Using Fluids, Sealing Without Contact, And Removal Of Oil (AREA)
Description
第１図は、本考案に従う第１の実施例の磁性流
体シール装置を組み込んだスピンドルモータの部
分断面図。第２図は、第１図の磁性流体シール装
置の磁性流体保持手段を分解して示す分解斜視図
。第３図は、第１図のスピンドルモータの部分拡
大断面図。第４図は、本考案に従う磁性流体シー
ル装置の第２の実施例における要部拡大断面図。
第５図は、本考案に従う磁性流体シール装置の第
３の実施例における磁性流体保持手段を分解して
示す分解斜視図。第６図は、本考案に従う磁性流
体シール装置の第３の実施例を適用したスピンド
ルモータの一部を示す部分拡大断面図。 １……軸部材、３……ハウジング、８……上ポ
ールピース、９……下ポールピース、１０……環
状磁石、１６……溝、１７……孔、１７′……切
欠き。
体シール装置を組み込んだスピンドルモータの部
分断面図。第２図は、第１図の磁性流体シール装
置の磁性流体保持手段を分解して示す分解斜視図
。第３図は、第１図のスピンドルモータの部分拡
大断面図。第４図は、本考案に従う磁性流体シー
ル装置の第２の実施例における要部拡大断面図。
第５図は、本考案に従う磁性流体シール装置の第
３の実施例における磁性流体保持手段を分解して
示す分解斜視図。第６図は、本考案に従う磁性流
体シール装置の第３の実施例を適用したスピンド
ルモータの一部を示す部分拡大断面図。 １……軸部材、３……ハウジング、８……上ポ
ールピース、９……下ポールピース、１０……環
状磁石、１６……溝、１７……孔、１７′……切
欠き。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 環状磁石とこの環状磁石の両端面に設けられた
一対のポールピースから構成された磁性流体保持
手段を備え、該磁性流体保持手段を相対的に回転
自在である第１の部材又は第２の部材に取り付け
、該一対のポールピースと該第２の部材又は該第
１の部材との間に磁性流体を充填した磁性流体シ
ール装置において、 該一対のポールピースに生成される磁性流体層
により仕切られた閉空間を外部に連通する連通路
を、該磁性流体保持手段に設けたことを特徴とす
る磁性流体シール装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989152686U JP2508345Y2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 磁性流体シ―ル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989152686U JP2508345Y2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 磁性流体シ―ル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0391576U true JPH0391576U (ja) | 1991-09-18 |
| JP2508345Y2 JP2508345Y2 (ja) | 1996-08-21 |
Family
ID=31698938
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989152686U Expired - Lifetime JP2508345Y2 (ja) | 1989-12-28 | 1989-12-28 | 磁性流体シ―ル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2508345Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015190502A1 (ja) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6246861U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-23 |
-
1989
- 1989-12-28 JP JP1989152686U patent/JP2508345Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6246861U (ja) * | 1985-09-10 | 1987-03-23 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015190502A1 (ja) * | 2014-06-12 | 2015-12-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 密閉容器及び搬送システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2508345Y2 (ja) | 1996-08-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| EXPY | Cancellation because of completion of term |