JPH0396840A - 陽極接合検査装置 - Google Patents
陽極接合検査装置Info
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- JPH0396840A JPH0396840A JP23527789A JP23527789A JPH0396840A JP H0396840 A JPH0396840 A JP H0396840A JP 23527789 A JP23527789 A JP 23527789A JP 23527789 A JP23527789 A JP 23527789A JP H0396840 A JPH0396840 A JP H0396840A
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- pressure transducer
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- glass pedestal
- glass
- pedestal
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- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 47
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
本発明は、ガラス台座に半導体圧力変換素子が陽極接合
された圧力変換器の陽極接合の良否を検査する陽極接合
検査装置に関する。
された圧力変換器の陽極接合の良否を検査する陽極接合
検査装置に関する。
「従来の技術」
陽極接合とは、例えば、熱膨張係数がシリコンに近似し
たパイレックスガラスとシリコンとを、それぞれの接合
面を当接させた状態で４００℃程度に加熱し、シリコン
側に正の直流電圧５００〜１０００Ｖを印加し、ガラス
とシリコンとがクーロンカからなる静電引力により密着
するようにして行われる接合方法である。
たパイレックスガラスとシリコンとを、それぞれの接合
面を当接させた状態で４００℃程度に加熱し、シリコン
側に正の直流電圧５００〜１０００Ｖを印加し、ガラス
とシリコンとがクーロンカからなる静電引力により密着
するようにして行われる接合方法である。
第４図に示すように、圧力変換器１は、パイレックスガ
ラスからなるガラス台座２と、シリコンからなるシリコ
ン台座４とが陽極接合された台座５に、さらにシリコン
からなる半導体圧力変換素子７が陽極接合されたもので
ある。台座５にはガラス台座２とシリコン台座４とを貫
通する六８が穿設されている。ガラス台座２は所定の厚
さ寸法を有する円柱状の素材〈ウェーハ）をダイスに切
断したちのてあり、切断面たる側面はすりガラス状をな
している。またシリコン台座４と半導体圧力変換素子７
はいずれも不透明である。
ラスからなるガラス台座２と、シリコンからなるシリコ
ン台座４とが陽極接合された台座５に、さらにシリコン
からなる半導体圧力変換素子７が陽極接合されたもので
ある。台座５にはガラス台座２とシリコン台座４とを貫
通する六８が穿設されている。ガラス台座２は所定の厚
さ寸法を有する円柱状の素材〈ウェーハ）をダイスに切
断したちのてあり、切断面たる側面はすりガラス状をな
している。またシリコン台座４と半導体圧力変換素子７
はいずれも不透明である。
第６図に示すように、従来の陽極接合検査装置６０は、
圧力設定千段６１によりシリコン台座４側から穴８内に
実際に圧力をかけ、所定の圧力で半導体圧力変換素子７
が破壊されるか否かにより、ガラス台座２と半導体圧力
変換素子７との陽極接合の良否を検査するものであった
。
圧力設定千段６１によりシリコン台座４側から穴８内に
実際に圧力をかけ、所定の圧力で半導体圧力変換素子７
が破壊されるか否かにより、ガラス台座２と半導体圧力
変換素子７との陽極接合の良否を検査するものであった
。
「発明が解決しようとする課題」
上記構成の従来の陽極接合検査装置では、圧力設定手段
が必要であるため装置が大型になること、破壊された不
良品の除去や清掃に手間がかかること、圧力変換器の陽
極接合部におけるガラス台座と半導体圧力変換素子との
間の気泡や異物の有無までは検査できないこと等の問題
点があった。
が必要であるため装置が大型になること、破壊された不
良品の除去や清掃に手間がかかること、圧力変換器の陽
極接合部におけるガラス台座と半導体圧力変換素子との
間の気泡や異物の有無までは検査できないこと等の問題
点があった。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、そ
の課題とするところは、破壊検査によることなく陽極接
合の良否を検査する陽極接合検査装置を提供することで
ある。
の課題とするところは、破壊検査によることなく陽極接
合の良否を検査する陽極接合検査装置を提供することで
ある。
「課題を解決するための手段」
上記課題を解決するための本発明による陽極接合検査装
置は、ガラス台座に半導体圧力変換素子が陽極接合され
た圧力変換器の、前記陽極接合の良否を検査する陽極接
合検査装置において、透明な液体が注入される液槽と、
該液槽内に設けられ圧力変換器が半導体圧力変換素子を
上にして少なくともガラス台座部分は液面下に位置する
ように載置される基台と、前記ガラス台座の両側に対向
的に傾斜して配置され、前記基台に位置調節自在に保持
される鏡と、前記圧力変換器の載置位置の上方に配置さ
れ前記鏡の反射によりガラス台座の両側面を通して前記
陽極接合部分の視覚検査を行う顕微鏡とを備えたことを
特徴とする。
置は、ガラス台座に半導体圧力変換素子が陽極接合され
た圧力変換器の、前記陽極接合の良否を検査する陽極接
合検査装置において、透明な液体が注入される液槽と、
該液槽内に設けられ圧力変換器が半導体圧力変換素子を
上にして少なくともガラス台座部分は液面下に位置する
ように載置される基台と、前記ガラス台座の両側に対向
的に傾斜して配置され、前記基台に位置調節自在に保持
される鏡と、前記圧力変換器の載置位置の上方に配置さ
れ前記鏡の反射によりガラス台座の両側面を通して前記
陽極接合部分の視覚検査を行う顕微鏡とを備えたことを
特徴とする。
「作用」
ガラス台座に半導体圧力変換素子が陽極接合された圧力
変換器の前記陽極接合部分において、顕微鏡を使用した
視覚検査により気泡や異物が認められない場合には、前
記圧力変換器は破壊検査を３ 行うまでもなく合格品と判定できることが、発明者によ
り見出された。
変換器の前記陽極接合部分において、顕微鏡を使用した
視覚検査により気泡や異物が認められない場合には、前
記圧力変換器は破壊検査を３ 行うまでもなく合格品と判定できることが、発明者によ
り見出された。
本発明による陽極接合検査装置では、圧力変換器のガラ
ス台座部分が液中に泣置するようにして、すりガラス状
であるガラス台座の側面を透明に近づけ、半導体圧力変
換素子とガラス台座との陽極接合部分をガラス台座の側
面から観察可能にするとともに、ガラス台座の両側に対
向的に傾斜して配置された鏡と、圧力変換器の載置位置
の上方に配置される顕微鏡とを備えて、前記鏡の反射に
よりガラス台座の両側面を通して一回で陽極接合部分全
体を上方から観察可能にし、顕微鏡を使用した上方から
の視覚検査か行えるようにしている。
ス台座部分が液中に泣置するようにして、すりガラス状
であるガラス台座の側面を透明に近づけ、半導体圧力変
換素子とガラス台座との陽極接合部分をガラス台座の側
面から観察可能にするとともに、ガラス台座の両側に対
向的に傾斜して配置された鏡と、圧力変換器の載置位置
の上方に配置される顕微鏡とを備えて、前記鏡の反射に
よりガラス台座の両側面を通して一回で陽極接合部分全
体を上方から観察可能にし、顕微鏡を使用した上方から
の視覚検査か行えるようにしている。
「実施例」
本発明の実施例である陽極接合検査装置につき図面を参
照して説明する。第１図は陽極接合検査装置の正面図、
第２図は前記陽極接合検査装置の平面図、第３図は前記
陽極接合検査装置の主要部を拡大して示す正面図、第４
図は圧力変換器を示す斜視図である。
照して説明する。第１図は陽極接合検査装置の正面図、
第２図は前記陽極接合検査装置の平面図、第３図は前記
陽極接合検査装置の主要部を拡大して示す正面図、第４
図は圧力変換器を示す斜視図である。
４
陽極接合検査装置により検査される圧力変換器１は、主
として第４図に示すように、パイレツクスガラスからな
るガラス台座２とシリコンからなるシリコン台座４とが
接合されてなる台座５に、さらに半導体圧力変換素子７
が陽極接合されたものである。この圧力変換器１は略直
方体であり、ガラス台座２とシリコン台座４とを貫通す
る穴８が設けられている。ここで、ガラス台座２は所定
の厚さを有する大寸の円柱状の素材（ウエーハ）をダイ
スに切断したものであり、切断面たる側面がすりガラス
状になっている。また、シリコン台座４と半導体圧力変
換素子７は不透明である。
として第４図に示すように、パイレツクスガラスからな
るガラス台座２とシリコンからなるシリコン台座４とが
接合されてなる台座５に、さらに半導体圧力変換素子７
が陽極接合されたものである。この圧力変換器１は略直
方体であり、ガラス台座２とシリコン台座４とを貫通す
る穴８が設けられている。ここで、ガラス台座２は所定
の厚さを有する大寸の円柱状の素材（ウエーハ）をダイ
スに切断したものであり、切断面たる側面がすりガラス
状になっている。また、シリコン台座４と半導体圧力変
換素子７は不透明である。
陽極接合検査装置１０は、液槽１１と、基台１２と、鏡
１４と、顕微鏡１５とを備えている。
１４と、顕微鏡１５とを備えている。
液槽１］には透明な液体として、例えば水１７が注入さ
れている。基台１２は液槽１１に固定されている。基台
１２には取付台２０が、塩ビ等の耐食性材料によってな
るスペーサ１８を介してボルト１９により固定されてい
る。取付台２０には長穴２１が穿設されており、基台１
２に対し、第１図図示の左右方向に位置調節可能に取付
けられる。また取付台２０は、スペーサ１８を厚さの異
なるものと交換して、第３図に示す基台１２との間隔Ａ
が圧力変換器１の高さ寸法に対応して変えられるように
なっている。取付台２０にはボルト２２が溶接等により
接合されている。基台１２の中央部には圧力変換器１が
、半導体圧力変換素子７側を上にして載置される。圧力
変換器１は水１７中に没している。
れている。基台１２は液槽１１に固定されている。基台
１２には取付台２０が、塩ビ等の耐食性材料によってな
るスペーサ１８を介してボルト１９により固定されてい
る。取付台２０には長穴２１が穿設されており、基台１
２に対し、第１図図示の左右方向に位置調節可能に取付
けられる。また取付台２０は、スペーサ１８を厚さの異
なるものと交換して、第３図に示す基台１２との間隔Ａ
が圧力変換器１の高さ寸法に対応して変えられるように
なっている。取付台２０にはボルト２２が溶接等により
接合されている。基台１２の中央部には圧力変換器１が
、半導体圧力変換素子７側を上にして載置される。圧力
変換器１は水１７中に没している。
鏡］４は長方形に形成され、取付板２４に接着等により
固着されており、圧力変換器１のガラス台座２の両側に
、対向的に傾斜して配置される。
固着されており、圧力変換器１のガラス台座２の両側に
、対向的に傾斜して配置される。
このとき取付台２０が基台１２に対して第■図図示の左
右方向に位置調節され、第３図に示す対向ずる鏡１４の
間の寸法Ｂが、圧力変換器１の幅寸法に対応して、その
外寸よりもわずかに大きく設定されている。取付板２４
は、圧力変換器１側の一端はヒンジ２３により取付台２
０の端部を中心として回動可能に枢支され、他端はＵ字
状の開口部が設けられてボルト２２と係合し、該ボルト
２２に螺合するナット２５により高さが調節され、ナッ
ト２５を回転して第３図に示す鏡１４の傾きＣが几力変
換器１の検査位置に対応して変えられるようになってい
る。これら第３図図示の取付台２０と基台１２との間隔
Ａ，対ｒｆ＋１する＠１４の間の寸法Ｂ，そして鏡１４
の傾きＣは、陽極接合検査装ＷＩＯを洗浄した時、検査
する圧力変換器１の種類が変わる時等の段取作業時に調
節される。
右方向に位置調節され、第３図に示す対向ずる鏡１４の
間の寸法Ｂが、圧力変換器１の幅寸法に対応して、その
外寸よりもわずかに大きく設定されている。取付板２４
は、圧力変換器１側の一端はヒンジ２３により取付台２
０の端部を中心として回動可能に枢支され、他端はＵ字
状の開口部が設けられてボルト２２と係合し、該ボルト
２２に螺合するナット２５により高さが調節され、ナッ
ト２５を回転して第３図に示す鏡１４の傾きＣが几力変
換器１の検査位置に対応して変えられるようになってい
る。これら第３図図示の取付台２０と基台１２との間隔
Ａ，対ｒｆ＋１する＠１４の間の寸法Ｂ，そして鏡１４
の傾きＣは、陽極接合検査装ＷＩＯを洗浄した時、検査
する圧力変換器１の種類が変わる時等の段取作業時に調
節される。
圧力変換器１の載置位置の直上には顕微鏡１５が配置さ
れている。顕微鏡１５は、反射光によって観察を行う実
体顕微鏡であり、鏡１４の反射により、ガラス台座２の
両側面を通して陽極接合部分２７の視覚検査を行うのに
用いられる。
れている。顕微鏡１５は、反射光によって観察を行う実
体顕微鏡であり、鏡１４の反射により、ガラス台座２の
両側面を通して陽極接合部分２７の視覚検査を行うのに
用いられる。
「作動」
次に、作動として、顕微鏡１５による視覚検査について
説明する。
説明する。
顕微鏡１５のファインダ視野内では、基台１２上に載置
された圧力変換器１の、ガラス台座２と↑導体圧力変換
素子７との陽極接合部分２７が、水中にあって透明度を
増している、ガラス台座２７〜 の両側面を通して観察される。第４図に示されるように
、視野内における左右側にて、それぞれ半導体圧力変換
素子７の裏面たる陽極接合部分２７が観察されるが、左
右で重複する部分２８が存在ずるように鏡ｌ４の位置を
設定して、陽極接合部分２７の全体が観察される。
された圧力変換器１の、ガラス台座２と↑導体圧力変換
素子７との陽極接合部分２７が、水中にあって透明度を
増している、ガラス台座２７〜 の両側面を通して観察される。第４図に示されるように
、視野内における左右側にて、それぞれ半導体圧力変換
素子７の裏面たる陽極接合部分２７が観察されるが、左
右で重複する部分２８が存在ずるように鏡ｌ４の位置を
設定して、陽極接合部分２７の全体が観察される。
そして、陽極接合部分２７に気泡や異物が認められない
場合は合格品、気泡や異物が認められた場合は不合格品
と判定する。
場合は合格品、気泡や異物が認められた場合は不合格品
と判定する。
このようにして、基台１２上の圧力変換器１を交換して
順次検査を行う。
順次検査を行う。
「発明の効果」
以上述べたように、本発明による陽極接合検査装置は、
透明な液体が注入される液槽と、該液槽内に設けられ圧
力変換器が半導体圧力変換素子を上にして少なくともガ
ラス台座部分は液面下に位置するように載置される基台
と、前記ガラス台座の両側に対向的に傾斜して配置され
、前記基台に位置調節自在に保持される鏡と、前記圧力
変換器の載置位置の上方に配置され前記鏡の反射により
一８ ガラス台座の両側面を通して前記陽極接合部分の視覚検
査を行う顕微鏡とを備えたことを特徴としている。この
ように、圧力変換器のガラス台座部分を液中に設けて、
すりガラス状であるガラス台座の側聞を透明に近づけ、
半導体圧力変換素子とカラス台座との陽極接合部分を、
ガラス台座の側面から観察可能にし、ガラス台座の両側
に対向的に傾斜して配置された鏡と、圧力変換器の載置
位置の上方に配置される顕微鏡とを備えて、前記鏡の反
射によりガラス台座の両側面を通して一回で陽極接合部
分全体を上方から観察できるようにしている。従って圧
カセンサの陽極接合部分における気泡や異物の有無が視
覚検査によって行えるようになり、該視覚検査により、
圧力設定手段を必要とする破壊検査を省略して、検査工
程が大幅に短縮されるという優れた効果がある。
透明な液体が注入される液槽と、該液槽内に設けられ圧
力変換器が半導体圧力変換素子を上にして少なくともガ
ラス台座部分は液面下に位置するように載置される基台
と、前記ガラス台座の両側に対向的に傾斜して配置され
、前記基台に位置調節自在に保持される鏡と、前記圧力
変換器の載置位置の上方に配置され前記鏡の反射により
一８ ガラス台座の両側面を通して前記陽極接合部分の視覚検
査を行う顕微鏡とを備えたことを特徴としている。この
ように、圧力変換器のガラス台座部分を液中に設けて、
すりガラス状であるガラス台座の側聞を透明に近づけ、
半導体圧力変換素子とカラス台座との陽極接合部分を、
ガラス台座の側面から観察可能にし、ガラス台座の両側
に対向的に傾斜して配置された鏡と、圧力変換器の載置
位置の上方に配置される顕微鏡とを備えて、前記鏡の反
射によりガラス台座の両側面を通して一回で陽極接合部
分全体を上方から観察できるようにしている。従って圧
カセンサの陽極接合部分における気泡や異物の有無が視
覚検査によって行えるようになり、該視覚検査により、
圧力設定手段を必要とする破壊検査を省略して、検査工
程が大幅に短縮されるという優れた効果がある。
第１図は本発明の実施例である陽極接合検査装置の正面
図、第２図は前記陽極接合検査装置の甲面図、第３図は
前記陽極接合検査装置の主要部を示す正面図、第４図は
圧力変換器を示す斜視図、第５図は顕微鏡のファインダ
視野における陽極接合部分の一例について示す説明図、
第６図は従来の陽極接合検査装置を示す概略構成図であ
る。 １ ．．圧力変換器、 ２．．ガラス台座、 ７ ，．
半導体圧力変換素子、 １０．．陽極接合検査装置、
１．１．．．液槽、 １２．．．基台、 １４．
鏡、 １５．．．顕微鏡、 ２ ７ ．．．陽極接合部
分。 １ 第 ４ 第 ６ 図 図 −３０６ 第 ５ 図
図、第２図は前記陽極接合検査装置の甲面図、第３図は
前記陽極接合検査装置の主要部を示す正面図、第４図は
圧力変換器を示す斜視図、第５図は顕微鏡のファインダ
視野における陽極接合部分の一例について示す説明図、
第６図は従来の陽極接合検査装置を示す概略構成図であ
る。 １ ．．圧力変換器、 ２．．ガラス台座、 ７ ，．
半導体圧力変換素子、 １０．．陽極接合検査装置、
１．１．．．液槽、 １２．．．基台、 １４．
鏡、 １５．．．顕微鏡、 ２ ７ ．．．陽極接合部
分。 １ 第 ４ 第 ６ 図 図 −３０６ 第 ５ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガラス台座に半導体圧力変換素子が陽極接合された圧力
変換器の、前記陽極接合の良否を検査する陽極接合検査
装置において、 透明な液体が注入される液槽と、 該液槽内に設けられ圧力変換器が半導体圧力変換素子を
上にして少なくともガラス台座部分は液面下に位置する
ように載置される基台と、 前記ガラス台座の両側に対向的に傾斜して配置され、前
記基台に位置調節自在に保持される鏡と前記圧力変換器
の載置位置の上方に配置され前記鏡の反射によりガラス
台座の両側面を通して前記陽極接合部分の視覚検査を行
う顕微鏡とを備えたことを特徴とする、 陽極接合検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23527789A JPH0396840A (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | 陽極接合検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23527789A JPH0396840A (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | 陽極接合検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0396840A true JPH0396840A (ja) | 1991-04-22 |
Family
ID=16983720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23527789A Pending JPH0396840A (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 | 陽極接合検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0396840A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2780504A1 (fr) * | 1998-06-26 | 1999-12-31 | Denso Corp | Capteur de pression et procede de fabrication de celui-ci |
| ES2141008A1 (es) * | 1996-12-19 | 2000-03-01 | Consejo Superior Investigacion | Metodo no destructivo para la determinacion de la calidad de la soldadura anodica y mejora de contactos. |
| EP2290422A1 (en) * | 2009-09-01 | 2011-03-02 | The Gillette Company | Digital microscope |
-
1989
- 1989-09-11 JP JP23527789A patent/JPH0396840A/ja active Pending
Cited By (5)
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|---|---|---|---|---|
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