JPH04105235A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH04105235A JPH04105235A JP2224007A JP22400790A JPH04105235A JP H04105235 A JPH04105235 A JP H04105235A JP 2224007 A JP2224007 A JP 2224007A JP 22400790 A JP22400790 A JP 22400790A JP H04105235 A JPH04105235 A JP H04105235A
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- film
- magnetic
- perpendicularly magnetized
- magnetized film
- magnetic head
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1278—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive specially adapted for magnetisations perpendicular to the surface of the record carrier
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10532—Heads
- G11B11/10541—Heads for reproducing
- G11B11/10543—Heads for reproducing using optical beam of radiation
- G11B11/10547—Heads for reproducing using optical beam of radiation interacting with the magnetisation of an intermediate transfer element, e.g. magnetic film, included in the head
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、磁気ヘッドに関し、特に、光磁気効果を利用
して磁気ディスクの再生を行うものである。
して磁気ディスクの再生を行うものである。
本発明は、磁気ヘッドにおいて、磁気記録媒体に対向す
る第1のギャップと第2のギャップとを有するリング型
の磁路と、磁路の主面または外周面に第2のギャップに
またがって形成された垂直磁化膜とを具備し、垂直磁化
膜に直線偏光を照射して極カー効果により垂直磁化膜の
磁化反転を検出するようにすることによって、トラック
幅が極めて小さいトラックの再生を十分な感度で行うこ
とができるようにしたものである。
る第1のギャップと第2のギャップとを有するリング型
の磁路と、磁路の主面または外周面に第2のギャップに
またがって形成された垂直磁化膜とを具備し、垂直磁化
膜に直線偏光を照射して極カー効果により垂直磁化膜の
磁化反転を検出するようにすることによって、トラック
幅が極めて小さいトラックの再生を十分な感度で行うこ
とができるようにしたものである。
従来、ディスク状の記録媒体としては、磁気ディスク(
フロッピーディスクやハードディスク)、光ディスク(
コンパクトディスクやレーザーディスフ)、光磁気ディ
スクなどが実用化されている。
フロッピーディスクやハードディスク)、光ディスク(
コンパクトディスクやレーザーディスフ)、光磁気ディ
スクなどが実用化されている。
このうち磁気ディスクは、磁気ヘッドを用いて記録、再
生及び消去を行うものである。そして、この記録、再生
及び消去は磁気誘導法により行うのが最も一般的である
。この磁気ディスクは、オーバーライド(重ね書き)が
可能であるという特徴を有するが、磁気誘導法を利用し
ていることから本質的に磁気ディスクのトラック幅は数
10μm程度と非常に大きくならざるを得す、磁気誘導
法を利用する限りはトラック幅をこれ以下にすることは
難しい。そこで、現在では磁気抵抗効果を利用したMR
ヘッドの研究が行われているが、このMRヘッドを用い
た場合でもトラック幅は数μmが限界であると考えられ
る。
生及び消去を行うものである。そして、この記録、再生
及び消去は磁気誘導法により行うのが最も一般的である
。この磁気ディスクは、オーバーライド(重ね書き)が
可能であるという特徴を有するが、磁気誘導法を利用し
ていることから本質的に磁気ディスクのトラック幅は数
10μm程度と非常に大きくならざるを得す、磁気誘導
法を利用する限りはトラック幅をこれ以下にすることは
難しい。そこで、現在では磁気抵抗効果を利用したMR
ヘッドの研究が行われているが、このMRヘッドを用い
た場合でもトラック幅は数μmが限界であると考えられ
る。
一方、光ディスクや光磁気ディスクはトラック幅が1.
6μmであり、本質的に高密度、大容量である。これ
らの光ディスクや光磁気ディスクでは、使用するレーザ
ービームの波長が780 nmの場合には記録ビット径
を0.6μmとすることが可能であるが、レーザービー
ムの短波長化によりそのスポット径をより小さくするこ
とができるので、記録ビット径をより小さくして記録密
度の一層の向上を図ることが可能である。しかし、青色
から近紫外領域の短波長のレーザーは現在では容易に入
手し難いので、このようにレーザービームの短波長化に
より記録密度の向上を図ることは実際には容易ではない
。さらに、光磁気ディスクは、再生専用の光ディスクで
あるコンパクトディススフやレーザーディスクなどと異
なり書き換え可能である点が大きな特徴であるが、高速
オーバーライドや高速アクセスは今後の課題であると言
える。
6μmであり、本質的に高密度、大容量である。これ
らの光ディスクや光磁気ディスクでは、使用するレーザ
ービームの波長が780 nmの場合には記録ビット径
を0.6μmとすることが可能であるが、レーザービー
ムの短波長化によりそのスポット径をより小さくするこ
とができるので、記録ビット径をより小さくして記録密
度の一層の向上を図ることが可能である。しかし、青色
から近紫外領域の短波長のレーザーは現在では容易に入
手し難いので、このようにレーザービームの短波長化に
より記録密度の向上を図ることは実際には容易ではない
。さらに、光磁気ディスクは、再生専用の光ディスクで
あるコンパクトディススフやレーザーディスクなどと異
なり書き換え可能である点が大きな特徴であるが、高速
オーバーライドや高速アクセスは今後の課題であると言
える。
さて、磁気ヘッドの大きな特徴は、そのギャップ長を小
さくすることにより、記録波長を容易に0.6μm以下
とすることが可能であることである。従って、トラック
幅が非常に大きいという磁気ヘッドの最大の問題を解決
することができれば、磁気ディスクの記録密度の飛躍的
な向上を図ることが可能となる。
さくすることにより、記録波長を容易に0.6μm以下
とすることが可能であることである。従って、トラック
幅が非常に大きいという磁気ヘッドの最大の問題を解決
することができれば、磁気ディスクの記録密度の飛躍的
な向上を図ることが可能となる。
〔発明が解決しようとする課題]
ところで、磁気ヘッドの場合、磁気ディスクに対向する
磁性層の厚さがトラック幅となる。この場合、渦電流損
失を考慮すると、磁性層の厚さが数μmの場合の方が数
十μmの場合よりも高周波域(>10MHz)での入出
力特性が一層向上することが期待される。しかし、上述
のように、トラック幅が数μm以下の狭トラツクの再生
を行うことは、コイルを用いた磁気誘導法では極めて困
難である。上述のように、MRヘッドを用いることによ
りトラック幅が数μmのトラックの再生は可能であるが
、それ以下のトラック幅のトラックの再生を行うことは
困難である。
磁性層の厚さがトラック幅となる。この場合、渦電流損
失を考慮すると、磁性層の厚さが数μmの場合の方が数
十μmの場合よりも高周波域(>10MHz)での入出
力特性が一層向上することが期待される。しかし、上述
のように、トラック幅が数μm以下の狭トラツクの再生
を行うことは、コイルを用いた磁気誘導法では極めて困
難である。上述のように、MRヘッドを用いることによ
りトラック幅が数μmのトラックの再生は可能であるが
、それ以下のトラック幅のトラックの再生を行うことは
困難である。
さて、磁性体の磁化状態を検出する方法のうち磁性体の
厚さが最も小さくてよいものは、カー効果のような光磁
気効果を利用する方法である。この光磁気効果は、直線
偏光が磁性体に入射した場合に、この磁性体の磁化状態
に応じてその偏光面が正または負方向に回転する現象で
ある。この光磁気効果を利用して磁気ヘッドの磁化状態
を検出する方法はこれまでにも報告例があるが、これら
は全て縦カー効果または横カー効果を利用したものであ
る。しかし、この縦カー効果または横カー効果のカー回
転角は本質的に小さいため、得られる再生信号出力は小
さ(、従って磁気ディスクの再生方法として用いること
は困難である。
厚さが最も小さくてよいものは、カー効果のような光磁
気効果を利用する方法である。この光磁気効果は、直線
偏光が磁性体に入射した場合に、この磁性体の磁化状態
に応じてその偏光面が正または負方向に回転する現象で
ある。この光磁気効果を利用して磁気ヘッドの磁化状態
を検出する方法はこれまでにも報告例があるが、これら
は全て縦カー効果または横カー効果を利用したものであ
る。しかし、この縦カー効果または横カー効果のカー回
転角は本質的に小さいため、得られる再生信号出力は小
さ(、従って磁気ディスクの再生方法として用いること
は困難である。
従って、本発明の目的は、トラック幅が極めて小さいト
ラックの再生を十分な感度で行うことができる磁気ヘッ
ドを提供することにある。
ラックの再生を十分な感度で行うことができる磁気ヘッ
ドを提供することにある。
(課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、第1の発明は、磁気ヘッド
において、磁気記録媒体(5)に対向する第1のギャッ
プ(G1)と第2のギャップ(G2)とを有するリング
型の磁路(1)と、磁路(1)の主面または外周面に第
2のギャップ(G2)にまたがって形成された垂直磁化
膜(3)とを具備し、垂直磁化膜(3)に直線偏光を照
射して極カー効果により垂直磁化膜(3)の磁化反転を
検出するようにしている。
において、磁気記録媒体(5)に対向する第1のギャッ
プ(G1)と第2のギャップ(G2)とを有するリング
型の磁路(1)と、磁路(1)の主面または外周面に第
2のギャップ(G2)にまたがって形成された垂直磁化
膜(3)とを具備し、垂直磁化膜(3)に直線偏光を照
射して極カー効果により垂直磁化膜(3)の磁化反転を
検出するようにしている。
第2の発明は、磁気ヘッドにおいて、その一端が磁気記
録媒体(5)に対向し、他端に垂直磁化膜(3)が形成
された磁路(1)を具備し、垂直磁化膜(5)に直線偏
光を照射して極カー効果により垂直磁化膜(3)の磁化
反転を検出するようにしている。
録媒体(5)に対向し、他端に垂直磁化膜(3)が形成
された磁路(1)を具備し、垂直磁化膜(5)に直線偏
光を照射して極カー効果により垂直磁化膜(3)の磁化
反転を検出するようにしている。
上述のように構成された第1の発明の磁気ヘッドによれ
ば、第2のギャップ(G2)の近傍の漏洩磁界には、垂
直磁化膜(3)の膜面に垂直な磁界成分が存在する。そ
して、この垂直な漏洩磁界成分により垂直磁化膜(3)
が磁化される。一方、この漏洩磁界は磁気記録媒体(5
)の磁化状態に応じて反転するので、垂直磁化膜(3)
の磁化はこの磁気記録媒体(5)の磁化状態に応じて反
転する。従って、この垂直磁化膜(3)に直線偏光を照
射して極カー回転角を検出することにより、この垂直磁
化膜(3)の磁化反転を検出することができ、これによ
って磁気記録媒体(5)の再生を行うことができる。こ
の場合、縦カー効果または横カー効果に比べて大きな回
転角が得られる極カー効果を用いているので、十分な大
きさの再生信号出力を得ることができ、従って十分な感
度で再生を行うことができる。しかも、この場合、磁気
記録媒体(5)に対向する部分の磁路(1)の厚さがそ
のままトラック幅となる。この磁路(1)の厚さを例え
ばサブミクロン程度に小さくすることは容易なので、ト
ラック幅が極めて小さいトラックの再生を行うことがで
きる。
ば、第2のギャップ(G2)の近傍の漏洩磁界には、垂
直磁化膜(3)の膜面に垂直な磁界成分が存在する。そ
して、この垂直な漏洩磁界成分により垂直磁化膜(3)
が磁化される。一方、この漏洩磁界は磁気記録媒体(5
)の磁化状態に応じて反転するので、垂直磁化膜(3)
の磁化はこの磁気記録媒体(5)の磁化状態に応じて反
転する。従って、この垂直磁化膜(3)に直線偏光を照
射して極カー回転角を検出することにより、この垂直磁
化膜(3)の磁化反転を検出することができ、これによ
って磁気記録媒体(5)の再生を行うことができる。こ
の場合、縦カー効果または横カー効果に比べて大きな回
転角が得られる極カー効果を用いているので、十分な大
きさの再生信号出力を得ることができ、従って十分な感
度で再生を行うことができる。しかも、この場合、磁気
記録媒体(5)に対向する部分の磁路(1)の厚さがそ
のままトラック幅となる。この磁路(1)の厚さを例え
ばサブミクロン程度に小さくすることは容易なので、ト
ラック幅が極めて小さいトラックの再生を行うことがで
きる。
上述のように構成された第2の発明によれば、磁路(1
)の端面の近傍の漏洩磁界に存在する垂直な磁界成分に
より垂直磁化膜(3)が磁化される。そして、第1の発
明と同様に、この垂直磁化膜(3)の磁化は磁気記録媒
体(5)の磁化状態に応じて反転するので、この垂直磁
化膜(3)に直線偏光を照射して極カー回転角を検出す
ることにより、この垂直磁化膜(3)の磁化反転を検出
することができ、これによって磁気記録媒体(5)の再
生を行うことができる。そして、この場合も極カー効果
を用いているので、十分な感度で磁気記録媒体(5)の
再生を行うことができる。しかも、この場合も磁気記録
媒体(5)に対向する部分の磁路(1)の直径がそのま
まトラック幅となるので、この部分の磁路(1)の直径
を例えばサブミクロン程度に小さくすることより、トラ
ック幅が極めて小さいトラックの再生を行うことができ
る。
)の端面の近傍の漏洩磁界に存在する垂直な磁界成分に
より垂直磁化膜(3)が磁化される。そして、第1の発
明と同様に、この垂直磁化膜(3)の磁化は磁気記録媒
体(5)の磁化状態に応じて反転するので、この垂直磁
化膜(3)に直線偏光を照射して極カー回転角を検出す
ることにより、この垂直磁化膜(3)の磁化反転を検出
することができ、これによって磁気記録媒体(5)の再
生を行うことができる。そして、この場合も極カー効果
を用いているので、十分な感度で磁気記録媒体(5)の
再生を行うことができる。しかも、この場合も磁気記録
媒体(5)に対向する部分の磁路(1)の直径がそのま
まトラック幅となるので、この部分の磁路(1)の直径
を例えばサブミクロン程度に小さくすることより、トラ
ック幅が極めて小さいトラックの再生を行うことができ
る。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明
する。なお、実施例の全図において、同一または対応す
る部分には同一の符号を付す。
する。なお、実施例の全図において、同一または対応す
る部分には同一の符号を付す。
第1図A〜第1図Cは本発明の第1実施例によるリング
型磁気ヘッドを示す。ここで、第1図Aは平面図、第1
図Bは正面図、第1図Cは側面図である。
型磁気ヘッドを示す。ここで、第1図Aは平面図、第1
図Bは正面図、第1図Cは側面図である。
第1図A〜第1図Cにおいて、符号1は一定な厚さを有
するリング型の磁路を示す。このリング型の磁路1の厚
さが磁気ディスクのトラック幅Wアとなる。このリング
型の磁路lの外径及び内径は例えばそれぞれ30μm及
び20μm程度であり、その厚さは例えば0.2〜0.
3μm程度である。
するリング型の磁路を示す。このリング型の磁路1の厚
さが磁気ディスクのトラック幅Wアとなる。このリング
型の磁路lの外径及び内径は例えばそれぞれ30μm及
び20μm程度であり、その厚さは例えば0.2〜0.
3μm程度である。
このリング型の磁路1は、互いに180°の角度だけ離
れて形成された一対のギャップGl、Gzを有する。こ
こで、ギャップG、は、このリング型磁気ヘッドの使用
時に磁気記録媒体に対向するものである。これらのギャ
ップG、、G、のギャップ長は例えば0.2μm程度で
ある。また、これらのギャップG1.Gt内には、例え
ば5ift膜のような絶縁膜2が形成されている。
れて形成された一対のギャップGl、Gzを有する。こ
こで、ギャップG、は、このリング型磁気ヘッドの使用
時に磁気記録媒体に対向するものである。これらのギャ
ップG、、G、のギャップ長は例えば0.2μm程度で
ある。また、これらのギャップG1.Gt内には、例え
ば5ift膜のような絶縁膜2が形成されている。
リング型の磁路lの材料としては、通常の軟磁性材料に
要求される特性、すなわち高い磁束密度Bと高い透磁率
μとを有する材料、例えばフェライト、パーマロイ、セ
ンダスト、非晶質金属などが用いられる。
要求される特性、すなわち高い磁束密度Bと高い透磁率
μとを有する材料、例えばフェライト、パーマロイ、セ
ンダスト、非晶質金属などが用いられる。
この第1実施例においては、上述のリング型の磁路1の
一生面に、ギャップG2にまたがって所定形状の垂直磁
化膜3が形成されている。この垂直磁化膜3としては、
大きな極カー回転角θえと高い反射率Rと低い保磁力H
6とを有する材料の膜が用いられ、具体的には例えばC
o膜とpt膜との多層膜、Co膜とPd膜との多層膜、
Ni膜とpt膜との多層膜、Co −Pd合金膜などが
用いられる。この垂直磁化#3の膜厚は、Co膜とpt
膜との多層膜やC。
一生面に、ギャップG2にまたがって所定形状の垂直磁
化膜3が形成されている。この垂直磁化膜3としては、
大きな極カー回転角θえと高い反射率Rと低い保磁力H
6とを有する材料の膜が用いられ、具体的には例えばC
o膜とpt膜との多層膜、Co膜とPd膜との多層膜、
Ni膜とpt膜との多層膜、Co −Pd合金膜などが
用いられる。この垂直磁化#3の膜厚は、Co膜とpt
膜との多層膜やC。
膜とPd膜との多層膜を用いる場合にはCo膜の膜厚を
例えば2〜8人程度板pt膜またはPd膜の膜厚に対す
るCo膜の膜厚の比を0.8以下、多層膜全体の膜厚を
例えば500人程度板下とするのが好ましい。また、垂
直磁化膜3としてNi膜とpt膜との多層膜を用いる場
合には、Ni膜の膜厚を例えば7〜20人、pt膜の膜
厚を例えば2〜6人程度板多層膜全体の膜厚を例えば5
00人程度板下とするのが好ましい。さらに、垂直磁化
膜3としてCo −Pd合金膜を用いる場合には、その
膜厚を例えば500人程度板下とするのが好ましい。な
お、このCo −Pd合金膜におけるPdは70原子%
以上とするのが好ましい。
例えば2〜8人程度板pt膜またはPd膜の膜厚に対す
るCo膜の膜厚の比を0.8以下、多層膜全体の膜厚を
例えば500人程度板下とするのが好ましい。また、垂
直磁化膜3としてNi膜とpt膜との多層膜を用いる場
合には、Ni膜の膜厚を例えば7〜20人、pt膜の膜
厚を例えば2〜6人程度板多層膜全体の膜厚を例えば5
00人程度板下とするのが好ましい。さらに、垂直磁化
膜3としてCo −Pd合金膜を用いる場合には、その
膜厚を例えば500人程度板下とするのが好ましい。な
お、このCo −Pd合金膜におけるPdは70原子%
以上とするのが好ましい。
符号4は記録用コイルを示す。この記録用コイル4は、
この第1実施例によるリング型磁気ヘッドを単に再生用
のヘッドとして用いる場合には省略可能である。
この第1実施例によるリング型磁気ヘッドを単に再生用
のヘッドとして用いる場合には省略可能である。
次に、この第1実施例によるリング型磁気ヘッドを用い
て磁気ディスクの再生を行う方法について説明する。
て磁気ディスクの再生を行う方法について説明する。
第2図に示すように、この第1実施例によるリング型磁
気ヘッドのギャップG2の近傍の漏洩磁界には、このギ
ャップG2にまたがって形成された垂直磁化膜3の膜面
に垂直な磁界成分が存在する。そして、この垂直な漏洩
磁界成分によって垂直磁化膜3が磁化される。一方、ギ
ャップG2の近傍の漏洩磁界は磁気ディスクの磁化状態
に応じて反転するので、これに応じて垂直磁化膜3の磁
化状態も反転する。
気ヘッドのギャップG2の近傍の漏洩磁界には、このギ
ャップG2にまたがって形成された垂直磁化膜3の膜面
に垂直な磁界成分が存在する。そして、この垂直な漏洩
磁界成分によって垂直磁化膜3が磁化される。一方、ギ
ャップG2の近傍の漏洩磁界は磁気ディスクの磁化状態
に応じて反転するので、これに応じて垂直磁化膜3の磁
化状態も反転する。
そこで、この第1実施例においては、第3図に示すよう
に、ギャップG2の両側の部分の垂直磁化膜3の表面に
例えば一対の直線偏光(垂直磁化膜3上のスポットをS
、、SZで示す)を照射し、そのときの極カー回転角θ
、を検出することにより垂直磁化膜3の磁化反転を検出
する。なお、第3図において符号5が磁気ディスクを示
し、5aは面内磁化膜から成る記録膜、5bは基板を示
す。
に、ギャップG2の両側の部分の垂直磁化膜3の表面に
例えば一対の直線偏光(垂直磁化膜3上のスポットをS
、、SZで示す)を照射し、そのときの極カー回転角θ
、を検出することにより垂直磁化膜3の磁化反転を検出
する。なお、第3図において符号5が磁気ディスクを示
し、5aは面内磁化膜から成る記録膜、5bは基板を示
す。
第4図に極カー回転角θ、の分布を示す。この場合、垂
直磁化膜3の磁化は磁気ディスク5の磁化状態に応じて
反転し、これに応じて極カー回転角θ、の分布も反転す
る。第4図において実線の曲線及び破線の曲線が垂直磁
化膜3の磁化反転前後の状態に対応する。この場合、ス
ポットS1で示される直線偏光の極カー回転角とスポラ
)32で示される直線偏光の極カー回転角とは互いに逆
符号であり、一方は+θヨ、他方は−θ、であるので、
垂直磁化膜3の磁化反転はこれらの差2θ、に対応する
信号として現れ、これが再生信号出力となる。
直磁化膜3の磁化は磁気ディスク5の磁化状態に応じて
反転し、これに応じて極カー回転角θ、の分布も反転す
る。第4図において実線の曲線及び破線の曲線が垂直磁
化膜3の磁化反転前後の状態に対応する。この場合、ス
ポットS1で示される直線偏光の極カー回転角とスポラ
)32で示される直線偏光の極カー回転角とは互いに逆
符号であり、一方は+θヨ、他方は−θ、であるので、
垂直磁化膜3の磁化反転はこれらの差2θ、に対応する
信号として現れ、これが再生信号出力となる。
以上は磁気ディスクの再生方法であるが、記録は記録用
コイル4に電流を流し、磁気誘導法により行うことがで
きる。
コイル4に電流を流し、磁気誘導法により行うことがで
きる。
なお、第3図は磁気ディスク5の記録膜5aが面内磁化
膜である場合であるが、第5図に示すように記録膜5a
が垂直磁化膜である場合にも上述と同様にして再生や記
録を行うことが可能である。
膜である場合であるが、第5図に示すように記録膜5a
が垂直磁化膜である場合にも上述と同様にして再生や記
録を行うことが可能である。
以上のように、この第1実施例によれば、リング型磁路
Iの主面にギャップG2にまたがって形成された垂直磁
化膜3にスポットS、、szでボされる直線偏光を照射
し、磁気ディスクの磁化状態に応じたこの垂直磁化膜3
の磁化反転を2θ、に対応する信号として検出するよう
にしているので、十分な再生信号出力が得られ、これに
よって磁気ディスクの再生を十分な感度で行うことがで
きる。しかも、リング型磁路1の厚さがそのままトラッ
ク幅Wアとなるので、例えばトラック幅W。
Iの主面にギャップG2にまたがって形成された垂直磁
化膜3にスポットS、、szでボされる直線偏光を照射
し、磁気ディスクの磁化状態に応じたこの垂直磁化膜3
の磁化反転を2θ、に対応する信号として検出するよう
にしているので、十分な再生信号出力が得られ、これに
よって磁気ディスクの再生を十分な感度で行うことがで
きる。しかも、リング型磁路1の厚さがそのままトラッ
ク幅Wアとなるので、例えばトラック幅W。
が0.2μm程度の極狭トラックの再生を行うことがで
きる。そして、これによって、磁気ディスクの記録密度
を飛躍的に向上させることが可能となる。
きる。そして、これによって、磁気ディスクの記録密度
を飛躍的に向上させることが可能となる。
第6図A〜第6図Cは本発明の第2実施例によるリング
型磁気ヘッドを示す。ここで、第6図Aは平面図、第6
図Bは正面図、第6図Cは側面図である。
型磁気ヘッドを示す。ここで、第6図Aは平面図、第6
図Bは正面図、第6図Cは側面図である。
第6図A〜第6図Cに示すように、この第2実施例によ
るリング型磁気ヘッドにおいては、リング型磁路1のう
ち磁気ディスクに対向する部分の厚さが他の部分に比べ
て小さくなっており、この部分の厚さがトラック幅W、
となる。また、この場合、垂直磁化膜3は、リング型磁
路1の外周面にギャップG2にまたがって形成されてい
る。
るリング型磁気ヘッドにおいては、リング型磁路1のう
ち磁気ディスクに対向する部分の厚さが他の部分に比べ
て小さくなっており、この部分の厚さがトラック幅W、
となる。また、この場合、垂直磁化膜3は、リング型磁
路1の外周面にギャップG2にまたがって形成されてい
る。
次に、この第2実施例によるリング型磁気ヘッドを用い
て磁気ディスクの再生を行う方法について説明する。
て磁気ディスクの再生を行う方法について説明する。
第7図に示すように、リング型磁路1のギャップG2の
近傍には、このギャップG2にまたがって形成された垂
直磁化膜3の膜面に対して垂直な漏洩磁界成分が存在し
、この垂直な漏洩磁界成分によりこの垂直磁化膜3が磁
化される。そして、この垂直磁化膜3の磁化は、磁気デ
ィスクの磁化状態に応じて反転する。
近傍には、このギャップG2にまたがって形成された垂
直磁化膜3の膜面に対して垂直な漏洩磁界成分が存在し
、この垂直な漏洩磁界成分によりこの垂直磁化膜3が磁
化される。そして、この垂直磁化膜3の磁化は、磁気デ
ィスクの磁化状態に応じて反転する。
そこで、この第2実施例においては、第8図に示すよう
に、ギャップG2の両側の部分の垂直磁化膜3に直線偏
光B、、B、を照射し、これらの直線偏光B+ 、Bz
の極カー回転角θ、を検出する。なお、第6図Aに垂直
磁化膜3上のスポットS、、S2を示す。この場合のカ
ー回転角θにの分布は第9図に示すようになり、第4図
と同様となる。
に、ギャップG2の両側の部分の垂直磁化膜3に直線偏
光B、、B、を照射し、これらの直線偏光B+ 、Bz
の極カー回転角θ、を検出する。なお、第6図Aに垂直
磁化膜3上のスポットS、、S2を示す。この場合のカ
ー回転角θにの分布は第9図に示すようになり、第4図
と同様となる。
この第2実施例によっても、第1実施例と同様に、極狭
トラックの再生を十分な感度で行うことができる。
トラックの再生を十分な感度で行うことができる。
第10図A及び第10図Bは本発明の第3実施例による
単磁極型磁気ヘッドを示す。ここで、第10図Aは平面
図、第10図Bは正面図である。
単磁極型磁気ヘッドを示す。ここで、第10図Aは平面
図、第10図Bは正面図である。
第10図A及び第10図Bに示すように、この第3実施
例による単磁極型磁気ヘッドにおいては、ペンシル形状
の磁路lの磁気ディスクとの対向部と反対側の端面に垂
直磁化膜3が形成されている。
例による単磁極型磁気ヘッドにおいては、ペンシル形状
の磁路lの磁気ディスクとの対向部と反対側の端面に垂
直磁化膜3が形成されている。
この場合には、このペンシル形状の磁路1の先端の直径
がトラック幅W、となる。
がトラック幅W、となる。
次に、この第3実施例による単磁極型磁気ヘッドを用い
て磁気ディスクの再生を行う方法について説明する。
て磁気ディスクの再生を行う方法について説明する。
ペンシル形状の磁路1の端面に形成された垂直磁化膜3
は、この端面の近傍の漏洩磁界に存在するこの端面に垂
直な磁界成分により磁化され、またこの垂直磁化膜3の
磁化は磁気ディスクの磁化状態に応じて反転する。
は、この端面の近傍の漏洩磁界に存在するこの端面に垂
直な磁界成分により磁化され、またこの垂直磁化膜3の
磁化は磁気ディスクの磁化状態に応じて反転する。
そこで、この第3実施例においては、第11図に示すよ
うに、直線偏光Bを垂直磁化膜3に照射し、そのときの
極カー回転角θえを検出する。なお、第10図Aにおい
て、垂直磁化膜3上の直線偏光BのスポットをSで示す
。第12図はこの場合の極カー回転角θ、の分布を示す
。この場合にも、磁気ディスクの磁化状態に応じた垂直
磁化膜3の磁化反転が2θ、に対応する信号として検出
され、これが再生信号出力となって磁気ディスクの再生
が行われる。
うに、直線偏光Bを垂直磁化膜3に照射し、そのときの
極カー回転角θえを検出する。なお、第10図Aにおい
て、垂直磁化膜3上の直線偏光BのスポットをSで示す
。第12図はこの場合の極カー回転角θ、の分布を示す
。この場合にも、磁気ディスクの磁化状態に応じた垂直
磁化膜3の磁化反転が2θ、に対応する信号として検出
され、これが再生信号出力となって磁気ディスクの再生
が行われる。
この第3実施例によっても、第1実施例及び第2実施例
と同様な利点がある。
と同様な利点がある。
次に、上述の第1実施例、第2実施例及び第3実施例に
おいて、極カー回転角θ8のエンハンスメントを行う方
法について説明する。第13図〜第16図はその例を示
すものである。
おいて、極カー回転角θ8のエンハンスメントを行う方
法について説明する。第13図〜第16図はその例を示
すものである。
第13図に示す例においては、磁路1上に垂直磁化膜3
を形成し、その上に適当な膜厚の誘電体膜6を形成する
ことにより極カー回転角θにのエンハンスメントラ行つ
。
を形成し、その上に適当な膜厚の誘電体膜6を形成する
ことにより極カー回転角θにのエンハンスメントラ行つ
。
第14図に示す例においては、磁路1上に誘電体膜6を
形成し、その上に垂直磁化光磁気膜3を形成することに
より極カー回転角θイのエンハンスメントを行う。
形成し、その上に垂直磁化光磁気膜3を形成することに
より極カー回転角θイのエンハンスメントを行う。
第15図に示す例においては、磁路1上に誘電体膜6を
形成し、その上に垂直磁化膜3を形成し、さらにその上
に二層目の誘電体膜6を形成することにより極カー回転
角θ、のエンハンスメントを行う。
形成し、その上に垂直磁化膜3を形成し、さらにその上
に二層目の誘電体膜6を形成することにより極カー回転
角θ、のエンハンスメントを行う。
第16図に示す例においては、第13図に示す例におけ
る磁路1と垂直磁化膜3との間に反射膜7を形成する。
る磁路1と垂直磁化膜3との間に反射膜7を形成する。
また、図示は省略するが、第14図に示す例や第15図
に示す例においても、磁路1と誘電体膜6との間に反射
膜7を形成することが可能である。
に示す例においても、磁路1と誘電体膜6との間に反射
膜7を形成することが可能である。
第17図は本発明の磁気ヘッドを用いる場合の再生光学
系の例を示す。第17図において、光源8としてはレー
ザーダイオード(LD)を用いるが、使用波長は光ディ
スクや光磁気ディスクの再生を行う場合と異なり必ずし
も短波長である必要はなく、どのような波長域のものを
用いてもよい。
系の例を示す。第17図において、光源8としてはレー
ザーダイオード(LD)を用いるが、使用波長は光ディ
スクや光磁気ディスクの再生を行う場合と異なり必ずし
も短波長である必要はなく、どのような波長域のものを
用いてもよい。
さて、光源8から発生されたレーザービームは偏光子9
を通って直線偏光となり、この直線偏光が本発明の磁気
ヘッドの磁路1上に形成された垂直磁化膜3に入射する
。この直線偏光はこの垂直磁化膜3で反射されて極カー
効果によりθ、の偏光面の回転が起き、その戻り光が検
光子11を通って受光部12で検出され、この受光部1
2から信号が出力される。
を通って直線偏光となり、この直線偏光が本発明の磁気
ヘッドの磁路1上に形成された垂直磁化膜3に入射する
。この直線偏光はこの垂直磁化膜3で反射されて極カー
効果によりθ、の偏光面の回転が起き、その戻り光が検
光子11を通って受光部12で検出され、この受光部1
2から信号が出力される。
再生光学系としては、従来より用いられている光磁気デ
ィスク用光ピツクアップシステムを用いることも可能で
ある。ただし、この場合には、ピックアップシステムの
小型化及び軽量化を図ってアクセス時間を短くする必要
がある。
ィスク用光ピツクアップシステムを用いることも可能で
ある。ただし、この場合には、ピックアップシステムの
小型化及び軽量化を図ってアクセス時間を短くする必要
がある。
もう一つの方法は、再生光学系は固定し、光ファイバー
で直線偏光の導波を行うことにより、磁気ヘッドの垂直
磁化膜3にこの直線偏光を照射する方法である。この方
法によれば、磁気ヘッドの軽量化によりアクセス時間を
短くすることが可能である。この場合、最も効果的なの
は、再生光学系を全て導波路素子とし、磁気ヘッドと一
体化するのが、小型化及び軽量化の点で、さらにはアク
セス時間や量産性の面で利点がある。
で直線偏光の導波を行うことにより、磁気ヘッドの垂直
磁化膜3にこの直線偏光を照射する方法である。この方
法によれば、磁気ヘッドの軽量化によりアクセス時間を
短くすることが可能である。この場合、最も効果的なの
は、再生光学系を全て導波路素子とし、磁気ヘッドと一
体化するのが、小型化及び軽量化の点で、さらにはアク
セス時間や量産性の面で利点がある。
第18図は、上述の第1実施例または第2実施例におい
て、一対の光ファイバー13で直線偏光B、、B、を垂
直磁化膜3に導波する例を示すものである。
て、一対の光ファイバー13で直線偏光B、、B、を垂
直磁化膜3に導波する例を示すものである。
本発明の磁気ヘッドの適用が可能な磁気ディスクは、従
来より用いられているものと同様な上述の磁気ディスク
5のほかに、例えば第19図に示すようなグループ付き
基板5b上に記録膜5aを形成した磁気ディスクを用い
ることができ、このような磁気ディスクを用いることに
より、溝の上下の高さの差を利用してクロストークをな
くすことが可能である。
来より用いられているものと同様な上述の磁気ディスク
5のほかに、例えば第19図に示すようなグループ付き
基板5b上に記録膜5aを形成した磁気ディスクを用い
ることができ、このような磁気ディスクを用いることに
より、溝の上下の高さの差を利用してクロストークをな
くすことが可能である。
1体■
磁気ヘッド材料、すなわち磁路1の材料として、(Fe
o、5Coo、s) SS[3SculOで示される組
成を有する直径10CIのターゲットを用い、2X10
−”Torrのアルゴンガス雰囲気中でマグネトロンス
パッタリングを行うことにより、Al2O3・TiC基
板上に(Feo、s Coo、s ) 5sNissc
u+a膜を形成した。
o、5Coo、s) SS[3SculOで示される組
成を有する直径10CIのターゲットを用い、2X10
−”Torrのアルゴンガス雰囲気中でマグネトロンス
パッタリングを行うことにより、Al2O3・TiC基
板上に(Feo、s Coo、s ) 5sNissc
u+a膜を形成した。
この(Feo、s COo、s ) 5sNizscu
+o膜の保磁力Heは膜厚2000人に対して0.60
eであった。
+o膜の保磁力Heは膜厚2000人に対して0.60
eであった。
一方、垂直磁化膜3として、直径10cmのCoターゲ
ットとptターゲットとを用い、4 X 10−’T。
ットとptターゲットとを用い、4 X 10−’T。
rrのアルゴンガス雰囲気中で基板を回転させながらス
パッタリングを行うことにより、この基板上にCo膜と
pt膜との多層膜を形成した。ここで、C。
パッタリングを行うことにより、この基板上にCo膜と
pt膜との多層膜を形成した。ここで、C。
膜の膜厚は2.7人、pt膜の膜厚は6.3人で多層膜
全体の膜厚は95人とした。この多層膜の保磁力Hcは
1000eであった。また、極カー回転角θ3を測定し
た所、0.38°が得られた。
全体の膜厚は95人とした。この多層膜の保磁力Hcは
1000eであった。また、極カー回転角θ3を測定し
た所、0.38°が得られた。
以上、本発明の実施例につき具体的に説明したが、本発
明は、上述の実施例に限定されるものではなく、本発明
の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
明は、上述の実施例に限定されるものではなく、本発明
の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。
例えば、第1実施例におけるリング型磁路1の代わりに
、第2実施例におけるリング型磁路1を用いることも可
能である。さらに、第3実施例におけるペンシル形状の
磁路1の代わりに、平板型の磁路を用いることも可能で
ある。
、第2実施例におけるリング型磁路1を用いることも可
能である。さらに、第3実施例におけるペンシル形状の
磁路1の代わりに、平板型の磁路を用いることも可能で
ある。
また、上述の第1実施例及び第2実施例における垂直磁
化膜3は、少なくともギャップG2にまたがって形成さ
れていればその形状は任意の形状とすることが可能であ
り、リング型磁路1の主面全面に形成することも可能で
ある。
化膜3は、少なくともギャップG2にまたがって形成さ
れていればその形状は任意の形状とすることが可能であ
り、リング型磁路1の主面全面に形成することも可能で
ある。
さらに、上述の第1実施例及び第2実施例においては、
垂直磁化膜3に一対の直線偏光を照射し、これらの直線
偏光の極カー回転角の差を信号として検出する差動検出
方式を用いているが、単一の直線偏光を用いたときの極
カー回転角をそのまま信号として用いることも可能であ
る。
垂直磁化膜3に一対の直線偏光を照射し、これらの直線
偏光の極カー回転角の差を信号として検出する差動検出
方式を用いているが、単一の直線偏光を用いたときの極
カー回転角をそのまま信号として用いることも可能であ
る。
以上述べたように、本発明によれば、トラック幅が極め
て小さいトラックの再生を十分な感度で行うことができ
る。
て小さいトラックの再生を十分な感度で行うことができ
る。
第1図Aは本発明の第1実施例によるリング型磁気ヘッ
ドの平面図、第1図Bは本発明の第1実施例によるリン
グ型磁気ヘッドの正面図、第1図Cは本発明の第1実施
例によるリング型磁気ヘッドの側面図、第2図は本発明
の第1実施例によるリング型磁気ヘッドのギャップ近傍
の漏洩磁界を示す要部拡大平面図、第3図は本発明の第
1実施例によるリング型磁気ヘッドを用いて磁気ディス
クの再生を行う方法を説明するための正面図、第4図は
本発明の第1実施例における極カー回転角θ8の分布を
示すグラフ、第5図は本発明の第1実施例によるリング
型磁気ヘッドを用いて垂直磁化膜から成る記録膜を有す
る磁気ディスクの再生を行う例を示す正面図、第6図A
は本発明の第2実施例によるリング型磁気ヘッドの平面
図、第6図Bは本発明の第2実施例によるリング型磁気
ヘッドの正面図、第6図Cは本発明の第2実施例による
リング型磁気ヘッドの側面図、第7図は本発明の第2実
施例によるリング型磁気へンドのギャップ近傍の漏洩磁
界を示す要部拡大正面図、第8図は本発明の第2実施例
によるリング型磁気ヘッドを用いて磁気ディスクの再生
を行う方法を説明するための正面図、第9図は本発明の
第2実施例における極カー回転角θ、の分布を示すグラ
フ、第10図Aは本発明の第3実施例による単磁極型磁
気ヘッドの平面図、第10図Bは本発明の第3実施例に
よる単磁極型磁気ヘッドの正面図、第11図は本発明の
第3実施例による単磁極型磁気ヘッドを用いて磁気記録
媒体の再生を行う方法を説明するための正面図、第12
図は本発明の第3実施例における極カー回転角θヨの分
布を示すグラフ、第13図〜第16図は本発明の第1実
施例、第2実施例及び第3実施例において極カー回転角
θにのエンハンスメントを行う方法を説明するための断
面図、第17図は本発明の磁気ヘッドを用いる場合の再
生光学系の例を示すブロック図、第18図は光ファイバ
ーで直線偏光の導波を行う例を示す要部平面図、第19
図は本発明の磁気ヘッドの通用が可能な磁気ディスクの
例を示す断面図である。 図面における主要な符号の説明 1:磁路、 3:垂直磁化膜、 4:記録用コイル、
C,、C,:ギャップ。
ドの平面図、第1図Bは本発明の第1実施例によるリン
グ型磁気ヘッドの正面図、第1図Cは本発明の第1実施
例によるリング型磁気ヘッドの側面図、第2図は本発明
の第1実施例によるリング型磁気ヘッドのギャップ近傍
の漏洩磁界を示す要部拡大平面図、第3図は本発明の第
1実施例によるリング型磁気ヘッドを用いて磁気ディス
クの再生を行う方法を説明するための正面図、第4図は
本発明の第1実施例における極カー回転角θ8の分布を
示すグラフ、第5図は本発明の第1実施例によるリング
型磁気ヘッドを用いて垂直磁化膜から成る記録膜を有す
る磁気ディスクの再生を行う例を示す正面図、第6図A
は本発明の第2実施例によるリング型磁気ヘッドの平面
図、第6図Bは本発明の第2実施例によるリング型磁気
ヘッドの正面図、第6図Cは本発明の第2実施例による
リング型磁気ヘッドの側面図、第7図は本発明の第2実
施例によるリング型磁気へンドのギャップ近傍の漏洩磁
界を示す要部拡大正面図、第8図は本発明の第2実施例
によるリング型磁気ヘッドを用いて磁気ディスクの再生
を行う方法を説明するための正面図、第9図は本発明の
第2実施例における極カー回転角θ、の分布を示すグラ
フ、第10図Aは本発明の第3実施例による単磁極型磁
気ヘッドの平面図、第10図Bは本発明の第3実施例に
よる単磁極型磁気ヘッドの正面図、第11図は本発明の
第3実施例による単磁極型磁気ヘッドを用いて磁気記録
媒体の再生を行う方法を説明するための正面図、第12
図は本発明の第3実施例における極カー回転角θヨの分
布を示すグラフ、第13図〜第16図は本発明の第1実
施例、第2実施例及び第3実施例において極カー回転角
θにのエンハンスメントを行う方法を説明するための断
面図、第17図は本発明の磁気ヘッドを用いる場合の再
生光学系の例を示すブロック図、第18図は光ファイバ
ーで直線偏光の導波を行う例を示す要部平面図、第19
図は本発明の磁気ヘッドの通用が可能な磁気ディスクの
例を示す断面図である。 図面における主要な符号の説明 1:磁路、 3:垂直磁化膜、 4:記録用コイル、
C,、C,:ギャップ。
Claims (3)
- (1)磁気記録媒体に対向する第1のギャップと第2の
ギャップとを有するリング型の磁路と、 上記磁路の主面または外周面に上記第2のギャップにま
たがって形成された垂直磁化膜とを具備し、 上記垂直磁化膜に直線偏光を照射して極カー効果により
上記垂直磁化膜の磁化反転を検出するようにしたことを
特徴とする磁気ヘッド。 - (2)その一端が磁気記録媒体に対向し、他端に垂直磁
化膜が形成された磁路を具備し、 上記垂直磁化膜に直線偏光を照射して極カー効果により
上記垂直磁化膜の磁化反転を検出するようにしたことを
特徴とする磁気ヘッド。 - (3)上記垂直磁化膜が多層膜であることを特徴とする
請求項(1)または(2)記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224007A JPH04105235A (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 磁気ヘッド |
| EP91114010A EP0472188B1 (en) | 1990-08-24 | 1991-08-21 | Magnetic head |
| DE69122702T DE69122702T2 (de) | 1990-08-24 | 1991-08-21 | Magnetkopf |
| US08/095,339 US5296989A (en) | 1990-08-24 | 1993-07-23 | High density dual gap magnetic head using polar Kerr effect |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2224007A JPH04105235A (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04105235A true JPH04105235A (ja) | 1992-04-07 |
Family
ID=16807131
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2224007A Pending JPH04105235A (ja) | 1990-08-24 | 1990-08-24 | 磁気ヘッド |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5296989A (ja) |
| EP (1) | EP0472188B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04105235A (ja) |
| DE (1) | DE69122702T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| TW294810B (ja) * | 1994-09-23 | 1997-01-01 | Philips Electronics Nv | |
| US5920538A (en) * | 1998-06-11 | 1999-07-06 | Tandberg Data Asa | Magneto-optical readout method and magneto-optical readout head and method for making same |
| EP1139341A4 (en) * | 1998-12-07 | 2005-11-16 | Fujitsu Ltd | INFORMATION PLAYING DEVICE, INFORMATION PLAY HEAD WITH CHIP AND INFORMATION PLAY PROCESS |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57183646A (en) * | 1981-05-07 | 1982-11-12 | Nec Corp | Magnetic recorder and reproducer |
| NL8401116A (nl) * | 1984-04-09 | 1985-11-01 | Philips Nv | Magnetische leeskop met een meervoudige spleet. |
| US4707755A (en) * | 1985-03-20 | 1987-11-17 | Hitachi, Ltd. | Optical read-out magnetic head |
| DE3644388A1 (de) * | 1985-12-27 | 1987-07-02 | Sharp Kk | Duennfilm-joch-magnetkopf |
| US5051970A (en) * | 1987-05-08 | 1991-09-24 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Magneto-optic recording system with overwrite capability |
| US5218488A (en) * | 1988-09-20 | 1993-06-08 | Hewlett-Packard Company | Method and apparatus for producing write and erase magnetic field for disk drive |
| US5216643A (en) * | 1988-09-20 | 1993-06-01 | Hewlett-Packard Company | Rotary arm and optical head for a magneto-optic disk drive |
| US5070487A (en) * | 1990-01-31 | 1991-12-03 | General Electric Company | Magneto-optic media recording system including a directed magnetic bias flux |
-
1990
- 1990-08-24 JP JP2224007A patent/JPH04105235A/ja active Pending
-
1991
- 1991-08-21 EP EP91114010A patent/EP0472188B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-08-21 DE DE69122702T patent/DE69122702T2/de not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-07-23 US US08/095,339 patent/US5296989A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5296989A (en) | 1994-03-22 |
| DE69122702D1 (de) | 1996-11-21 |
| EP0472188B1 (en) | 1996-10-16 |
| DE69122702T2 (de) | 1997-05-15 |
| EP0472188A1 (en) | 1992-02-26 |
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