JPH0410952U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す部分断面図、
第２図は同平面図、第３図はベルトの正面図、第
４図はイオン注入装置の回転盤の平面図、第５図
は同正面図、第６図は従来構成の部分断面図であ
る。 １……盤、３……保持部、４……ウエーハ、６
……支持台、１０……ベルト、１４……傾斜部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 回転する盤に円周方向に沿つてウエーハを保持
   する複数の保持部を設けてなるウエーハ保持機構
   において、 前記保持部に、ウエーハを表面に載せる支持台
   と、前記支持台の外周を添纏するように配置され
   てあり、両端に傾斜部が設けてあるベルトと、前
   記支持台の表面に対して傾斜している軸を中心と
   して回転自在の回転ローラとを具備せしめ、前記
   回転ローラに、前記ベルトの傾斜部を巻取自在と
   してなる ウエーハ保持機構。