JPH0410467Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、管継手に関するものであり、特に詳
しくは、超気密が要求される超高真空利用の装置
に好適な管継手に関するものである。

［従来の技術］ 公知の管継手は、シールボルト、シールチユー
ブ、ガスケツト、及び袋ナツトを備え、袋ナツト
のシールボルトへの螺合により、シールボルトと
シールチユーブ間のガスケツトを挾圧して接続部
をシールしている。

そして、超気密（通常、ヘリウムリークレート
10^-10atm c.c.／SEC以下をいう。）が要求される場
合には、シール面に鏡面加工を施したメタルＣリ
ングやメタル平ガスケツト等のメタルガスケツト
が使用される。

この場合、袋ナツトの締付けによつてこれらの
メタルガスケツトにトルクが作用すると、シール
面に傷がついてこの傷がリークの原因になるの
で、シールチユーブが回転しないように袋ナツト
とシールチユーブとの間にベアリングが装着され
るが、このベアリングがシールチユーブの軸方向
に移動すると、袋ナツトが横向き或いはまたは下
向きの場合にベアリングが移動して、作業がしに
くいという問題がある。

また、メタル平ガスケツトは、メタルＣリング
に比べてコストが安い（直径30mmで約1/10）とい
う利点を有するが、シールボルトやシールチユー
ブに比べて硬度や弾性の小さいアルミニウム、
銅、銀等の素材で形成するため、締付けによるク
リープが比較的大きく、また、長期間の使用やベ
ーキングによつて初期の反発力が少なくなるとい
う問題がある。

このため、従来は、ベアリングの保持手段と、
メタル平ガスケツトの反発力の低下を補う手段と
を別個に設けているが、部品点数が多くなるばか
りでなく組み付けが面倒である。

［考案が解決しようとする課題］ 本考案が解決しようとする課題は、スラストベ
アリングの保持とメタル平ガスケツトの反発力の
低下を補いとを、１個の部品で行なわせることに
よつて、組み付け及びメンテナンスが容易な超気
密管継手を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ 上記課題を解決するため、本考案の超気密管継
手は、シールボルト、シールチユーブ、メタル平
ガスケツト、及び袋ナツトを備え、袋ナツトのシ
ールボルトへの螺合により、シールボルトとシー
ルチユーブ間のシール面を鏡面としたメタル平ガ
スケツトを挾圧して接続部をシールする管継手に
おいて、上記シールチユーブが、袋ナツトとの間
に、シールチユーブ側の、袋ナツトのトルクのシ
ールチユーブへの伝達を防止するスラストベアリ
ングと、袋ナツト側の、上記スラストベアリング
を保持するとともに、軸方向の弾性によつてメタ
ル平ガスケツトの反発力を補う皿ばねフアスナと
を備えていることを特徴としている。

［作用］ シールチユーブの袋ナツト側に取付けた皿ばね
フアスナが、シールチユーブ側のスラストベアリ
ングを保持するとともに、軸方向の弾性によつて
メタル平ガスケツトの微細な寸法差を吸収し、か
つ長期間の使用やベーキング等によつてメタル平
ガスケツトの初期の反発力が低下した場合には、
それを補うことができる。

したがつて、超気密管継手の組み付け及びメン
テナンスが容易である。

［実施例］ 第１図ないし第４図は本考案の実施例を示し、
この超気密管継手１は、シールボルト２、該シー
ルボルト２に螺合する袋ナツト３、シールチユー
ブ４、シールボルト２とシールチユーブ４により
挾圧されるメタル平ガスケツト５、シールチユー
ブ４に装着させたスラストベアリング６及び皿ば
ねフアスナ７を備えている。

上記シールボルト２は、基端に溶接または一体
成形したチユーブ８を、他端に上記メタル平ガス
ケツト５が当接するエツジ状のシール部９と該シ
ール部９の外側において軸方向に突出した一対の
ホルダ１０，１０を備え、該ホルダ１０，１０の
内面に止め輪１１を係止させるための係止溝１
２，１２を形設し、チユーブ側の基部２ａが外形
六角形をなし、外周に雄ねじが刻設されている。
また、シールチユーブ４は、先端に溶接または一
体成形したフランジ１４に上記シール部９に対向
するエツジ状のシール部１５を形設し、外周に上
記皿ばねフアスナ７が係合する周溝１６を備えて
いる。

上記袋ナツト３は、シールチユーブ４に遊挿す
る孔を有する頂壁３ａと、シールボルト２に螺合
する雌ねじを刻設した外形六角形の周壁を備え、
頂壁３ａの溝に滑り止めリング１７を備え、該滑
り止めリング１７に形設した複数の突起１７ａ，
……（第３図参照）によつて、軸方向に滑らない
ようにしてシールチユーブ４に装着されている。

上記メタル平ガスケツト５は、シール部９，１
５に対向するシール面に鏡面加工を施し、外周面
に上記止め輪１１が係止する溝５ａを備え、該溝
５ａと係止溝１２，１２とに係止する径を備えた
上記止め輪１１によつてシールボルト２に保持さ
れている。したがつて、シール部が横向き或いは
下向きであつても、ガスケツト５がシールボルト
２から落下することがない。

スラストベアリング６は、袋ナツト３のシール
ボルト２への螺合時に、そのトルクのシールチユ
ーブ４への伝達を可及的に防止して、メタル平ガ
スケツト５の鏡面としたシール面に傷がつかない
ようにするもので、皿ばねフアスナ７によつてシ
ールチユーブ４に装着されている。この皿ばねフ
アスナ７は、側壁７ａ、弯曲した底壁７ｂ、及び
該底壁７ｂの径方向の切欠溝１８，……によつて
形設した爪１９，……を備え、スラストベアリン
グ６に冠着させ、爪１９，……の上記周溝１６へ
の係合によつてシールチユーブ４に装着し、これ
によつてスラストベアリング６を保持するととも
に、袋ナツト３をシールボルト２に螺着したとき
に軸方向の弾性を与えるものである。

上記実施例は、袋ナツト３のシールボルト２へ
の螺着により、シール部９，１５がメタル平ガス
ケツト５を挾圧して接続部をシールする。この場
合、メタル平ガスケツト５が、係止溝１２，１２
に係止させた止め輪１１によつてシールボルト２
に、またスラストベアリング６が皿ばねフアスナ
７によつてシールチユーブ４に、それぞれ保持さ
れているので、シール部が横向き或いは下向きで
あつてもこれらがシールボルト２から落下するこ
とがない。したがつて、管継手の締付作業が極め
て容易である。

また、シールチユーブ４には、袋ナツト３との
間に介在させた皿ばねフアスナ７によつて軸方向
の弾性力が付与されるので、長期間の使用やベー
キング等によつてメタル平ガスケツト５の反発力
が低下しても、シール部９，１５間には、皿ばね
フアスナ７の弾性によつて略一定に近い挟圧力が
作用しているので、袋ナツト３の増締めをする必
要がない。

したがつて、皿ばねフアスナ７によつて、スラ
ストベアリング６の保持と、メタル平ガスケツト
５の反発力の低下の補いとをさせることができる
ので、超気密管継手１の組み付け及びメンテナン
スが極めて容易である。

［考案の効果］ 本考案の超気密管継手は、シールチユーブと袋
ナツトの間に設けた皿ばねフアスナによつて、ス
ラストベアリングの保持と、メタル平ガスケツト
の反発力の低下の補いとをさせることができるの
で、超気密管継手の組み付け及びメンテナンスが
極めて容易である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の縦断面図、第２図は
その要部の拡大縦断面図、第３図は滑り止めリン
グの側面図、第４図は皿ばねフアスナの側面図で
ある。 １……超気密管継手、２……シールボルト、３
……袋ナツト、４……シールチユーブ、５……メ
タル平ガスケツト、７……皿ばねフアスナ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 シールボルト、シールチユーブ、メタル平ガス
   ケツト、及び袋ナツトを備え、袋ナツトのシール
   ボルトへの螺合により、シールボルトとシールチ
   ユーブ間のシール面を鏡面としたメタル平ガスケ
   ツトを挾圧して接続部をシールする管継手におい
   て、 上記シールチユーブが、袋ナツトとの間に、シ
   ールチユーブ側の、袋ナツトのトルクのシールチ
   ユーブへの伝達を防止するスラストベアリング
   と、袋ナツト側の、上記スラストベアリングを保
   持するとともに、軸方向の弾性によつてメタル平
   ガスケツトの反発力を補う皿ばねフアスナとを備
   えている、 ことを特徴とする超気密管継手。