JPH0397112A - 薄膜磁気ヘツドのトラツク幅の自動測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、薄膜磁気ヘッドのトラック幅の測定方法及び
その装置に係り、特に、トラック面の多少のきずや汚れ
に影響されずに高精度に測定することのできる薄膜磁気
ヘッドのトラック幅の自動測定方法及びその装置に関す
る。

〔従来の技術〕

一般に、薄膜磁気ヘッドのトラック幅寸法の測定には、
その超高精度細密性の点から、サブξクロンオーダーの
測定精度が必要である。このため、従来は、通常の照明
光による高倍率顕微鏡や、エッジ像色分別式顕微鏡測定
器（例えば、ビツカーズ社のイメージシュアリング測定
器）を使って、熟練工により目視手作業により行なって
いる。

また、他の測定方法として、例えば、昭和６３年４月に
ユニオン光学株式会社発行の「磁気ヘッド自動微小寸法
測定機、Ｈｅａｄｌｉｎｅｒ　Ｇ　Ｃ７０Ｊカタログに
示されるように、一つの像（輝度レベル波形）を距離軸
に沿って２つの像に光学的に分離させ、各像の輝度レベ
ル波形の重なる部分が所定のスレツシュホールド値（５
０％）以下になるようにした位置で一方のエッジを検出
し、次に２つの像を反対方向に移動して同様に波形の重
なる部分が所定のスレツシュホールド値以下となるよう
にした位置で他方のエッジを検出し、この像移動量を測
定寸法として自動測定する方式が知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

（１）上記した従来の目視手作業による方法では、高度
に熟練した微細作業が必要とされるため、精神的及び肉
体的疲労が発生し、また、個人差等により誤測定が生じ
易く、工程数も多くかかる問題があった。

（２）また、上記カタログに示されるような従来技術で
は、測定の一部工程の自動化は行なっているけれども、
測定対象の磁気ヘッドを投入部にセットするだけで、以
下の測定結果を得る迄の全工程に対して人手を介するこ
となくこれを自動化することについては考慮されておら
ず、測定すべき点であるトラック面の所定トラック幅部
への位置合せ、及び該トラック幅の検出測定は、依然と
して目視手作業で行なわなければならないため、上記（
１）の問題を十分に解決することはできなかった。また
、この従来技術では、検出対象物の、微細なきすや汚れ
等による局部的な輝度レベル低下の影響について配慮さ
ておらず、その結果、トラック幅の測定の際に、トラッ
ク面部に製造上避けられない微小なきすや汚れがあると
、誤測定となる問題があった。

もしも測定点に対する位置合せ等に誤測定が起ると、位
置合せ等に狂いが生じ、そのために、自動測定を続行さ
せることは不可能になる。

従って、本発明の目的は、上記（１）　（２）の問題を
解決し、測定対象の薄膜磁気ヘッドを最初に投入部にセ
ットするだけで、それ以降の測定結果を得る迄の全工程
を自動化すると共に、該測定対象に微細なきすや汚れが
あっても、これに影響されずに誤りなく高精度に自動測
定することのできる薄膜磁気ヘッドのトラック幅の自動
測定方法を提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するため、本発明は、測定用光学的ライ
ンセンサ（Ｙ方向ラインセンサ）を薄膜磁気ヘッドのポ
ールフェース面（トラック面〉上でトラック幅方向に沿
うように（トラック幅に平行に）位置付けて、該トラッ
ク幅に対応する輝度レベル波形を得、該輝度レベル波形
の立上り及び立下り部が予め設定したスライスレベルに
達した点間の寸法に基いてトラック幅を決定する薄膜磁
気ヘッドのトラック幅の自動測定方法において、前記薄
膜磁気ヘッドの媒体対向面（スライダ浮上面）中の前記
ポールフェース面部分を検出（探索）して該ポールフェ
ース面の読み取り可能位置に前記測定用光学ラインセン
サを相対的に自動的に位置付ける手段（検出用、すなわ
ち、Ｘ方向の光学的ラインセンサ）を備える。

上記スライスレベルは、上記トラック幅に対応する輝度
レベル波形を得るのに先立って、予め、次のようにして
設定される。すなわち、前記測定用光学的ラインセンサ
により読み取って得た輝度信号中、ポールフェース面の
端部に相当する部分（すなわち、波形の立上りと立下り
部分）を排除して中央部分のみを用い、更に、該中央部
分を細分割して得た各データ中、異常値（異常に高い値
及び低い値、例えば最高値及び最低値）を排除し、残り
のデータの平均値を求め、該平均値に一定比率（例えば
０．４〜０．６）を掛けることにより、スライスレベル
を得る。

なお、次下に述べるように、具体的には、測定用光学的
ラインセンサはポールフェース面上でトラック幅を横切
る方向に微小ピッチずつ移動するので、スライスレベル
はその移動ステップ毎に算出した中からＭＡＸ値を選出
（後記「（１）測定スライスレベルの設定方法」参照）
して置いて、後の各移動ステップ毎の輝度レベル波形と
の比較に用いられる。

次に、再度、測定用光学的ラインセンサによりポールフ
ェース面が読み取られて、得られた輝度レベル波形と前
記スライスレベルとで、前記トラック幅の決定（輝度レ
ベル波形の立上り及び立下リ部カスライスレベルに達し
た点間の寸法に基いてトラック幅を決定〉が行なわれる
が、上記のように、測定用ラインセンサを磁気ギャップ
が検出される迄微小ピッチずつ移動してその都度データ
を得、これらのデータから最終的なトラック幅を決定す
るために、具体的には以下の磁気ギャップ検出法とトラ
ック幅決定法が用いられる。

すなわち、磁気ギャップ検出法として、この再度の読み
取りの際に、測定用ラインセンサの微小移動ステップ毎
に得られた輝度レベル波形を、前記スライスレベルを得
た場合と同様に処理して（すなわち、ポールフェース面
の端部に相当する波形の立上り立下り部を排除して中央
部分のみを細分化し、得られたデータの異常値を排除し
た後、それを移動ステップ毎に平均化して、）、輝度レ
ベル平均値として取り出し、前後の移動ステップでの輝
度レベル平均値の変化率が規定値以上になるときに、磁
気ギャップが検出されたものと判定する。

また、トラック幅決定法では、移動ステップ毎に測定さ
れたトラック幅寸法データを一旦メモリに記憶しておき
、前記磁気ギャップ検出後に、記憶されたトラック幅寸
法データからポールフェース面の形状からみて適合する
大きさ順位の寸法データを選び、これを最終的なトラッ
ク幅寸法の測定値と定める（例えば実施例の台形形状の
場合、ＭＡＸ値をトラック幅とする）。

なお、以下に、上記スライスレベルの設定方法、磁気ギ
ャップの検出方法、及び、トラック幅寸法の測定方法の
概要を捕足して説明する。

（１）測定スライスレベルの設定方法 トラック幅と平行なラインセンサを、微小ピッチでトラ
ック面（ポールフェース面）上部よりギャップ近くまで
移動させる。この際、各移動ピッチ毎に得られる輝度レ
ベル波形が、あらかじめおおよその輝度レベルから設定
した固定スライスレベルに達したら、そのスライスレベ
ルによリ波形の立上り基点（トップアドレス）と、立下
り基点（エンドアドレス）を求める。

そこでまず、トラック面のレベルは、各基点の内側部波
形を一定幅マスクし、残った中央部を細分割して各分割
幅毎に輝度レベルの平均値をだし、その各データから、
ＭＡＸ側とＭＩＮ側の一定個数のデータを取り除いて算
出した平均値として求める。

又、トラック面以外の部分のレベルは、各基点の外側部
波形を一定幅マスクし、それより外側の一定幅の輝度レ
ベル平均値を出すことにより求める。

以上により求めたトラック面のレベルと、トラック面以
外の部分のレベルとの差を、各移動点での輝度レベル検
出値としてメモリする。

同様にして求めたトラック面全域からの輝度レベル検出
値の中から、ＭＡＸ値を、そのトラック面の輝度レベル
読み取り値として選出する。

次に、この輝度レベル読み取り値の一定割合（４０％〜
６０％）を、そのトラックの測定スライベルとして設定
する。

（２）トラック幅に接するギャップの検出方法上記（１
）と同様に、．ラインセンサを微小ピッチでトラック面
上部よりギャップに向けて移動させながら、各移動点で
の輝度レベル検出値、及びその変化具合を読み取る。ギ
ャップは輝度が低いことから、輝度レベル検出値の低下
割合が一定の値以上になった時点を、ギャップとして検
出する．この低下割合の算出は、その時点までのＭＡＸ
値を基準に行なう。これは、ギャップ境界部の輝度不安
定領域の影響による誤検出を防ぐためである。

なお、各移動点での輝度レベル検出は、上記（１）と同
様方法で、固定スライスレベルの代わりに、上記（１）
で設定した測定スライスレベルを使用して求める。

（３）トラック幅寸法の測定方法 上記（２）での輝度レベル検出時、同時に、測定スライ
スレベルにより波形の立上り基点と立下り基点間の寸法
データを、ギャップが検出されるまで順次メモリとして
おき、ギャップが検出された後、その中かのらトラック
面形状に合った大きさ順位のデータ（台形形状の場合は
、ＭＡＸ値）を選びだし、これをトラック幅寸法の測定
値とする。

〔作　用〕

上記構成に基づく作用を説明する。

本発明による方法では、薄膜磁気ヘッドの媒体対向面中
のポールフェース面部分を検出して、測定用光学的ライ
ンセンサを該ポールフェース面部分の読み取り可能位置
に相対的に自動的に位置付けるようにしたので、測定す
る薄膜磁気ヘッドを人手で投入部にセット後、測定部へ
の搬送位置決め、トラック幅測定位置の検出、トラック
幅の測定、測定値の表示、測定精度の経時変化に対する
補正等、すべて自動で作動することができる。したがっ
て、従来の目視手作業による方法に比べて、疲労や個人
差による誤測定が防止され、工数も低減することができ
る． また、この測定方法において、測定スライスレベルの読
み取り時及び輝度レベル読み取り時、局部的輝度異常値
を排除した値を取り込むようにしたため、薄膜磁気ヘッ
ドの製造品質上さけえないトラック面の微細なキズや汚
れの影響を受けずに高精度測定できる。これによって、
単に輝度レベルと画像処理により測定する従来方法に比
べ、実用ワークに対する誤測定がなくなる．この結果、
上記の自動測定を行なう場合に、測定の途中で装置の制
御に狂いを生じることもなく、測定対象を投入部にセッ
トしさえすれば、最終のトラック幅の判定結果が得られ
る迄の一連の自動動作が正しく行われる． 〔実施例〕 以下に、本発明の実施例を図面によって説明する。

〈１〉　実施例の構成 第１図は、本発明の一実施例である、薄膜磁気ヘッドの
トラック幅寸法自動測定装置の構成図である。

この図において、鏡筒１には、下部に対物レンズ２が取
り付けられると共に、上部に、オートフォーカス機能を
有するカメラヘッド３と、Ｘ方向およびＹ方向の、２本
のラインセンサ４及び５が取り付けられており、該鏡筒
１は、オートフォーカス駆動部６および計測微動テーブ
ル７を介して鏡筒固定台８の垂直面に固定されている。

対物レンズ２の下方で、測定対象物である薄膜磁気ヘッ
ドのコアスライダー９が、計測テーブル１０の上に配置
されている。コアスライダー９の測定面には、照明装置
１１による照明光が、鏡筒１と対物レンズ２を通って真
上から照射される。

又、コアスライダー９の測定面の像は、カメラヘッド３
により撮影され、Ｃ　Ｃ　Ｕ　（Ｃａｍｅｒａ　Ｃｏｎ
ｔｒｏｌＵｎｉｔ）　１２を介してモニタ１３に拡大画
像として映しだされる。先にあげたＸ方向及びＹ方向ラ
インセンサ４および５は、このモニタ１３の画面の中心
部を原点として、各々Ｘ方向（水平方向）及びＹ方向に
くるよう配置されている。なお、ラインセンサカメラ　
（センサ４，５）とエリアセンサカメラ（カメラヘッド
３）は、同一顕微鏡上に固定されているため、カメラの
（測定物に対する相対的な）移動中も、双方の位置関係
は常に一定であり、従って、モニタの視野に対するライ
ンセンサの位置は一定（ほぼ中央）である。但し、測定
物に対するラインセンサの平行及び垂直度の調整ができ
るようになっている。なおまた、後述のモニタ画面に書
いてあるラインセンサの位置は仮想線であり、実際には
モニタ画面上に映出されない。

ラインセンサ４，５により得られる測定面の輝度レベル
は、処理装Ｗ１４に取り込まれる。処理装置１４は、こ
の輝度レベルを基に、計測テーブルコントローラ１８、
オートフォーカスｌ７、照明用電源ｌ６等を制御し、ト
ラック幅寸法の測定寄りを行ない、結果をプリンタ１５
に打ち出す。

く２〉　実施例の動作 第２図〜第５図により、本実施例における測定処理動作
の詳細を説明する。

２．１　薄膜磁気ヘッドのトラック幅部の構戒第２図は
、本実施例の測定対象物の一例である、薄膜磁気ヘッド
のコアスライダーの外観図、同図（ａｌはその斜視図、
同図（ｂｌは媒体対向面からみたコア・ギャップ近傍の
拡大平面図である。

第２図（ａ）において、薄膜磁気ヘッドのコアスライダ
ーは、材料から大別すると、素子基板であるスライダ部
２１と、素子保護膜２２とで構成され、保護膜２２の浮
上面（媒体対向面）側２３にコア・ギャップ部２４があ
る。本実施例では、第２図（ｂ）に示すように、コア・
ギャップ部２４は、長さの異なる２つの台形形状をした
ポールフェースで構成され、長さの短い上側ポール２５
と、長さの長い下側ボ−ル２６とが、０．３　ｐ　ｍ−
０．８　ｕ　ｔｍ程のギャップ長ｇのギャップ２７を介
して配置されている。

本発明の測定対象であるトラック幅Ｔは、「上側ボール
２５の底面（ギャップ２７側の面）がギャップ２７と接
している長さ」である。本実施例では、トラック幅Ｔが
例えば１２μＵ程度である。又、以下の説明上、この上
側ポール２５のポールフェース面をトラック面２８、厚
さＷをボール厚と称する。

２．２　トラック面の検出と位置決め 第３図により説明する。第３図は、コアスライダー２１
のコア・ギャップ部２４付近の浮上面２３と、モニタｌ
３の測定画像３０と、検出用（Ｘ方向）ラインセンサ４
による検出用走査線３１と、該走査線３１による輝度レ
ベル波形３２　（３２ａ〜３２ｄ）との位置関係を示す
概念図である。

この図を基に、以下■〜■の手順で説明する。

■　初期位置の検出・・・第３図（ａ）測定ステージ上
に位置決めされたスライダ浮上面２３に対し、オートフ
ォーカスを行ない、スライダ面２１の輝度レベル３２ａ
を読み取る。

■　保護膜面の検出・・・第３図（ｂ）ステージを図の
Ｘ方向へ移動させながら随時輝度レベル３２ｂを読み取
り、レベルが下がった所３２０ｂを輝度の低い保護膜面
２２としてとらえ、その境界部３２ｌｂが測定画像３０
の中央にくるまで移動させる。

■　コア・ギャップ面部の検出・・・第３図（Ｃ）ステ
ージを図のＹ方向へ移動させながら随時輝度レベル３２
ｃを読み取る。この際、スライダ面２１部分の波形には
マスクをし、マスク以外の保護膜面２２の部分に一定レ
ベル３３以上のものが確認されたら、輝度の高いコア・
ギャップ部２４と判断する。次に、コア・ギャップ２４
の中央部にあるトラック面２８を、ラインセンサ４で確
実にとらえて検出するため、テーブルをＹ方向で矢示と
逆に一旦少し戻した後、再度微小ピツチ（２μ１１／ピ
ツチ程）ずつＹ方向へ移動させ、■ピッチ移動する毎に
１走査線の輝度レベルを測定し、規定の移動回数連続で
コア・ギャップ部２４のレベル２４′を検出したら、送
りをストツプする．このとき、走査線３１は、トラック
面２８のＹ方向のほぼ中心に位置する。

■　測定開始点の検出と位置合わせ・・・第３図（ｄ）
上記■の位置で再度オートフォーカスを行ない、正確な
輝度レベル３２ｄ（第３図（Ｃ）参照）を読み取り、そ
の波形の立上り２４１からトラック面２８の左端の位置
を求める。次にこの位置と、測定用（Ｙ方向）ラインセ
ンサ５による走査線（測定用走査像部）３４の位置との
差ｌを求め、テーブルを第３図（Ｃ）の位置からｌ＋α
（αは０．５μｍ程）Ｘ方向に動かすことにより、測定
用ラインセンサ５の走査線位置３４の右側に、トラック
面２Ｂの左端（＝トラック面２８の上部稜）を位置決め
する（第３図（ｄ））。この位置を測定開始点とする。

２．３　測定スライスレベルの設定 第４図（ａ）．　（ｂ）の概念図により説明する．第４
図（８１は測定用ラインセンサとトラック面との位置関
係を示す図、集４図（ｂ）は該測定用ラインセンサで得
られた輝度レベル波形図である．測定開始点〔上記２．
２の終了点〕にある測定用ラインセンサ５の走査￥！Ａ
　３　４　ａをギャップ方向に２ステップ（０．０３μ
ｍ／ステップ，程度）ずつ移動させ、各移動ピッチ毎に
得られる輝度レベル波形３５が、あらかじめ設定した固
定スライスレベル３６に達したら、波形の立上り基点で
あるトップアドレスｔと、立下り基点のエンドアドレス
ｅを求める。

そこで、トラック面のレベル３７を、以下のようにして
求める。即ち、トップアドレスｔとエンドアドレスｅか
ら各々一定幅ａ　　（１μｍ程度）の範囲をマスクして
除き、残りの中央部のレベル波形を微小間隔ｄ　　（０
．５μｍ程度）毎に分割して各分割区間毎に平均し、そ
のデータからＭＡＸ側の５個のデータおよびＭＩＮ側の
５個のデータを除いて、残りの中間レベルのデータを平
均した値として、レベル３７を求める。

次に、保護膜面のレベル３８は、以下のようにして求め
る。即ち、トップアドレスｔとエンドアドレスｅから、
各々外側に一定幅ａ′（１μｍ程度）をマスクして除き
、それより外側の一定幅ｂ　（３μｍ程度）のレベルを
平均した値として、レベル３８を求める。

以上により求めた、トラック面のレベル３７と保護膜面
のレベル３８とのレベル差３９を、各移動ピッチ点での
輝度レベルとしてメモリしておく。

同様にして、測定用のラインセンサ（測定用走査線）３
４ａをギャップ２７近くの位置３４ｃ（トラック面厚さ
の３／４〜４／５）まで次々に移動させながら、各移動
ピッチ毎に輝度レベル３９を求め、そのうちのＭＡＸ値
を、そのトラックの輝度レベルとして読み取る。

次に、この読み取った輝度レベルに、一定の比率（約４
０％〜６０％）を掛け、これを測定スライスレベル３６
′として取．り込み設定する。

２．４　ギャップの検出及びトラック幅の測定第４図（
ａ）．　（ｂｌと第５図の概念図により説明する。

上記２．３によるレベル設・定終了後、測定用ラインセ
ンサ３４ｃが一旦測定開始点３４ａまで戻り、再度ギャ
ップ方向に１ステップずつ（約０．０３μｍ／ステップ
程度）移動させながら、各移動点での輝度レベル３９及
びその変化具合を読み取る。輝度レベルの読み取りは、
上記２．３で求めた測定スライスレベル３６′を用い、
上記２．３と同様方法で行なうが、同時に、トップアド
レスｔ′とエンドアドレスｅ′間のトラック幅寸法デー
タ２０を求め、ギャップ２７が検出されるまで順次メモ
リしておく。

ギャップ２７は輝度が低いため、輝度レベルが一定の割
合（８０％程度〉以下に低下した時点（３４ｄに相当）
を、ギャップ２７として検出する。

第５図に、この概念図を示す。この低下割合の算出基準
には、それまでのＭＡＸ値を用いる。

これは、ギャップ境界部分の輝度がトラック面の反射光
の変動等により不安定であり、この影響によるギャップ
位置の誤検出を防ぐためである。

ギャップを検出後、それまでメモリしていた寸法データ
２０の中からＭＡＸ値を選びだし、これをトラック幅寸
法の測定値として表示する。

ここで、ＭＡＸ値選定の際、その前のデータに対する増
加割合が、ある規定値以上の場合は、ノイズ等による異
常値とみなして排除するようにした。この変化割合の規
定値は、測定対象物のトラック面の幅方向形状によって
、任意に設定できる。

なお、本実施例のように、トラック面２８が第４図（ａ
）でギャップ２７に向けて下方に広がる台形状の場合に
は、このトラック幅ＭＡＸ値は原則として最もギャップ
２７寄りの位置（３４ｄ）で得られる。しかし、厳密に
いうと、台形の角部が丸くなっているので、若干手前（
３４ｃ寄り）となることもある。トラック面２８の形状
としては、ほかに、位置３４ｂでの幅（Ｔ１）と位置３
４ｄでの幅（Ｔ３）が最小で、中央位置（３４ｂと３４
ｄとの中間）で最大幅（Ｔ２）となるように（　Ｔ　Ｉ
　＝Ｔ　３〈Ｔ２）台形を２つ重ねた形状や、３４ｂ（
幅Ｔ．）から中央位置（幅Ｔｚ）までは下方に広がるよ
うな台形で、中央位置から３４ｄ（幅Ｔ３）までは一定
幅の方形となる形状（Ｔ　Ｉ　＜　Ｔ　２　＝Ｔ　３）
がある。

これら形状が変ると実効トラック幅を与える位置も変わ
って来るが、いずれにしても、実効トラック幅は、上記
最大値Ｔ２や最小値Ｔ１やＴ，〜Ｔ３の中央値または積
分値などの中から、磁気特性との相関実験により決める
ことができる。

〔発明の効果〕

以上詳しく説明したように、本発明によれば、測定用光
学的ラインセンサを薄膜磁気ヘッドのポールフェース面
の読み取り可能位置に自動的に位置付けて、以後のトラ
ック幅の測定結果が得られる迄の動作を自動化すること
ができるので、サブミクロンオーダーの超高精度の測定
を必要とする薄膜磁気ヘッドのトラック幅寸法測定法に
おいて、従来の顕微鏡を使った高熟練目視手作業による
方法のように、精神的疲労や個人差による誤測定が生じ
たり作業工数が多くなったりすることなく、測定精度を
高めてその品質を安定化し、測定作業も人手を介さず合
理化し工数も少なくすることができる等、優れた効果を
奏する。

また、測定スライスレベルの設定時及び輝度レベルの読
み取り時に、局部的な異常値を排除した値を取り込むよ
うにしたので、薄膜磁気ヘッドの製造品質上避けられな
いポールフェース面部分の微小なきすや汚れがあっても
、従来の輝度レベルとその画像処理による測定方法のよ
うに誤測定が発生することなく、それらきずや汚れによ
る影響のない、高精度の安定した測定が可能となる等の
効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例による薄膜磁気ヘッドのトラ
ック幅寸法自動測定装置の主要な構成を示す構戒図、第
２図は本発明の測定対象物の薄膜磁気ヘッドのコアスラ
テダーの一例を示す外観図、第３図は本発明の測定方法
による諸動作のうち、トラック面（ポールフェース面）
の検出と位置決め動作を説明するための概念図、第４図
は上記実施例による測定方法における測定処理動作を説
明するための概念図、第５図は第４図を補足する磁気ギ
ャップ検出を行なうためのレベル低下基準算出法を示す
説明図である。 １・・・鏡筒、２・・・対物レンズ、３・・・カメラ、
４及び５・・・ラインセンサ、６・・・オートフォーカ
ス駆動部、７・・・微動計測テーブル、８・・・鏡筒固
定台、９・・・薄膜磁気ヘッドのコアスライダ（測定対
象物）、１０・・・計測テーブル、１ｌ・・・照明装置
、１２・・・カメラ制御ユニット、１３・・・モニタ、
１４・・・処理装置、１５・・・プリンタ、１６・・・
照明用電源、１７・・・オートフォーカス、１８・・・
計測テーブルコントローラ、２１・・・薄膜Ｌｍ　気ヘ
ッドのスライダ部（素子基板）、２２・・・素子保護膜
、２３・・・スライダの浮上面、２４・・・コアギャッ
プ部、２５・・・上側ポールフェース、２６・・・下側
ポールフェース、２７・・・磁気ギャップ、２８・・・
トラック面（ポールフェース面）、３０・・・モニタ測
定画像（モニタ画面）、３１・・・検出用（Ｘ軸）ライ
ンセンサ（走査線）、３２ａ〜３２ｄ・・・輝度レベル
波形、３４．　３４ａ〜３４ｂ・・・測定用（Ｙ軸）ラ
インセンサ（走査線）、３５・・・輝度レヘル波形、３
６．　３６’・・・スライスレベル、３７・・・トラッ
ク面レベル（ポールフェース面輝度レヘル平均値）、３
８・・・保護膜面レベル。 第 ｌ 図 第 ２ 図 （ａ） （ｂ） 第 ４ 図 （ａ） （ｂ） ｌＵ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、測定用光学的ラインセンサを薄膜磁気ヘッドのポー
   ルフェース面上でトラック幅方向に沿うように位置付け
   て、該トラック幅に対応する輝度レベル波形を得、該輝
   度レベル波形の立上り及び立下り部が予め設定したスラ
   イスレベルに達した点間の寸法に基いてトラック幅を決
   定する薄膜磁気ヘッドのトラック幅の自動測定方法にお
   いて、前記薄膜磁気ヘッドの媒体対向面中の前記ポール
   フェース面部分を検出し該ポールフェース面の読み取り
   可能位置に前記測定用光学的ラインセンサを相対的に自
   動的に位置付ける手段を備えたことを特徴とする薄膜磁
   気ヘッドのトラック幅の自動測定方法。 ２、測定用光学的ラインセンサを薄膜磁気ヘッドのポー
   ルフェース面上でトラック幅方向に沿うように位置付け
   て、該トラック幅に対応する輝度レベル波形を得、該輝
   度レベル波形の立上り及び立下り部が予め設定したスラ
   イスレベルに達した点間の寸法に基いてトラック幅を決
   定する薄膜磁気ヘッドのトラック幅の自動測定方法にお
   いて、前記スライスレベルを得る手段は、予め、前記ポ
   ールフェース面の中央部のみに対応する輝度信号を細分
   割して得た各データから異常値を排除した上でそれらの
   データの平均値を算出する手段と、算出した平均値に一
   定比率を掛けてスライスレベルとする手段とからなるこ
   とを特徴とする薄膜磁気ヘッドのトラック幅の自動測定
   方法。 ３、前記測定用光学的ラインセンサは、前記ポールフェ
   ース面上でトラック幅を横切る方向に相対的に微小ステ
   ップずつ順次移動して、その都度トラック幅に対応する
   前記輝度レベル波形を得るように構成し、該輝度レベル
   波形は前記スライスレベルを得る場合と同様に、ポール
   フェース面の中央部のみに対応する部分が細分割されて
   得られたデータから異常値が排除された後、各移動ステ
   ップ毎に平均化されて、輝度レベル平均値として取り出
   されるように構成し、前後の移動ステップでの輝度レベ
   ル平均値の変化率が測定値以上になるとき、磁気ギャッ
   プが検出されたものと判定するように構成したことを特
   徴とする請求項２記載の薄膜磁気ヘッドのトラック幅の
   自動測定方法。 ４、前記トラック幅は前記各移動ステップ毎に測定され
   、測定されたトラック幅はその都度メモリに記憶され、
   前記磁気ギャップ検出後に、前記メモリに記憶されたト
   ラック幅の寸法データからポールフェース面形状に適合
   する大きさ順位の寸法データを選び、これをトラック幅
   寸法の測定値とすることを特徴とする請求項３記載の薄
   膜磁気ヘッドのトラック幅の自動測定方法。