JPH0392032U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0392032U JPH0392032U JP71890U JP71890U JPH0392032U JP H0392032 U JPH0392032 U JP H0392032U JP 71890 U JP71890 U JP 71890U JP 71890 U JP71890 U JP 71890U JP H0392032 U JPH0392032 U JP H0392032U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz tube
- rotating
- roller
- rollers
- furnace
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す模式断面図、
第２図は従来の横型炉を示す模式断面図、第３図
は石英管の熱変形の一例を示す断面図、である。 図中、１は石英管、３は炉本体、４はヒータ、
５は回転手段、６は軸、７はローラ、８は軸受、
１１は支持ブロツク、である。
第２図は従来の横型炉を示す模式断面図、第３図
は石英管の熱変形の一例を示す断面図、である。 図中、１は石英管、３は炉本体、４はヒータ、
５は回転手段、６は軸、７はローラ、８は軸受、
１１は支持ブロツク、である。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 炉体内に水平に配設された石英管１内で被処理
体を処理する熱処理装置であつて、 該石英管１を支持する複数個のローラ７と、該
ローラ７を回転する回転手段５とを有し、 該ローラ７を回転することにより該石英管１が
回転することを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP71890U JPH0392032U (ja) | 1990-01-09 | 1990-01-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP71890U JPH0392032U (ja) | 1990-01-09 | 1990-01-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0392032U true JPH0392032U (ja) | 1991-09-19 |
Family
ID=31504659
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP71890U Pending JPH0392032U (ja) | 1990-01-09 | 1990-01-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0392032U (ja) |
-
1990
- 1990-01-09 JP JP71890U patent/JPH0392032U/ja active Pending