JPH04107944A - Inspection socket of electronic device and inspection method using said socket - Google Patents

Inspection socket of electronic device and inspection method using said socket

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JPH04107944A
JPH04107944A JP2225061A JP22506190A JPH04107944A JP H04107944 A JPH04107944 A JP H04107944A JP 2225061 A JP2225061 A JP 2225061A JP 22506190 A JP22506190 A JP 22506190A JP H04107944 A JPH04107944 A JP H04107944A
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JP
Japan
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socket
electronic device
conductive pattern
inspection
contact
Prior art date
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Pending
Application number
JP2225061A
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Japanese (ja)
Inventor
Haruhisa Fukui
治久 福井
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Hitachi Ltd
Renesas Eastern Japan Semiconductor Inc
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd
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Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Tohbu Semiconductor Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP2225061A priority Critical patent/JPH04107944A/en
Publication of JPH04107944A publication Critical patent/JPH04107944A/en
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
(57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は電子装置の検査用ソケットおよび検査方法に係
り、特に半導体装置等の外部に導出するリードを有する
ものに適用して有効な技術に関するものである。
[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a socket for testing electronic devices and a testing method, and particularly relates to a technique that is effective when applied to devices such as semiconductor devices that have leads leading to the outside. It is something.

〔従来の技術〕[Conventional technology]

電子装置の製造工程では各種の検査が行われる。この中
でも外部導出リードを有する電子装置、例えば半導体装
置等はプリント基板等に実装して使用するが検査時にプ
リント基板に実装していたのでは作業効率が大幅に低下
するため、ソケットを使用し所定の検査を行うようにし
ている。また検査対象となる電子装置は多数であるから
ソケットへの電子装置の着脱は自動化している場合が多
い。また今後については自動化は不可欠となる。このよ
うな場合、ソケットと電子装置との相対的な位置ずれが
発生した場合においては、ソケットの端子等の接触によ
りリードに外観不良等が発生しないことが望ましい。
Various inspections are performed in the manufacturing process of electronic devices. Among these, electronic devices that have external leads, such as semiconductor devices, are used by mounting them on printed circuit boards, etc. However, if they are mounted on printed circuit boards during inspection, the work efficiency will be greatly reduced, so sockets are used to secure them to the specified location. We are trying to carry out inspections. Furthermore, since there are a large number of electronic devices to be inspected, the attachment and detachment of electronic devices to and from sockets is often automated. Furthermore, automation will be essential in the future. In such a case, if a relative misalignment occurs between the socket and the electronic device, it is desirable that the lead does not suffer from visual defects or the like due to contact with the terminals of the socket.

さらにソケット端子などが有する性質が実際にプリント
基板等に電子装置を実装した場合と比較して影響を与え
る場合もあるため、二の違いが少なければよりよいこと
は言うまでもない。
Furthermore, since the properties of socket terminals and the like may have an effect compared to when an electronic device is actually mounted on a printed circuit board, etc., it goes without saying that the smaller the difference between the two, the better.

このような中で従来種々の測定用ソケットか提案されて
いる。例えば電子装置のり−トと接触するコンタクトピ
ンの下部をU字状に形成しておくようなものがある。こ
のような検査用ソケットを示したものとして特開昭60
−152099号がある。
Under these circumstances, various measurement sockets have been proposed. For example, there is one in which the lower part of a contact pin that contacts an electronic device board is formed into a U-shape. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 1989-1980 shows such a test socket.
There is No.-152099.

〔発明が解決しようとする課題〕[Problem to be solved by the invention]

上記した従来技術においては、電子装置のリードとコン
タクトピンとの位置関係が必ず一致することが望ましい
が、まれに位置ずれが発生する場合がある。このような
場合はコンタクトピン間に電子装置のリードが挾まれた
り、リードの一点に電子装置を押し当てる場合の荷重が
集中し、リードの外観不良(変形不良)を発生すること
がある。また多くの場合このようなコンタクトピンは鉄
に金めつきを施したようなものが使用されるため、検査
結果においてコンタクトピンの性質がある程度検査結果
に反映していまい、実際にプリント基板に電子装置を取
付けた場合とは若干異なった検査結果となってしまう二
とがあった。
In the above-described conventional technology, it is desirable that the leads of the electronic device and the contact pins always match in position; however, in rare cases, misalignment may occur. In such a case, the lead of the electronic device may be pinched between the contact pins, or the load may be concentrated when pressing the electronic device against one point of the lead, resulting in poor appearance (defective deformation) of the lead. In addition, in many cases, such contact pins are made of iron plated with gold, so the properties of the contact pins may not be reflected to some extent in the test results, and may not actually be used for electronics on printed circuit boards. There were two cases where the test results were slightly different from those obtained when the device was installed.

本願発明の目的はソケットと電子装置の位置関係にずれ
を生しても、リード曲がりの発生しないソケットを提供
するとともに電子装置をプリント基板に実装した場合に
極めて近い結果を得られる検査用のソケットおよび検査
方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a socket that does not cause lead bending even if there is a misalignment in the positional relationship between the socket and the electronic device, and an inspection socket that can obtain extremely similar results when the electronic device is mounted on a printed circuit board. and to provide testing methods.

〔課題を解決するための手段〕[Means to solve the problem]

本願において開示される発明のうち代表的なものの手段
について説明すれば下記のとおりである。 すなわち、
導電性パターンを形成した絶縁性フィルムと、前記絶縁
性フィルム下部に配置された弾性体と、前記弾性体を支
持するベースと、前記導電性パターンと外部回路を接続
する接点部を特徴とする電子装置の検査用ソケットであ
る。また外部導出リードを有する電子装置の検査方法で
あって、導電性パターンが形成された絶縁性フィルムの
導電性パターンに検査対象の電子装置のり一トを接触す
る工程において、前記絶縁性フィルム下に弾性体を配置
し電子装置の検査をするものである。
Representative means of the invention disclosed in this application will be described below. That is,
An electronic device characterized by an insulating film having a conductive pattern formed thereon, an elastic body disposed below the insulating film, a base supporting the elastic body, and a contact portion connecting the conductive pattern to an external circuit. This is a socket for testing the device. In addition, there is a method for testing an electronic device having an external lead, in which a conductive pattern of an insulating film on which a conductive pattern is formed is brought into contact with a piece of the electronic device to be tested. An elastic body is placed to inspect electronic devices.

〔作用〕[Effect]

上記した手段によればソケットと電子装置間に位置ずれ
が発生しても接触面には全て均一な圧力がかかるのでリ
ードの変形は発生せず歩留は大幅に向上する。
According to the above-described means, even if misalignment occurs between the socket and the electronic device, uniform pressure is applied to all contact surfaces, so that deformation of the leads does not occur and the yield is significantly improved.

また、プリント基板等に使用される絶縁性フィルム上に
形成した導電性パターンを使用することができるのでよ
り実装に近い状態で検査を行うことができ、より正確な
検査結果を得ることができる。
Furthermore, since it is possible to use a conductive pattern formed on an insulating film used for printed circuit boards and the like, it is possible to perform inspection in a state closer to actual mounting, and more accurate inspection results can be obtained.

〔実施例〕〔Example〕

第1図は本発明の実施例である検査用ソケットを示した
斜視図、第2図は第1図に示した検査用ソケットの側面
図である。
FIG. 1 is a perspective view of a test socket according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the test socket shown in FIG.

第1図において検査対象となる電子装置1はガルウィン
グタイプの外部リード2を有する半導体装置である。本
発明のソケットは表面に導出性パターン4が形成された
絶縁性のフィルム3と前記フィルム3の下に配置された
弾性材であるスポンジ5、前記スポンジ5を支持するベ
ース6および前記導電性パターン4と外部測定機器と接
続させるための接点部7からなっている。
In FIG. 1, an electronic device 1 to be inspected is a semiconductor device having a gull wing type external lead 2. As shown in FIG. The socket of the present invention includes an insulating film 3 having a conductive pattern 4 formed on its surface, a sponge 5 which is an elastic material placed under the film 3, a base 6 supporting the sponge 5, and the conductive pattern. 4 and a contact portion 7 for connection with an external measuring device.

前記絶縁性のフィルムはポリイミド樹脂等により形成さ
れ、その表面に形成された導電性パターン4はフィルム
3上に銅等の材料を貼り付はエツチング等の技術を用い
て対象となる半導体装置1の外部リード2に対応するよ
うに形成されその後銀等のめっきを施したものである。
The insulating film is made of polyimide resin or the like, and the conductive pattern 4 formed on the surface of the conductive pattern 4 is formed on the target semiconductor device 1 by pasting a material such as copper on the film 3 and using a technique such as etching. It is formed to correspond to the external lead 2 and then plated with silver or the like.

このためフィルム3上の導電性パターン4が形成されて
いてもほぼ同一平面となる。このフィルムの下には弾性
材としてスポンジ5が接着剤により固定され配置されて
いる。またフィルム3上に形成された導電性パターン4
はスポンジ5の配置されるベース6の近傍にて外部測定
機器(図示せず)に接続される接点部7に電気的に接続
されている。この接点部7はヘース6に固定され間接的
にスポンジ5を固定している。
Therefore, even if the conductive pattern 4 is formed on the film 3, it will be on substantially the same plane. A sponge 5 as an elastic material is fixed and arranged under this film with an adhesive. Also, a conductive pattern 4 formed on the film 3
is electrically connected to a contact portion 7 connected to an external measuring device (not shown) near the base 6 on which the sponge 5 is placed. This contact portion 7 is fixed to the heath 6 and indirectly fixes the sponge 5.

次に検査工程について説明する。Next, the inspection process will be explained.

まず半導体装置1とソケットの導電性パターン4につい
ての位置決めを行う。この位置決めについては公知の技
術をもって行うことができる。位置決めの終了した半導
体装置1は絶縁性フィルム上に形成された導電性パター
ン4に接触させるべく下降させる。このように半導体装
置1が下降し導電性パターン4に接触すると同時に押し
つけ固定する。この搬送する手段および固定する手段に
ついては公知の技術を用いることができる。この結果前
記フィルム3下に配置されたスポンジ5が弾性変形をし
、充分にシード2と導電性パターン4との接触を図られ
ると同時にリード2にかかる圧力を接触面全面に分散さ
れる。このため仮りに位置ずれを起こしても一点に圧力
が加わることが防止される。そしてこの状態にて所望の
検査を行い半導体装置1の良品、不良品について図示し
ない外部検査機器により選別する。この後前記半導体装
置1をソケットより取外し搬送する。また、導電性パタ
ーンをセンスライン4a、フォーヌライン4bとしてお
くことて印加される重下を常に把握でき、検査工程で正
確な条件印加を可能としている。
First, the semiconductor device 1 and the conductive pattern 4 of the socket are positioned. This positioning can be performed using known techniques. After positioning, the semiconductor device 1 is lowered to come into contact with the conductive pattern 4 formed on the insulating film. In this way, the semiconductor device 1 descends and contacts the conductive pattern 4, and at the same time is pressed and fixed. Known techniques can be used for this conveying means and fixing means. As a result, the sponge 5 disposed under the film 3 is elastically deformed, and the seed 2 and the conductive pattern 4 are brought into sufficient contact with each other, and at the same time, the pressure applied to the lead 2 is dispersed over the entire contact surface. Therefore, even if positional deviation occurs, pressure is prevented from being applied to one point. In this state, a desired inspection is carried out and the semiconductor device 1 is selected as to whether it is good or defective by an external inspection device (not shown). Thereafter, the semiconductor device 1 is removed from the socket and transported. Further, by using the conductive patterns as the sense line 4a and the Faune line 4b, it is possible to always grasp the applied load, making it possible to apply accurate conditions in the inspection process.

〔実施例2〕 第3図において検査対象となる電子装置はJベントタイ
プの外部リード9を有する一般にQ。
[Embodiment 2] In FIG. 3, the electronic device to be inspected is generally a Q-type device having a J-bent type external lead 9.

F 、  J 、  (Quad Flat J−le
aded Package)と呼ばれるものである。本
実施例においては、表面に導電性パターン11が前記Q
、F、J  の外部リード9に対応するように4方向に
形成されたものが使用される。その他については前記第
1の実施例に示したものと同様なものを使用できる。
F, J, (Quad Flat J-le
This is called a ``added Package''. In this embodiment, a conductive pattern 11 is provided on the surface of the Q
, F, and J are formed in four directions so as to correspond to the external leads 9. For the rest, the same ones as shown in the first embodiment can be used.

本実施例によれば、4方向に導出する外部リードを有す
る電子装置にも使用することが可能となる。
According to this embodiment, it is also possible to use the electronic device having external leads extending in four directions.

〔発明の効果〕〔Effect of the invention〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られるものについて説明すれば下記の通りである。
The following describes what can be obtained by typical inventions disclosed in this application.

(1)ソケットと電子装置のリードとの接触面と 非接触面がほぼフラットになっているため、ソケットと
電子装置との位置決めが正確に行われなくとも、リード
の一点に押しつける場合の圧力が集中することがないの
でリード曲がり等の不良は発生しない。
(1) The contact and non-contact surfaces between the socket and the lead of the electronic device are almost flat, so even if the socket and the electronic device are not positioned accurately, the pressure when pressing against one point of the lead is reduced. Since there is no concentration, defects such as lead bending do not occur.

(2)上記(1)により電子装置の自動化かいっそう効
率的に行われる。
(2) Due to (1) above, automation of electronic devices can be performed more efficiently.

(3)電子装置のリードの強さに応じた弾性材を使用す
ることで多種類の電子装置の検査が可能となる。
(3) By using an elastic material suitable for the strength of the lead of the electronic device, it is possible to test many types of electronic devices.

(4)導電性パターンを使用することにより、従来のソ
ケットに比較して正確な検査が可能となる。 以上本願
発明を発明の背景となった半導体装置のものについて説
明したが本発明は前記実施例に限定されるものではなく
その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは
言うまでもない。
(4) Use of conductive patterns allows for more accurate testing than conventional sockets. Although the present invention has been described above with respect to a semiconductor device which is the background of the invention, it goes without saying that the present invention is not limited to the above embodiments and can be modified in various ways without departing from the gist thereof.

例えば、導電性パターンは前記実施例のセンス、フォー
スラインの他に、ガートラインとして導電性パターン間
に信号干渉防止のだめのグラウンドラインを形成するこ
とも可能である。
For example, in addition to the sense and force lines of the above embodiments, the conductive patterns can also be used as guard lines to form ground lines between the conductive patterns to prevent signal interference.

また弾性材としてはゴム等のその他の弾性材を使用して
も構わない。またソケット自体に位置決めガイドを付加
したものを使用しても構わない。さらに特に必要であれ
ば導電性フィルム上に各種回路技術を実現し、より実装
状態に近い検査結果を得ることも可能であるし、フィル
ム裏面に導電性パターンを形成しグラウンドラインとす
ることにより、さらに優れたインピーダンスマツチング
をとることが可能である。
Further, as the elastic material, other elastic materials such as rubber may be used. Alternatively, a socket with a positioning guide added to the socket itself may be used. Furthermore, if it is particularly necessary, it is possible to realize various circuit technologies on the conductive film and obtain test results that are closer to the actual mounting state, and by forming a conductive pattern on the back of the film as a ground line, It is possible to achieve even better impedance matching.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明の実施例である検査用ソケットを示した
斜視図、 第2図は第1図に示した検査用ソケットの側Oフィルム
、4,11 導電性パターン、4a フォースライン、
4b センスライン、5゜12−スポンジ、6,13・
ベース、7,14接続ピン。 第  1  図 第  2 図
FIG. 1 is a perspective view showing a test socket according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side O film of the test socket shown in FIG. 1, 4, 11 conductive pattern, 4a force line,
4b sense line, 5゜12-sponge, 6,13・
Base, 7, 14 connection pins. Figure 1 Figure 2

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1、導電性パターンを形成した絶縁性フィルムと、 前記絶縁性フィルム下部に配置された弾性体と、前記弾
性体を支示するベースと、前記導電性パターンに接続す
る接点部を有することを特徴とする電子装置の検査用ソ
ケット。 2、外部導出リードを有する電子装置の検査方法 であって、導電性パターンが形成された絶縁性フィルム
の導電性パターンに検査対象の電子装置のリードを接触
させ検査する工程において、前記絶縁性フィルム下に弾
性体を配置し電子装置のリードを接触させることを特徴
とする電子装置の検査方法。
[Claims] 1. An insulating film on which a conductive pattern is formed, an elastic body disposed below the insulating film, a base supporting the elastic body, and a contact connected to the conductive pattern. 1. A socket for testing an electronic device, comprising: a socket for testing an electronic device; 2. A method for testing an electronic device having external leads, in which the lead of the electronic device to be tested is brought into contact with a conductive pattern of an insulating film on which a conductive pattern is formed, the step of testing the insulating film. A method for inspecting an electronic device, comprising placing an elastic body underneath and bringing the leads of the electronic device into contact with the elastic body.
JP2225061A 1990-08-29 1990-08-29 Inspection socket of electronic device and inspection method using said socket Pending JPH04107944A (en)

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