JPH04109541A - 電子線装置における電流制御回路 - Google Patents
電子線装置における電流制御回路Info
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- JPH04109541A JPH04109541A JP2228603A JP22860390A JPH04109541A JP H04109541 A JPH04109541 A JP H04109541A JP 2228603 A JP2228603 A JP 2228603A JP 22860390 A JP22860390 A JP 22860390A JP H04109541 A JPH04109541 A JP H04109541A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、電子顕微鏡等のレンズコイルや偏向コイル等
の負荷コイルに供給される電流を制御するための電流制
御回路に関し、特に、基準抵抗器の切り換え制御によっ
て負荷コイルに供給される電流を可変するようにした電
子顕微鏡等における電流制御回路に関する。
の負荷コイルに供給される電流を制御するための電流制
御回路に関し、特に、基準抵抗器の切り換え制御によっ
て負荷コイルに供給される電流を可変するようにした電
子顕微鏡等における電流制御回路に関する。
［従来の技術］
従来、第６図に示すような構成の電子顕微鏡等における
電流制御回路が知られている。
電流制御回路が知られている。
第６図において１は信号発生源である。該信号発生源１
の出力信号Ｖ ｖ ｓ ｌはＤ−Ａ変換器１２に供給さ
れ、この出力Ｖ１が出力抵抗器Ｒ１、帰還抵抗器Ｒｆ、
演算増幅器２及び負荷コイル、例えばレンズコイル３、
複数の基準抵抗器Ｒ３〜Ｒ。
の出力信号Ｖ ｖ ｓ ｌはＤ−Ａ変換器１２に供給さ
れ、この出力Ｖ１が出力抵抗器Ｒ１、帰還抵抗器Ｒｆ、
演算増幅器２及び負荷コイル、例えばレンズコイル３、
複数の基準抵抗器Ｒ３〜Ｒ。
から成る定電流回路４の入力部Ａに印加されている。前
記基準抵抗器Ｒ１〜Ｒ６は例えば抵抗値の異なる複数の
抵抗器（Ｒ，＜Ｒ２＜・・・・・・くＲゎ）で構成され
、該抵抗器の各々にはリレースイッチＲＹ、〜ＲＹ、、
が接続されている。該リレースイッチＲＹ、〜ＲＹ、は
スイッチ切り換え回路５からの制御信号に基づいてオン
／オフされる。
記基準抵抗器Ｒ１〜Ｒ６は例えば抵抗値の異なる複数の
抵抗器（Ｒ，＜Ｒ２＜・・・・・・くＲゎ）で構成され
、該抵抗器の各々にはリレースイッチＲＹ、〜ＲＹ、、
が接続されている。該リレースイッチＲＹ、〜ＲＹ、は
スイッチ切り換え回路５からの制御信号に基づいてオン
／オフされる。
このような構成の電流制御回路ではスイッチ切り換え回
路５によって前記リレースイッチＲＹ。
路５によって前記リレースイッチＲＹ。
〜ＲＹ、をオン／オフして抵抗器Ｒ１〜Ｒアを選択する
ことにより、レンズコイル３に流れる電流１０を変化さ
せることができる。そのため、信号発生源１の出力信号
の変化をＤ−Ａ変換器１２によって一定の変化幅に保ち
、リレースイッチＲＹ、〜ＲＹ、の切り換えによって抵
抗器をＲ１−Ｒ１まで数桁にわたって連続的に変えるこ
とにより、レンズコイル３に流れる電流Ｉ。を最大値か
ら最小値まで連続的に可変することかできる。
ことにより、レンズコイル３に流れる電流１０を変化さ
せることができる。そのため、信号発生源１の出力信号
の変化をＤ−Ａ変換器１２によって一定の変化幅に保ち
、リレースイッチＲＹ、〜ＲＹ、の切り換えによって抵
抗器をＲ１−Ｒ１まで数桁にわたって連続的に変えるこ
とにより、レンズコイル３に流れる電流Ｉ。を最大値か
ら最小値まで連続的に可変することかできる。
［発明が解決しようとする課題］
さて、上述したような構成の電流制御回路において、レ
ンズコイルの出力電流ｌ。の最大値を１として出力電流
■。を最大値から時間と共に直線的に１０−’、１０−
２．・・・・・・１０−″と変化させる場合、まず、基
準抵抗器Ｒ３が接続された状態で、第７図（ｂ）に示す
ようなある一定の変化幅（例えば絶対値表示で１からＯ
まで）で低化するＤ−Ａ変換器１２の出力信号Ｖｉが入
力抵抗Ｒ１を介して演算増幅器に供給されると、第７図
（ａ）に示すように出力電流Ｉ。か最大値１から１０−
１まで減少する。該出力電流の減少に伴ない、第７図（
Ｃ）に示すように時刻ｔ、においてスイッチ切り換え回
路５からの制御信号に基づいてリレースイッチＲＹ、が
オフされると同時にＲＹ２がオンされて抵抗器Ｒ２が選
択的に接続される。また、同図（ｂ）に示すようにスイ
ッチ切り換え回路５からの制御信号の発生と同時に前記
Ｄ−Ａ変換器１２の出力信号Ｖｉが最大値まで復帰され
る。
ンズコイルの出力電流ｌ。の最大値を１として出力電流
■。を最大値から時間と共に直線的に１０−’、１０−
２．・・・・・・１０−″と変化させる場合、まず、基
準抵抗器Ｒ３が接続された状態で、第７図（ｂ）に示す
ようなある一定の変化幅（例えば絶対値表示で１からＯ
まで）で低化するＤ−Ａ変換器１２の出力信号Ｖｉが入
力抵抗Ｒ１を介して演算増幅器に供給されると、第７図
（ａ）に示すように出力電流Ｉ。か最大値１から１０−
１まで減少する。該出力電流の減少に伴ない、第７図（
Ｃ）に示すように時刻ｔ、においてスイッチ切り換え回
路５からの制御信号に基づいてリレースイッチＲＹ、が
オフされると同時にＲＹ２がオンされて抵抗器Ｒ２が選
択的に接続される。また、同図（ｂ）に示すようにスイ
ッチ切り換え回路５からの制御信号の発生と同時に前記
Ｄ−Ａ変換器１２の出力信号Ｖｉが最大値まで復帰され
る。
しかし、実際にはこのリレースイッチの応答が数ｍ５ｅ
ｃから数＋ｍ５ｅｃと遅く、特に、第７図（ｃ）に示す
ような制御信号に対して同図（ｄ）に示すようにＲＹ２
かオンされるまでにはΔｔ１（約８ｍ５ｅｃ）かかり、
またＲＹ、かオフされるまでにはΔｔ２ （約５ｍ５ｅ
ｃ）たけ時間がかかる。そのため、ｔ、からΔｔ１の間
では実際にはＲＹ、はオフされず、またＲＹ２もオンさ
れていないために、前記切り換え回路５からの制御信号
の発生と同時に前記Ｄ−Ａ変換器１２の出力信号ｖ１が
最大値まで復帰されると、第７図（ａ）に示すようにΔ
ｔ１の期間にはレンズコイルに過剰な電流が流れること
になる。また、ｔ、からΔｔ１経過した時点でＲＹ、が
オフされるが、この時まだＲＹ２がオンされないため、
図に示すΔｔ２ ′の期間は電流が流れないことになる
。
ｃから数＋ｍ５ｅｃと遅く、特に、第７図（ｃ）に示す
ような制御信号に対して同図（ｄ）に示すようにＲＹ２
かオンされるまでにはΔｔ１（約８ｍ５ｅｃ）かかり、
またＲＹ、かオフされるまでにはΔｔ２ （約５ｍ５ｅ
ｃ）たけ時間がかかる。そのため、ｔ、からΔｔ１の間
では実際にはＲＹ、はオフされず、またＲＹ２もオンさ
れていないために、前記切り換え回路５からの制御信号
の発生と同時に前記Ｄ−Ａ変換器１２の出力信号ｖ１が
最大値まで復帰されると、第７図（ａ）に示すようにΔ
ｔ１の期間にはレンズコイルに過剰な電流が流れること
になる。また、ｔ、からΔｔ１経過した時点でＲＹ、が
オフされるが、この時まだＲＹ２がオンされないため、
図に示すΔｔ２ ′の期間は電流が流れないことになる
。
そのため、上述のような電流制御回路をヒステリシス特
性を持つヨークを有するレンズの残留磁気やヒステリシ
スの影響を除去するために、最大励磁値から一定時間に
わたって徐々に目的の励磁電流値まで減少させて行くよ
うに使用する場合、途中でコイルに過剰な電流が流れる
ことになるため、完全な残留磁気消去が行えない等の問
題が発生する。
性を持つヨークを有するレンズの残留磁気やヒステリシ
スの影響を除去するために、最大励磁値から一定時間に
わたって徐々に目的の励磁電流値まで減少させて行くよ
うに使用する場合、途中でコイルに過剰な電流が流れる
ことになるため、完全な残留磁気消去が行えない等の問
題が発生する。
また、このような電流制御回路の信号発生源１を走査信
号発生源とし、負荷を走査電子顕微鏡の偏向コイルとし
て走査電子顕微鏡の走査倍率の制御に用いた場合、倍率
切り換え時に前述過剰な電流がコイルに流れると残留磁
気やヒステリシスの影響によって、走査像のシフトが発
生することになる。
号発生源とし、負荷を走査電子顕微鏡の偏向コイルとし
て走査電子顕微鏡の走査倍率の制御に用いた場合、倍率
切り換え時に前述過剰な電流がコイルに流れると残留磁
気やヒステリシスの影響によって、走査像のシフトが発
生することになる。
本発明は上述した問題点を考慮し、基準抵抗の切り換え
時に発生する過渡電流をなくし、電流制御回路の出力電
流Ｉ。を最大値から直線的に変化させることができる電
子顕微鏡等における電流制御回路を提供することを目的
としている。
時に発生する過渡電流をなくし、電流制御回路の出力電
流Ｉ。を最大値から直線的に変化させることができる電
子顕微鏡等における電流制御回路を提供することを目的
としている。
［課題を解決するための手段］
第１の本発明は、信号発生源からの出力をＤ−Ａ変換器
、抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によ
って構成される電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器
の切り換え制御によって前記負荷に供給される電流を可
変する電子顕微鏡等における電流制御回路において、前
記基準抵抗器の切り換え制御中は前記Ｄ−Ａ変換器の出
力信号を切り換えスイッチの応答遅れ期間だけ一時的に
ゼロまたは最小値にするようにしたことを特徴としてい
る。
、抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によ
って構成される電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器
の切り換え制御によって前記負荷に供給される電流を可
変する電子顕微鏡等における電流制御回路において、前
記基準抵抗器の切り換え制御中は前記Ｄ−Ａ変換器の出
力信号を切り換えスイッチの応答遅れ期間だけ一時的に
ゼロまたは最小値にするようにしたことを特徴としてい
る。
第２の本発明は、信号発生源からの出力をＤＡ変換器、
抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によっ
て構成される電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器の
切り換え制御によって前記負荷に供給される電流を可変
する電子顕微鏡等における電流制御回路において、前記
基準抵抗器の切り換え制御前に切り換えスイッチの応答
遅れ期間だけ先行して切り換え信号を発生するようにし
たことを特徴としている。
抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によっ
て構成される電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器の
切り換え制御によって前記負荷に供給される電流を可変
する電子顕微鏡等における電流制御回路において、前記
基準抵抗器の切り換え制御前に切り換えスイッチの応答
遅れ期間だけ先行して切り換え信号を発生するようにし
たことを特徴としている。
［実施例］
以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第１
図は第１及び第２の本発明の一実施例を説明するための
構成図、第２図（ａ）乃至（ｄ）は第１の本発明による
電流制御回路の動作を説明するための図、第３図及び第
５図は制御信号発生部で発生されるコードを説明するた
めの表、第４図（ａ、 ）乃至（ｄ）は第２の本発明に
よる電流制御回路の動作を説明するための図である。
図は第１及び第２の本発明の一実施例を説明するための
構成図、第２図（ａ）乃至（ｄ）は第１の本発明による
電流制御回路の動作を説明するための図、第３図及び第
５図は制御信号発生部で発生されるコードを説明するた
めの表、第４図（ａ、 ）乃至（ｄ）は第２の本発明に
よる電流制御回路の動作を説明するための図である。
第１図において、第６図と同一の構成要素には同一番号
を付すと共に説明を省略する。第１図に示す本発明の実
施例が従来例と異なるのは、制御信号発生部１０、デコ
ーダ１１、Ｄ−Ａ変換器１２を設け、制御信号発生部１
０で発生されるコードをデコーダを介してＤ−Ａ変換器
及びスイッチ切り換え回路５に供給し、基準抵抗器の切
り換え制御中は前記デコーダから出力信号に基づいてＤ
−Ａ変換器の出力電圧Ｖ１が一時的にセロまたは最小値
となるようにした点である。
を付すと共に説明を省略する。第１図に示す本発明の実
施例が従来例と異なるのは、制御信号発生部１０、デコ
ーダ１１、Ｄ−Ａ変換器１２を設け、制御信号発生部１
０で発生されるコードをデコーダを介してＤ−Ａ変換器
及びスイッチ切り換え回路５に供給し、基準抵抗器の切
り換え制御中は前記デコーダから出力信号に基づいてＤ
−Ａ変換器の出力電圧Ｖ１が一時的にセロまたは最小値
となるようにした点である。
制御信号発生部１０ではＤ−Ａ変換器１２の出力電圧Ｖ
、を絶対値の比で１（最大値）からその１／１０までの
範囲で連続的に変化させるためのコードと、スイッチＲ
Ｙ、〜ＲＹｆｉを切り換えて出力電流Ｉ０を１桁分変化
させるためのコードか発生される。該コードはデコーダ
１１を介してＤ−Ａ変換器１２及びスイッチ切り換え回
路５に供給される。該Ｄ−Ａ変換器１２には信号発生源
１より電圧Ｖ ｒ ｅ ｌか供給されており、前記デコ
ーダ１１からの信号に基づいて前記信号発生源コの出力
電圧Ｖ ｒ ｅ Ｉが分割されて出力電圧Ｖｌが形成さ
れる。また、前記Ｄ−Ａ変換器１２への電圧値の設定信
号Ｖｉの供給と同時にスイッチ切り換え回路５にスイッ
チの選択信号が供給されており、例えば、第３図に示す
ように電圧値の設定信号Ｖｉのデータが１．０（最大値
）からＯｌｌまでのときは、スイッチＲＹ、が選択され
るスイッチの選択信号が切り換え回路５に供給される。
、を絶対値の比で１（最大値）からその１／１０までの
範囲で連続的に変化させるためのコードと、スイッチＲ
Ｙ、〜ＲＹｆｉを切り換えて出力電流Ｉ０を１桁分変化
させるためのコードか発生される。該コードはデコーダ
１１を介してＤ−Ａ変換器１２及びスイッチ切り換え回
路５に供給される。該Ｄ−Ａ変換器１２には信号発生源
１より電圧Ｖ ｒ ｅ ｌか供給されており、前記デコ
ーダ１１からの信号に基づいて前記信号発生源コの出力
電圧Ｖ ｒ ｅ Ｉが分割されて出力電圧Ｖｌが形成さ
れる。また、前記Ｄ−Ａ変換器１２への電圧値の設定信
号Ｖｉの供給と同時にスイッチ切り換え回路５にスイッ
チの選択信号が供給されており、例えば、第３図に示す
ように電圧値の設定信号Ｖｉのデータが１．０（最大値
）からＯｌｌまでのときは、スイッチＲＹ、が選択され
るスイッチの選択信号が切り換え回路５に供給される。
そして、電圧値の設定信号Ｖｉが例えば、最初の値１．
０に戻る前にスイッチＲＹ２がオンされると共にＲＹｌ
がオフされスイッチの選択信号が切り換え回路５に供給
される。このときの電圧値の設定信号Ｖｉは０または最
小値に設定されており、この状態を第２図（ａ）に示す
ように予め設定された停止時間Δｔだけ持続させる（制
御信号発生部１０からのデータ出力を停止する）ことに
よってＤ−Ａ変換器１２の出力電圧ＶｉをＯＶまたは最
小値として、この期間に同図（ｄ）に示すように前記ス
イッチの切り換えが完了されるようにしている。
０に戻る前にスイッチＲＹ２がオンされると共にＲＹｌ
がオフされスイッチの選択信号が切り換え回路５に供給
される。このときの電圧値の設定信号Ｖｉは０または最
小値に設定されており、この状態を第２図（ａ）に示す
ように予め設定された停止時間Δｔだけ持続させる（制
御信号発生部１０からのデータ出力を停止する）ことに
よってＤ−Ａ変換器１２の出力電圧ＶｉをＯＶまたは最
小値として、この期間に同図（ｄ）に示すように前記ス
イッチの切り換えが完了されるようにしている。
ここで、前記停止時間Δｔは使用されるスイッチング素
子のオン状態からオフ状態またはオフ状態からオン状態
切り換え特性を実験的に測定し、そのどちらか緩慢な一
方より僅かに長い時間に設定されることが好ましい。以
降、電圧値の設定信号Ｖｉが１，０から０，１までで、
出力電流が前のスイッチ接続状態よりも１桁低くなるよ
うにするためスイッチＲＹ２が選択され、該スイッチＲ
Ｙ２を選択する信号が切り換え回路に持続して供給され
る。
子のオン状態からオフ状態またはオフ状態からオン状態
切り換え特性を実験的に測定し、そのどちらか緩慢な一
方より僅かに長い時間に設定されることが好ましい。以
降、電圧値の設定信号Ｖｉが１，０から０，１までで、
出力電流が前のスイッチ接続状態よりも１桁低くなるよ
うにするためスイッチＲＹ２が選択され、該スイッチＲ
Ｙ２を選択する信号が切り換え回路に持続して供給され
る。
これにより、スイッチの切り換え時に過渡電流が発生し
なくなるので、電流制御回路の出力電流Ｉｏを最大値か
ら最小値まで直線的に変化させることができるようにな
る。
なくなるので、電流制御回路の出力電流Ｉｏを最大値か
ら最小値まで直線的に変化させることができるようにな
る。
次に、第４図及び第５図に基づいて第２の本発明の動作
について説明する。
について説明する。
第２の本発明では、出力電流値Ｉ。を数桁にわたって一
定の時間をかけて連続的に変化させる場合、即ち、出力
電流値■。の変化のシーケンスが固定されている場合、
抵抗器の切り換え制御の前にスイッチング素子のオン状
態からオフ状態への応答時間Δｔ ＯＦＦ及びオフ状態
からオン状態への応答時間ΔｔＯＮだけ先行して切り換
え信号発生するようしたものである。
定の時間をかけて連続的に変化させる場合、即ち、出力
電流値■。の変化のシーケンスが固定されている場合、
抵抗器の切り換え制御の前にスイッチング素子のオン状
態からオフ状態への応答時間Δｔ ＯＦＦ及びオフ状態
からオン状態への応答時間ΔｔＯＮだけ先行して切り換
え信号発生するようしたものである。
第４図（８）に示すようにレンズコイルの出力電流Ｉ。
が最大値を１として一定の速度で１０１０−２．・・・
・・・１０−″と変化するように設定されている場合に
ついて、その動作を説明する。まず、ＲＹ Ｉかオンさ
れ基準抵抗器Ｒ１が接続された状態で、第４図（ｂ）に
示すようなある一定の変化幅（例えば絶対値表示で１か
ら０． １まで）で変化するＤ−Ａ変換器１２の出力信
号Ｖｉが入力抵抗Ｒ１を介して演算増幅器２に供給され
る。このとき、第４図（ａ）に示すように出力電流ＩＯ
が最大値１から］Ｏ−１まで減少する。該出力電流の減
少に伴ない、同図に示すように時刻ｔ１においてスイッ
チ切り換え回路５からの制御信号に基づいてリレースイ
ッチＲＹ、がオフされると同時にＲＹ２がオンされて抵
抗器Ｒ２か接続されるようにするために、同図（ｃ）に
示すようにスイッチ切り換え回路５の制御信号を抵抗器
の切り換え制御の時刻ｔ、より前の時刻（ｔｉ−Δｔ
ＯＮ）にスイッチング素子のオン信号を、時刻（１＋
−Δ（。ｐｐ）にオフ信号を発生するようにしている。
・・・１０−″と変化するように設定されている場合に
ついて、その動作を説明する。まず、ＲＹ Ｉかオンさ
れ基準抵抗器Ｒ１が接続された状態で、第４図（ｂ）に
示すようなある一定の変化幅（例えば絶対値表示で１か
ら０． １まで）で変化するＤ−Ａ変換器１２の出力信
号Ｖｉが入力抵抗Ｒ１を介して演算増幅器２に供給され
る。このとき、第４図（ａ）に示すように出力電流ＩＯ
が最大値１から］Ｏ−１まで減少する。該出力電流の減
少に伴ない、同図に示すように時刻ｔ１においてスイッ
チ切り換え回路５からの制御信号に基づいてリレースイ
ッチＲＹ、がオフされると同時にＲＹ２がオンされて抵
抗器Ｒ２か接続されるようにするために、同図（ｃ）に
示すようにスイッチ切り換え回路５の制御信号を抵抗器
の切り換え制御の時刻ｔ、より前の時刻（ｔｉ−Δｔ
ＯＮ）にスイッチング素子のオン信号を、時刻（１＋
−Δ（。ｐｐ）にオフ信号を発生するようにしている。
即ち、第５図に示すように、電圧値の設定信号Ｖｉのデ
ータが１．０（最大値）から０． １まで到達する以前
に、先ずスイッチＲＹ２をオンするための選択データを
出力し、次いてスイッチＲＹ、をオフするためデータを
出力することにより、第４図（ｄ）に示すように時刻ｔ
１において両スイッチが略同時にオンまたはオフされる
ようにしている。 これにより、スイッチの切り換え時
に過渡電流が発生しなくなるので、第４図（ａ）に示す
ように電流制御回路の出力電流■。を最大値から最小値
まで不動作時間なしに直線的に変化させることができる
ようになる。
ータが１．０（最大値）から０． １まで到達する以前
に、先ずスイッチＲＹ２をオンするための選択データを
出力し、次いてスイッチＲＹ、をオフするためデータを
出力することにより、第４図（ｄ）に示すように時刻ｔ
１において両スイッチが略同時にオンまたはオフされる
ようにしている。 これにより、スイッチの切り換え時
に過渡電流が発生しなくなるので、第４図（ａ）に示す
ように電流制御回路の出力電流■。を最大値から最小値
まで不動作時間なしに直線的に変化させることができる
ようになる。
なお、上述した実施例は本発明の一実施例に過ぎず、本
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例においては、切り換えスイッチにリレース
イッチを用いた場合について説明したが、切り換えスイ
ッチは種々のスイッチング素子、例えば、半導体スイッ
チなどであってもスイッチングの応答時間が安定してい
るものであれば適用することができる。
発明は種々変形して実施することができる。例えば、上
述した実施例においては、切り換えスイッチにリレース
イッチを用いた場合について説明したが、切り換えスイ
ッチは種々のスイッチング素子、例えば、半導体スイッ
チなどであってもスイッチングの応答時間が安定してい
るものであれば適用することができる。
また、本発明では電流を時間と共に減少させる場合につ
いて説明したが、電流を時間と共に増大させる場合につ
いても適用することができるし、電流振幅を最大から最
小に変化させてヒステリシスループを小さくするヒステ
リシス除去にも適用することができる。
いて説明したが、電流を時間と共に増大させる場合につ
いても適用することができるし、電流振幅を最大から最
小に変化させてヒステリシスループを小さくするヒステ
リシス除去にも適用することができる。
［発明の効果］
以上の説明から明らかなように、第１の本発明によれば
、信号発生源からの出力をＤ−Ａ変換器。
、信号発生源からの出力をＤ−Ａ変換器。
抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によっ
て構成される電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器の
切り換え制御によって前記負荷に供給される電流を可変
する電子顕微鏡等における電流制御回路において、前記
基準抵抗器の切り換え制御中は前記Ｄ−Ａ変換器の出力
信号を切り換えスイッチの応答遅れ期間だけ一時的にゼ
ロまたは最小値にするようにしたことにより、スイッチ
の切り換え時に過渡電流が発生しなくなるので、電流制
御回路の出力電流Ｉ。を最大値から最小値まであるいは
最小値から最大値まで直線的に変化させることができる
ようになるため、残留磁気やヒステリシスの影響を低減
することができる。
て構成される電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器の
切り換え制御によって前記負荷に供給される電流を可変
する電子顕微鏡等における電流制御回路において、前記
基準抵抗器の切り換え制御中は前記Ｄ−Ａ変換器の出力
信号を切り換えスイッチの応答遅れ期間だけ一時的にゼ
ロまたは最小値にするようにしたことにより、スイッチ
の切り換え時に過渡電流が発生しなくなるので、電流制
御回路の出力電流Ｉ。を最大値から最小値まであるいは
最小値から最大値まで直線的に変化させることができる
ようになるため、残留磁気やヒステリシスの影響を低減
することができる。
また、第２の本発明によれば、信号発生源からの出力を
Ｄ−Ａ変換器１抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基
準抵抗器によって構成される電流制御回路に供給し、前
記基準抵抗器の切り換え制御によって前記負荷に供給さ
れる電流を可変する電子顕微鏡等における電流制御回路
において、前記基準抵抗器の切り換え制御前に切り換え
スイッチの応答遅れ期間だけ先行して切り換え信号を発
生するようにしたことにより、スイッチの切り換え時に
過渡電流が発生しなくなるので、電流制御回路の出力電
流１゜を最大値から最小値まであるいは最小値から最大
値まで不動作時間なしに直線的に変化させることができ
るようになるため、残留磁気やヒステリシスの影響の除
去を短時間で完了することかできる。
Ｄ−Ａ変換器１抵抗器、増幅器、負荷コイル、複数の基
準抵抗器によって構成される電流制御回路に供給し、前
記基準抵抗器の切り換え制御によって前記負荷に供給さ
れる電流を可変する電子顕微鏡等における電流制御回路
において、前記基準抵抗器の切り換え制御前に切り換え
スイッチの応答遅れ期間だけ先行して切り換え信号を発
生するようにしたことにより、スイッチの切り換え時に
過渡電流が発生しなくなるので、電流制御回路の出力電
流１゜を最大値から最小値まであるいは最小値から最大
値まで不動作時間なしに直線的に変化させることができ
るようになるため、残留磁気やヒステリシスの影響の除
去を短時間で完了することかできる。
第１図は第１及び第２の本発明の一実施例を説明するた
めの構成図、第２図（ａ）乃至（ｄ）は第１の本発明に
よる電流制御回路の動作を説明するための図、第３図及
び第５図は制御信号発生部で発生されるコードを説明す
るための表、第４図（ａ）乃至（ｄ）は第２の本発明に
よる電流制御回路の動作を説明するための図である。第
６図及び第７図は従来例を説明するための図である。 １：信号発生源 ２：演算増幅器３：レンズ
コイル ４：定電流回路５：スイッチ切り換え
回路 １０；制御信号発生部′ １１：デコーダ１２ ：
Ｄ−Ａ変換器 Ｒ１：入力抵抗器 Ｒ１：帰還抵抗器Ｒ１〜Ｒ
ｏ ：基準抵抗器 ＲＹ、−ＲＹ、：リレースイッチ
めの構成図、第２図（ａ）乃至（ｄ）は第１の本発明に
よる電流制御回路の動作を説明するための図、第３図及
び第５図は制御信号発生部で発生されるコードを説明す
るための表、第４図（ａ）乃至（ｄ）は第２の本発明に
よる電流制御回路の動作を説明するための図である。第
６図及び第７図は従来例を説明するための図である。 １：信号発生源 ２：演算増幅器３：レンズ
コイル ４：定電流回路５：スイッチ切り換え
回路 １０；制御信号発生部′ １１：デコーダ１２ ：
Ｄ−Ａ変換器 Ｒ１：入力抵抗器 Ｒ１：帰還抵抗器Ｒ１〜Ｒ
ｏ ：基準抵抗器 ＲＹ、−ＲＹ、：リレースイッチ
Claims (2)
- （１）信号発生源からの出力をＤ−Ａ変換器、抵抗器、
増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によって構成さ
れる電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器の切り換え
制御によって前記負荷に供給される電流を可変する電子
顕微鏡等における電流制御回路において、前記基準抵抗
器の切り換え制御中は前記Ｄ−Ａ変換器の出力信号を切
り換えスイッチの応答遅れ期間だけ一時的にゼロまたは
最小値にするようにしたことを特徴とする電子顕微鏡等
における電流制御回路。 - （２）信号発生源からの出力をＤ−Ａ変換器、抵抗器、
増幅器、負荷コイル、複数の基準抵抗器によって構成さ
れる電流制御回路に供給し、前記基準抵抗器の切り換え
制御によって前記負荷に供給される電流を可変する電子
顕微鏡等における電流制御回路において、前記基準抵抗
器の切り換え制御前に切り換えスイッチの応答遅れ期間
だけ先行して切り換え信号を発生するようにしたことを
特徴とする電子顕微鏡等における電流制御回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2228603A JP2868595B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 電子線装置における電流制御回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2228603A JP2868595B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 電子線装置における電流制御回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04109541A true JPH04109541A (ja) | 1992-04-10 |
| JP2868595B2 JP2868595B2 (ja) | 1999-03-10 |
Family
ID=16878941
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2228603A Expired - Fee Related JP2868595B2 (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 電子線装置における電流制御回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2868595B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6800189B2 (en) | 1999-08-18 | 2004-10-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of forming insulating film of conductive cap by anodizing or electrodeposition |
| WO2024180813A1 (ja) * | 2023-03-01 | 2024-09-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置 |
-
1990
- 1990-08-30 JP JP2228603A patent/JP2868595B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6800189B2 (en) | 1999-08-18 | 2004-10-05 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Method of forming insulating film of conductive cap by anodizing or electrodeposition |
| US6866893B2 (en) | 1999-08-18 | 2005-03-15 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Conductive cap, electronic component, and method of forming insulating film of conductive cap |
| WO2024180813A1 (ja) * | 2023-03-01 | 2024-09-06 | 浜松ホトニクス株式会社 | Ｘ線発生装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2868595B2 (ja) | 1999-03-10 |
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