JPH0396355U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0396355U JPH0396355U JP1990005327U JP532790U JPH0396355U JP H0396355 U JPH0396355 U JP H0396355U JP 1990005327 U JP1990005327 U JP 1990005327U JP 532790 U JP532790 U JP 532790U JP H0396355 U JPH0396355 U JP H0396355U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- heater
- crucible
- power supply
- growth apparatus
- Prior art date
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- Granted
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- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案装置の模式的断面図、第２図は
ヒータの支持脚周辺の部分拡大断面図、第３図は
ヒータの脚部及びその周方向両側の温度分布を示
すグラフ、第４図は従来装置の模式的縦断面図で
ある。 １……チヤンバ、２……坩堝、３……ヒータ、
４……保温材、６……引上げ軸、７……種結晶、
８……単結晶、９……銅製給電電極、１１……黒
鉛製電極、１２……セラミツクス製電極。
ヒータの支持脚周辺の部分拡大断面図、第３図は
ヒータの脚部及びその周方向両側の温度分布を示
すグラフ、第４図は従来装置の模式的縦断面図で
ある。 １……チヤンバ、２……坩堝、３……ヒータ、
４……保温材、６……引上げ軸、７……種結晶、
８……単結晶、９……銅製給電電極、１１……黒
鉛製電極、１２……セラミツクス製電極。
Claims (1)
- 結晶用原料を収容する坩堝と、該坩堝の周囲に
配設された黒鉛製の抵抗加熱用ヒータと、該ヒー
タに通電すべくこれに連結される給電電極と、該
給電電極と前記ヒータの端子との間に介装された
黒鉛よりも導電性が高く、且つ熱伝導性の低いセ
ラミツクス製の電極とを具備することを特徴とす
る結晶成長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990005327U JP2519505Y2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 結晶成長装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990005327U JP2519505Y2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 結晶成長装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0396355U true JPH0396355U (ja) | 1991-10-02 |
| JP2519505Y2 JP2519505Y2 (ja) | 1996-12-04 |
Family
ID=31509042
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990005327U Expired - Lifetime JP2519505Y2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 結晶成長装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2519505Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP1990005327U patent/JP2519505Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2519505Y2 (ja) | 1996-12-04 |
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