JPH0399238A - 高分解能分光器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、複数の回折格子を利用した高分解能分光器に
関するものである。

（従来の技術） 光通信や光倫号処理技術の開発に伴ない、光波を高分解
能で周波数分析できる分光装置の開発が強く要請されて
いる。

第８図は従来の回折格子を利用した分光器の基本構成を
示す線図である。分光すぺき光波をスリットＳ１を経て
入射させる。この光波は回折され広がっているため、凹
面鏡恥で平行光束とし、平行光束を回折格子Ｇ，に入射
させる。この回折格子は格子溝が紙面と直交する方向に
延在し、紙面内で回動可能に装着されている。入射した
光波は回折格子Ｇ，によって波長に応じた回折角方向に
回折され、凹面鏡ｈで集束されスリットｓｚを経て出射
する。回折されるべき光波は、その波長により回折角も
異なるため、波長に応じて集束位置が格子溝と直交する
紙面の上下方向に偏位して形成される。

この結果特定の波長或分光だけがスリットＳ２から出射
する。従って、回折格子Ｇ，を回動させ回折格子への入
射角を変えることにより特定の波長光だけを選択的に出
射させることができ、この回転角からスリットＳｔを出
射する光波の波長が算出され分光計測を行なうことがで
きる。

次に、上述した従来の回折格子分光器の分解能を第９図
に基づいて説明する。回折格子Ｇ１のピッチをｄ、入射
角をθ１とすると波長λの光波の回折角θ２は次式で与
えられる。

θｔ　＝ｓｉｎ−’（ｎλ／ｄ−ｓｉｎθ，）　　　　
　・（１）ここで、ｎは回折の次数±１．±２，±３一
一一（通常はｎ＝±１をとる）。

簡単にするため、最良の波長分解が得られる回折格子の
全幅Ｄに亘ってビームが照射させているとすると、集束
用の凹面鏡Ｍ２がビーム径に対して十分に大きい場合ビ
ーム径はほぼＤｃｏｓθ２となる。

凹面鏡Ｍ２の焦点距離をｆ２とすると、ビームは焦点位
置で最も細径になり、回折限界においてビーム径は次式
で与えられる。

，ｄ　Ｘ，．．．−ｆｔ　・λ／　（Ｄｃｏｓθｔ）・
（２）また、波長がλからＡλだけ異なることにより回
折角θ２もＡθアだけずれるものとすると、Ａθ２は次
式で与えられる。

Ｚθｚ　’ｉ　ｎ　Ｘ　ｌλバｄｃｏｓθｚ）・（３）
この結果、集束位置も偏位し、この偏位１ａＸは次式で
与えられる。

？ｘ＝ｒｚ・Ｊθ．＝ｎＸｆ２・，ｊλ／　（ｄｃｏｓ
θ２）・・・（４） 偏位量Ａｘが（２）式で規定される値より小さい場合に
は分解できないため、（２）式で規定される値に等しい
波長差が理論的に可能な波長分解能に相当する。従って
、（２）式及び（４）式より分光可能な最高分解能Ａλ
．ｌ　（理論限界）が求まり、この最高分解能は次式で
与えられる。

Ａλｒａｗ　＝　ｌ　Ｘ　ｒ＊ｓ／　（　ｎ　Ｘ　ｆｔ
／　（ｄ　Ｃｏｓθ２））＝λ（ｄ／ｎ）／Ｄ　　　　
　　・・・（５）通常の分光器では、集束部にスリッ｝
Ｓｚを置き、特定の波長光だけを選択的に検出する。こ
の場合、スリッｌ−ｓｚの幅Ｗが（２）弐以下の場合（
５）式の理論限界式に近い分解能が得られる。一方、一
般的には、広い幅（例えば１０ＤＩＩ１以上）のスリッ
トが用いられるので、分解能Ａλ′■３はスリット幅Ｗ
で規定され、次式で与えられる。

Ａλ”　ｒａｔ　＝　Ｗ／　（　ｎ　Ｘ　ｆ　！／　（
ａ　ｃｏｓθ２））＝（ｄｃｏｓθｚ／ｎ）Ｗ／ｆｚ ≧λ，．．　　　　　　　　（６） （６）式より、集束用凹面鏡ｈの焦点距離ｆ２を大きく
すると分解能が一層高くなることが理解できる。

しかしながら、実際にはｆ２を大きくしても最終的には
（５）弐で与えられる理論限界より大きくなることはな
い。又、（５）式より、分光器の相対分解能Ａλｒ１．
／λは回折格子の格子数（Ｄ／ｄ）及び回折次数ｎだけ
で定まる。さらに、格子ピッチｄはｎ×λ／２より大き
くなければ回折格子として作用しないから、次式が戒立
する。

Ａνｒａｓ　ｌ　”：　ｌν（Ａλ，．３／λ）＝ｖｌ
ｄ／ｎｌ／Ｄ≧νλ／　（２Ｄ）＝　Ｃ／　（２Ｄ） ・・・（７） ここで、等号はｄ＝ｎλ／２のとき戒立し、Ｃは光速で
ある。

従って、ｄ，ｎを最適に選択した場合の最良の周波数分
解能は回折格子の全幅を光が１往復する時間の逆数程度
となる。この結果、従来の分光器の可能な分解能は、回
折格子の大きさによって最終的に規定されてしまう。

（発明が解決しようとする課題） 上述した検討より、従来の分光器の分解能を決定するも
のは回折格子の格子数と回折次数であり、さらに格子ピ
ッチ及び回折の次数を最適に選択すれば回折格子の口径
（回折格子の全幅Ｄ）であると結論できる。

従って、高分解能を得るためには大口径の回折格子が必
要であるが、大口径の回折格子を製造するのは困難であ
り、しかも２０〜３０ｃｕ＋のものとなれば極めて高価
になってしまう。このような欠点を解消するものとして
分光器を直列に２段、３段に配列したダブルモノクロメ
ータ、トリップルモノクロメータと称せられている分光
器が提案されている。しかしながら、これらの分光器は
波長フィルタを直列接続したものにすぎず、総合分解能
は増大するが、装置全体が大型化するばかりでなく操作
性にも難点がある。また、分解能の向上の度合も、ダブ
ル、トリップル構造にしてもそれぞれ五倍、　Ｆ倍にな
るにすぎず、実用化されている最高級の３ｍのダブルモ
ノクロメータでも高々０．ＬＡ　（　５　〜１０ＧＨｚ
）にすぎない。

その他の高分解能分光分析装置として掃引形ファブリ・
ペロー干渉計、フーリエ変換分光光度計があげられる。

この掃引形ファブリ・ペロー干渉形は，　ＭＨｚ程度の
高分解能を有し、定常スペクトル観測に適しているが、
１個の波長が無数に近い多数の透過領域を有するため被
測定光源に数波長が混在すると測定不能になるばかりで
なく、絶対波長を測定することができない。従って、狭
いフリースペクトルレンジの測定に限定されてしまう．
しかも、掃引に１ミリ秒以上もかかるため高速実時間計
測できない欠点もある。また、フーリエ変換分光光度計
は、研究段階では１　ｋＨｚに近い分解能が得られてい
る。しかし、干渉計のアーム長をゆっくり掃引する必要
があるため測定に長時間かかってしまう。従って、長時
間の時間平均スペクトル測定には適するが、信号の実時
間スペクトル計測には適用できない欠点がある。また、
光源が長時間波長安定性を有していない場合信号スペク
トルの広がりか或いは光源の長期間ふらつきかを区別で
きない欠点もある。

従って、本発明の目的は上述した欠点を解消し、高価な
大口径の回折格子やダブルモノクロメータを用いること
なく、小型で簡単な構造で高分解能を達戒できる分光器
を提供するものである。

（課題を解決するための手段） 本発明による高分解能分光器は、分光すべき光ビームを
平行光束とする第１の光学素子と、多重回折された光束
を集束させる第２の光学素子と、これら光学素子間の光
路中に、格子溝が互いに平行になるように配置されてい
る複数の回折格子とを具え、入射側に位置する回折格子
からの回折光を、この回折格子の近視野内に配置した出
射側に位置する次段の回折格子に順次人射させて多重回
折を行なうように構成したことを特徴とする。

さらに、本発明による高分解能分光器は、分光すべき光
ビームを平行光束とする光学素子と、この平行光束を回
折する第１の回折格子と、第ｌの回折格子の近視野像を
形成する結像光学系と、前記近視野像の結像位置又はそ
の近傍に配置され、格子溝が第１の回折格子の格子溝と
平行に延在する第２の回折格子と、第２の回折格子から
の回折光を集束させる光学素子とを具え、前記第１及び
第２の回折格子により多重回折させるように構成したこ
とを特徴とする。

（作　用） 第１図は本発明による高分解能分光器の原理を説明する
ための模式図である。分光すぺき入射ビームｂは波長λ
とλ＋Ａλの光波から威るものとし、このビームｂを回
折溝が紙面と直交する方向に延在する第１の回折格子Ｇ
１に入射角θ．で入射させ回折させる。波長λの光波と
波長λ＋Ａλの光波との回折角の差２θ２ｌは次式で与
えられる．Ａθｚ＋＝ｎ＋Ｊλ／　（ａ　ｃｏｓθＺ　
＋　＞　　　　　　・（Ｓ）これら回折光を、近視野領
域内に配置され回折溝が紙面に垂直に延在する第２の回
折格子Ｇｔで回折させると、第２の回折格子Ｇｔへの入
射角がそれぞれ異なるため、第２の回折格子による回折
角の差Ａθ．は波長差２λに直接依存する量と第１の回
折格子の回折角差Ａθｆｆｉ＋に起因する第２の回折格
？Ｇ２への入射角の差異２θ１■によるものとの和とな
り、次式で与えられる。

１　１１　ｚ＊＝ｌ　Ｊ：｝ｅ　ｚｄ３Ａ　＋ｌ　ｆｌ
　Ｉ−ｆｌ　ｚｚ／ａθ１２＝ｎｔＸＪλ／　（ａｃｏ
ｓθ．ｔ）　−　Ｊθ，　ｇｃＯｓθ＋　ｔ／ｃｏｓθ
ｚｔ””ｎｔ／ｎＩＡθ．．　（ｃｏｓθ２＋／ＣＯＳ
θ０−Ｃｎ．ｌθｚ＋／ｎｚＪθ＋ｚ）ｃｏｓθ＋　ｚ
／ｃｏｓθ２ｚ｝ここでＡθ，２と２θ．は絶対値が等
しく、また、２度の回折は正負の符号は別に同じ次数に
とればｎｌ＋　ｎｇの絶対値も等しい。しかもこの符号
は回折格子の設定等で選択できるので（ｎ，ａθ＋ｚ／
ｎｚＪθ２１）を−１に設定できる。この場合 Ａθ．．ｌ＝１，６θｔ＋　ｌ　（ｃｏｓθｇ，＋ＣＯ
Ｓθ＋　ｚ）　／ｃｏｓθ２■・・・（９） θ，２，θ２．の絶対値 ？なる。したがって、θ２■ を大体同じ程度に選べば Ａθｚｚｌ〜２ｘｌ，ｄθ．ｌ　　　　　・”００）が
得られ、２重路構成での回折角の差は１回の回折の場合
に比べ、ほぼ２倍になることが分かる。

従って、２回回折のあと、通常の分光器と同様に凹面鏡
で集束すれば、２λだけ波長の異なる先は１回の回折の
場合に比べ空間的に２倍離れて集束される（式（４）で
２θ２が２倍になったと考えれば容易に理解できる）。

一方、回折格子の口径が同程度ならビームの幅は殆ど変
わらないので集束幅も１回回折の場合と同程度に留まっ
ている。つまり分解可能な波長差は１／２になり、分解
能は２倍に向上することになる。同様にして、３回回折
になれば分解能は３倍向上する。これは時間の滞留時間
を考えれば当然である。他の構成のものも基本的には同
様で、回折の回数に応じて２倍、３倍、４倍−−−と分
解能が向上する。

以下設計数値例について述べる。

方式：口径１２ｃｍ回折格子（２４００本／ＩｎＩＩ１
）で４１ｉ路使用（第４図ｂ及び第７図に示す４回回折
） 使用波長器＝４００〜８００ｎＩＩ１ 分解能：２λ／λ〜Ａν／ν〜０．８７×１０１６波長
５００ｎｍ　　（周波数６００７Ｈｚ　）で周波数分解
能〜５２１Ｍ｝ｌｚ、波長分解能〜０．ＯＯ０４３ｎｍ 波長８００ｎｍ　　（周波数３７５ＴＨｚ）で周波数分
解能〜３２６ＭＨｚ，波長分解能〜０．ＯＯ０６９ｎｎ
＋ 尚波長８００ｎｍにおいての方が、波長分解能が大きく
なっているが、実際的な分解能、周波数分解能は高いこ
とに注意されたい。

絶対波長精度：　０．００１ｎｍ　　（校正光あり）を
用いた。

出力：　ＣＲＴモニタ上で光強度の周波数分布表示を用
いた。

（実施例） 第２図は本発明による高分解能分光器の基本構成を示す
線図である。本例では２個の反射型回折格子Ｇ１及びＧ
２を用いて分光する例について説明する．入射側のスリ
ットＳＩから分光すべき光波ｂを入射させ、第１の凹面
鏡Ｍ１により平行光束とする。

この平行光束を、格子溝が紙面と直交する方向に延在す
る第１の回折格子Ｇ１により回折する。光波ｂ中に含ま
れる種々の波長光は、その波長に応じた回折角で回折さ
れ、近視野領域に配置した第２の回折格子Ｇ８に入射す
る。これら回折格子Ｇ，及びＧ．の格子溝は互いに平行
に延在する。各波長光は第２の回折格子Ｇ２で再度波長
に応じた回折角で回折される。この回折光を第２の凹面
鏡ｈで集束光束に変換し、出射側のスリットＳ２の位置
で集束させ外部に出射させる。そして、第１又は第２の
回折格子Ｇ，又はＧ２を微小角回勤させることにより、
広い波長域の光から所望の波長光だけを選択的に外部に
向けて出射させることができる。この場合、回折格子の
回転角から出射光の波長を算出することができ、分光計
測を行なうこともできる。なお、集束部には回折方向に
沿って波長差に応じて偏位したスポットが形戒されるか
ら、集束用凹面鏡Ｈ，の集束位置にスリットＳ２の代り
にＴＶカメラ、ＣＣＤアレイ、フォトダイオードアレイ
のような空間分解イメージセンサを配置して空間的光強
度分布を測定することにより分光計測を行うことも可能
である。スリットＳｔＯ代りに空間分解イメージセンサ
を用いることにより比較的狭い波長域の光について高速
実時間スペクトル計測を行なうことができる。従って、
出射スリット及びイメージセンサの両方を設けることに
より、広い波長域についての計測及び狭い波長域につい
ての実時間計測の両方を行なうことができる。

第３図は本発明による高分解能分光器の回折部分の変形
例の構成を示す線図である。本例では、互いに近視野領
域内に配置した３個の回折格子Ｇ．Ｇｔ，　Ｇｘを用い
て３回に亘って回折させて多重回折させる例を示す。こ
のように多数回回折させることにより一層分解能を向上
させることができる。

第４図ａ及びｂは別の変形例の構成を示す線図である．
本例では、分光すべきビームを格子溝の延在方向と直交
する方向に広がった偏平ビームとし、回折格子Ｇ，に対
して斜めに入射させて多重回折させる。この偏平なビー
ムはシリンドリカルレンズ、シリンドリカルよラー等を
用いることにより簡単に形戒できる。第４図ａに示す実
施例では、偏平の入射ビームｂを回折格子Ｇ１に入射さ
せ、その反射回折光を対向配置した平面ミラー肝に入射
させ、その反射光を再度回折格子Ｇ，に入射させて再度
回折させて多重回折させる。第４図ｂに示す実施例では
、平面ミラー１２の代りに第２の回折格子Ｇ２を用いて
４回回折させる。このように構成すれば、２個の回折格
子を用いるだけで多重回折できる大きな利点が達戒でき
、分光器の構造を一層コンパクトな構造とすることがで
きる。さらに、回折格子と回折格子又は平面ξラーとの
間で交互に反射を繰り返すことにより２回又は４回だけ
でなく、多数回多重回折させることができる。

第５図ａ　−　ｃはレンズや凹面鏡の組み合せから或る
結像光学系を用いてほぼ完全な近視野領域を形威して多
重回折させる構成を示す。第８図に示すように、回折格
子Ｇから距離ｆＩだけ離間させて焦点距離ｆ，の凸レン
ズＬ１を配置し、さらに凸レンズＬ＋から距離ｆ，＋ｆ
！だけ離間させて焦点距離ｆ２の第２の凸レンズＬ２を
配置する。この場合、第２の凸レンズＬ２から距離ｆｔ
だけ離れた位置に回折格子Ｇ．の倒立実像が形威され、
しかも回折格子Ｇ１近傍での平行な光線はこの倒立実像
の形成位置において上下関係が反転して平行光線となる
。つまり、倒立実線が形戒される位置及びその近傍は回
折格子Ｇ，の上下関係が反転したほぼ完全な近視野領域
となる。従って、レンズＬ＋及びし！は結像光学系を構
成し、第２の回折格子をこの倒立実像の結像位置に配置
すれば、ずれがほとんど生じないほぼ完全な多重回折を
実現できる。この場合、第１及び第２の凸レンズし，及
びＬ２の焦点距離をｆ，＝ｆ，に設定すれば、倍率が１
となり構成が容易になる。第５図ｂには、ｆ．＝ｆ２＝
　ｆとした例を示す。第５図Ｃには凸レンズの代りに凹
面鏡から或る結像光学系を用いて完全な近視野領域を形
成する例を示す。

尚、一般にレンズ媒質は波長分散効果を有し分光器の性
能に影響を及ぼすため、広い波長域の光波を分光する場
合凸レンズよりも凹面鏡を用いる方が望ましい。分光す
ぺき平行ビームを第１の回折格子Ｇ，に入射させ、その
回折方向に配置した焦点距離ｆの第１の凹面鏡ＭＣＩに
入射させる。この第１の凹面鏡の反射方向に距離２ｆだ
け離間させて焦点距離ｆの第２の凹面鏡ＭＣｚを配置し
、第ｌの凹面鏡からの反射光を入射させる。そして、第
２の凹面鏡の反射方向に距離ｆだけ離間して第２の回折
格子Ｇ２を配置する。第２の凹面鏡ＭＣｚからの反射光
は平行光束となって第２の回折格子Ｇｔに入射し、再び
回折される。このように構成すれば、簡単な構成でほぼ
完全な近視野に配置した回折格子により多重回折させる
ことができ、従ってずれのないほぼ完全な多重回折を行
なうことができる。

尚、２個の回折格子と結像光学系とから或る光学系を複
数組直列に配置することにより一層分解能の高い分光器
を実現することができる。

第６図は第５図Ｃに示す実施例の変形例を示すものであ
り、第ｌの凹面鏡から距離ｆだけ離間させて平面；ＩＭ
Ｆを配置した例を示す。このように構成すれば、光路空
間を一層小さ《することができる。

さらに、第７図は完全な近視野位置関係に配置した１組
の光学系を用い往復光路を形戒して多重回折させる分光
器の全体構成を示す線図である。

スリットＳ，を経て分光すべき光ビームを入射させ、第
１の平面鏡ＭＦ＋で反射し、シリンドリカルレンズＬ３
及び第１の凹面鏡Ｍ１を経て断面が偏平な平行光束とす
る。この偏平な平行光束を第１の回折格子Ｇ，で回折し
、その回折光を距離ｆだけ離間して配置した第２の凹面
鏡（焦点距離ｆ　）　ＭＣ．に入射させる。第２の凹面
鏡から距離２ｆだけ離間して第３の凹面鏡（焦点距離ｆ
　）　Ｍｃｚを配置する。この第２の凹面鏡からの反射
光を距離ｆだけ離間して配置した第２の回折格子Ｇ２に
入射させ、その回折光を再度第３の凹面鏡ＭＣ．に入射
させる。その反射光を再び第２の凹面鏡ＭＣ＋に入射さ
せ、その反射光を第１の回折格子Ｇ，に入射させ、さら
に凹面鏡ＭＣＩ及びＭＣ．を経て第２の回折格子Ｃｔに
再び入射させる。さらに、その回折光を第４の凹面鏡Ｍ
２で集束し平面鏡ＭＰ．を経てスリットＳｔを通過させ
る。この場合、往復光路は互いにオーバラツプしないよ
うに光路を互いにずらしてジグザグ状の光路を設定する
必要がある。このように往復光路を利用することにより
４回回折させて分光することができる。尚、本例は一例
であり、さらにジグザグ状の往復光路を多数組形戒する
ことにより６，８回と多数回折させることも可能である
。尚、回折格子Ｇ．，　Ｇ，又は他の光学素子を微小角
回動させることにより特定の波長光を順次選択的に取り
出すことができる。

尚、回折には種々の次数光が発生し、回折の次数により
回折角がそれぞれ異なる。本発明のように多重回折によ
る波数差に暴く回折角の差を加算して分光する場合、異
なる次数の回折光が出射側に漏洩しないように（迷光と
ならないように）光路設定や光遮蔽部を設けることが望
ましい。

本発明は上述した実施例だけに限定されず種々の変更や
変形が可能である。例えば上述した実施例では反射型回
折格子を用いたが、勿論透過型回折格子を用いることも
可能であり、さらに反射型回折格子と透過型回折格子と
を組み合せて多重回折させることもできる。この場合、
光路がループを形戒するように光路設定することが望ま
しい。

（発明の効果） 以上説明したように本発明によれば、複数個の回折格子
を近視野領域に配置して多重回折させる構成としている
から、大口径の回折格子を用いることなく小型で簡単な
構造で高分解能の分光器を実現することができる。

また、スペクトル計測する場合、回折格子又はミラー等
の光学素子を回動させることにより広い波長域に亘って
計測することができ、一方、狭い波長域について計測す
る場合出射スリットの代りに空間イメージセンサを配置
することにより高分解能な高速実時間スペクトル計測を
行なうことができる。

さらに、第１の回折格子の結像位置に第２の回折格子を
配置して多重回折させれば、ほとんどずれのない高精度
な多重回折を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による高分解能分光器の原理を説明する
ための模式図、 第２図は本発明による分光器の一例の構成を示す線図、 第３図及び第４図は本発明による分光器の変形例を示す
線図、 第５図〜第７図は本発明による分光器の別の実施例の構
成を示す線図、 第８図は従来の分光器の基本構成を示す線図、第９図は
分光器の分解能を説明するための模式図である。 ＧＩ＋　ＧＺＩ　Ｇ！・・・回折格子 Ｍ＋，　Ｍｚ，ＭＣ．ＭＣ１・・凹面鏡Ｓ，，　Ｓｔ・
・・スリット 第２図 第ｌ図 第４図 ａ

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、分光すべき光ビームを平行光束とする第１の光学素
   子と、多重回折された光束を集束させる第２の光学素子
   と、これら光学素子間の光路中に、格子溝が互いに平行
   になるように配置されている複数の回折格子とを具え、
   入射側に位置する回折格子からの回折光を、この回折格
   子の近視野内に配置した出射側に位置する次段の回折格
   子に順次入射させて多重回折を行なうように構成したこ
   とを特徴とする高分解能分光器。 ２、前記分光すべき光ビームを、長手軸線が格子溝と直
   交する方向に延在する偏平な平行光ビームとし、前記回
   折格子間で交互に複数回反射させて多重回折を行なうよ
   うに構成したことを特徴とする請求項１に記載の高分解
   能分光器。 ３、分光すべき光ビームを断面が偏平な平行光束とする
   光学素子と、この平行光束を回折する回折格子と、この
   回折方向に近視野限界の半分の距離より小さい距離だけ
   離間して配置されている平面鏡と、多重回折した光束を
   集束させる光学素子とを具え、前記回折格子と平面鏡と
   の間で交互に複数回反射させて多重回折を行なうように
   構成したことを特徴とする高分解能分光器。 ４、分光すべき光ビームを平行光束とする光学素子と、
   この平行光束を回折する第１の回折格子と、第１の回折
   格子の近視野像を形成する結像光学系と、前記近視野像
   の結像位置又はその近傍に配置され、格子溝が第１の回
   折格子の格子溝と平行に延在する第２の回折格子と、第
   ２の回折格子からの回折光を集束させる光学素子とを具
   え、前記第１及び第２の回折格子により多重回折させる
   ように構成したことを特徴とする高分解能分光器。 ５、前記第１及び第２の回折格子と結像光学系とから成
   る光学系を複数組有し、これら複数組の光学系により多
   重回折させるように構成したことを特徴とする請求項４
   に記載の高分解能分光器。 ６、前記分光すべき光ビームを、長手軸線が格子溝と直
   交する方向に延在する偏平な平行光ビームとし、前記第
   １の回折格子と第２の回折格子との間で結像光学系を介
   して交互に複数回反射させて多重回折させるように構成
   したことを特徴とする請求項４に記載の高分解能分光器
   。 ７、前記光学系が、対向配置した２個の凹面鏡で構成さ
   れていることを特徴とする請求項４、５又は６に記載の
   高分解能分光器。