JPH04105541U - Ｔａｂテープ用オートハンドラ - Google Patents

Ｔａｂテープ用オートハンドラ

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JPH04105541U
JPH04105541U JP1467291U JP1467291U JPH04105541U JP H04105541 U JPH04105541 U JP H04105541U JP 1467291 U JP1467291 U JP 1467291U JP 1467291 U JP1467291 U JP 1467291U JP H04105541 U JPH04105541 U JP H04105541U
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Japan
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tab tape
tape
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test head
stage
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JP1467291U
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光弘 古田
裕司 川西
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安藤電気株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＸＹステージ２上にスプロケット３・４とカ
メラ５を配置し、プローブカード６とテストヘッド７を
直結することにより、デバイスの測定周波数の制限を減
らす。 【構成】 ＴＡＢテープ１のパターン上の基準マークを
参照してＴＡＢテープ１の位置を補正するＴＡＢテープ
用オートハンドラにおいて、ＸＹステージ２上にスプロ
ケット３・４と画像処理用カメラ５を配置し、プローブ
カード６とテストヘッド７を直結する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
この考案は、ＴＡＢ（テープ・オートメイテッド・ボンディング）テープ用オ ートハンドラについてのものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＡＢテープ用オートハンドラは、リール状に巻かれたＴＡＢテープを自動的 に測定位置まで逐次搬送し、ＩＣテスタのテスト結果に基づいて自動的に選別す る装置である。なお、ＴＡＢと電極の精密位置決め機構については実開昭64-345 76号公報、実開平1-163335号公報、実願平2-106251号明細書などにも記載されて いる。
【０００３】 次に、従来技術によるＴＡＢテープ用オートハンドラの構成を図２により説明 する。図２の１はＴＡＢテープ、３と４はスプロケット、５はカメラ、６はプロ ーブカード、７はＩＣテスタのテストヘッド、８はテープクランプ、９はアタッ チメントユニット、１０はプッシャ、１１は供給リール、１２と１３はテンショ ンプーリ、１４は収容リールである。
【０００４】 ＴＡＢテープ１は、スプロケット３・４のスプロケットホールでデバイスのピ ッチ分送られ、供給リール１１からテンションプーリ１２、スプロケット３・４ 、テンションローラ１３、収容リール１４の順に移動する。
【０００５】 位置決めされたＴＡＢテープ１は、プッシャ１０、テープクランパ８によりア ライメント位置まで下降する。この位置でカメラ５による画像データが取り込ま れ、位置が比較される。位置の補正が必要な場合は、クランパ８・プッシャ１０ を上昇させ、補正後再下降し、コンタクト位置でプローブカード６のコンタクト に押し付けられる。この状態でテスタ側にテストスタート要求信号を送り、ＩＣ テスタのテストが開始される。テスト後、テスト終了信号により、クランパ８・ プッシャ１０が上昇し、スプロケット３・４により次のデバイスまでＴＡＢテー プ１は送られる。
【０００６】 次に、ＴＡＢテープ１の位置決め手段を図３により説明する。図３アは位置補 正機構の構成図である。図２アのスプロケット３・４、テープクランプ８、プッ シャ１０は一体となってＸＹステージ２上に配置される。図２のプローブカード ６の針合わせの精度を確保するため、より精度の高い位置決めが必要であり、図 ２のカメラ５による画像処理の位置検出と、図３のＸＹステージ２により位置決 めをする。
【０００７】 図３イはデバイスのパターン図であり、パターン図の一隅に位置決め基準とな る基準マークがある。この基準マークの位置（図３ウのＸａ、Ｘｂ、Ｙａ、Ｙｂ ）を準備操作の段階で記憶させ、運転状態で記憶パターンとの差分を検出し、補 正を演算し、ＸＹステージ２を制御して基準位置に合わせる。アライメント機能 の搭載により１０μｍ以内の位置決め精度を得ている。なお、基準マークによる 位置決めについては、前述の実願平2-106251号明細書にも記載されている。
【０００８】 しかし、図２ではアライメント用のカメラ５がアタッチメントユニット９内に 配置されているので、プローブカード６とテストヘッド７間の配線が長い。
【０００９】
【考案が解決しようとする課題】
図２では、ＴＡＢテープ１のパターン位置決め精度を確保するため、画像処理 用のカメラ５が下方に配置されているので、プローブカード６とテストヘッド７ 間の配線が長く、デバイスの測定周波数の上限が制限される。
【００１０】 この考案は、ＸＹステージ２上にスプロケット３・４とカメラ５を配置し、プ ローブカード６とテストヘッド７を直結することにより、デバイスの測定周波数 の制限を減らすことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため、この考案では、ＴＡＢテープ１のパターン上の基準 マークを参照してＴＡＢテープ１の位置を補正するＴＡＢテープ用オートハンド ラにおいて、ＸＹステージ２上にスプロケット３・４と画像処理用カメラ５を配 置し、プローブカード６とテストヘッド７を直結する。
【００１２】
【作用】
次に、この考案によるＴＡＢテープ用オートハンドラの構成を図１により説明 する。ＴＡＢテープ１の搬送機構は図２と同じである。図１ではカメラ５と照明 用ランプ５Ａは上方に配置し、位置決めと測定時のＴＡＢテープ１をクランプす るためのプッシャ１０はアライメント時は後方に退避させる。アライメントはＴ ＡＢテープ１の裏面を使用し、ランプ５Ａをファイバ光とし、強い光をＴＡＢテ ープ１に照射して透過光を作り、アライメント機能を維持する。プローブカード ６の下にテストヘッド７を配置し、プローブカード６とテストヘッド７を直結す る。
【００１３】
【考案の効果】
この考案によれば、ＸＹステージ上にスプロケットと画像処理用カメラを配置 し、プローブカードとテストヘッドを直結するので、プローブカードとテストヘ ッドの配線が短くなり、デバイスの測定周波数を上げることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この考案によるＴＡＢテープ用オートハンドラ
の構成図である。
【図２】 従来技術によるＴＡＢテープ用オートハン
ドラの構成図である。
【図３】ＴＡＢテープ１の位置決め手段説明図である。
【符号の説明】
１ ＴＡＢテープ ２ ＸＹステージ ３ スプロケット ４ スプロケット ５ カメラ ５Ａ ランプ ５Ｂ ランプ ６ プローブカード ７ テストヘッド ８ テープクランプ ９ アタッチメントユニット １０ プッシャ １１ 供給リール １２ テンションプーリ １３ テンションプーリ １４ 収容リール

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ＴＡＢテープ(1) のパターン上の基準マ
    ークを参照してＴＡＢテープ(1) の位置を補正するＴＡ
    Ｂテープ用オートハンドラにおいて、ＸＹステージ(2)
    上にスプロケット(3)・(4)と画像処理用カメラ(5) を配
    置し、プローブカード(6) とテストヘッド(7) を直結す
    ることを特徴とするＴＡＢテープ用オートハンドラ。
JP1991014672U 1991-02-21 1991-02-21 Ｔａｂテープ用オートハンドラ Expired - Lifetime JP2556386Y2 (ja)

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JP2556386Y2 JP2556386Y2 (ja) 1997-12-03

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010237108A (ja) * 2009-03-31 2010-10-21 Micronics Japan Co Ltd アライメント機能を有する半導体検査装置とアライメント方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01140075A (ja) * 1987-11-26 1989-06-01 Tokyo Electron Ltd テープキャリヤの検査方法
JPH01163335U (ja) * 1988-04-30 1989-11-14
JPH0271143A (ja) * 1988-09-07 1990-03-09 Teru Tohoku Kk テープキャリアの検査方法

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JP2556386Y2 (ja) 1997-12-03

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