JPH0396037U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0396037U JPH0396037U JP1990003456U JP345690U JPH0396037U JP H0396037 U JPH0396037 U JP H0396037U JP 1990003456 U JP1990003456 U JP 1990003456U JP 345690 U JP345690 U JP 345690U JP H0396037 U JPH0396037 U JP H0396037U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heating
- substrate electrode
- susceptor
- substrate
- electrode body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図はこの考案の実施例の平面図、第２図は
第１図の−線で切断した断面図、第３図ａ〜
ｃはこの考案の実施例の動作を示す説明図である
。第４図は従来の基板加熱電極の平面図、第５図
は第４図の−線で切断した断面図、第６図ａ
〜ｄは従来の基板加熱電極の動作を示す説明図で
ある。 図中、１１……基板電極本体、１１ａ……基板
電極本体の側壁、１１ｂ……基板電極本体の側壁
の穴、１２……石英製加熱窓、１３……サセプタ
ー、１４……赤外線加熱ランプ、１５……リフタ
、１５ａ……リフタの昇降軸、１５ｂ……リフタ
の支持部。
第１図の−線で切断した断面図、第３図ａ〜
ｃはこの考案の実施例の動作を示す説明図である
。第４図は従来の基板加熱電極の平面図、第５図
は第４図の−線で切断した断面図、第６図ａ
〜ｄは従来の基板加熱電極の動作を示す説明図で
ある。 図中、１１……基板電極本体、１１ａ……基板
電極本体の側壁、１１ｂ……基板電極本体の側壁
の穴、１２……石英製加熱窓、１３……サセプタ
ー、１４……赤外線加熱ランプ、１５……リフタ
、１５ａ……リフタの昇降軸、１５ｂ……リフタ
の支持部。
Claims (1)
- 筒状の基板電極本体と、この基板電極本体の上
部開口を密閉するように水平に取り付けられた加
熱窓と、この加熱窓の上面に載置されたサセプタ
ーと、上記加熱窓の下方の上記筒状の基板電極本
体内に配設された加熱ランプと、上記サセプター
を中間に挟んで設けられた水平な支持部を昇降さ
せる昇降自在な一対のリフタとを備えたことを特
徴とする基板加熱電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990003456U JPH0396037U (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990003456U JPH0396037U (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0396037U true JPH0396037U (ja) | 1991-10-01 |
Family
ID=31507273
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990003456U Pending JPH0396037U (ja) | 1990-01-18 | 1990-01-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0396037U (ja) |
-
1990
- 1990-01-18 JP JP1990003456U patent/JPH0396037U/ja active Pending