JPH0410592U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0410592U JPH0410592U JP1990049868U JP4986890U JPH0410592U JP H0410592 U JPH0410592 U JP H0410592U JP 1990049868 U JP1990049868 U JP 1990049868U JP 4986890 U JP4986890 U JP 4986890U JP H0410592 U JPH0410592 U JP H0410592U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- electrode
- piezoelectric actuator
- predetermined
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 3
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 2
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例によるチユーブ型圧
電アクチユエータの一部切欠斜視図、第２図は本
考案の実施例によるトライポツト型圧電アクチユ
エータの斜視図、第３図は従来のチユーブ型圧電
アクチユエータの一部切欠斜視図である。 １……圧電素子、２……共通電極、３ａ，３ｂ
，３ｃ，３ｄ……個別電極、４……環状電極、５
……ホルダ、６……探針、７……漏れ電流規制用
環状電極、８ａ，８ｂ，８ｃ……電圧素子、９ａ
，９ｂ……電極、１０ａ，１０ｂ……電極、１１
ａ，１１ｂ……電極、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…
…漏れ電流規制用環状電極。
電アクチユエータの一部切欠斜視図、第２図は本
考案の実施例によるトライポツト型圧電アクチユ
エータの斜視図、第３図は従来のチユーブ型圧電
アクチユエータの一部切欠斜視図である。 １……圧電素子、２……共通電極、３ａ，３ｂ
，３ｃ，３ｄ……個別電極、４……環状電極、５
……ホルダ、６……探針、７……漏れ電流規制用
環状電極、８ａ，８ｂ，８ｃ……電圧素子、９ａ
，９ｂ……電極、１０ａ，１０ｂ……電極、１１
ａ，１１ｂ……電極、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…
…漏れ電流規制用環状電極。
Claims (1)
- 所定形状の圧電素子の表面に所定パターンの電
極が形成された圧電アクチユエータを主体とし、
前記圧電素子の所定部位に直接あるいはホルダを
介して探針が取り付けられているとともに、この
探針装置部位をとり囲むように前記圧電素子の表
面に漏れ電流規制用の電極が形成されていること
を特徴とするＳＴＭ用圧電アクチユエータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990049868U JPH0410592U (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990049868U JPH0410592U (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0410592U true JPH0410592U (ja) | 1992-01-29 |
Family
ID=31567928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990049868U Pending JPH0410592U (ja) | 1990-05-15 | 1990-05-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0410592U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526398U (ja) * | 1975-07-01 | 1977-01-17 | ||
| JPS53154595U (ja) * | 1977-05-11 | 1978-12-05 |
-
1990
- 1990-05-15 JP JP1990049868U patent/JPH0410592U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS526398U (ja) * | 1975-07-01 | 1977-01-17 | ||
| JPS53154595U (ja) * | 1977-05-11 | 1978-12-05 |