JPH0410472Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、例えば溶融金属を溶解炉から真空処
理室内の蒸発ルツボまで吸上げるための吸上管
等、真空処理装置における配管の可動継手シール
装置に関するものである。

（従来の技術とその問題点） 従来、金属を大気中で溶解し、真空処理室内に
吸上げて加熱蒸発させ、蒸着を行なう真空蒸着装
置では、複数本の配管を接続したものを吸上管と
して使用し、真空処理室壁に対して真空処理室内
から出た配管を、また該配管に対して真空処理室
外の配管を、フランジ間にパツキンを介装したフ
ランジ継手により接続しており、上下継手部にお
いて空気の溶融金属への侵入と真空処理室内への
侵入を防止している。

しかし、真空処理室内の蒸発ルツボに接続した
配管の蒸発ルツボ・真空処理室壁間が熱膨張して
上部継手部のフランジ締結ボルトに伸ばす力が働
くため、該ボルトはその熱膨張もあつて伸長し、
パツキン締付力が弱まつて、パツキンのシール機
能が充分に働かなくなるから、空気が真空処理室
内に侵入して、室内真空度を一定に保てなくなる
おそれがあると共に、真空処理室外の配管どうし
を接続した下部継手部では、溶解炉に近いだけ配
管内溶融金属の温度が高いため、フランジ締結ボ
ルトは上部継手部のフランジ締結ボルトと同様伸
長し、パツキン締付力が弱まつて、パツキンのシ
ール機能が充分働かなくなるから、空気が配管内
に侵入し、溶融金属を酸化させるおそれがあり、
真空処理上問題であつた。

（考案の目的） 本考案は、前記従来の問題点を解決するために
なしたもので、配管継手部と真空処理室壁の配管
貫通部を、配管等の熱膨張にかかわらず真空シー
ルできるようにすることを目的とする。

（問題点を解決するための手段） 本考案の真空処理室における配管の可動継手シ
ール装置は、真空処理室内から出た配管のフラン
ジに他の配管のフランジをリング状パツキンを介
して隣合わせ、両フランジを２枚の締付けリング
で外側から挟んで締付けると共に、両フランジの
内の反真空処理室側フランジを真空処理室側フラ
ンジより放射方向に張出させて設け、この反真空
処理室側のフランジ張出部と、対向する真空処理
室側締付リングとの間にリング状パツキンを介装
し、かつ、真空処理室側締付リングと、対向する
真空処理室壁との間に、前記真空処理室側配管を
取囲みその管軸方向に伸縮性があるシールカバー
を設けたことを特徴とするものである。

（実施例） 以下、本考案の一実施例を図面にて説明する。

図中１は真空処理室で、ハウジング２内に設け
られており、ストリツプ３を図面の直角方向にガ
イドしつつシールする図示しない差圧式真空シー
ル装置によりストリツプ入側及び出側がシールさ
れると共に、図示しない真空ポンプにより一定の
真空度に圧力調整がされている。

４は吸上管で、ハウジング２の底壁を貫通して
おり、該吸上管４の上端は前記真空処理室１内に
設置した蒸発ルツボ５に接続され、かつ、下端部
は溶解炉６内に挿入されている。

この吸上管４は、複数本の配管を接続したもの
で、真空処理室１内から出た配管４Ａ，４Ｂの接
続用フランジ７Ａ，７Ｂは、リング状パツキン８
を介して隣合わされ、かつ、２枚の締付リング９
Ａ，９Ｂで外側から挟まれてボルト１０によるそ
の締結により締付けられている。

フランジ７Ａ，７Ｂの内の反真空処理室１側フ
ランジ７Ｂは、真空処理室１側フランジ７Ａより
放射方向に張出して設けられており、この反真空
処理室１側のフランジ張出部と、対向する真空処
理室１側締付リング９Ａとの間にはＯリング等の
リング状パツキン１１が介装されている。

１２は蛇腹状伸縮構造等により伸縮性のあるシ
ールカバーで、該シールカバー１２の上端にはフ
ランジ１３が設けられており、配管４Ａを取囲ん
で配置されると共に、下端が真空処理室１側締付
リング９Ａにシール状態で固定され、かつ、フラ
ンジ１３がリング状パツキン１４を介してハウジ
ング２の底壁にボルト１５により締結されてい
る。

尚、本実施例では、フランジ７Ａ，７Ｂを締付
リング９Ａ，９Ｂのボルト締結により剛的に締付
けた例につき説明したが、第２図の右側部分に示
した如く、ボルト１０′を締付リング９Ａ，９Ｂ
に挿通させ、該ボルト１０′の頭部と反真空処理
室１側締付リング９Ｂとの間に、ボルト１０′に
装着された圧縮ばね１６を介装し、かつ、該ボル
ト１０′の軸部に、真空処理室１側締付リング９
Ａを受けるナツト１７を螺合させ、フランジ７
Ａ，７Ｂを締付リング９Ａ，９Ｂのばね締結によ
り弾性的に締付けても同効である。

（作用） 溶解炉６内で誘導加熱等により金属を大気中で
溶解すると、この溶融金属１７は、真空処理室１
からの真空吸引により吸上管４を介して蒸発ルツ
ボ５まで吸上げられ、そこで加熱蒸発され、この
金属蒸気は定速移送中のストリツプ３の表面に付
着し、蒸着が行なわれる。

この真空蒸着が良好に行なわれるためには、真
空処理室外の配管継手部１８から配管４Ａ，４Ｂ
内に空気が侵入しないこと、及び、真空処理室１
内の真空度が保たれることが必要である。

そこで本考案では、配管継手部１８において、
パツキン８が介装されたフランジ７Ａ，７Ｂを締
付リング９Ａ，９Ｂで外側から挟んで締付け、反
真空処理室１側フランジ７Ｂの張出部と、対向す
る真空処理室１側締付リング９Ａとの間にパツキ
ン１１を介装して、パツキン８の介装箇所を外側
から取囲むシール空間１９を形成すると共に、真
空処理室壁と真空処理室１側締付リング９Ａとの
間に、配管４Ａを取囲むシールカバー１２を設
け、配管４Ａとシールカバー１２との間に真空吸
引通路２０を形成しており、真空処理室壁の配管
貫通部２１における配管４Ａ・真空処理室壁間の
隙間２２と前記真空吸引通路２０と真空処理室１
側のフランジ７Ａ・締付リング９Ａ間の隙間２３
とを介し前記シール空間１９に真空処理室１側か
ら真空吸引力を働かせ、パツキン８の介装箇所を
周りから真空シールする。このためボルト１０が
配管４Ａ，４Ｂ内の溶融金属から伝達される熱で
伸長し、パツキン８，１１の締付力が弱まつて
も、パツキン８の介装箇所から空気が配管４Ａ，
４Ｂ内に侵入することはない。また、フランジ締
付リング締結用ボルト１０とシールカバー固定用
ボルト１５は、配管４Ａ，４Ｂから離れており、
配管４Ａ，４Ｂ側からの受熱による伸長はほとん
どなく、たとえボルト１０，１５で締付けられた
パツキン１１，１４の介装箇所を通し空気が侵入
しても、その空気量は少なく、しかも侵入した空
気は直ちに真空処理室１側に真空吸引され、真空
ポンプにより外部へ排出されるから、真空処理室
１内の真空度は所定のものに保たれる。

なお、本実施例では、真空蒸着装置における例
につき説明したが、真空塗装装置等におけるもの
にも適用できることは言うまでもない。

（考案の効果） 以上の通り本考案は、空気の侵入が問題となる
配管継手部を真空シールし、かつ、シール空間及
びこれに連通する真空吸引通路内への侵入空気量
を微小ならしめることができるから、良好な真空
処理作業を確実ならしめると共に、継手フランジ
のリング締付け及び配管のシールカバー被覆構造
であるから、組立て・解体及びメンテナンスが容
易である。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図は本考案の一実施例を示す正面
図、要部拡大図である。 １……真空処理室、４Ａ，４Ｂ……配管、５…
…蒸発ルツボ、７Ａ，７Ｂ……フランジ、８……
パツキン、９Ａ，９Ｂ……締付リング、１０，１
０′……ボルト、１１……パツキン、１２……シ
ールカバー、１３……フランジ、１４……パツキ
ン、１５……ボルト、１６……圧縮ばね、１７…
…ナツト、１８……配管継手部、１９……シール
空間、２０……真空吸引通路、２１……配管貫通
部、２２，２３……隙間。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 真空処理室内から出た配管のフランジに他の配
   管のフランジをリング状パツキンを介して隣合わ
   せ、両フランジを２枚の締付リングで外側から挟
   んで締付けると共に、両フランジの内の反真空処
   理室側フランジを真空処理室側フランジより放射
   方向に張出させて設け、この反真空処理室側のフ
   ランジ張出部と、対向する真空処理室側締付リン
   グとの間にリング状パツキンを介装し、かつ、真
   空処理室側締付リングと、対向する真空処理室壁
   との間に、前記真空処理室側配管を取囲みその管
   軸方向に伸縮性があるシールカバーを設けたこと
   を特徴とする真空処理装置における配管の可動継
   手シール装置。