JPH04107828U - 紫外線照射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 紫外線硬化性の保護テーブルを貼付けたウエ
ハに紫外線を照射する紫外線照射装置の小型化を図ると
ともに、短い紫外線ランプを使用できるようにする。 【構成】 紫外線硬化性の保護テープを貼付けた半導体
ウエハＷを載置して旋回する回転テーブル１２の上方
に、紫外線照射される最大径の半導体ウエハＷの略半径
程度の照射領域をもった紫外線ランプ６を配置し、回転
テーブル１２を回転させることによって、半導体ウエハ
Ｗの全面に紫外線を照射する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウエハの表面に貼付けられた紫外線硬化性の保護テープの粘 着力を弱めるために、前記保護テープ上に紫外線を照射する際に用いる紫外線照 射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハ表面に貼付けられた保護テープは、接着面へエッチング液等の処理液が 侵入することがないように相当粘着力の強いものが用いられるので、前記処理の 後に、その保護テープをそのまま剥離するとウエハ表面が損傷するおそれがある 。そこで、保護テープとして紫外線硬化性のものを用い、剥離処理に先立って保 護テープに紫外線を照射して硬化することで、保護テープの粘着力を弱めること が行われている。

【０００３】 この場合、従来は、図５に示すように、ウエハＷの直径より長い紫外線ランプ に対してウエハＷを平行に水平移動させて保護テープ全面に均一に紫外線が照射 されるようにしていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、上記従来装置によると、ウエハをその直径以上に水平移動させるスペ ースを要して装置の大型化を招くとともに、高価な長い紫外線ランプを必要とし ていた。

【０００５】 本考案は、装置の小型化を図るとともに、安価に入手できる短い紫外線ランプ を使用できるようにすることを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、本考案は次のような構成を採る。 すなわち、本考案に係る紫外線照射装置は、紫外線硬化性の保護テープを貼付 けた半導体ウエハを載置して旋回する回転テーブルの上方に、前記回転テーブル に載置される最大径の半導体ウエハの略半径に相当する照射域をもった紫外線ラ ンプを配設したものである。

【作用】

本考案の作用は次のとおりである。 上記構成によると、紫外線ランプによって半導体ウエハの略半径に相当する領 域を照射しつつ、回転テーブルを回転することで、ウエハ表面に周方向に連続し て紫外線が照射されることになる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の一実施例を図面を参照して説明する。 図１は本考案に係る紫外線照射装置の一実施例の縦断側面図、また、図２はそ の縦断正面図である。

【０００８】 箱形に構成されたケーシング１の上部には、ランプ装置２が内装固定されると ともに、ケーシング１の下部にはウエハ装填装置３が前後スライド自在に装備さ れている。

【０００９】 ランプ装置２は、紫外線照射用の開口４を備えた水平支持板５の上方に紫外線 ランプの一例である高圧水銀灯６を水平に配置するとともに、前記開口４に熱線 カット用のフィルター７を取り付け、かつ、水平支持板５の下面左右にブラケッ ト８を介して仕切壁９を垂設したものに構成され、更に、前記ブラケット８には 仕切壁９で囲まれた処理空間内を窒素ガス雰囲気にして処理効果を高めるために ガス吐出口１０が形成されている。図３および図４に示すように、高圧水銀灯６ としては、紫外線照射される最大径のウエハＷの略半径程度のものが設置されて いる。 ウエハ装填装置３は、ベース板１１上に縦向き軸心Ｐを中心に回転可能な回転 テーブル１２を装備するとともに、テーブル支軸１３の下端に取り付けたプーリ １４とベース板１１の下面に箱形ブラケット１５を介して取り付けたモータ１６ のプーリ１７とをベルト１８で巻掛連動させて、回転テーブル１２を回転駆動で きるよう構成されている。

【００１０】 そして、この回転テーブル１２の回転軸心Ｐの上方に前記水銀灯６の一端近く が位置し、水銀灯６の他端が回転テーブル１２の外周端の上方近くに位置するよ うに設定され、回転テーブル１２の回転に伴ってテーブル１２上のウエハＷに紫 外線が全面的に照射されるように構成されている。

【００１１】 尚、図中の１９はウエハ装填装置３の左右下面を前後スライド自在に載置する ガイドレール、２０はウエハ装填装置３の前面に備えられた出入れ用の把手であ る。

【００１２】 また、図３に示すように、回転テーブル１２の上面には各種寸法のウエハＷに 対応して同心状に位置決め段差２１が形成されるとともに、ウエハ出入れ用の切 欠き２２が形成されている。

【００１３】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案は、ウエハが載置される回転テーブル を回転させることによってウエハに紫外線を照射するように構成しているので、 テーブルを往復動させていた従来装置に比較して、装置の小型化を図ることがで きる。

【００１４】 また、ウエハの半径程度の短い紫外線ランプを用いてウエハ全面に紫外線照射 することができるので、紫外線ランプが小型化する分、装置を安価に実現するこ とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る紫外線照射装置の縦断
側面図である。

【図２】紫外線照射装置の縦断正面図である。

【図３】回転テーブルの平面図である。

【図４】回転テーブルと紫外線ランプの配置関係を示す
斜視図である。

【図５】従来手段におけるウエハと紫外線ランプとの関
係を示す斜視図である。

【符号の説明】

１…ケーシング ２…ランプ装置 ３…ウエハ装填装置 ４…開口 ５…水平支持板 ６…紫外線ランプ（高
圧水銀灯） ７…フィルター ８…ブラケット ９…仕切壁 １０…ガス吐出口 １１…ベース板 １２…回転テーブル １３…テーブル支軸 １４…プーリ １５…箱形ブラケット １６…モータ １７…プーリ １８…ベルト １９…ガイドレール ２０…把手 ２１…位置決め段差 ２２…切欠き Ｗ…ウエハ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 紫外線硬化性の保護テープを貼付けた半
   導体ウエハを載置して旋回する回転テーブルの上方に、
   前記回転テーブルに載置される最大径の半導体ウエハの
   略半径に相当する照射域をもった紫外線ランプを配設し
   たことを特徴とする紫外線照射装置。