JPH0395632U - - Google Patents

Info

Publication number
JPH0395632U
JPH0395632U JP203090U JP203090U JPH0395632U JP H0395632 U JPH0395632 U JP H0395632U JP 203090 U JP203090 U JP 203090U JP 203090 U JP203090 U JP 203090U JP H0395632 U JPH0395632 U JP H0395632U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
core tube
mixed gas
intermediate product
semiconductor intermediate
furnace core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP203090U
Other languages
English (en)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP203090U priority Critical patent/JPH0395632U/ja
Publication of JPH0395632U publication Critical patent/JPH0395632U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第一実施例を示す拡散炉装置
の概略断面図、第２図は第１図のＡ−Ａ断面図、
第３図は本考案の第二実施例を示す拡散炉装置の
断面図、第４図は第３図のＢ−Ｂ断面図、第５図
は本考案の他の実施例を示す拡散炉装置の断面図
、第６図は従来の拡散炉装置を示す断面図である
。 １１……半導体中間品、１２……混合ガス、１
３……排出口、１４……炉心管、１５……内側炉
心管、１６……外側炉心管、１７……注入孔。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 半導体中間品に混合ガスを吹きつけて拡散させ
    外部に排出するための排出口を有する炉心管を備
    え、該炉心管は、内部に半導体中間品が載置され
    る内側炉心管と、該内側炉心管内に半導体中間品
    を挿入し混合ガスを吹きつける外側炉心管とから
    構成され、前記内側炉心管の外周壁に、前記外側
    炉心管から混合ガスを半導体中間品に均一に拡散
    させて吹きつけるための多数の注入孔が形成され
    たことを特徴とする拡散炉装置。
JP203090U 1990-01-11 1990-01-11 Pending JPH0395632U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP203090U JPH0395632U (ja) 1990-01-11 1990-01-11

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP203090U JPH0395632U (ja) 1990-01-11 1990-01-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0395632U true JPH0395632U (ja) 1991-09-30

Family

ID=31505912

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP203090U Pending JPH0395632U (ja) 1990-01-11 1990-01-11

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0395632U (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150573A (ja) * 2003-11-19 2005-06-09 Kyocera Corp 不純物拡散装置
JP2012009641A (ja) * 2010-06-25 2012-01-12 Koyo Thermo System Kk 連続拡散処理装置
JP2013182916A (ja) * 2012-02-29 2013-09-12 Mitsubishi Electric Corp 熱拡散装置
JP2015188095A (ja) * 2015-05-20 2015-10-29 光洋サーモシステム株式会社 連続拡散処理装置
JP2015201651A (ja) * 2015-05-20 2015-11-12 光洋サーモシステム株式会社 連続拡散処理装置
JP2015201650A (ja) * 2015-05-20 2015-11-12 光洋サーモシステム株式会社 連続拡散処理装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005150573A (ja) * 2003-11-19 2005-06-09 Kyocera Corp 不純物拡散装置
JP2012009641A (ja) * 2010-06-25 2012-01-12 Koyo Thermo System Kk 連続拡散処理装置
JP2013182916A (ja) * 2012-02-29 2013-09-12 Mitsubishi Electric Corp 熱拡散装置
JP2015188095A (ja) * 2015-05-20 2015-10-29 光洋サーモシステム株式会社 連続拡散処理装置
JP2015201651A (ja) * 2015-05-20 2015-11-12 光洋サーモシステム株式会社 連続拡散処理装置
JP2015201650A (ja) * 2015-05-20 2015-11-12 光洋サーモシステム株式会社 連続拡散処理装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0395632U (ja)
JPS60149132U (ja) 半導体熱処理炉
JPS62154639U (ja)
JPS58170829U (ja) 半導体装置製造装置
JPS6444627U (ja)
JPH0616262Y2 (ja) ガスバーナ
JPS6367711U (ja)
JPS6312022U (ja)
JPS62118938U (ja)
JPH0160199U (ja)
JPH0444128U (ja)
JPS62204202U (ja)
JPH0194320U (ja)
JPH0379010U (ja)
JPH0262224U (ja)
JPH01145124U (ja)
JPS6184313U (ja)
JPS61179322U (ja)
JPS6426354U (ja)
JPS5846918U (ja) 灯油気化バ−ナ
JPS61133541U (ja)
JPS6338259U (ja)
JPS60101524U (ja) 液体燃料燃焼装置
JPS63111841U (ja)
JPS58145496U (ja) 穀物乾燥機の熱風供給部構造