JPH0398939U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0398939U JPH0398939U JP474090U JP474090U JPH0398939U JP H0398939 U JPH0398939 U JP H0398939U JP 474090 U JP474090 U JP 474090U JP 474090 U JP474090 U JP 474090U JP H0398939 U JPH0398939 U JP H0398939U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- vacuum chamber
- pressure reducing
- reducing device
- gate valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Taps Or Cocks (AREA)
- Self-Closing Valves And Venting Or Aerating Valves (AREA)
Description
第１図は実施例−１を示すもので、本発明の真
空装置の構成の一例を示す構成図である。第２図
は、同例の回転弁体及びバルブ構造の構成を示す
ものである。第３図及び第４図は各々別の回転弁
体及びバルブ構造の構成例を示し、それぞれ実施
例−２，３を示すものである。第５図は本発明の
作用説明図である。第６図は、実施例−１の作用
説明図である。第７図ａは実施例−１における場
合のパーテイクル付着、第７図ｂは従来例におけ
る場合のパーテイクル付着を示した図である。第
８図及び第９図は従来技術を示し、第８図は真空
装置の一般的構成を示す図、第９図は問題点を示
す図である。 １……真空室、２……減圧装置、３……ゲート
バルブ、４……回転弁体、４１……導通用空間、
４２……抜き部。
空装置の構成の一例を示す構成図である。第２図
は、同例の回転弁体及びバルブ構造の構成を示す
ものである。第３図及び第４図は各々別の回転弁
体及びバルブ構造の構成例を示し、それぞれ実施
例−２，３を示すものである。第５図は本発明の
作用説明図である。第６図は、実施例−１の作用
説明図である。第７図ａは実施例−１における場
合のパーテイクル付着、第７図ｂは従来例におけ
る場合のパーテイクル付着を示した図である。第
８図及び第９図は従来技術を示し、第８図は真空
装置の一般的構成を示す図、第９図は問題点を示
す図である。 １……真空室、２……減圧装置、３……ゲート
バルブ、４……回転弁体、４１……導通用空間、
４２……抜き部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 真空室と該真空室を真空状態にするための減圧
装置との間にゲートバルブが設けられている真空
装置において、 前記ゲートバルブ内には、真空室側と減圧装置
側とを導通させる空間を有し、かつ回動すること
により双方の側を導通あるいは遮断する回転弁体
が配置され、 かつ該回転弁体は、真空室側と減圧装置側とを
導通するに先立ち、あらかじめ前記導通用の空間
を減圧状態にしておける構造としたものであるこ
とを特徴とする真空装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP474090U JPH084102Y2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 真空装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP474090U JPH084102Y2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 真空装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0398939U true JPH0398939U (ja) | 1991-10-15 |
| JPH084102Y2 JPH084102Y2 (ja) | 1996-02-07 |
Family
ID=31508474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP474090U Expired - Lifetime JPH084102Y2 (ja) | 1990-01-23 | 1990-01-23 | 真空装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084102Y2 (ja) |
-
1990
- 1990-01-23 JP JP474090U patent/JPH084102Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH084102Y2 (ja) | 1996-02-07 |
Similar Documents
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |