JPH04106713A - 薄膜磁気ヘッドスライダのブレンド加工機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 二の発明は薄膜磁気ヘットスライダのブレンド加工機に
関し、磁気ヘッドをｉ−Ｖ上させるだめの空気の流入を
円滑にするとともに、メディアとの接触時のダメージを
軽減するためのスライダのＲ加工を能率良くてきるよう
にしたちのである。

［従来の技術］ 磁気ヘットのひとっである薄膜磁気ヘットは、フォトリ
ノグラフィ技術を用いて磁性層や導体コイルを成膜して
作られたものであり、製法上、ノ・ルク形ヘットを機械
加工で製作するのに比へ、多量生産や寸法の微小化に適
するほか、高周波損失やマルチトラックとした場合の１
−ラックＩｓ￥ｌ漏話か少ないなどの特徴を具えている
。

二のような薄膜磁気ヘットは、磁気記録装置などに使用
される場合、例えば第７図（ａ）　、　（ｂ）に示すよ
うに、薄膜磁気ヘッド１がスライダ２に取付けられ、メ
ディア（磁気記録媒体）３と対向しかつスライダ２に流
入する空気Ａによって一定量浮上した状態で使用される
。

このような薄膜磁気ヘッドスライダ２ては、流入する空
気Ａの流れを円滑にするとともに、万一のメディア３と
の接触時のダメージを最少限にするため、スライダ２の
メディア３との対向面の角部（エツジ）２ａを円弧状（
Ｒをつける）にするブレンド（ラッピング）加工するよ
うにしている。

このブレンド加工は、第８図（ａ）〜（Ｃ）に示すよう
に、ネオプレンスポンジゴムなどの弾性台４上に粒径が
０５μ程度のダイヤモンドを用いたラッピングテープ（
＃　Ｌ［１，０ＯＯ）　５を配置し、このラッピングテ
ープ５上に被加工スライダ２を約４［］ｇ程度の押付力
で押付けなから往復動させて行なうようにしている。

〔発明が解決しようとする課題〕

このようなブレンド加工法では、被加工スライダ２に加
える押付力によって弾性台４が撓み、このため同図（ｂ
）　、　（ｃ）に示すように、う・ソビングテープ５が
スライダ２の角部２ａを包むように接触して、第９図中
に斜線Ｂてに示すように、ブレンド加工が成されるが、
スライダ２の溝２ｂ内側の角部２ａを包むようにラッピ
ングテープ５が接触せす、この部分か円弧状にブレンド
加工されないという問題かある。

そこで、スライダ２の／１Ｊ２ｂ内側部分を別に加工し
なければならず、非常に繁雑である。

また、ブレンド加工はスライダ２を一つづつ行なうため
、能率が悪く、ラッピングテープ５の使用率も低く、高
価なダイヤモンドテープを使用するためコストか高くな
るという問題もある。

この発明はかかる従来技術の問題点に鑑みてなされたも
ので、スライダ全体を一度に加工することかできるとと
もに、多数のスライダを同時に加工でき、ラッピングテ
ープも高密度に使用することかできる薄膜磁気ヘッドス
ライダのブレンド加工機をを提供しようとするものであ
る。

〔課題を解決するための手段〕

上記問題点を解決するため二の発明は、薄膜磁気ヘット
か設けられてメディアと対向されるスライダの対向面の
角部をラッピング加工する薄膜磁気ヘットスライダのブ
レンド加工機において、直交する２軸方向に駆動される
ＸＹ子テーブル上設けられ被加工スライダの加工面を上
方に向けて一定間隔を明けて整列状態で固定するワーク
ホルダと、二の整列状態の被加工スライダ上に設けられ
被加工スライダの整列方向に往復駆動及び巻取り巻戻し
可能なラッピングチーブ駆動機構と、このラッピングチ
ーブ駆動機構で駆動されるラッピングテープを挾んで被
加工スライダと対向し先端部に尖った弾性材か取付けら
れ所定の圧力でラッピングテープを被加工スライダに押
付けるテープ押えとでなることを特徴とするものである
。

〔作　用〕

この薄膜磁気ヘッドスライダのブレンド加工機によれば
、ワークホルダに被加工スライダを加工面を上にして整
列状態で取付けるようにし、このスライダにラッピング
チーブ駆動機構て駆動されるラッピングテープを載せる
ようにし、このラッピングテープを先端部か尖った弾性
材のテープ押えて押えてブレンド加工するようにしてお
り、度に整列状態のスライダをラッピング加工できると
ともに、尖ったテープ押えによってスライダの加工か必
要な内側にもテープを包むように当てることかでき、必
要箇所を全て加工することて、加工の機械化、高能率化
を図ることができる。

また、ランピングテープ駆動機構でラッピングテープの
使用位置を管理することかでき、ワークの位置とラッピ
ングテープの移動を組み合わせることで、高密度にラッ
ピングテープの使用かでき、加工コストの低減を図るこ
とかできる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面に基づき詳細こ説明す
る。

第１図〜第３図はこの発明の薄膜磁気ヘッドスライダの
ブレンド加工機の一実施例にかかり、第１図は概略斜視
図、第２図は正面図、第３図は側面図である。

この薄膜磁気ヘッドスライダのブレンド加工機１０は、
ワークホルダ２０と、ラッピングテープ駆動機構３０と
、テープ押え５０とで構成され、整列状態のスライダ２
を同時にラッピングすることてブレンド加工するもので
ある。

このワークホルダ２０は、互いに直交する２軸、Ｘ軸方
向及びＹ軸方向に移動できるＸＹ子テーブル１に載置さ
れるようになっており、ラッピング方向かＸ軸方向と合
致するようにしである。

このＸＹ子テーブル１は、通常の工作機械のテーブルと
同様に、ラッピング方向には、モータ２２及び図示しな
い往復移動機構で往復駆動できるとともに、Ｙ軸方向に
ついてもモータと往復移動機構で駆動できるようになっ
ている。

また、このＸＹ子テーブル１の上面には、真空吸着部２
３が形成され、図示しない真空ポンプに接続され、二の
真空吸着部２３上に載置されるワークホルダ２０を真空
吸着して固定できるようになっている。

このワークホルダ２０には、被加工スライダ２かその被
加工面か上にされるとともに、溝２ｂかＹ軸方向となる
ようにし、各被加工スライダ２間に一定の間隔を明けて
整列状態で固定されるようになっており、例えば粘着テ
ープ２４またはワックスなどで固定する。この被加工ス
ライダ２の整列状態での固定は、第１図に示すように、
ラッピング方向（Ｘ軸方向）に１列整列させるだけてな
く、Ｙ軸方向についても一定の間隔を明けて整列状態て
配置して複数列固定するようにしても良く、二の実施例
のブレンド加工機１０ては、例えば第６図に平面状態を
示すように、２０列配置するようにしている。

このようなワークホルダ２０に整列状態で固定された被
加工スライダ２の上方にラッピングテープ駆動機構３０
か設けられる。

このラッピングテープ駆動機構３０は、ラッピング方向
（Ｘ軸方向）のＸＹ子テーブル１の両端部に対応してそ
れぞれ上下に２個配置された１組のガイドローラ３１．
３２か設けられており、例えば粒径が０５μのダイヤモ
ンド砥粒が付けられたラッピングテープ（＃ｌＯ，［］
０　）　３３か水平に配置されるように巻き掛けられて
いる。

それぞれのガイドローラ３１．３２の上方には、１対の
ピンチローラ３４，３５が設けられており、一方のピン
チローラ３４ａ、３５ａにクラッチ（ヒステリンスクラ
ッチ及びヘリカルカップリング）３６．３７を介してモ
ータ（ハーモニ、クギャ減速機付きモータ）３８．３つ
が連結されており、このモータ３８．３９によってラッ
ピングテープ３３をワークホルダ２０の動きと逆方向に
１を複駆動てき、従動側のクラッチ３６．３７をブレー
キとして機能させることて所定の張力をラッピングテー
プ３Ｂに与えることかできる。

また、他方のピンチローラ３４ｂ、３５ｂには、ばね４
０．４１によって所定の付勢力を与えるようになってい
る。

さらに、これらピッチローラ３４．３５の上方には、ガ
イトローラ４２．４３が設けられるとともに、テープリ
ール４４．４５か設けられてトルクモータ４６．４７か
連結され、ラッピンクテプ３３を巻取ったり、巻戻した
りてきるようになって（゛る。

このようなラッピングテープ駆動機構３０で駆動される
ラッピングチーブ３３を挾んてワークホルダ２０と対向
してテープ押え５０か設けられる。

二のテープ押え５Ｏは、ラッピングチーブ３３と被加圧
スライダ２とか相対移動するときに、このラッピングチ
ーブ３３を上から押さえて一定の荷重を加えるとともに
、ラッピングチーブ３３て被加圧スライダ２の各角部２
ａを包むようにするためのものである。

このため先端部にＹ軸方向とＷ行に尖らせたシリコンゴ
ムなとの弾性材５１か取付けられている。

また、テープ押え５１−）の上端部には、荷重を付加す
るためのばね５２か設けられている。

なお、第２図及び第３図に示す実際のブレンド加工機１
０ては、フレームにテープ押え５０の上下動を案内する
ガイドか設けられ、これに沿ってテープ押え５０か上下
動するとともに、テンンヨンゲージなどによって押付力
を検出表示できるようにしである。

このように構成された薄膜磁気ヘッドスライダのブレン
ド加工機１０のよるスライダの加工は、次のようにして
行われる。

■　ワークホルダ２０上に粘着テープ２４またはワック
スなどで被加工スライダ２をその加工面が上となるよう
に整列状態で固定する。

このワークホルダ２０への被加工スライダ２の整列状態
での固定は、１列だけでなく、複数列、例えば第６図に
示すように２０列配置する。

■　このワークホルダ２０をＸＹ子テーブル１の真空吸
着部２３を塞ぐように載せてＸＹ子テーブル１に固定し
、各列の被加工スライダ２がＸ軸方向（ラッピング方向
）となるように位置決めする。

■　ブレンド加工機１０側では、例えば第１図の左側の
テープリール４４を巻取り側とし、同図右側のテープリ
ール４５を巻戻し側として、ラッピングテープ３３を巻
戻し側のテープリール４５に装着した後、ガイドローラ
４３、ピンチローラ３５、ガイドローラ３２を介してワ
ークホルダ２０上を通し、さらに巻取り側のピンチロー
ラ３１、ピンチローラ３４、ガイドローラ４２を通して
テープリール４４に巻き掛ける。

■　被加工スライダ２か取付けられたＸＹテブル２１を
ラッピング方向であるＸ軸方向にモータ２２出往復駆動
すると同時に、ラッピング方向３３をＸＹ子テーブル１
の移動方向と逆方向に往復駆動する。

すなわち、被加工スライダ２を右側に移動する時は、巻
取り側のピンチローラ３４ａのクラッチ３６及びモータ
３８によりラッピングテープ３３を巻き取るようにする
とともに、巻戻し側のピンチローラ３５ａのクラッチ３
７をブレーキとして機能させ、ラッピングテープ３３に
適切なテンションを与えるようにする。また、逆に被加
工スライダ２が左側に移動する時は、巻戻し側のピンチ
ローラ３５ａのクラッチ３７及びモータ３ってラッピン
グテープ３３を巻き取るようにするとともに、巻取り側
のピンチローラ３４ａのクラッチ３６をブレーキとして
機能させ、ラッピングテープ３３に適切なテンションを
与える。

■　このような被加工スライダ２とラッピングテープ３
３の相対移動を行うと同時に、テープ押え５０にばね５
２により一定の荷重を与えなから先端部の尖った弾性材
５１でラッピングテープ３３を被加工スライダ２に押し
付ける。

■　こうして被加工スライダ２のブレンド加工を行うと
、第４図に加工状態を示すように、テブ押え５０先端の
尖った弾性材５１によってラッピングテープ３３か被加
工スライダ２のＫ　２　ｂの内側の溝２ａに対しても包
むようにすることができ、被加工スライダ２の外側の角
部２ａと同様にラッピングすることができる。

この結果、被加工スライダ２は、第５図に示すように、
メディア３との対向面となる角部２ａを全てラッピング
して円弧状（Ｒ状）にすることができ、しかも機械化に
より能率良くブレンド加工することかできる。

なお、このブレンド加工機１０を用いてテープ押え５０
により４０ｇの荷重を加えて押えながら１０回ラッピン
グしたところ、被加工スライダ２の全ての角部２ａを約
５μｍの円弧状にブレンド加工することかできた。

したかって、ブレンド加工に当たっては、整列状営の１
列の被加工スライド２がそれぞれ１０回以上ラッピング
されるように、ＸＹ子テーブル１及びラッピングテープ
３３の往復駆動を行うようにする。この場合の往復量は
、１列の長さ全体としたり、１列を複数に分割するよう
にしても良い。

■　こうして１列の被加工スライダ２のブレンド加工か
行われた後、ラッピングテープ３３を巻取り側のテープ
リール４４に必要量たけ巻き取るようにモータ４６を駆
動してテープフィードを行うとともに、ＸＹ子テーブル
１をＸ軸方向に移動してして所定量インデックスし、次
の列の被加工スライド２を上記と同様にしてブレンド加
工する。

このテープフィードとＸＹ子テーブル１の移動によるイ
ンデックスによってラッピングテープ３３の使用量が大
きく影響されることから、例えば第６図に被加工スライ
ド２とＸＹ子テーブル１との位置関係を示すように、ラ
ッピングテープ３３を被加工スライド２の１列の長さの
１／７程度づつテープフィード（Ｘ軸方向移動）すると
ともに、ＸＹ子テーブル１のインデックス（Ｙ軸方向の
移動Ｒ）を被加工スライド２のＹ軸方向の幅の１／２程
度とするようにする。

このようにワークインデックス（ＸＹ子テーブル］によ
る被加工スライド２の移動）とラッピングテープ３３の
フィード量を適宜に選定することにより、ラッピングテ
ープ３３の使用領域を密にすることかでき、ラッピング
テープ使用率向上を図り、コスト低減を図ることができ
る。

なお、このワークインデックスやラッピングテープのフ
ィード量などは、上記実施例の場合に限らず、適宜選定
するようにすれば良い。

〔発明の効果〕

以上、一実施例とともに具体的に説明したようにこの発
明によれば、薄膜磁気ヘッドスライダのブレンド加工機
をワークホルダと、ラッピングテープ駆動機構と、先端
部に尖った弾性材を備えたテープ押えとて構成したので
、ワークホルダに整列状態で固定されたスライダを１度
にラッピング加工できるとともに、尖ったテープ押えに
よってスライダの加工か必要な内側にもテープを包むよ
うに当てることかできる。

したがって、被加工スライダの必要箇所を全て１度でブ
レンド加工することかでき、加工の機械化、高能率化を
図ることかできる。

また、ラッピングテープ駆動機構でランピングテープの
使用位置を管理することかでき、ワークの位置とラッピ
ングテープの移動を組み合わせることて、高密度にラッ
ピングテープの使用かでき、加工コストの低減を図るこ
とかできる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図はこの発明の薄膜磁気ヘッドスライダの
ブレンド加工機の一実施例にかかり、第１図は概略斜視
図、第２図は正面図、第３図は側面図である。 第４図はこの発明の薄膜磁気ヘッドスライダのブレンド
加工状態の説明図である。 第５図は加工後の薄膜磁気ヘッドスライダの状態の説明
斜視図である。 第６図はワークホルダとラッピングテープの位置関係を
示す平面図である。 第７図（ａ）　、　（ｂ）はブレンド加工の必要性の説
明図である。 第８図（ａ）〜（Ｃ）は従来のブレンド加工方法の説明
図である。 第９図は従来法による薄膜磁気ヘッドスライダの加工状
懇の説明斜視図である。 １・・薄膜磁気ヘット、２・・・被加工スライダ、２ａ
・角部、２ｂ・溝、３・・メディア、１０・・薄膜磁気
ヘッドスライダのブレンド加工機、２０・・ワークホル
ダ、２１・・・ＸＹ子テーブル３０・・・ラッピングテ
ープ駆動機構、３３・・・ランピングテープ、５０・・
・テープ押え、５１　弾性材。 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 薄膜磁気ヘッドが設けられてメディアと対向されるスラ
   イダの対向面の角部をラッピング加工する薄膜磁気ヘッ
   ドスライダのブレンド加工機において、 直交する２軸方向に駆動されるＸＹテーブル上に設けら
   れ被加工スライダの加工面を上方に向けて一定間隔を明
   けて整列状態で固定するワークホルダと、 この整列状態の被加工スライダ上に設けられ被加工スラ
   イダの整列方向に往復駆動及び巻取り巻戻し可能なラッ
   ピングテープ駆動機構と、 このラッピングテープ駆動機構で駆動されるラッピング
   テープを挾んで被加工スライダと対向し先端部に尖った
   弾性材が取付けられ所定の圧力でラッピングテープを被
   加工スライダに押付けるテープ押えとでなることを特徴
   とする薄膜磁気ヘッドスライダのブレンド加工機。