JPH0392028U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0392028U JPH0392028U JP20290U JP20290U JPH0392028U JP H0392028 U JPH0392028 U JP H0392028U JP 20290 U JP20290 U JP 20290U JP 20290 U JP20290 U JP 20290U JP H0392028 U JPH0392028 U JP H0392028U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exposure apparatus
- projection
- detector
- lens
- exposed object
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案いの詳細説明図、第２図は本考
案の概略説明図である。 １……光源、３……原画、４……被露光物、５
……投影レンズ、１４……被露光物用駆動装置、
１６……駆動装置、１８……歪ゲージ、１９……
演算回路。
案の概略説明図である。 １……光源、３……原画、４……被露光物、５
……投影レンズ、１４……被露光物用駆動装置、
１６……駆動装置、１８……歪ゲージ、１９……
演算回路。
Claims (1)
- 原画パターンを投影レンズを介して被露光体に
投影するように構成されている露光装置において
前記露光装置の投影光学系内のレンズ硝材、レン
ズ間空気（気体）、鏡筒の熱変化を検知する検出
器を設け、この出力に基づき、原画パターンおよ
び被露光体の位置を変化させ、前記熱変形に伴う
ベストフオーカス変動、倍率変動を補正する機能
を持つことを特徴とする投影露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20290U JPH0392028U (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20290U JPH0392028U (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392028U true JPH0392028U (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=31504170
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20290U Pending JPH0392028U (ja) | 1990-01-08 | 1990-01-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0392028U (ja) |
-
1990
- 1990-01-08 JP JP20290U patent/JPH0392028U/ja active Pending
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