JPH04101478A - イオンレーザ管 - Google Patents
イオンレーザ管Info
- Publication number
- JPH04101478A JPH04101478A JP21883190A JP21883190A JPH04101478A JP H04101478 A JPH04101478 A JP H04101478A JP 21883190 A JP21883190 A JP 21883190A JP 21883190 A JP21883190 A JP 21883190A JP H04101478 A JPH04101478 A JP H04101478A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tube
- flange
- mirror
- laser tube
- bellows
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 229910001374 Invar Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は内部ミラー型イオンレーザ管に関する。
従来の内部ミラー型イオンレーザ管は、第３図に示すよ
うに、レーザ細管、その両端に対向して配置した一対の
ミラー３及びミラー３とレーザ細管２を接続する伸縮屈
曲可能なベローズ４などを備えており、ミラー３とベロ
ーズ４の間にはシンバル板１２、フランジ５があり、ミ
ラー３は、ネジ６によりジンバル板１２に固定されたフ
ランジ５に取付けられている。
うに、レーザ細管、その両端に対向して配置した一対の
ミラー３及びミラー３とレーザ細管２を接続する伸縮屈
曲可能なベローズ４などを備えており、ミラー３とベロ
ーズ４の間にはシンバル板１２、フランジ５があり、ミ
ラー３は、ネジ６によりジンバル板１２に固定されたフ
ランジ５に取付けられている。
レーザ細管２を支持する構造として、複数のプレート７
、および通常３本であることが多いのだが、インバーな
どの熱膨張率の小さい素材を使った複数のロッド８が設
置されている。各ロッド８の端面は、ミラー３を支持す
るジンバル板１２に圧電式アクチュエータ９を介して接
続され、圧電式アクチュエータ９の片側の端面には点接
触させる為のボール１１がとりつけられている。一対の
ミラー３の互いの対向関係は複数個ある圧電式アクチュ
エータ９の両端にかかる電圧を変化させることにより圧
電式アクチュエータ９の厚みを変化させて調整され、外
部からの制御も可能である。
、および通常３本であることが多いのだが、インバーな
どの熱膨張率の小さい素材を使った複数のロッド８が設
置されている。各ロッド８の端面は、ミラー３を支持す
るジンバル板１２に圧電式アクチュエータ９を介して接
続され、圧電式アクチュエータ９の片側の端面には点接
触させる為のボール１１がとりつけられている。一対の
ミラー３の互いの対向関係は複数個ある圧電式アクチュ
エータ９の両端にかかる電圧を変化させることにより圧
電式アクチュエータ９の厚みを変化させて調整され、外
部からの制御も可能である。
まな、図には示さながったが圧電式アクチュエータ９の
かわりに調整ネジや、調整ネジにステラピンクモーター
を組あわせて外部制御を可能にしたものもある。
かわりに調整ネジや、調整ネジにステラピンクモーター
を組あわせて外部制御を可能にしたものもある。
前に述べたような従来の技術においてはミラー３かシン
バル板１２により固定されており、ジンバル板１２は圧
電式アクチュエータ９を介してロッｌ−’ ８に接続さ
れるという複雑な構造をとっている。この構造ではシン
バル板１２が最終的にロッ１〜８により支持されている
為に大きいものとなり、重たくなってしまうこと、イオ
ンレーザ管で支持されるのがミラー３とレーザ細管とに
なり、レーザ細管とミラーの間隔が比較的長くなってし
まうことなどがら、安定性の面で信頼性の高い製品をつ
くることが困難であり、小型、低価格なレーザを実現す
ることを阻害してきた。
バル板１２により固定されており、ジンバル板１２は圧
電式アクチュエータ９を介してロッｌ−’ ８に接続さ
れるという複雑な構造をとっている。この構造ではシン
バル板１２が最終的にロッ１〜８により支持されている
為に大きいものとなり、重たくなってしまうこと、イオ
ンレーザ管で支持されるのがミラー３とレーザ細管とに
なり、レーザ細管とミラーの間隔が比較的長くなってし
まうことなどがら、安定性の面で信頼性の高い製品をつ
くることが困難であり、小型、低価格なレーザを実現す
ることを阻害してきた。
本発明においてはレーザ細管とそれに対向して配置した
一対のミラーとを接続する伸縮屈曲可能なベローズの両
端にフランジを設け、フランジとフランジの間に複数個
の圧電式アクチュエーターを設置し、支持棒を介して圧
電式アクチュエータを各フランジに接続する。フランジ
のうちそれぞれレーザ細管に近い側のフランジはプレー
トにネジで固定することによって支持体構造に保持され
るようになっている。ミラーの対向関係は圧電式アクチ
ュエータの両端にががる電圧を変化させることにより圧
電式アクチュエータの厚さが変化し、ミラー側のフラン
ジの角度が変化することをもって調整され、外部からの
制御も可能な構造になっている。
一対のミラーとを接続する伸縮屈曲可能なベローズの両
端にフランジを設け、フランジとフランジの間に複数個
の圧電式アクチュエーターを設置し、支持棒を介して圧
電式アクチュエータを各フランジに接続する。フランジ
のうちそれぞれレーザ細管に近い側のフランジはプレー
トにネジで固定することによって支持体構造に保持され
るようになっている。ミラーの対向関係は圧電式アクチ
ュエータの両端にががる電圧を変化させることにより圧
電式アクチュエータの厚さが変化し、ミラー側のフラン
ジの角度が変化することをもって調整され、外部からの
制御も可能な構造になっている。
次に本発明について図面を参照して説明するが、以下に
示されているものは本発明の一実施例に過ぎず、本発明
の技術的範囲を何ら制限するものではない。
示されているものは本発明の一実施例に過ぎず、本発明
の技術的範囲を何ら制限するものではない。
第１図は本発明の実施例１の概略的構成図である。イオ
ンレーザ管は、レーザ細管２、レーザ細管の両端に対向
して配置した一対のミラー３及びミラー２とレーザ細管
２を接続する、伸縮屈曲可能なベローズ４とを備えてお
り、ベローズ４の両端にはフランジ５がとりつけられて
いる。２つのフランジ５のうちレーザ細管側のものは、
ネジ６により、レーザ細管端部を保持・固定したプレー
ト７に取つけられ、プレート７及びインバーなどの熱膨
張率の小さい金属からなる複数のロッド８からなる支持
体構造に接続されている。もう一方のフランジにはミラ
ー３が取つけられている。ミラーが取つげられたフラン
ジとプレートに取つけられたフランジ５の間には圧電式
アクチュエータ９が設置され、支持棒１０を介してフラ
ンジ５に接続されている。ミラー３の対向関係は各圧電
式アクチュエータ９の両端に印加する電圧を変化させ圧
電式アクチュエータ９の厚さを変化させることによりフ
ランジ５の角度を変化させて調整する。圧電式アクチュ
エータ９の両端に印加する電圧は外部から制御できるよ
うになっている。
ンレーザ管は、レーザ細管２、レーザ細管の両端に対向
して配置した一対のミラー３及びミラー２とレーザ細管
２を接続する、伸縮屈曲可能なベローズ４とを備えてお
り、ベローズ４の両端にはフランジ５がとりつけられて
いる。２つのフランジ５のうちレーザ細管側のものは、
ネジ６により、レーザ細管端部を保持・固定したプレー
ト７に取つけられ、プレート７及びインバーなどの熱膨
張率の小さい金属からなる複数のロッド８からなる支持
体構造に接続されている。もう一方のフランジにはミラ
ー３が取つけられている。ミラーが取つげられたフラン
ジとプレートに取つけられたフランジ５の間には圧電式
アクチュエータ９が設置され、支持棒１０を介してフラ
ンジ５に接続されている。ミラー３の対向関係は各圧電
式アクチュエータ９の両端に印加する電圧を変化させ圧
電式アクチュエータ９の厚さを変化させることによりフ
ランジ５の角度を変化させて調整する。圧電式アクチュ
エータ９の両端に印加する電圧は外部から制御できるよ
うになっている。
第２図は本発明の実施例２の概略的構成図である。基本
的構成は実施例１と同一であるが、ミラーの角度を調整
する部分がベローズでなく、屈曲可能な可塑性金属４ａ
を用いており、ひだ状の突起部の間に圧電式アクチュエ
ータ９を埋めこみ、圧電式アクチュエーター９の厚みを
変化させることにより、可塑性金属４ａを変形させ、ミ
ラーの対向関係を調整する。この他の構成は先の実施例
と同じで゛ある。
的構成は実施例１と同一であるが、ミラーの角度を調整
する部分がベローズでなく、屈曲可能な可塑性金属４ａ
を用いており、ひだ状の突起部の間に圧電式アクチュエ
ータ９を埋めこみ、圧電式アクチュエーター９の厚みを
変化させることにより、可塑性金属４ａを変形させ、ミ
ラーの対向関係を調整する。この他の構成は先の実施例
と同じで゛ある。
以上説明してきたように、本発明では内部ミラー式イオ
ンレーザ管のレーザ細管とミラーの間にあるベローズの
両端にフランジを設け、フランジとフランジの間に圧電
式アクチュエータを配し、圧電式アクチュエータの厚み
を変化させることによりミラーの対向関係を調整するよ
うになっている。本発明は従来の技術に比べ、ミラーの
対向関係を調整する機構を簡素化するとともにより安定
した機構を実現ならしめる。このことはレーザ管及びレ
ーザ発振器の信頼性向上と小型化、低価格化に貢献する
ものである。
ンレーザ管のレーザ細管とミラーの間にあるベローズの
両端にフランジを設け、フランジとフランジの間に圧電
式アクチュエータを配し、圧電式アクチュエータの厚み
を変化させることによりミラーの対向関係を調整するよ
うになっている。本発明は従来の技術に比べ、ミラーの
対向関係を調整する機構を簡素化するとともにより安定
した機構を実現ならしめる。このことはレーザ管及びレ
ーザ発振器の信頼性向上と小型化、低価格化に貢献する
ものである。
第１図は本発明の実施例１の概略的構成図である。第２
図は本発明の実施例２の概略的構成図でる。第３図は従
来のイオンレーザ管の概略的構成図である。 図において、２・・・レーサ細管、３・・・ミラー、４
・・ベロース、５・・フランジ、７・・・プレート、９
圧電式アクチュエータである。
図は本発明の実施例２の概略的構成図でる。第３図は従
来のイオンレーザ管の概略的構成図である。 図において、２・・・レーサ細管、３・・・ミラー、４
・・ベロース、５・・フランジ、７・・・プレート、９
圧電式アクチュエータである。
Claims (1)
- レーザ細管を有し、それに対向するような一対のミラー
を具備し、ミラーとレーザ細管が伸縮屈曲可能なベロー
ズ又は可塑性金属部品によって接続されたイオンレーザ
管において、前記ベローズ又は可塑性金属部品の両端に
フランジ部が設けられ、該フランジとフランジの間を複
数の圧電式アクチュエータによって接続していることを
特徴とするイオンレーザ管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21883190A JPH04101478A (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | イオンレーザ管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21883190A JPH04101478A (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | イオンレーザ管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04101478A true JPH04101478A (ja) | 1992-04-02 |
Family
ID=16726029
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21883190A Pending JPH04101478A (ja) | 1990-08-20 | 1990-08-20 | イオンレーザ管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04101478A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0851546A3 (en) * | 1996-12-24 | 1999-05-06 | Alimenterics Inc. | Variable length optical chamber and gas laser incorporating the same |
-
1990
- 1990-08-20 JP JP21883190A patent/JPH04101478A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0851546A3 (en) * | 1996-12-24 | 1999-05-06 | Alimenterics Inc. | Variable length optical chamber and gas laser incorporating the same |
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