JPH041012A - 樹脂封止装置 - Google Patents
樹脂封止装置Info
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- JPH041012A JPH041012A JP2102339A JP10233990A JPH041012A JP H041012 A JPH041012 A JP H041012A JP 2102339 A JP2102339 A JP 2102339A JP 10233990 A JP10233990 A JP 10233990A JP H041012 A JPH041012 A JP H041012A
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- pressure
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- electric motor
- transfer piston
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- Injection Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
［産業上の利用分野］
本発明は、例えばＩＣチップを載せたリードフレームを
樹脂封止するための樹脂封止装置に関する。
樹脂封止するための樹脂封止装置に関する。
一般に、ＩＣチップを載せたリードフレームは、外周の
雰囲気からの汚染や破損を防止するために封止されてい
る。この封止には、例えばセラミックや金属の蓋を用い
てＩＣチップを気密封止する方法と、樹脂によってＩＣ
チップを取り囲む方法とがある。前者は高信頼性が要求
されるものに対して、後者は低コトス性が要求されるも
のに対してそれぞれ従来広く用いられている。 第３図に従来の樹脂封止プレス用のトランスファピスト
ンの付近を示す。 図において２は上金型、４が下金型、６が樹脂封止する
ＩＣチップを収容するキャビティ、８がトランスファピ
ストンである。このトランスファピストン８は樹脂封止
のための樹脂（タブレット）１０を先端に載置すると共
に、油圧で駆動されて該樹脂１０をキャビティ６内に押
圧・封入可能とされている。 ＩＣチップは、予め前記キャビティ６内に載置され、上
金型２と下金型４とが強く接触された状態で前記トラン
スファピストン８の抑圧によって樹脂１０の封入を受け
、樹脂封止される。 このトランスファピストン８の押圧の際における速度制
御、あるいは圧力制御は、従来大がかりな油圧制御ユニ
ットの油圧バルブによって行っていた。 なお、図において符号１２は固定クラウン、１４は可動
プラテンである。
雰囲気からの汚染や破損を防止するために封止されてい
る。この封止には、例えばセラミックや金属の蓋を用い
てＩＣチップを気密封止する方法と、樹脂によってＩＣ
チップを取り囲む方法とがある。前者は高信頼性が要求
されるものに対して、後者は低コトス性が要求されるも
のに対してそれぞれ従来広く用いられている。 第３図に従来の樹脂封止プレス用のトランスファピスト
ンの付近を示す。 図において２は上金型、４が下金型、６が樹脂封止する
ＩＣチップを収容するキャビティ、８がトランスファピ
ストンである。このトランスファピストン８は樹脂封止
のための樹脂（タブレット）１０を先端に載置すると共
に、油圧で駆動されて該樹脂１０をキャビティ６内に押
圧・封入可能とされている。 ＩＣチップは、予め前記キャビティ６内に載置され、上
金型２と下金型４とが強く接触された状態で前記トラン
スファピストン８の抑圧によって樹脂１０の封入を受け
、樹脂封止される。 このトランスファピストン８の押圧の際における速度制
御、あるいは圧力制御は、従来大がかりな油圧制御ユニ
ットの油圧バルブによって行っていた。 なお、図において符号１２は固定クラウン、１４は可動
プラテンである。
【発明が解決しようとする課題１
しかしながら、油圧バルブによるトランスファピストン
の速度制御、あるいは圧力制御では、基本的に制御［度
を高く維持することができない上に、油温の変化等によ
って特性がばらつくため再現性が悪いという問題があっ
た。 近年、半導体の高集積化、薄型化に伴ない、成形条件、
特にトランスファピストンの挙動に対する要求が厳しく
なっており、従来の油圧バルブによる制御ではこうした
要求に対応しきれなくなってきているというのが実慣で
ある。 又、従来は基本的に油圧制御ユニットの油圧バルブによ
って速度制御、あるいは圧力制御を行っていたため、必
然的に多量のオイルを使用することになり、これらのオ
イルを扱うためにバイブ、バルブ類を多用せざるを得ず
、そのためこれらの機器からの油洩れに対する保守管理
が大変であるという問題もあった。 更には、油圧による制御はオイルミストの発生が避けら
れず、このオイルミストによって半導体ベレットが汚染
され、該半導体の信頼性を低下させることがあるいう問
題もあった。 本第１発明は、トランスファピストンの特に押圧力の制
御に当って、トランスファブロック内に液圧の封入部を
設け、該液圧力を検出することによってロードセル等を
用いることなく安価にトランスファピストンの押圧力を
検出し、この検出値から電動サーボ系を用いて該押圧力
を正確にフィードバック制御し、特に油温のばらつき等
の問題を解消して常に再現性の高い圧力制御ができるよ
うにすることを目的としている。 又、本第２発明は、速度制御あるいは圧力制御を実行す
る際に、同じ電動サーボ系を利用することによって制御
ループの各要素の重？ｌ！設置をなくすると共に、速度
制御が必要な時と圧力制御が必要な時とは時間的に分離
できることに看目し、これを切換えて機能させるように
して低コストで且つ合理的に２つの制御を干渉なく実行
させることを目的としている。 更に、木彫１、第２発明とも、従来油圧制御ユニットを
使用することによって避は得なかった問題、例えば油洩
れ等の保守管理が大変であるという問題、あるいはオイ
ルミストの発生によって半導体ベレットの品質が低下す
るという問題等を解消することをもそれぞれの目的とし
ている。 ［ｗＩ題を解決するための手段］ 本第１発明は、封止プレス用のトランスファピストンを
備えた樹脂封止装置において、サーボアンプからの電気
信号によって駆動される電動機と、該電動機の回転運動
を直線運動に変換する伝動手段と、前記伝動手段の出力
である直線運動と一体的に直線運動するトランスファブ
ロックを有し、且つ該トランスファブロックの直線運動
を密封状態とされた液体を介して前記トランスファピス
トンを押圧する押圧手段と、前記密封状態とされた液体
の圧力を検出する手段と、検出された圧力値が設定値と
なるように、前記サーボアンプから電動機に送られる電
気信号を操作量として該圧力値をフィードバック制御す
るコントローラと、を備えたことにより、上記目的を達
成したものである。 本第２発明は、封止プレス用のトランスファピストンを
備えた樹脂封止装置において、サーボアンプからの電気
信号によって駆動される電動機と、該電動機の回転運動
を直線運動に変換する伝動手段と、前記伝動手段の出力
である直線運動と一体的に直線運動するトランスファブ
ロックを有し、且つ該トランスファブロックの直線運動
を密封状態とされた液体を介して前記トランスファピス
トンを押圧する押圧手段と、前記トランスファピストン
の移動速度を検出する手段と、前記密封状態とされた液
体の圧力を検出する手段と、検出された移動速度が設定
値となるように前記サーボアンプから電動機に送られる
電気信号を操作量として前記トランスファピストンの移
動速度をフィードバック制御する制御ループと、検出さ
れた圧力値が設定値となるように前記サーボアンプから
電動機に送られる信号を操作量として前記液体の圧力値
をフィードバック制御する制御ループとを切換えてその
いずれかを実行するコントローラと、を備えたことによ
り、上記目的を達成したものである。 【作用】 本第１発明は、サーボアンプからの電気信号によってま
ず電動機が駆動される。この電動機の回転運動は伝動手
段によって直線運動に変換される。 この後この伝動手段の出力である直線運動によってまず
トランスファーブロックが一体的に直線運動し、このト
ランスファーブロックの直線運動をトランスファーピス
トンが密封状態とされた液体を介して受けるようになっ
ている。 一方、この密封状態とされた液体の圧力が圧力センサに
よって検出され、検出された圧力値が設定値となるよう
に、前記サーボモータから電動機に送られる電気信号を
操作量として該液体の圧力値がフィードバック制御され
る。 なお、従来は圧力を検出する際に例えばロードセルを用
いていたため、極めてコストが高かったが、このように
本第１発明では密封状態の液体を介してトランスファピ
ストンが押圧されるようになっているため、この液体の
圧力を検出できるようになり、従来に比べて非常に安価
で押圧力を検出できるようになった。 本第２発明では、押圧力の制御に関しては基本的に第１
発明と同様な作用が行われる。しかしながらこれに速度
制御を組合わせた場合、両者を単に実施しようとすると
干渉が発生する。そこでトランスファピストンの移動速
度のフィードバック制御を行う制御ループと、液体の圧
力値（トランスファピストンの押圧力）のフィードバッ
ク制御を行う制御ループとを所定のトリガによって切換
えて様能させるようにしている。この切換えには、例え
ば、■トランスファピストンの移動側ｌ１ｌ（ストロー
ク）が所定値に達した時、■トランスファピストンの押
圧力が所定値に遅した時、あるいは■制御が開始されて
からのタイマがカウントアツプした時等をトリガの条件
として採用することができる。 なお、トランスファピストンの移動速度は必ずしもこれ
を「直接的」に検出する必要はなく、該トランスファピ
ストンの移動速度と対応している部材の移動速度、ある
いは回転速度（例えば電動機の回転速度〉の検出を以っ
てトランスファピストンの移動速度の検出に代えるよう
にしてもよい。
の速度制御、あるいは圧力制御では、基本的に制御［度
を高く維持することができない上に、油温の変化等によ
って特性がばらつくため再現性が悪いという問題があっ
た。 近年、半導体の高集積化、薄型化に伴ない、成形条件、
特にトランスファピストンの挙動に対する要求が厳しく
なっており、従来の油圧バルブによる制御ではこうした
要求に対応しきれなくなってきているというのが実慣で
ある。 又、従来は基本的に油圧制御ユニットの油圧バルブによ
って速度制御、あるいは圧力制御を行っていたため、必
然的に多量のオイルを使用することになり、これらのオ
イルを扱うためにバイブ、バルブ類を多用せざるを得ず
、そのためこれらの機器からの油洩れに対する保守管理
が大変であるという問題もあった。 更には、油圧による制御はオイルミストの発生が避けら
れず、このオイルミストによって半導体ベレットが汚染
され、該半導体の信頼性を低下させることがあるいう問
題もあった。 本第１発明は、トランスファピストンの特に押圧力の制
御に当って、トランスファブロック内に液圧の封入部を
設け、該液圧力を検出することによってロードセル等を
用いることなく安価にトランスファピストンの押圧力を
検出し、この検出値から電動サーボ系を用いて該押圧力
を正確にフィードバック制御し、特に油温のばらつき等
の問題を解消して常に再現性の高い圧力制御ができるよ
うにすることを目的としている。 又、本第２発明は、速度制御あるいは圧力制御を実行す
る際に、同じ電動サーボ系を利用することによって制御
ループの各要素の重？ｌ！設置をなくすると共に、速度
制御が必要な時と圧力制御が必要な時とは時間的に分離
できることに看目し、これを切換えて機能させるように
して低コストで且つ合理的に２つの制御を干渉なく実行
させることを目的としている。 更に、木彫１、第２発明とも、従来油圧制御ユニットを
使用することによって避は得なかった問題、例えば油洩
れ等の保守管理が大変であるという問題、あるいはオイ
ルミストの発生によって半導体ベレットの品質が低下す
るという問題等を解消することをもそれぞれの目的とし
ている。 ［ｗＩ題を解決するための手段］ 本第１発明は、封止プレス用のトランスファピストンを
備えた樹脂封止装置において、サーボアンプからの電気
信号によって駆動される電動機と、該電動機の回転運動
を直線運動に変換する伝動手段と、前記伝動手段の出力
である直線運動と一体的に直線運動するトランスファブ
ロックを有し、且つ該トランスファブロックの直線運動
を密封状態とされた液体を介して前記トランスファピス
トンを押圧する押圧手段と、前記密封状態とされた液体
の圧力を検出する手段と、検出された圧力値が設定値と
なるように、前記サーボアンプから電動機に送られる電
気信号を操作量として該圧力値をフィードバック制御す
るコントローラと、を備えたことにより、上記目的を達
成したものである。 本第２発明は、封止プレス用のトランスファピストンを
備えた樹脂封止装置において、サーボアンプからの電気
信号によって駆動される電動機と、該電動機の回転運動
を直線運動に変換する伝動手段と、前記伝動手段の出力
である直線運動と一体的に直線運動するトランスファブ
ロックを有し、且つ該トランスファブロックの直線運動
を密封状態とされた液体を介して前記トランスファピス
トンを押圧する押圧手段と、前記トランスファピストン
の移動速度を検出する手段と、前記密封状態とされた液
体の圧力を検出する手段と、検出された移動速度が設定
値となるように前記サーボアンプから電動機に送られる
電気信号を操作量として前記トランスファピストンの移
動速度をフィードバック制御する制御ループと、検出さ
れた圧力値が設定値となるように前記サーボアンプから
電動機に送られる信号を操作量として前記液体の圧力値
をフィードバック制御する制御ループとを切換えてその
いずれかを実行するコントローラと、を備えたことによ
り、上記目的を達成したものである。 【作用】 本第１発明は、サーボアンプからの電気信号によってま
ず電動機が駆動される。この電動機の回転運動は伝動手
段によって直線運動に変換される。 この後この伝動手段の出力である直線運動によってまず
トランスファーブロックが一体的に直線運動し、このト
ランスファーブロックの直線運動をトランスファーピス
トンが密封状態とされた液体を介して受けるようになっ
ている。 一方、この密封状態とされた液体の圧力が圧力センサに
よって検出され、検出された圧力値が設定値となるよう
に、前記サーボモータから電動機に送られる電気信号を
操作量として該液体の圧力値がフィードバック制御され
る。 なお、従来は圧力を検出する際に例えばロードセルを用
いていたため、極めてコストが高かったが、このように
本第１発明では密封状態の液体を介してトランスファピ
ストンが押圧されるようになっているため、この液体の
圧力を検出できるようになり、従来に比べて非常に安価
で押圧力を検出できるようになった。 本第２発明では、押圧力の制御に関しては基本的に第１
発明と同様な作用が行われる。しかしながらこれに速度
制御を組合わせた場合、両者を単に実施しようとすると
干渉が発生する。そこでトランスファピストンの移動速
度のフィードバック制御を行う制御ループと、液体の圧
力値（トランスファピストンの押圧力）のフィードバッ
ク制御を行う制御ループとを所定のトリガによって切換
えて様能させるようにしている。この切換えには、例え
ば、■トランスファピストンの移動側ｌ１ｌ（ストロー
ク）が所定値に達した時、■トランスファピストンの押
圧力が所定値に遅した時、あるいは■制御が開始されて
からのタイマがカウントアツプした時等をトリガの条件
として採用することができる。 なお、トランスファピストンの移動速度は必ずしもこれ
を「直接的」に検出する必要はなく、該トランスファピ
ストンの移動速度と対応している部材の移動速度、ある
いは回転速度（例えば電動機の回転速度〉の検出を以っ
てトランスファピストンの移動速度の検出に代えるよう
にしてもよい。
【実施例］
以下、図面に基づいて本発明の実施例を詳細に説明する
。 第１図に本第２発明（第１発明を含む）の実施例に相当
する樹脂封建装置を示す。 図において２０が封止プレス用のトランスファピストン
、２２がサーボアンプ、２４が該サーボアンプ２２から
の電気信号によって駆動されるサーボモータ（電動機）
、２６がサーボモータ２４の回転運動を直線運動に変換
するための伝動装置である。 この伝動装Ｍ２６は、電動機の出力軸２８に取付けられ
た第１ブー１３０、タイミングベルト３２、第２プーリ
３４、この第２７−リ３４によって回転されられるボー
ルねじナツト３６、このボールねじナツト３６の回転に
よって上下動するボールねしシャフト３８とから構成さ
れている。なお、符号４０は第２プーリ３４を回転可能
に支持するための軸受けである。 前記ボールねじシャフト３８の上端にはトランスファブ
ロック４２が連結されている。このトランスファブロッ
ク４２は、中空構造とされ、その中をトランスファピス
トン２０が上下動できるようになっている。トランスフ
ァピストン２０の下面４４とトランスファブロック４２
との間の中空部には液体Ｌｆｆｉｆｆ状態で封入されて
いる。従って、ボールねじシャフト３８が上方に移動す
るとこれと一体的にトランスファブロック４２が上方に
移動し、この移動によって密封状態の液体りを介してト
ランスファピストン２０が上方に移動されられることに
なる。 なお、符号１０は下金型４のポット部に入れられた成形
用樹脂（タブレット）である。この樹脂１０を封入する
構成は従来と同様であり、且つ、既に第３図を用いて説
明しであるため、第１図と同−又は類似の部分に同一符
号を付すにとどめ、重複説明を省略する。 ここで、この実施例では、トランスファピストン２０の
移動速度を検出するためのセンサとして、サーボモ〜り
２４の回転速度を検出する速度センサ５０が設けられて
おり、且つ、液体りの圧力、即ちトランスファピストン
２０が押圧される時の圧力を検出するための圧力センサ
５２がトランスファブロック４２に組込まれている。符
号５４はこの圧力センサ５２からの出力を電気信号に変
換するための圧力検出器アンプである。 次に、この実施例の作用を説明する。 上金型２、下金型４が型締めされ、成形用の樹脂１０が
両金型２．４のキャビティ６内に封入される各状態を順
に説明していく。 第２図において、封入工程時（Ａ＋〜Ａ４）は図に示す
ように樹脂は「速度制御」されてキャビティ６内に封入
される。 キャビティ６内に樹脂１０が満たされると、該樹脂１０
が熱硬化をする保圧工程（Ａａ〜Ａ ｓ ）に入る。こ
の保圧工程では樹脂は「圧力制御」されて熱硬化が所定
の速度で進行する。 保圧工程での熱硬化が終了すると再度「速度制御」によ
ってサーボモータ２４が逆方向に回転させられ、これに
よってトランスファピストンが戻り（Ａ５〜Ａ７）、次
いで上金型２及び下金型４の型開きが行われ全工程が終
了する。 再び第１図に戻って樹脂１０の注入工程時においては、
コントローラ２３を中心に、サーボモータ２４、速度セ
ンサ５０、サーボアンプ２２によって速度フィードバッ
ク制御ループが構成される。 即ち、サーボモータ２４が速度制御されることにより第
１７−リ３０、タイミングベルト３２、第２７−リ３４
を介してボールねじナツト３６が回転速度が制御され、
これによってボールねじシャフト３８が上方向に速度制
御されながら移動する。 このボールねじシャフト３８の上方向の移動によりトラ
ンスファブロック４２が速度制御されながら上方向に移
動し、密封されている液体「を介してトランスファピス
トン２ｏが速度制御されながら上昇し、樹脂１０をキャ
ビティ６内に封入するものである。 又、保圧工程時においては、同じくコントローラ２３を
中心に、サーボモータ２４、圧力センサ５２、圧力検出
器アンプ５４及びサーボアンプ２２によって圧力フィー
ドバック制御ループが構成される。即ち、トランスファ
ブロック４２内の液体りの圧力が設定された圧力となる
ように、サーボモータ２４が力制御（トルク制御）され
ることにより第１７−リ３０．タイミングベルト３２、
第２７−リ３４を介してボールねじナツト３６が力制御
され、これによりボールねじシャフト３８が上方向に力
制御されながら移動する。このボールねじシャフト３８
の上方向の移動によりトランスファブロック４２が力制
御されながら上昇し、密封されている液体りを介してト
ランスファピストン２０が上方向に力制御され、キャビ
ティ６内の樹脂１０の被押圧力を設定された圧力に保つ
ものである。 保圧工程が完了し、トランスファピストン２０が戻る時
には、注入時と同様に、速度フィードバック制御ループ
が構成され、トランスファブロック４２が速度制御され
て下降する。この下降により密封状態にある液体りに発
生した負圧引力によって、あるいはトランスファブロッ
ク４２の突出部４６による押付けによって、トランスフ
ァピストン２０が下降させられる。 なお、この実施例では注入工程から保圧工程への移行、
即ち速度制御から圧力制御への移行は、トランスファピ
ストン２０のストロークが所定値に至ったことをトリが
として行っていたが、注入工程時においても圧力検出器
５２によって液体りの圧力の監視を行い、この液圧力が
設定注入圧力以上になった時に速度制御から圧力制御に
切換えるようにしてもよい。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、トランスファピス
トンの速度制御及び圧力制御にあたって、従来の油圧バ
ルブによる制御に代えて電動サーボ系による制御を採用
するようにしたため、高い制御精度を維持でき、再現性
を向上させるこができる。 又、多量のオイルを必要とする油圧制御装置を使用して
いないため、いわゆる油洩れ等の恐れがなくなり保守管
理が容易となるだけでなく、オイルミストによって半導
体ベレットが汚染されることもなくなるため、半導体の
成形品質を向上させることができるようになる。 又、トランスファピストンの押圧力を検出するために、
液圧の封入部を設けて該液圧力を検出する構成としたた
め、ロードセル等を使用するのに比べ、極めて安価で圧
力制御を実行することができる。 更には、速度制御系と圧力制御系の大部分の要素を兼用
させ、各制御ループを経時的に切換えて機能させるよう
にしたため、装置全体の低コスト化が実現でき、且つ両
制御を干渉することなく独立して機能させることができ
る。
。 第１図に本第２発明（第１発明を含む）の実施例に相当
する樹脂封建装置を示す。 図において２０が封止プレス用のトランスファピストン
、２２がサーボアンプ、２４が該サーボアンプ２２から
の電気信号によって駆動されるサーボモータ（電動機）
、２６がサーボモータ２４の回転運動を直線運動に変換
するための伝動装置である。 この伝動装Ｍ２６は、電動機の出力軸２８に取付けられ
た第１ブー１３０、タイミングベルト３２、第２プーリ
３４、この第２７−リ３４によって回転されられるボー
ルねじナツト３６、このボールねじナツト３６の回転に
よって上下動するボールねしシャフト３８とから構成さ
れている。なお、符号４０は第２プーリ３４を回転可能
に支持するための軸受けである。 前記ボールねじシャフト３８の上端にはトランスファブ
ロック４２が連結されている。このトランスファブロッ
ク４２は、中空構造とされ、その中をトランスファピス
トン２０が上下動できるようになっている。トランスフ
ァピストン２０の下面４４とトランスファブロック４２
との間の中空部には液体Ｌｆｆｉｆｆ状態で封入されて
いる。従って、ボールねじシャフト３８が上方に移動す
るとこれと一体的にトランスファブロック４２が上方に
移動し、この移動によって密封状態の液体りを介してト
ランスファピストン２０が上方に移動されられることに
なる。 なお、符号１０は下金型４のポット部に入れられた成形
用樹脂（タブレット）である。この樹脂１０を封入する
構成は従来と同様であり、且つ、既に第３図を用いて説
明しであるため、第１図と同−又は類似の部分に同一符
号を付すにとどめ、重複説明を省略する。 ここで、この実施例では、トランスファピストン２０の
移動速度を検出するためのセンサとして、サーボモ〜り
２４の回転速度を検出する速度センサ５０が設けられて
おり、且つ、液体りの圧力、即ちトランスファピストン
２０が押圧される時の圧力を検出するための圧力センサ
５２がトランスファブロック４２に組込まれている。符
号５４はこの圧力センサ５２からの出力を電気信号に変
換するための圧力検出器アンプである。 次に、この実施例の作用を説明する。 上金型２、下金型４が型締めされ、成形用の樹脂１０が
両金型２．４のキャビティ６内に封入される各状態を順
に説明していく。 第２図において、封入工程時（Ａ＋〜Ａ４）は図に示す
ように樹脂は「速度制御」されてキャビティ６内に封入
される。 キャビティ６内に樹脂１０が満たされると、該樹脂１０
が熱硬化をする保圧工程（Ａａ〜Ａ ｓ ）に入る。こ
の保圧工程では樹脂は「圧力制御」されて熱硬化が所定
の速度で進行する。 保圧工程での熱硬化が終了すると再度「速度制御」によ
ってサーボモータ２４が逆方向に回転させられ、これに
よってトランスファピストンが戻り（Ａ５〜Ａ７）、次
いで上金型２及び下金型４の型開きが行われ全工程が終
了する。 再び第１図に戻って樹脂１０の注入工程時においては、
コントローラ２３を中心に、サーボモータ２４、速度セ
ンサ５０、サーボアンプ２２によって速度フィードバッ
ク制御ループが構成される。 即ち、サーボモータ２４が速度制御されることにより第
１７−リ３０、タイミングベルト３２、第２７−リ３４
を介してボールねじナツト３６が回転速度が制御され、
これによってボールねじシャフト３８が上方向に速度制
御されながら移動する。 このボールねじシャフト３８の上方向の移動によりトラ
ンスファブロック４２が速度制御されながら上方向に移
動し、密封されている液体「を介してトランスファピス
トン２ｏが速度制御されながら上昇し、樹脂１０をキャ
ビティ６内に封入するものである。 又、保圧工程時においては、同じくコントローラ２３を
中心に、サーボモータ２４、圧力センサ５２、圧力検出
器アンプ５４及びサーボアンプ２２によって圧力フィー
ドバック制御ループが構成される。即ち、トランスファ
ブロック４２内の液体りの圧力が設定された圧力となる
ように、サーボモータ２４が力制御（トルク制御）され
ることにより第１７−リ３０．タイミングベルト３２、
第２７−リ３４を介してボールねじナツト３６が力制御
され、これによりボールねじシャフト３８が上方向に力
制御されながら移動する。このボールねじシャフト３８
の上方向の移動によりトランスファブロック４２が力制
御されながら上昇し、密封されている液体りを介してト
ランスファピストン２０が上方向に力制御され、キャビ
ティ６内の樹脂１０の被押圧力を設定された圧力に保つ
ものである。 保圧工程が完了し、トランスファピストン２０が戻る時
には、注入時と同様に、速度フィードバック制御ループ
が構成され、トランスファブロック４２が速度制御され
て下降する。この下降により密封状態にある液体りに発
生した負圧引力によって、あるいはトランスファブロッ
ク４２の突出部４６による押付けによって、トランスフ
ァピストン２０が下降させられる。 なお、この実施例では注入工程から保圧工程への移行、
即ち速度制御から圧力制御への移行は、トランスファピ
ストン２０のストロークが所定値に至ったことをトリが
として行っていたが、注入工程時においても圧力検出器
５２によって液体りの圧力の監視を行い、この液圧力が
設定注入圧力以上になった時に速度制御から圧力制御に
切換えるようにしてもよい。 【発明の効果】 以上説明した通り、本発明によれば、トランスファピス
トンの速度制御及び圧力制御にあたって、従来の油圧バ
ルブによる制御に代えて電動サーボ系による制御を採用
するようにしたため、高い制御精度を維持でき、再現性
を向上させるこができる。 又、多量のオイルを必要とする油圧制御装置を使用して
いないため、いわゆる油洩れ等の恐れがなくなり保守管
理が容易となるだけでなく、オイルミストによって半導
体ベレットが汚染されることもなくなるため、半導体の
成形品質を向上させることができるようになる。 又、トランスファピストンの押圧力を検出するために、
液圧の封入部を設けて該液圧力を検出する構成としたた
め、ロードセル等を使用するのに比べ、極めて安価で圧
力制御を実行することができる。 更には、速度制御系と圧力制御系の大部分の要素を兼用
させ、各制御ループを経時的に切換えて機能させるよう
にしたため、装置全体の低コスト化が実現でき、且つ両
制御を干渉することなく独立して機能させることができ
る。
第１図は、本発明の実施例が適用された樹脂封止装置を
示す、一部にブロック図を含む断面図、第２図は、樹脂
封止時における速度制御及び圧力制御の過程を示す線図
、 第３図は、樹脂封止を実行する際の構成を説明するため
の断面図である。 １０・・・樹脂（タブレット）、 ２０・・・トランスファピストン、 ２２・・・サーボアンプ、 ２３・・・コントローラ、 ２４・・・サーボモータ（電動機）、 ２６・・・伝動装置、 ４２・・・トランスファブロック、 ５０・・・速度センサ、 ５２・・・圧力センサ、 Ｌ・・・（密封状態の）液体。 復代理人 牧 野 剛 博 矢 論 山 圭 佑 第 図 呵閏 第 図
示す、一部にブロック図を含む断面図、第２図は、樹脂
封止時における速度制御及び圧力制御の過程を示す線図
、 第３図は、樹脂封止を実行する際の構成を説明するため
の断面図である。 １０・・・樹脂（タブレット）、 ２０・・・トランスファピストン、 ２２・・・サーボアンプ、 ２３・・・コントローラ、 ２４・・・サーボモータ（電動機）、 ２６・・・伝動装置、 ４２・・・トランスファブロック、 ５０・・・速度センサ、 ５２・・・圧力センサ、 Ｌ・・・（密封状態の）液体。 復代理人 牧 野 剛 博 矢 論 山 圭 佑 第 図 呵閏 第 図
Claims (2)
- （１）封止プレス用のトランスファピストンを備えた樹
脂封止装置において、 サーボアンプからの電気信号によって駆動される電動機
と、 該電動機の回転運動を直線運動に変換する伝動手段と、 前記伝動手段の出力である直線運動と一体的に直線運動
するトランスファブロックを有し、且つ該トランスファ
ブロックの直線運動を密封状態とされた液体を介して前
記トランスファピストンを押圧する押圧手段と、 前記密封状態とされた液体の圧力を検出する手段と、 検出された圧力値が設定値となるように、前記サーボア
ンプから電動機に送られる電気信号を操作量として該圧
力値をフィードバック制御するコントローラと、 を備えたことを特徴とする樹脂封止装置。 - （２）封止プレス用のトランスファピストンを備えた樹
脂封止装置において、 サーボアンプからの電気信号によって駆動される電動機
と、 該電動機の回転運動を直線運動に変換する伝動手段と、 前記伝動手段の出力である直線運動と一体的に直線運動
するトランスファブロックを有し、且つ該トランスファ
ブロックの直線運動を密封状態とされた液体を介して前
記トランスファピストンを押圧する押圧手段と、 前記トランスファピストンの移動速度を検出する手段と
、 前記密封状態とされた液体の圧力を検出する手段と、 検出された移動速度が設定値となるように前記サーボア
ンプから電動機に送られる電気信号を操作量として前記
トランスファピストンの移動速度をフィードバック制御
する制御ループと、検出された圧力値が設定値となるよ
うに前記サーボアンプから電動機に送られる信号を操作
量として前記液体の圧力値をフィードバック制御する制
御ループとを切換えてそのいずれかを実行するコントロ
ーラと、 を備えたことを特徴とする樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102339A JPH041012A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2102339A JPH041012A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 樹脂封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH041012A true JPH041012A (ja) | 1992-01-06 |
Family
ID=14324750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2102339A Pending JPH041012A (ja) | 1990-04-18 | 1990-04-18 | 樹脂封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH041012A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013026360A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止装置 |
-
1990
- 1990-04-18 JP JP2102339A patent/JPH041012A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013026360A (ja) * | 2011-07-20 | 2013-02-04 | Apic Yamada Corp | 樹脂封止装置 |
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