JPH04107403A - 光導波路アレイ及びその製造方法 - Google Patents
光導波路アレイ及びその製造方法Info
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- JPH04107403A JPH04107403A JP2225978A JP22597890A JPH04107403A JP H04107403 A JPH04107403 A JP H04107403A JP 2225978 A JP2225978 A JP 2225978A JP 22597890 A JP22597890 A JP 22597890A JP H04107403 A JPH04107403 A JP H04107403A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/13—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method
- G02B6/138—Integrated optical circuits characterised by the manufacturing method by using polymerisation
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- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、光学的に信号またはエネルギーを伝送するた
めの光導波路アレイ及びその製造方法に関する。
めの光導波路アレイ及びその製造方法に関する。
［従来の技術］
従来、光導波路アレイはコア及びクラッド層からなる光
導波路アレイ本体を形成した後、この光導波路アレイ本
体に補強板を接着して製造するもの、あるいは補強板の
上にあらかじめ形成した多数の光導波路を配設して接着
により接合せしめ、光導波路アレイを完成させるものが
ある。
導波路アレイ本体を形成した後、この光導波路アレイ本
体に補強板を接着して製造するもの、あるいは補強板の
上にあらかじめ形成した多数の光導波路を配設して接着
により接合せしめ、光導波路アレイを完成させるものが
ある。
また、一般に２Ｐ法と称されていて、紫外線硬化樹脂を
用いて光導波路に補強板を接着して作成することにより
構成された光導波路アレイなどが知られている。
用いて光導波路に補強板を接着して作成することにより
構成された光導波路アレイなどが知られている。
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、従来の光導波路アレイは、その製造方法
において、補強材を後ろから接着する方法は接着工程が
一工程多く含まれ、また、光導波路を先に作る方法も並
べる工程が増加してしまう。これらの余分な工程を解消
するために２Ｐ法があるが、一般に使用されている補強
材であるアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂及びポリ
スチレン樹脂では光硬化樹脂の硬化に必要な波長を透過
しにくいので、光硬化樹脂の硬化効率が悪く、接着性の
よくない光導波路アレイとなって性能及び品質的に信頼
性が低く、また製造上、効率が悪く歩留りも低いという
問題点があった。
において、補強材を後ろから接着する方法は接着工程が
一工程多く含まれ、また、光導波路を先に作る方法も並
べる工程が増加してしまう。これらの余分な工程を解消
するために２Ｐ法があるが、一般に使用されている補強
材であるアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂及びポリ
スチレン樹脂では光硬化樹脂の硬化に必要な波長を透過
しにくいので、光硬化樹脂の硬化効率が悪く、接着性の
よくない光導波路アレイとなって性能及び品質的に信頼
性が低く、また製造上、効率が悪く歩留りも低いという
問題点があった。
［課題を解決するための手段］
上記課題を解決するため、本発明の光導波路アレイは、
補強部材の上に、コア部被覆層と、下方の面側にコアを
埋設して保持したクラッド層と、光透過性補強材とを順
次積層してなることを特徴とするものである。
補強部材の上に、コア部被覆層と、下方の面側にコアを
埋設して保持したクラッド層と、光透過性補強材とを順
次積層してなることを特徴とするものである。
また、本発明の光導波路の製造方法は、光導波路アレイ
型に光硬化樹脂を塗布して該光硬化樹脂の上に光透過性
補強材を密着させ、該光透過性補強材へ紫外線を照射し
て溝を有するクラッド層を形成する工程と、前記クラッ
ド層の溝に光硬化樹脂を注入し、前記光透過性補強材の
上方から光を照射して前記光硬化樹脂を硬化せしめてコ
アを形成する工程、及び前記クラッド層のコアが形成さ
れている面に光硬化樹脂を塗布して補強部材と密着させ
、該光透過性補強材へ光を照射して前記光硬化樹脂を硬
化せしめて光硬化樹脂層を形成する工程を有することを
特徴とするものである。
型に光硬化樹脂を塗布して該光硬化樹脂の上に光透過性
補強材を密着させ、該光透過性補強材へ紫外線を照射し
て溝を有するクラッド層を形成する工程と、前記クラッ
ド層の溝に光硬化樹脂を注入し、前記光透過性補強材の
上方から光を照射して前記光硬化樹脂を硬化せしめてコ
アを形成する工程、及び前記クラッド層のコアが形成さ
れている面に光硬化樹脂を塗布して補強部材と密着させ
、該光透過性補強材へ光を照射して前記光硬化樹脂を硬
化せしめて光硬化樹脂層を形成する工程を有することを
特徴とするものである。
なお、光透過性補強材は、光硬化樹脂と接着するもので
あってもよいし、コアとクラッド層とコア部被覆層に光
硬化樹脂を用いてもよい。また、コア部形成工程時に、
光硬化樹脂に窒素ガスを吹き付けると同時に光を照射し
てもよい。
あってもよいし、コアとクラッド層とコア部被覆層に光
硬化樹脂を用いてもよい。また、コア部形成工程時に、
光硬化樹脂に窒素ガスを吹き付けると同時に光を照射し
てもよい。
［作用］
本発明の光導波路アレイは、最上層に光透過性補強材を
設けた構造をなし、アレイ組立時に所定波長の光をアレ
イ内部へ透過することが可能となり、光硬化樹脂層の硬
化が速く、光導波路と光透過性補強板との接着が強固で
確実性に優れる。
設けた構造をなし、アレイ組立時に所定波長の光をアレ
イ内部へ透過することが可能となり、光硬化樹脂層の硬
化が速く、光導波路と光透過性補強板との接着が強固で
確実性に優れる。
この光導波路アレイにおいてクラッド層、コア部被覆層
及びコアに光硬化樹脂を用いることにより、補強材とコ
ア部被覆層とコア、コア部被覆層とクラッド層、クラッ
ド層とコア、クラッド層と光透過性補強板の接着が強固
で確実性に優れる。
及びコアに光硬化樹脂を用いることにより、補強材とコ
ア部被覆層とコア、コア部被覆層とクラッド層、クラッ
ド層とコア、クラッド層と光透過性補強板の接着が強固
で確実性に優れる。
また、本発明の光導波路アレイの製造方法は、光透過性
補強板へ紫外線を照射することにより溝を有するクラッ
ド層を形成し、コアを形成し、そして光硬化樹脂層を形
成して光導波路と補強部材とを接合するので、構成部材
の接着組立時に酸素の存在を防止することができ、接着
が速く効率が良好となる ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
補強板へ紫外線を照射することにより溝を有するクラッ
ド層を形成し、コアを形成し、そして光硬化樹脂層を形
成して光導波路と補強部材とを接合するので、構成部材
の接着組立時に酸素の存在を防止することができ、接着
が速く効率が良好となる ［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図及び第２図は本発明の一実施例である光導波路の
製造における一部の工程を示す要部断面図、第３図は本
発明の先導波路アレイの１例を示す断面図である。
製造における一部の工程を示す要部断面図、第３図は本
発明の先導波路アレイの１例を示す断面図である。
光導波路アレイ型１にクラッド用の光硬化樹脂２を塗布
し、上部に補強材３を密着させて光透過性補強材３側か
ら水銀ランプ４により紫外線を照射する（第１図）。こ
れにより光透過性補強材３に密着した溝部のクラッド層
５が形成される。溝部のクラッド層５の溝部に、毛管現
象によりコア用の光硬化樹脂６を注入する。光透過性補
強材３を上側に向け、下方に窒素放出部７を設は窒素を
吹き付ける。光透過性補強材３側から、水銀ランプ４に
より紫外線を照射する。これにより、溝部のクラッド層
５の溝にコア８が形成される（第２図）。溝部のクラッ
ド層５を光透過性補強材３と挟み込むように、クラッド
用の光硬化樹脂９を塗布する。該クラッド用の光硬化樹
脂９を溝部のクラッド層５と挾み込むように、補強材１
０を密着させる。光透過性補強材３側から、水銀ランプ
４により紫外線を照射する。これにより光導波路アレイ
が形成される（第３図）。該光導波路アレイのバルク損
失は−０，０５ｄＢ／ｃｍであった。
し、上部に補強材３を密着させて光透過性補強材３側か
ら水銀ランプ４により紫外線を照射する（第１図）。こ
れにより光透過性補強材３に密着した溝部のクラッド層
５が形成される。溝部のクラッド層５の溝部に、毛管現
象によりコア用の光硬化樹脂６を注入する。光透過性補
強材３を上側に向け、下方に窒素放出部７を設は窒素を
吹き付ける。光透過性補強材３側から、水銀ランプ４に
より紫外線を照射する。これにより、溝部のクラッド層
５の溝にコア８が形成される（第２図）。溝部のクラッ
ド層５を光透過性補強材３と挟み込むように、クラッド
用の光硬化樹脂９を塗布する。該クラッド用の光硬化樹
脂９を溝部のクラッド層５と挾み込むように、補強材１
０を密着させる。光透過性補強材３側から、水銀ランプ
４により紫外線を照射する。これにより光導波路アレイ
が形成される（第３図）。該光導波路アレイのバルク損
失は−０，０５ｄＢ／ｃｍであった。
該クラッド用の光硬化樹脂２及び９ば、東亜合成化学工
業■製、アロニックスＭ３１０（トリメヂロールプロパ
ンのプロピレンオキシド６モル変性トリアクリレート）
１０重量部とチバガイギー■製、イルガキュア９０７（
２−メチル［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モル
フォリノ−１−プロパノン）１重量部を混合したもので
ある。コア用の光硬化樹脂６は東亜合成化学工業■製、
アロニックスＭ２１０（ビスフェノールへのエチレンオ
キシド４モル変性ジアクリレート）１０重量部とヂバガ
イギー■製、イルガキュア９０７（２−メチル［４−（
メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロ
パノン）１重量部を混合したものである。光透過性補強
材３及び補強材１０は、三井石油化学■製、ＴＰＸ （
ポリメチルペンテン）の成形板である。
業■製、アロニックスＭ３１０（トリメヂロールプロパ
ンのプロピレンオキシド６モル変性トリアクリレート）
１０重量部とチバガイギー■製、イルガキュア９０７（
２−メチル［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モル
フォリノ−１−プロパノン）１重量部を混合したもので
ある。コア用の光硬化樹脂６は東亜合成化学工業■製、
アロニックスＭ２１０（ビスフェノールへのエチレンオ
キシド４モル変性ジアクリレート）１０重量部とヂバガ
イギー■製、イルガキュア９０７（２−メチル［４−（
メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノ−１−プロ
パノン）１重量部を混合したものである。光透過性補強
材３及び補強材１０は、三井石油化学■製、ＴＰＸ （
ポリメチルペンテン）の成形板である。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明の光導波路アレイは、補強
部材の上にコア部被覆層を、下方の面側にコアを埋設し
て保持したクラッド層と、光透過性補強材とを順次積層
してなる構造を有しているので、光硬化樹脂層の硬化が
速（、光導波路と光透過性補強板との接着が強固で確実
となり、性能劣化のない高い信頼性が得られる。
部材の上にコア部被覆層を、下方の面側にコアを埋設し
て保持したクラッド層と、光透過性補強材とを順次積層
してなる構造を有しているので、光硬化樹脂層の硬化が
速（、光導波路と光透過性補強板との接着が強固で確実
となり、性能劣化のない高い信頼性が得られる。
そして、この光導波路アレイにおいて、クラッド層及び
コアに光硬化樹脂を用いることにより、クラッド層とコ
ア、クラッド層と光透過性補強板の接着が強固で確実性
に優れ、前記の信頼性向上が著しい。
コアに光硬化樹脂を用いることにより、クラッド層とコ
ア、クラッド層と光透過性補強板の接着が強固で確実性
に優れ、前記の信頼性向上が著しい。
また、本発明の光導波路アレイの製造方法は、光透過性
補強板へ紫外線を照射して溝を有するクラッド層を形成
し、次にコアを形成し、そして光硬化樹脂層を形成して
、光導波路と補強部材とを接合するので、構成部材の接
着組立時に酸素の存在を防止することができ、接着が速
く効率が良好となり、歩留りが高く効率の良い量産性が
得られる。
補強板へ紫外線を照射して溝を有するクラッド層を形成
し、次にコアを形成し、そして光硬化樹脂層を形成して
、光導波路と補強部材とを接合するので、構成部材の接
着組立時に酸素の存在を防止することができ、接着が速
く効率が良好となり、歩留りが高く効率の良い量産性が
得られる。
第１図及び第２図は本発明の一実施例である光導波路の
製造における一部の工程を示す要部断面図、第３図は本
発明の光導波路アレイの１例を示す断面図である。 ２．６・・・光硬化樹脂、３・・・光透過性補強材、４
・・・水銀ランプ、５・・・クラッド層、８・・・コア
、 ９・・・コア部被覆層、１０・・・補強部材
製造における一部の工程を示す要部断面図、第３図は本
発明の光導波路アレイの１例を示す断面図である。 ２．６・・・光硬化樹脂、３・・・光透過性補強材、４
・・・水銀ランプ、５・・・クラッド層、８・・・コア
、 ９・・・コア部被覆層、１０・・・補強部材
Claims (4)
- （１）補強部材の上に、コア部被覆層と、下方の面側に
コアを埋設して保持したクラッド層と、光透過性補強材
とを順次積層してなる光導波路アレイ。 - （２）前記クラッド層コア部被覆層及びコアは光硬化樹
脂からなる請求項１項記載の光導波路アレイ。 - （３）前記光透過性補強材がポリオレフィン系の樹脂で
ある請求項１記載の光導波路アレイ。 - （４）光導波路アレイ型に光硬化樹脂を塗布して該光硬
化樹脂の上に光透過性補強材を密着させ、該光透過性補
強材へ光を照射して溝を有するクラッド層を形成する工
程と、前記クラッド層の溝に光硬化樹脂を注入し、前記
光透過性補強材の上方から光を照射して、前記光硬化樹
脂を硬化せしめてコアを形成する工程、及び前記クラッ
ド層のコアが形成されている面に光硬化樹脂を塗布して
補強部材と密着させ、前記光透過性補強材へ光を照射し
て前記光硬化樹脂を硬化せしめてコア部被覆層を形成す
る工程を有する光導波路アレイの製造方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2225978A JPH04107403A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 光導波路アレイ及びその製造方法 |
| US07/680,754 US5113471A (en) | 1990-08-28 | 1991-04-05 | Optical waveguide array and method of manufacturing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2225978A JPH04107403A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 光導波路アレイ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04107403A true JPH04107403A (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=16837872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2225978A Pending JPH04107403A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 光導波路アレイ及びその製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5113471A (ja) |
| JP (1) | JPH04107403A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11060414B2 (en) | 2016-10-21 | 2021-07-13 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Steam turbine and steam turbine control method |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| DE4200397C1 (ja) * | 1992-01-10 | 1993-03-04 | Imm Institut Fuer Mikrotechnik Gmbh, 6500 Mainz, De | |
| US5271083A (en) * | 1992-07-27 | 1993-12-14 | Motorola, Inc. | Molded optical waveguide with contacts utilizing leadframes and method of making same |
| US5249245A (en) * | 1992-08-31 | 1993-09-28 | Motorola, Inc. | Optoelectroinc mount including flexible substrate and method for making same |
| US5325451A (en) * | 1993-01-05 | 1994-06-28 | Motorola, Inc. | Modular optical waveguide and method for making |
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