JPH0410587A - 固体レーザ材料の励起方法 - Google Patents
固体レーザ材料の励起方法Info
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
この発明は、固体レーザ材ＴＪ−としてＹＡＧ、 ＧＧ
Ｇ、ＹＬＦ、 ＧＳＧＧ、 ＧＳＡＧ、及びレーザガラ
スなどに希土類元素Ｎｄ”＋を添加した固体レーザ材料
の発振に関するもので、高密度光メモリー、カラーデイ
スプレィ、波長可変色素レーザの励起光源、印刷やレー
ザプリンタ用光源やその他微細加工用光源などに用いる
。固体レーザ材料の励起方法に関するものである。
Ｇ、ＹＬＦ、 ＧＳＧＧ、 ＧＳＡＧ、及びレーザガラ
スなどに希土類元素Ｎｄ”＋を添加した固体レーザ材料
の発振に関するもので、高密度光メモリー、カラーデイ
スプレィ、波長可変色素レーザの励起光源、印刷やレー
ザプリンタ用光源やその他微細加工用光源などに用いる
。固体レーザ材料の励起方法に関するものである。
（従来の技術）
従来既存の固体レーザ材料を励起する方法を大別すると
、ランプ励起法と半導体レーザ（以下、ｒＬＤＪ）励起
法とがある。
、ランプ励起法と半導体レーザ（以下、ｒＬＤＪ）励起
法とがある。
ランプ励起法は、連続点灯の沃素ランプ又はクリプトン
アークランプによる励起法、キセノン又はクリプトンフ
ラッシュによるパルス励起法が用いられている。
アークランプによる励起法、キセノン又はクリプトンフ
ラッシュによるパルス励起法が用いられている。
ＬＤ励起法は、連続又はパルス動作のＬＤで固体レーザ
材料を励起させる方法である。
材料を励起させる方法である。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながらランプ励起法によれば、固体レーザ材料の
発振に有効なランプからの光エネルギーは約１０％であ
り、残りの大半の光エネルギーは固体レーザ材料を加熱
するために、固体レーザを水冷する必要があった。
発振に有効なランプからの光エネルギーは約１０％であ
り、残りの大半の光エネルギーは固体レーザ材料を加熱
するために、固体レーザを水冷する必要があった。
このためレーザ発振装置が大型化し、レーザの出力の安
定性も５〜１０％程度であった。
定性も５〜１０％程度であった。
またＬＤ励起法によれば、ＬＤの出力は最大Ｊ−Ｗ程度
であるため、固体レーザの発振出力は１００〜２００ｍ
Ｗと低い。このため発振波長１μｍから波長変換素子で
２倍高調波を発生させる場合、その変換効率は数％とな
り、効率が非常に低いという問題点があった。
であるため、固体レーザの発振出力は１００〜２００ｍ
Ｗと低い。このため発振波長１μｍから波長変換素子で
２倍高調波を発生させる場合、その変換効率は数％とな
り、効率が非常に低いという問題点があった。
（課題を解決するための手段）
この発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、発振
出力が高く、高安定、長寿命、かつ発振器として構成し
た場合にその大きさを非常にコンパクトににできる、固
体レーザ材料の励起方法を提供して問題の解決を図るも
のである。
出力が高く、高安定、長寿命、かつ発振器として構成し
た場合にその大きさを非常にコンパクトににできる、固
体レーザ材料の励起方法を提供して問題の解決を図るも
のである。
而してこの発明の具体的な構成についていうと、軸方向
から半導体レーザによって固体レーザ材料を励起させる
と共に、光導波路によってフランシュランプの光を当該
固体レーザ材料の側面に集中照射させて当該固体レーザ
材料を励起させることを特徴とするものである。
から半導体レーザによって固体レーザ材料を励起させる
と共に、光導波路によってフランシュランプの光を当該
固体レーザ材料の側面に集中照射させて当該固体レーザ
材料を励起させることを特徴とするものである。
このように同時励起させる場合、フランシュランプは数
比〜数１００ｋＨｚのパルス波か好ましく、また半導体
レーザは連続波又は当該フラッシュランプと同調する数
＆〜数１００ｋＨｚのパルス波を出すものが好ましい。
比〜数１００ｋＨｚのパルス波か好ましく、また半導体
レーザは連続波又は当該フラッシュランプと同調する数
＆〜数１００ｋＨｚのパルス波を出すものが好ましい。
この発明で使用するフラッシュランプとしては、例えば
Ｘｅや計などの希ガスを封入したものが挙げられる。
Ｘｅや計などの希ガスを封入したものが挙げられる。
また上述のような半導体レーザとフラッシュランプで固
体レーザ材料を同時に励起させる方法において、光導波
路に入射する前段階に有効波長透過フィルタを介在させ
たことを特徴とする。固体レーザ材料の励起方法として
もよい。
体レーザ材料を同時に励起させる方法において、光導波
路に入射する前段階に有効波長透過フィルタを介在させ
たことを特徴とする。固体レーザ材料の励起方法として
もよい。
ここでいう有効波長透過フィルタとは、励起させる固体
レーザ材料によって多少異なるが、概ね５００〜６００
ｎＩ１１．７００−９００ｎｍの範囲の波長の光を透過
させるフィルタをいう。
レーザ材料によって多少異なるが、概ね５００〜６００
ｎＩ１１．７００−９００ｎｍの範囲の波長の光を透過
させるフィルタをいう。
（作 用）
一般的に半導体レーザは単一の縦モード、横モード発振
が容易であり、従って横モート、縦モードとも良好なビ
ームが得られる。これをフラッシュランプで同時に励起
させるので、良好なモードのビームの種がフラッシュラ
ンプによって増幅されて発振されることになる。従って
発振出力が高く、高安定、高品質のレーザビームが得ら
れるものである。
が容易であり、従って横モート、縦モードとも良好なビ
ームが得られる。これをフラッシュランプで同時に励起
させるので、良好なモードのビームの種がフラッシュラ
ンプによって増幅されて発振されることになる。従って
発振出力が高く、高安定、高品質のレーザビームが得ら
れるものである。
また光導波路によってフラッシュランプの光を固体レー
ザ材料に集中照射させるので、ランプ光を効率良く固体
レーザ材料に集光できる。しかも例えば固体レーザ材料
の冷却手段が、固体レーザ材料を覆う筒状のものであっ
ても、側面励起が可能となる。
ザ材料に集中照射させるので、ランプ光を効率良く固体
レーザ材料に集光できる。しかも例えば固体レーザ材料
の冷却手段が、固体レーザ材料を覆う筒状のものであっ
ても、側面励起が可能となる。
光導波路に入射する前段階に有効波長透過フィルタを介
在させた場合には、フラッシュランプの光のうち励起に
有効な波長の光のみが、固体レーザ材料に照射される。
在させた場合には、フラッシュランプの光のうち励起に
有効な波長の光のみが、固体レーザ材料に照射される。
（実施例）
以下、この考案の実施例を図について説明する。
第１図は第１実施例を装置に具現化した場合の固体レー
ザ発振器の概要を示しており、■は半導体レーザであっ
て、その波長は、Ｎｄ３＋の吸収波長である８０５〜８
１０ｎｍ（固体レーザ材料によって多少異なる）であり
、ペルチェ素子（図外）で半導体レーザＩの温度を調整
して同調させるようになっている。２は集光レンズであ
り、半導体レーザ１からの光を集光して、直径１００μ
ｍ以下のスポツト径で固体レーザ材料３に照射する。本
実施例で用いた固体レーザ材料３は、入射端面Ｒ工の反
射率が、波長１μｍに対して９９％以上、波長０．８１
μｍに対して１０％以下で、曲率半径は１０圓〜１００
ａｎであり、出射端面Ｒ４の反射率は波長１μｍに対し
て０．５％以下、平面度はλ／２（１２１μｍ）以上で
ある。
ザ発振器の概要を示しており、■は半導体レーザであっ
て、その波長は、Ｎｄ３＋の吸収波長である８０５〜８
１０ｎｍ（固体レーザ材料によって多少異なる）であり
、ペルチェ素子（図外）で半導体レーザＩの温度を調整
して同調させるようになっている。２は集光レンズであ
り、半導体レーザ１からの光を集光して、直径１００μ
ｍ以下のスポツト径で固体レーザ材料３に照射する。本
実施例で用いた固体レーザ材料３は、入射端面Ｒ工の反
射率が、波長１μｍに対して９９％以上、波長０．８１
μｍに対して１０％以下で、曲率半径は１０圓〜１００
ａｎであり、出射端面Ｒ４の反射率は波長１μｍに対し
て０．５％以下、平面度はλ／２（１２１μｍ）以上で
ある。
また出力鏡４については、固体レーザ材料３側端面Ｒ２
の反射率は波長１μｍで９５％以上で、平面度がλ／２
（１２１μｍ）、出射側端面Ｒ３の反射率は反射防止膜
を施してあり、波長１μｍでの反射率は０．５％以下、
平面度はλ／２（１２１μｍ）以上である。
の反射率は波長１μｍで９５％以上で、平面度がλ／２
（１２１μｍ）、出射側端面Ｒ３の反射率は反射防止膜
を施してあり、波長１μｍでの反射率は０．５％以下、
平面度はλ／２（１２１μｍ）以上である。
固体レーザの共振器は入射端面Ｒ工と、出力鏡４の固体
レーザ材料３側端面Ｒ２とによって構成される。
レーザ材料３側端面Ｒ２とによって構成される。
フラッシュランプは固体レーザ材料３の上下側面からこ
れを照射するようになっている。具体的には第２図に示
したように、フラッシュランプ５．６から出る光を、集
光レンズ７．８で固体レーザ材料３の上下面から照射す
る。さらに固体レーザ材料３の周囲には、冷却用金属で
構成された略筒状の冷却部材９が配されており、その内
周はシルバーペイント等の接着剤１０を介して固体レー
ザ材料３と接触している。なおフラッシュランプ５．６
はその電極間の距離が１〜２ａｌ＋とし、従来から用い
ているこの種のランプに比べて１７２〜１７５程度にな
っている。
れを照射するようになっている。具体的には第２図に示
したように、フラッシュランプ５．６から出る光を、集
光レンズ７．８で固体レーザ材料３の上下面から照射す
る。さらに固体レーザ材料３の周囲には、冷却用金属で
構成された略筒状の冷却部材９が配されており、その内
周はシルバーペイント等の接着剤１０を介して固体レー
ザ材料３と接触している。なおフラッシュランプ５．６
はその電極間の距離が１〜２ａｌ＋とし、従来から用い
ているこの種のランプに比べて１７２〜１７５程度にな
っている。
この冷却部材９の上下面には、テーパ状の光導波路１１
．１２が設けられている。本実施例で用いた光導波路１
１．１２は、冷却部材９内側へと通ずる窓を設け、当該
窓の四側をテーパ状に成型し、さらに当該テーパ面を表
面粗さ１μｍ以下の光沢面とし、その表面に銀、アルミ
ニウム、金などをコーティングしたもので、酸化防止用
にＳｉＯ□やＭｇＦ２などの保護膜が蒸着されている。
．１２が設けられている。本実施例で用いた光導波路１
１．１２は、冷却部材９内側へと通ずる窓を設け、当該
窓の四側をテーパ状に成型し、さらに当該テーパ面を表
面粗さ１μｍ以下の光沢面とし、その表面に銀、アルミ
ニウム、金などをコーティングしたもので、酸化防止用
にＳｉＯ□やＭｇＦ２などの保護膜が蒸着されている。
そしてこの光導波路１１．１２と集光レンズ７．８との
間には、０．５〜０．６μｎ＋並びに０．７〜０．９μ
ｎ＋の励起光のみを透過させるフィルタ１３．１４を介
在させである。このフィルタ１３．１４の採用により、
固体レーザ材料３の温度上昇を半分以下に抑えることが
できる。
間には、０．５〜０．６μｎ＋並びに０．７〜０．９μ
ｎ＋の励起光のみを透過させるフィルタ１３．１４を介
在させである。このフィルタ１３．１４の採用により、
固体レーザ材料３の温度上昇を半分以下に抑えることが
できる。
また冷却部材９には、固体レーザ材料３を挾んで長手方
向に沿って夫々水冷用吸水孔１５、水冷用排水孔１６が
貫設されており、外部のタンク（図外）から供給される
冷却用の水は当該水冷用吸水孔１５、水冷用排水孔１６
によって冷却部材９の中を循環し、再び外部に排出され
るものである。かかる構成を採ることによって、冷却部
材９の冷却効果がさらに高められ、冷却部材９自身もコ
ンパクトにできる。
向に沿って夫々水冷用吸水孔１５、水冷用排水孔１６が
貫設されており、外部のタンク（図外）から供給される
冷却用の水は当該水冷用吸水孔１５、水冷用排水孔１６
によって冷却部材９の中を循環し、再び外部に排出され
るものである。かかる構成を採ることによって、冷却部
材９の冷却効果がさらに高められ、冷却部材９自身もコ
ンパクトにできる。
なお本実施例で用いた冷却水は、水温１５〜２５゜Ｃの
水を用い、流量はｌＯ〜２５ｃｃ／ｍｉｎ程度に設定し
た。
水を用い、流量はｌＯ〜２５ｃｃ／ｍｉｎ程度に設定し
た。
本実施例に使用する主要部材の配列、構成等は以上の如
きであり、次に上記実施例による固体レーザの発振テス
トの結果を以下に通入る。
きであり、次に上記実施例による固体レーザの発振テス
トの結果を以下に通入る。
まず固体レーザ材料３には、１．１ａｔｍ・％のＮｄ’
＋を添加したＮｄ”：ＹＡＧ結晶を用いた。またその大
きさは、径がφ＝３ｍ、長さがＱ＝５ｒｍである。また
Ｒ□の曲率半径は４０ＩＩＩ１１、波長１μｍでの反射
率は９９．５％、波長０．８１μｍでの透過率は９５％
である。また他の要素の反射率については、Ｒ４！０．
１％、Ｒ２，９８％、Ｒ１α０．２％である。
＋を添加したＮｄ”：ＹＡＧ結晶を用いた。またその大
きさは、径がφ＝３ｍ、長さがＱ＝５ｒｍである。また
Ｒ□の曲率半径は４０ＩＩＩ１１、波長１μｍでの反射
率は９９．５％、波長０．８１μｍでの透過率は９５％
である。また他の要素の反射率については、Ｒ４！０．
１％、Ｒ２，９８％、Ｒ１α０．２％である。
そして出力ＩＷの半導体レーザ３の発振波長をペルチェ
素子によって０．８１μｍに調整し、集光用レンズ２で
約８０μｍのスポット径としてＲ工に集光した。この結
果、発振波長１．０６４μｍ、出力１５０ｎＷの出力を
得た。しかも単一の縦モード、横モードの良質なレーザ
ビームであった。
素子によって０．８１μｍに調整し、集光用レンズ２で
約８０μｍのスポット径としてＲ工に集光した。この結
果、発振波長１．０６４μｍ、出力１５０ｎＷの出力を
得た。しかも単一の縦モード、横モードの良質なレーザ
ビームであった。
次にフラッシュランプ５．６で固体レーザ材料３の上下
側面から約２Ｊのエネルギーをライン状にして励起した
ところ、第３図に示したように、約２倍になった。この
後、フラッシュランプ５．６のエネルギーを増加させる
につれてレーザ出力も増加し、最大増幅率４倍を達成し
た。
側面から約２Ｊのエネルギーをライン状にして励起した
ところ、第３図に示したように、約２倍になった。この
後、フラッシュランプ５．６のエネルギーを増加させる
につれてレーザ出力も増加し、最大増幅率４倍を達成し
た。
また、フラッシュランプ５．６の電極間距離が従来型の
１７２〜１１５となっており、また冷却部材９も冷却効
果の高い水冷型を使用しているので、装置全体としては
、従来の１１５程度の大きさにすることができた。
１７２〜１１５となっており、また冷却部材９も冷却効
果の高い水冷型を使用しているので、装置全体としては
、従来の１１５程度の大きさにすることができた。
次に第２実施例について説明すると、本実施例では固体
レーザ材料を二つに分割し、一つは半導体レーザで励起
させ、それによって発振されるレーザを他の一つの固体
レーザ材料に軸方向から照射すると共に、当該他の一つ
の固体レーザ材料をフラッシュランプでさらに側面励起
させる構成を採ったものである。
レーザ材料を二つに分割し、一つは半導体レーザで励起
させ、それによって発振されるレーザを他の一つの固体
レーザ材料に軸方向から照射すると共に、当該他の一つ
の固体レーザ材料をフラッシュランプでさらに側面励起
させる構成を採ったものである。
その主要部材の構成、配列を第４図について説明すれば
、２１は半導体レーザであって、この半導体レーザ２１
の光は集光レンズ２２によって固体レーザ材料２３を、
軸方向から直径１００μｍ以下のスポット径で照射して
これを励起させるようになっている。２４．２５は夫々
フラッシュランプであり、他の固体レーザ材料２６を側
面から励起させる。２７は出力鏡である。
、２１は半導体レーザであって、この半導体レーザ２１
の光は集光レンズ２２によって固体レーザ材料２３を、
軸方向から直径１００μｍ以下のスポット径で照射して
これを励起させるようになっている。２４．２５は夫々
フラッシュランプであり、他の固体レーザ材料２６を側
面から励起させる。２７は出力鏡である。
本実施例で使用した各部材の反射率１曲率半径等は次の
通りである。
通りである。
固体レーザ材料２３：
入射側端面Ｒ１の反射率 ９９％以上（１μｍ）入射側
端面Ｒ工の透過率 ９０％以上（０，８１μｍ）入射側
端面Ｒ□の曲率半径１０〜ｌｏｏ並出射側端面Ｒ４の平
面度 １７５以上（λ；１μｌｕ）出射側端面Ｒ４の
反射率 ０．５％以下（１μｍ）固体レーザ材料２６： 入射側端面Ｒ５の平面度 １１５以上（１２１μｍ）
入射０４１１６ ｍ Ｒ、ｔ７） ｌｊｉ Ｈ率０ 、
５ ％ 以下（Ｉ ｕ ｍ ）出射側端面Ｒ６の平面度
１１５以上（１２１μｍ）出射側端面Ｒ５の反射率
０．５％以下（１μｍ）出力鏡２７： 入射側端面Ｒ２の反射率 ９５％以上（１μｍ）入射側
端面Ｒ２の曲率半径ω 出射側端面Ｒ１の反射率 ０．５％以下（１μｍ）出射
側端面Ｒ３の曲率半径の また本実施例の場合、共振器は固体レーザ材料２３の入
射側端面Ｒ□と出力鏡２７の入射側端面Ｒ２とによって
構成される。
端面Ｒ工の透過率 ９０％以上（０，８１μｍ）入射側
端面Ｒ□の曲率半径１０〜ｌｏｏ並出射側端面Ｒ４の平
面度 １７５以上（λ；１μｌｕ）出射側端面Ｒ４の
反射率 ０．５％以下（１μｍ）固体レーザ材料２６： 入射側端面Ｒ５の平面度 １１５以上（１２１μｍ）
入射０４１１６ ｍ Ｒ、ｔ７） ｌｊｉ Ｈ率０ 、
５ ％ 以下（Ｉ ｕ ｍ ）出射側端面Ｒ６の平面度
１１５以上（１２１μｍ）出射側端面Ｒ５の反射率
０．５％以下（１μｍ）出力鏡２７： 入射側端面Ｒ２の反射率 ９５％以上（１μｍ）入射側
端面Ｒ２の曲率半径ω 出射側端面Ｒ１の反射率 ０．５％以下（１μｍ）出射
側端面Ｒ３の曲率半径の また本実施例の場合、共振器は固体レーザ材料２３の入
射側端面Ｒ□と出力鏡２７の入射側端面Ｒ２とによって
構成される。
本実施例によれば、半導体レーザ２１によって励起され
る固体レーザ材料２３とフランシュランプ２４゜２５に
よって励起される固体レーザ材料２６とが別体であるた
め、共振器の光軸は殆ど変化しないので第１実施例と比
較すれば、さらに安定した発振出力が得られる。なお固
体レーザ材料２３も半導体レーザ２１による励起によっ
て多少熱歪みを受けるが、適宜の金属で固体レーザ材料
２３の周囲を冷却すれば（この場合には水冷の必要はな
い）、何ら問題はないものである。
る固体レーザ材料２３とフランシュランプ２４゜２５に
よって励起される固体レーザ材料２６とが別体であるた
め、共振器の光軸は殆ど変化しないので第１実施例と比
較すれば、さらに安定した発振出力が得られる。なお固
体レーザ材料２３も半導体レーザ２１による励起によっ
て多少熱歪みを受けるが、適宜の金属で固体レーザ材料
２３の周囲を冷却すれば（この場合には水冷の必要はな
い）、何ら問題はないものである。
次に第３実施例について説明すると、本実施例は第１実
施例に波長変換用非線形結晶を加えて２倍高調波を発振
させる構成を採ったものである。
施例に波長変換用非線形結晶を加えて２倍高調波を発振
させる構成を採ったものである。
即ち第５図に示したように、半導体レーザ３１は発振波
長が８０５〜８１０ｎｍであり、ペルチェ素子（図外）
で温度を調整して発振波長を変えられるようになってい
る。３２は集光レンズ系であり、半導体レーザ３１から
の光を集光して、直径１００μｍ以下のスポット径で固
体レーザ材料３３に照射する。
長が８０５〜８１０ｎｍであり、ペルチェ素子（図外）
で温度を調整して発振波長を変えられるようになってい
る。３２は集光レンズ系であり、半導体レーザ３１から
の光を集光して、直径１００μｍ以下のスポット径で固
体レーザ材料３３に照射する。
３４．３５は夫々フラッシュランプであり、固体レーザ
材料３３ヲ側面励起サセル。３６ハＫＴＰ、ＢＢＯ，Ｋ
ＤＰ、 ＤＫＣＰなどの波長変換用非線形結晶である。
材料３３ヲ側面励起サセル。３６ハＫＴＰ、ＢＢＯ，Ｋ
ＤＰ、 ＤＫＣＰなどの波長変換用非線形結晶である。
また３７は出力鏡である。
本実施例で使用した各部材の反射率、曲率半径等は次の
通りである。
通りである。
固体レーザ材料３３：
入射側端面Ｒ１の反射率
９９％以上
（１μｍ、０．５μｍ）
９０％以上（０，８１ＡＬｍ）
１０〜１００ａｎ
１１５以上（１２１μｍ）
０．５％以下（１μｍ）
入射側端面Ｒ１の透過率
入射側端面Ｒ工の曲率半径
出射側端面Ｒ４の平面度
出射側端面Ｒ４の反射率
波長変換用非線形結晶３６：
入射側端面Ｒ５の平面度
入射側端面Ｒｓの反射率
出射側端面ＲＧの平面度
出射側端面Ｒ６の反射率
出力鏡３７：
入射側端面Ｒ２の反射率
１１５以上（λ二１μｍ）
０．５％以下
（１μｍ、０．５μｍ）
１７５以上（λ＝１μｍ）
０．５％以下
（１μｍ、０．５ μｌｌ１）
９５％以上
（１μｍ、０．５μｍ）
入射側端面Ｒ２の曲率半径の
出射側端面Ｒ１の反射率 ０．５％以下（１μｍ、 ０
．５μｍ） 出射側端面Ｒ１の平面度 １１５以上（１２１μｍ）
本実施例によれば、０．５μｍのグリーン光を発生させ
ることができた。
．５μｍ） 出射側端面Ｒ１の平面度 １１５以上（１２１μｍ）
本実施例によれば、０．５μｍのグリーン光を発生させ
ることができた。
（発明の効果）
この発明によれば、軸方向から半導体レーザによって固
体レーザ材料を励起させると共に、光導波路によってフ
ラッシュランプの光を固体レーザ材料の側面に集中照射
させて固体レーザ材料を同時に励起させるので、安定性
も良く、単一の縦モード及び横モードのレーザ発振がで
き、しかも高出力のレーザビームが得られる。従って、
２倍高調波への変換効率も高いものである。
体レーザ材料を励起させると共に、光導波路によってフ
ラッシュランプの光を固体レーザ材料の側面に集中照射
させて固体レーザ材料を同時に励起させるので、安定性
も良く、単一の縦モード及び横モードのレーザ発振がで
き、しかも高出力のレーザビームが得られる。従って、
２倍高調波への変換効率も高いものである。
装置として具現化する場合にも、光導波路によってフラ
ッシュランプの光を固体レーザ材料に集中照射させるの
で、ランプ光を効率良く固体レーザ材料に集光でき、し
かも固体レーザ材料の冷却手段の選択の幅が広がり、コ
ンパクト化が可能である。
ッシュランプの光を固体レーザ材料に集中照射させるの
で、ランプ光を効率良く固体レーザ材料に集光でき、し
かも固体レーザ材料の冷却手段の選択の幅が広がり、コ
ンパクト化が可能である。
その他寿命も長く、また同程度のレーザビームの質、出
力を多数の半導体レーザの直接増幅のみで確保する場合
に比へて、非常に安価に実現できる。
力を多数の半導体レーザの直接増幅のみで確保する場合
に比へて、非常に安価に実現できる。
光導波路に入射する前段階に有効波長透過フィルタを介
在させた場合には、上述の効果に加えて、励起に寄与し
ない波長のフラッシュランプの光をカットするという作
用効果が得られるので、発熱を必要最小限に抑えること
ができ、冷却装置も小型のもので済む。
在させた場合には、上述の効果に加えて、励起に寄与し
ない波長のフラッシュランプの光をカットするという作
用効果が得られるので、発熱を必要最小限に抑えること
ができ、冷却装置も小型のもので済む。
各図はいずれもこの発明の実施例に関するものであり、
第１図は第１実施例に使用した主要部材の配置状況を示
す説明図、第２図は第１実施例に使用した主要部材の配
置状況を示す軸方向断面説明図、第３図は第１実施例に
よるレーザの８力をグラフ、第４図は第２実施例に使用
した主要部材の配置状況を示す説明図、第５図は第３実
施例に使用した主要部材の配置状況を示す説明図である
。 なお図中、■は半導体レーザ、２は集光レンズ、３は固
体レーザ材料、４は出力鏡、５．６は夫々フラッシュラ
ンプ、７．８は夫々集光レンズ、９は冷却部材、１１．
１２は夫々光導波路、１３．１４は夫々フィルタ、１５
は水冷用吸水孔、１６は水冷用排水孔である。 特許出願人 ヘルッ工業株式会社 代 理 人
第１図は第１実施例に使用した主要部材の配置状況を示
す説明図、第２図は第１実施例に使用した主要部材の配
置状況を示す軸方向断面説明図、第３図は第１実施例に
よるレーザの８力をグラフ、第４図は第２実施例に使用
した主要部材の配置状況を示す説明図、第５図は第３実
施例に使用した主要部材の配置状況を示す説明図である
。 なお図中、■は半導体レーザ、２は集光レンズ、３は固
体レーザ材料、４は出力鏡、５．６は夫々フラッシュラ
ンプ、７．８は夫々集光レンズ、９は冷却部材、１１．
１２は夫々光導波路、１３．１４は夫々フィルタ、１５
は水冷用吸水孔、１６は水冷用排水孔である。 特許出願人 ヘルッ工業株式会社 代 理 人
Claims (2)
- （１）軸方向から半導体レーザによって固体レーザ材料
を励起させると共に、光導波路によってフラッシュラン
プの光を当該固体レーザ材料の側面に集中照射させて当
該固体レーザ材料を励起させることを特徴とする、固体
レーザ材料の励起方法。 - （２）光導波路に入射する前段階に有効波長透過フィル
タを介在させたことを特徴とする、請求項第（１）項記
載の固体レーザ材料の励起方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11016490A JPH0410587A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 固体レーザ材料の励起方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11016490A JPH0410587A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 固体レーザ材料の励起方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0410587A true JPH0410587A (ja) | 1992-01-14 |
Family
ID=14528672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11016490A Pending JPH0410587A (ja) | 1990-04-27 | 1990-04-27 | 固体レーザ材料の励起方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0410587A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62145886A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-29 | アライド・コ−ポレ−シヨン | 単一式固体レ−ザ− |
| JPH021192A (ja) * | 1988-02-16 | 1990-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ装置 |
-
1990
- 1990-04-27 JP JP11016490A patent/JPH0410587A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62145886A (ja) * | 1985-12-16 | 1987-06-29 | アライド・コ−ポレ−シヨン | 単一式固体レ−ザ− |
| JPH021192A (ja) * | 1988-02-16 | 1990-01-05 | Mitsubishi Electric Corp | 固体レーザ装置 |
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