JPH04109105A - 多面鏡の角度偏差の計測方法 - Google Patents
多面鏡の角度偏差の計測方法Info
- Publication number
- JPH04109105A JPH04109105A JP2229363A JP22936390A JPH04109105A JP H04109105 A JPH04109105 A JP H04109105A JP 2229363 A JP2229363 A JP 2229363A JP 22936390 A JP22936390 A JP 22936390A JP H04109105 A JPH04109105 A JP H04109105A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polygon mirror
- angular deviation
- mirror
- deviation
- reflecting
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- Granted
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、光学部品等の、角度偏差の計測に有効な計測
方法に関するものである。
方法に関するものである。
従来の技術
近年、高速印字プリンタとして、レーザプリンタが実用
化されてきている。これに用いられるレーザ光学系の構
成要素である多面鏡の反射面の角度偏差が、レーザプリ
ンタの印字品質を決定する重要な要素の一つとなってい
る。
化されてきている。これに用いられるレーザ光学系の構
成要素である多面鏡の反射面の角度偏差が、レーザプリ
ンタの印字品質を決定する重要な要素の一つとなってい
る。
従来、多面鏡の反射面の角度偏差を計測する方法として
、ＪＩＳ Ｂ ７４３２に示すようなピラミッド偏
差の計測方法を援用することが一般的であった。以下、
その方法について第３図および第４図を参照しながら説
明する。
、ＪＩＳ Ｂ ７４３２に示すようなピラミッド偏
差の計測方法を援用することが一般的であった。以下、
その方法について第３図および第４図を参照しながら説
明する。
第４図に示すように、ＪＩＳ Ｂ ７５１３（精密
定盤）の１級以上の定盤１の上に、底面に対する反射面
の面角度が既知である基準反射鏡２とオートコリメータ
４を配置し、オートコリメータの読みを計測する。
定盤）の１級以上の定盤１の上に、底面に対する反射面
の面角度が既知である基準反射鏡２とオートコリメータ
４を配置し、オートコリメータの読みを計測する。
基準反射鏡２に替えて多面鏡６を底面を下にして定盤１
の上に置き、オートコリメータ４の読みを計測し、両者
の差から、多面鏡６のピラミッド偏差を求める。
の上に置き、オートコリメータ４の読みを計測し、両者
の差から、多面鏡６のピラミッド偏差を求める。
発明が解決しようとする課題
このような従来の、多面鏡のピラミッド偏差の計測方法
では、第５図に示すように、定盤１と多面鏡６の底面７
および基準反射鏡２の底面３との間に、異物等が介在す
ることにより、基準反射鏡２の底面３に対する、多面鏡
６の底面７の位相に誤差が生じると、前記オートコリメ
ータ４の読みの差に誤差を生じ、これにより多面鏡６の
ピラミッド偏差の計測値に誤差が加わる。
では、第５図に示すように、定盤１と多面鏡６の底面７
および基準反射鏡２の底面３との間に、異物等が介在す
ることにより、基準反射鏡２の底面３に対する、多面鏡
６の底面７の位相に誤差が生じると、前記オートコリメ
ータ４の読みの差に誤差を生じ、これにより多面鏡６の
ピラミッド偏差の計測値に誤差が加わる。
本発明は上記課題を解決するもので、多面鏡のピラミッ
ド偏差をはじめとする、角度偏差を精度よく計測する方
法を提供することを目的としている。
ド偏差をはじめとする、角度偏差を精度よく計測する方
法を提供することを目的としている。
課題を解決するための手段
本発明は上記目的を達成するために、多面鏡の反射面の
方向に第一の計測器を配置し、基準面である底面の方向
に第二の計測器を配置し、第一の計測器で基準反射鏡の
反射面と多面鏡の反射面の角度偏差を計測し、第二の計
測器で基準反射鏡の基準面である底面と多面鏡の基準面
である底面との角度偏差を計測する事により、前記の二
つの角度偏差の差から多面鏡の角度偏差を計測する方法
を提供するものである。
方向に第一の計測器を配置し、基準面である底面の方向
に第二の計測器を配置し、第一の計測器で基準反射鏡の
反射面と多面鏡の反射面の角度偏差を計測し、第二の計
測器で基準反射鏡の基準面である底面と多面鏡の基準面
である底面との角度偏差を計測する事により、前記の二
つの角度偏差の差から多面鏡の角度偏差を計測する方法
を提供するものである。
作用
本発明は上記した方法により、多面鏡の角度偏差の計測
値に加わる誤差を小さくすることができるものである。
値に加わる誤差を小さくすることができるものである。
実施例
以下、本発明の一実施例について説明する。
なお、実施例は一つの例示であって、本発明の技術思想
を逸脱しない範囲で種々の変更あるいは改良を行いうろ
ことは言うまでもない。
を逸脱しない範囲で種々の変更あるいは改良を行いうろ
ことは言うまでもない。
第１図および第２図に本発明の一実施例を示す。図に示
すように、定盤１の上に、基準反射鏡２を、基準反射鏡
の底面３を上にして置き、基準反射鏡２０反射面の方向
に、第１のオートコリメータ４を配置し、基準反射鏡の
底面３の方向に第２のオートコリメータ５を配置し、第
１のオートコリメータ４および第２のオートコリメータ
５の読みを計測する。
すように、定盤１の上に、基準反射鏡２を、基準反射鏡
の底面３を上にして置き、基準反射鏡２０反射面の方向
に、第１のオートコリメータ４を配置し、基準反射鏡の
底面３の方向に第２のオートコリメータ５を配置し、第
１のオートコリメータ４および第２のオートコリメータ
５の読みを計測する。
基準反射鏡２に替えて、多面鏡６を多面鏡の底面７を上
にして置き、第１のオートコリメータ４および第２のオ
ートコリメータ５の読みを計測する。
にして置き、第１のオートコリメータ４および第２のオ
ートコリメータ５の読みを計測する。
第１のオートコリメータ４による、前記基準反射鏡の反
射面の計測値に対する多面鏡の反射面の計測値の偏差と
、第２のオートコリメータ５による前記基準反射鏡の底
面の計測値に対する多面鏡の底面の計測値の偏差との差
を求めることにより、多面鏡の角度偏差が計測される。
射面の計測値に対する多面鏡の反射面の計測値の偏差と
、第２のオートコリメータ５による前記基準反射鏡の底
面の計測値に対する多面鏡の底面の計測値の偏差との差
を求めることにより、多面鏡の角度偏差が計測される。
上記構成において、第２のオートコリメータ５による計
測値の前記偏差は、基準反射鏡の底面３と多面鏡の底面
７との位相の誤差により生じる。
測値の前記偏差は、基準反射鏡の底面３と多面鏡の底面
７との位相の誤差により生じる。
第１のオートコリメータ４による計測値の前記偏差は、
基準反射鏡の底面３と多面鏡の底面７との位相の誤差が
、基準反射鏡の反射面と多面鏡の反射面との位相の誤差
として現れた量と、多面鏡６の角度偏差の和により生じ
る。このため、オートコリメータ４による、計測値の前
記偏差と、第１のオートコリメータ５による、計測値の
前記偏差との差を求めることにより、多面鏡の角度偏差
が計測される。
基準反射鏡の底面３と多面鏡の底面７との位相の誤差が
、基準反射鏡の反射面と多面鏡の反射面との位相の誤差
として現れた量と、多面鏡６の角度偏差の和により生じ
る。このため、オートコリメータ４による、計測値の前
記偏差と、第１のオートコリメータ５による、計測値の
前記偏差との差を求めることにより、多面鏡の角度偏差
が計測される。
また実施例では、多面鏡の反射面のうちの一つの面にお
いて説明したが、多面鏡を回転テーブル等の上に置いて
回転させ、反射面を順次計測する場合にも、本発明によ
る計測方法が適用できる。
いて説明したが、多面鏡を回転テーブル等の上に置いて
回転させ、反射面を順次計測する場合にも、本発明によ
る計測方法が適用できる。
なお、実施例では多面鏡において説明したが、−面鏡の
場合でも本発明による計測方法が適用できることは言う
までもない。
場合でも本発明による計測方法が適用できることは言う
までもない。
発明の効果
以上の実施例から明らかなように、本発明の計測方法に
よれば、基準反射鏡の底面のように基準とする面と、多
面鏡の底面のように基準とする面との、位相の誤差によ
り生じる計測誤差に影響されることなく、多面鏡の角度
偏差を計測することができる。
よれば、基準反射鏡の底面のように基準とする面と、多
面鏡の底面のように基準とする面との、位相の誤差によ
り生じる計測誤差に影響されることなく、多面鏡の角度
偏差を計測することができる。
第１図および第２図は本発明の一実施例の説明図、第３
図および第４図は従来技術の説明図、第５図は計測誤差
の説明図である。 １・・・・・・定盤、２・・・・・・基準反射鏡、４・
・・・・・第１のオートコリメータ、５・・・・・・第
２のオートコリメータ、６・・・・・・多面鏡。 第 図 第 図 １− 危！ ２−一一基準反、１虻１４肩ヒ 第 図
図および第４図は従来技術の説明図、第５図は計測誤差
の説明図である。 １・・・・・・定盤、２・・・・・・基準反射鏡、４・
・・・・・第１のオートコリメータ、５・・・・・・第
２のオートコリメータ、６・・・・・・多面鏡。 第 図 第 図 １− 危！ ２−一一基準反、１虻１４肩ヒ 第 図
Claims (1)
- 多面鏡の、反射面の方向に第一の計測器を配置し、基準
面である底面の方向に第二の計測器を配置し、第一の計
測器で基準反射鏡の反射面と多面鏡の反射面の角度偏差
を計測し、第二の計測器で基準反射鏡の基準面である底
面と多面鏡の基準面である底面との角度偏差を計測する
事により、前記の二つの角度偏差の差から多面鏡の角度
偏差を計測する多面鏡の角度偏差の計測方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22936390A JP2847932B2 (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 多面鏡の角度偏差の計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22936390A JP2847932B2 (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 多面鏡の角度偏差の計測方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04109105A true JPH04109105A (ja) | 1992-04-10 |
| JP2847932B2 JP2847932B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=16890997
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22936390A Expired - Lifetime JP2847932B2 (ja) | 1990-08-29 | 1990-08-29 | 多面鏡の角度偏差の計測方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2847932B2 (ja) |
-
1990
- 1990-08-29 JP JP22936390A patent/JP2847932B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2847932B2 (ja) | 1999-01-20 |
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