JPH04103664U - フオトセンサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ウエハ処理などの半導体製造設備で腐食性の薬
液や雰囲気にさらされる耐食性の大きいフォトセンサを
提供する。 【構成】発光ダイオード２と、フォトトランジスタ３を
設けたフォトセンサパッケージ１の窓部１３，１４に透
明度の高い耐腐食性の合成樹脂、例えばポリカーボネー
ト樹脂、または機械的強度は若干低いが耐アルカリのポ
リメタクリル酸メチルの合成樹脂窓１５，１６を接着剤
１７，１８により気密封止して取付ける。パッケージ１
の底面には外部と発光ダイオード２およびフォトトラン
ジスタ３との電気的接続用の電線５が樹脂モールド１９
により取付けられ、その先端にコネクタ４が設けられ、
遠くまで離すことが可能なので腐食による性能劣化を防
止できる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はフオトセンサに関し、特に半導体装置の製造設備等における腐食性の 薬液や雰囲気にさらされる対腐食性のフオトセンサに関する。

【０００２】

【従来の技術】

この種のフオトセンサは、ウエーハ処理等の半導体製造設備において処理対象 物の位置決め等に多く用いられている。

【０００３】 従来のフオトセンサは、図２（Ａ）に示すように、対向した２つの突起部１１ ，１２を有するパッケージ１の突起部１１の窓部１３に発光素子である発光ダイ オード２と、突起部１２の窓部１４に受光素子であるフオトトランジスタ３とを それぞれ取付け、両素子間を光信号が伝達する構成であり、この突起部１１，１ ２間の空間を遮光体７が出入することにより、フオトトランジスタ３に到達する 光信号を断続して遮光体７であるかまたは備えた物体の有無や、位置検出を行な うというものであった。発光ダイオード２およびフオトトランジスタ３の両素子 の電気的接続は、図２（Ｂ）に示すようにパッケージ１の底部の端子６に電線５ を直接半田付け等で接続するか、図２（Ｃ）に示すようにパッケージ１の底部に てコネクタ４により接続するというものであった。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

上述した従来のフオトセンサは、光素子である発光ダイオードおよびフオトト ランジスタを取付けた突起部の窓部が気密封止されていない構造であるため、窓 部と光素子との間に隙間が存在するという欠点があった。また、パッケージ底部 の電気的接続部も端子が露出していたり、コネクタとパッケージ間に隙間が存在 するという欠点があった。したがって、弗酸等の腐食性の薬剤を用いるウエーハ 処理等の設備機器に用いると、以上の隙間や露出部分から腐食性の薬液や雰囲気 が浸入し光素子や配線を腐食し性能の劣化を起すという問題点があった。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

本考案のフオトセンサは、それぞれ窓部を有し対向した第一および第二の突起 部を有する外郭体の前記第一の突起部の前記窓部に発光素子を前記第二の突起部 の前記窓部に受光素子をそれぞれ取付け、前記第一および第二の突起部の間の空 間を遮光体が出入することにより前記発光素子と前記受光素子間を伝達する光信 号を断続するフオトセンサにおいて、前記外郭体は前記窓部に気密封止した透明 な耐食性の合成樹脂の窓と、前記外郭体に樹脂モールドした電線による電気的接 続手段とを備えて構成されている。

【０００６】

【実施例】

次に、本考案の実施例について図面を参照して説明する。

【０００７】 図１は本考案のフオトセンサの一実施例を示す概念図で、（Ａ）は模式断面図 、（Ｂ）は平面図である。

【０００８】 本実施例のフオトセンサは、図１（Ａ）に示すように、対向した２つの突起部 １１，１２を有するパッケージ１の突起部１１の窓部１３に発光素子である発光 ダイオード２と、突起部１２の窓部１４に受光素子であるフオトトランジスタ３ とをそれぞれ取付ける。窓部１３，１４には、それぞれ、透明度の高い耐腐食性 の合成樹脂、たとえば、ポリカーボネート等の合成樹脂窓１５，１６を接着剤１ ７，１８により気密封止して取付ける。また、合成樹脂窓１５，１６としては機 械的強度は若干犠牲になるが、アルカリ等にも耐えるポリメタクリル酸メチル（ 通称アクリル樹脂）を用いてもよい。パッケージ１の底面には、外部と発光ダイ オード２およびフオトトランジスタ３との電気的接続用の電線５が樹脂モールド １９により取付けられ、その先端にコネクタ４が設けられている。

【０００９】 したがって、光素子である発光ダイオード２およびとフオトトランジスタ３は パッケージに気密封止されることになり、コネクタ４は薬液等が付着する恐れが ない場所まで離すことが可能となるので腐食による性能劣化を防止できる。

【００１０】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案のフオトセンサは、窓部に接着剤で気密封止した 透明度の高い対腐食性の合成樹脂の窓と、外郭体に樹脂モールドにより取付けた 電線とを備えることにより、光素子である発光ダイオードおよびとフオトトラン ジスタは外郭体に気密封止され、また、コネクタは薬液等が付着する恐れがない 場所まで離すことが可能となるので腐食による性能劣化を防止できるという効果 を有している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のフオトセンサの一実施例を示す概念図
である。

【図２】従来のフオトセンサの一例を示す概念図であ
る。

【符号の説明】

１ パッケージ ２ 発光ダイオード ３ フオトトランジスタ ４ コネクタ ５ 電線 ６ 端子 ７ 遮光体 １１，１２ 突起部 １３，１４ 窓部 １５，１６合成樹脂窓 １７，１８ 接着剤 １９ 樹脂モールド

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれ窓部を有し対向した第一および
   第二の突起部を有する外郭体の前記第一の突起部の前記
   窓部に発光素子を前記第二の突起部の前記窓部に受光素
   子をそれぞれ取付け、前記第一および第二の突起部の間
   の空間を遮光体が出入することにより前記発光素子と前
   記受光素子間を伝達する光信号を断続するフオトセンサ
   において、前記外郭体は前記窓部に気密封止した透明な
   耐食性の合成樹脂の窓と、前記外郭体に樹脂モールドし
   た電線による電気的接続手段とを備えることを特徴とす
   るフオトセンサ。
2. 【請求項２】 前記合成樹脂はポリカーボネートである
   ことを特徴とする請求項１記載のフオトセンサ。
3. 【請求項３】 前記合成樹脂はポリメタクリル酸メチル
   であることを特徴とする請求項１記載のフオトセンサ。