JPH04110167U - 回転処理装置の余剰塗布液回収装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 余剰塗布液回収タンク15を交換する際に、カ
ップ排液管11の下端部からしたたる余剰塗布液Qでタン
ク収納容器20内が汚れないようにする。 【構成】 カップ排液管11の下端部をタンク収納容器20
内に突入し、余剰塗布液回収タンク15を収納容器20内に
スライド自在に収容し、タンク収納容器20内の奥寄隙間
にスライダー34設け、スライダー34上に雫回収容器38配
置し、スライダー34を余剰塗布液回収タンク15の出し入
れ動作と連動させて進退移動可能に構成する。スライダ
ー34の前進位置では雫回収容器38をカップ排液管11の突
入下端部に対向させ、スライダー34の後退位置では余剰
塗布液回収タンク15の回収口16をカップ排液管11の突入
下端部に対向させ、余剰液回収タンク15の交換時には、
カップ排液管11の下端部が余剰塗布液回収タンク15の回
収口16もしくは雫回収容器38の上側にオーバーラップし
た状態でスライダー34を進退させる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

この考案は回転処理装置の余剰塗布液回収装置に関し、さらに詳しくは半導体 基板や液晶用ガラス基板等の被処理基板(以下単に基板と称する)の表面処理に用 いられたフォトレジスト液や、現像液、洗浄液等の余剰塗布液を回収するのに用 いられる回転処理装置の余剰塗布液回収装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

この種の余剰塗布液回収装置は、従来より例えば図４で示すものが知られてい る。それは回転処理装置１のスピンカップ５に連通するカップ排液管５１と、そ のカップ排液管５１より流下する余剰塗布液Ｑを回収する余剰塗布液回収タンク ５５と、開閉自在のタンク挿入口６１を有し余剰塗布液回収タンク５５を収容す るタンク収納容器６０とから成り、カップ排液管５１の下端部をタンク収納容器 ６０内に突入するとともに、余剰塗布液回収タンク５５をタンク収納容器６０内 へ進退スライド自在に構成し、余剰塗布液回収タンク５５の回収口５６をカップ 排液管５１の突入下端部５２に対向させて余剰塗布液Ｑを回収するとともに、タ ンク収納容器６０に排気口６５を設けて余剰塗布液回収タンク５５内より漏出す る余剰塗布液蒸気Ｇを強制排気するように構成されている。なお、図４中の符号 ２は基板Ｗを吸着保持して回転するスピンチャック、３はスピンチャック２を回 転駆動する駆動モータ、４は処理液吐出ノズルである。また、スピンカップ５に は図示しない排気口が別に設けられており、スピンカップ５内の余剰塗布液蒸気 を別途強制排気するように構成されている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

上記従来例では余剰塗布液回収タンク５５の交換時に、カップ排液管５１内に 残留した余剰塗布液Ｑがカップ排液管５１の下端部５２からしたたり、タンク収 納容器６０内を汚したり、その余剰塗布液が固まって余剰塗布液回収タンク５５ の着脱が困難になり、ときにはその固まりに余剰塗布液回収タンク５５が乗り上 げて傾き、当該回収タンク５５が満杯であるかのように排液センサーが誤動作す る等の不都合があった。 本考案はこのような事情を考慮してなされたもので、余剰塗布液回収タンク５ ５を交換する際に、カップ排液管５１の下端部５２からしたたる余剰塗布液Ｑで タンク収納容器６０内が汚れたり、上記不都合を生じないようにすることを技術 課題とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

本考案は上記課題を解決するものとして、以下のように構成される。 即ち、回転処理装置のスピンカップに連通するカップ排液管と、そのカップ排 液管より流下する余剰塗布液を回収する余剰塗布液回収タンクと、余剰塗布液回 収タンクを出し入れ自在に収容するタンク収納容器とから成り、カップ排液管の 下端部をタンク収納容器内に突入するとともに、余剰塗布液回収タンクをタンク 収納容器内へ進退スライド自在に構成し、余剰塗布液回収タンクの回収口をカッ プ排液管の突入下端部に対向させて余剰塗布液を回収するように構成した回転処 理装置の余剰塗布液回収装置において、 タンク収納容器内の奥寄隙間にスライダーを設け、スライダーを余剰塗布液回 収タンクの出し入れ動作と連動させて前進位置と後退位置との間で進退移動可能 に構成するとともに、スライダー上に雫回収容器を着脱自在に配置し、 スライダーの前進位置では雫回収容器がカップ排液管の突入下端部に対向し、 スライダーの後退位置では余剰塗布液回収タンクの回収口がカップ排液管の突入 下端部に対向するように構成し、かつスライダーの前進及び後退に際し、カップ 排液管の下端部が余剰塗布液回収タンクの回収口もしくは雫回収容器の上側にオ ーバーラップするように構成したことを特徴とするものである。

【０００５】

【作 用】

本考案では、タンク収納容器内の奥寄隙間にスライダーが設けられ、スライダ ーは余剰塗布液回収タンクの出し入れ動作と連動して前進位置と後退位置との間 で進退移動する。スライダー上には雫回収容器が着脱自在に配置され、余剰塗布 液回収タンクをタンク収納容器内に収納した状態では、スライダーは余剰塗布液 回収タンクによって押しやられて後退位置にあり、この位置では余剰塗布液回収 タンクの回収口がカップ排液管の突入下端部に対向し、余剰塗布液を回収する。 また、余剰塗布液回収タンクをタンク収納容器外に取り出した状態では、スラ イダーは前進位置にあり、この位置では雫回収容器がカップ排液管の突入下端部 に対向し、カップ排液管よりしたたり落ちる余剰塗布液を雫回収容器で回収する 。そして余剰塗布液回収タンク交換時にスライダーが前進・後退する際には、カ ップ排液管の下端部が余剰塗布液回収タンクの回収口もしくは雫回収容器の上側 にオーバーラップした状態で前進・後退する。これにより、余剰塗布液が回収容 器外にこぼれ出ることはなくなり、タンク収納容器内を汚すおそれもなくなる。

【０００６】

【実施例】

以下本考案の実施例を図面に基づいて説明する。 図１は本考案に係る余剰塗布液回収装置の第１の実施例を示す縦断面図であり 、符号１０は余剰塗布液回収装置全体を示す。 この余剰塗布液回収装置１０は、図４と同様の回転処理装置１のスピンカップ ５に連通するカップ排液管１１と、そのカップ排液管１１より流下する余剰塗布 液Ｑを回収する余剰塗布液回収タンク１５と、開閉自在のタンク挿入口２１を有 し余剰塗布液回収タンク１５を出し入れ自在に収容するタンク収納容器２０と、 タンク収納容器２０内の奥寄隙間に設けれられたスライダー３４と、スライダー ３４上に着脱自在に配置された雫回収容器３８とから成り、余剰塗布液回収タン ク１５内に余剰塗布液Ｑを回収するとともに、タンク交換の際にカップ排液管１ １よりしたたり落ちる余剰塗布液Ｑを雫回収容器３８で回収するように構成し、 タンク収納容器２０に排気口２５を設けて余剰塗布液回収タンク１５内より漏出 する塗布液蒸気Ｇを強制排気するように構成されている。

【０００７】 上記カップ排液管１１は排液管本体１１ａとカップ排液管１１の下端部を構成 するＬ字状の連通部材１２とから成る。この連通部材１２はタンク収納容器２０ の後側上部に固設されており、連通部材１２の上端部に形成した雌形連通口１２ ａには排液管本体１１ａの下端部が嵌入され、連通部材１２の下端部に形成した 雄形連通口１２ｂはタンク収納容器２０内の余剰塗布液回収タンク１５の回収口 １６内に突入されている。

【０００８】 タンク収納容器２０の前側には余剰塗布液回収タンク１５を出し入れする挿入 口２１が開口されており、この挿入口２１には開閉蓋２２が蝶着されている。そ してタンク収納容器２０内の底部には余剰塗布液回収タンク１５の載置台３０が スライドレール３１を介してスライド自在に設けられ、余剰塗布液回収タンク１ ５をスライドさせて出し入れするように構成されている。なお図１中の符号２４ は開閉蓋２２に固定された一方のタンク保持具、２６はタンク収納容器２０の後 壁に固定された他方のタンク保持具、２７は余剰塗布液回収タンク１５の有無を 検出するセンサーである。

【０００９】 一方、余剰塗布液回収タンク１５の回収口１６はカップ排液管１１の前記雄形 連通口（以下突入下端部という）１２ｂに対向させて形成されている。即ち、カ ップ排液管１１の突入下端部１２ｂと余剰塗布液回収タンク１５のスライド方向 （矢印Ａ）とをほぼ一致させ、余剰塗布液回収タンク１５をタンク収納容器２０ 内へスライドさせて挿入することにより、当該突入下端部１２ｂが余剰塗布液回 収タンク１５の余剰塗布液回収口１６内に遊嵌状態で嵌入するように構成されて いる。

【００１０】 スライダー３４はタンク収納容器２０内の奥寄隙間に設けられ、このスライダ ー３４は図１及び図２で示すように、タンク収納容器２０の奥壁２０ａに固定さ れたスライド支持具３５と、スライド支持具３５の上をスライド可能に設けられ たスライド本体３６と、スライド本体３６をタンク挿入口２１側へ付勢する付勢 バネ３７と、スライド本体３６を前進位置に規制するストッパー（図示せず）と を具備して成り、スライド本体３６が余剰塗布液回収タンク１５の出し入れ動作 と連動して、図２中の実線で示す前進位置と図１中の実線で示す後退位置との間 で進退移動するように構成されている。

【００１１】 雫回収容器３８はスライド本体３６上に着脱自在に配置され、余剰塗布液回収 タンク１５をタンク収納容器２０内に収納した状態では、スライド本体３６は余 剰塗布液回収タンク１５によって押しやられて後退位置にあり、カップ排液管１ １の突入下端部１２ｂが余剰塗布液回収タンク１５の回収口１６内に嵌入して、 余剰塗布液Ｑを回収するように構成され、この状態では余剰塗布液回収タンク１ ５の回収口１６の先端部分が雫回収容器３８の上側にオーバーラップするように 構成されている。

【００１２】 また、余剰塗布液回収タンク１５をタンク収納容器２０外に取り出す際には、 スライド本体３６は付勢手段３７でタンク挿入口２１側へ付勢されて前進位置へ 移動し、この前進位置では図２で示すように、雫回収容器３８がカップ排液管１ １の突入下端部１２ｂに対向し、カップ排液管の突入下端部１２ｂよりしたたり 落ちる余剰塗布液を雫回収容器３８で回収するように構成されている。そしてス ライド本体３６の後退位置から前進位置への移動時及び前進位置から後退位置へ の移動時には、余剰塗布液回収タンク１５の回収口１６の先端部分が雫回収容器 ３８の上側にオーバーラップした状態で雫回収容器３８が前進するように構成さ れている。即ち、カップ排液管１１の下端部が余剰塗布液回収タンク１５の回収 口１６もしくは雫回収容器３８の上側にオーバーラップすることになる。これに より余剰塗布液回収タンク１５の交換時に余剰塗布液Ｑが回収容器３８外にした たり落ちてタンク収納容器２０内を汚すことはなくなる。

【００１３】 図３は本考案に係る余剰塗布液回収装置の第２の実施例を示す要部の縦断面図 である。この実施例では、カップ排液管１１の下端部１１ｂがタンク収納容器２ ０内に垂直に突入され、余剰塗布液回収タンク１５の回収口１６を上向きに形成 して、回収口１６に漏斗１６Ａを挿嵌し、カップ排液管１１より流下する余剰塗 布液Ｑを回収するように構成されている。この場合、漏斗１６Ａは余剰塗布液回 収タンク１５の回収口１６の一部分を構成する。なお、スライダー３４やその他 の点は前記第１の実施例と同様に構成されている。

【００１４】 上記実施例１〜２では、いずれもスライダー３４がスライド支持具３５と、ス ライド本体３６と、付勢バネ３７と図示しないストッパーとによって構成されて いるものとして説明したが、本考案はこれに限らず適宜変更を加えて実施するこ とができる。即ち、余剰塗布液回収タンクと連動してスライドする構成のもので あれば良い。また余剰塗布液回収タンク１５をタンク収納容器内にスライドさせ て出し入れする構成についても適宜変更を加えて実施することができる。

【００１５】

【考案の効果】

以上の説明で明らかなように、本考案ではタンク収納容器内の奥寄隙間にスラ イダーを設け、スライダーを余剰塗布液回収タンクの出し入れ動作と連動して前 進位置と後退位置との間で進退移動するように構成し、スライダー上に雫回収容 器を着脱自在に配置し、カップ排液管の下端部が余剰塗布液回収タンクの回収口 もしくは雫回収容器の上側にオーバーラップした状態で雫回収容器が前進・後退 するように構成したので、余剰塗布液回収タンクの交換時に余剰塗布液が回収容 器外にしたたり落ちてタンク収納容器内を汚すことはなくなる。これにより、余 剰塗布液回収タンクの着脱が困難になり、塗布液の固まりに余剰塗布液回収タン クが乗り上げて傾き、排液センサーが誤動作する等の不都合を解消することがで きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案に係る余剰塗布液回収装置の第１の実施
例を示す縦断面図である。

【図２】本考案に係るスライダーの動作説明図である。

【図３】本考案の別の実施例を示す動作説明図である。

【図４】従来例に係る余剰塗布液回収装置の縦断面図で
ある。

【符号の説明】

１…回転処理装置、 ５…スピンカッ
プ、１０…余剰塗布液回収装置、 １１…カッ
プ排液管、１２ｂ…カップ排液管の突入下端部、１５…
余剰塗布液回収タンク、１６…余剰塗布液回収タンクの
回収口、２０…タンク収納容器、２１…タンク収納容器
のタンク挿入口、３４…スライダー、３８…雫回収容
器、 Ｑ…余剰塗布液、Ｗ…基板。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁵ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/304 ３４１ Ｓ 8831−4Ｍ 21/308 Ｚ 7342−4Ｍ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転処理装置のスピンカップに連通する
   カップ排液管と、そのカップ排液管より流下する余剰塗
   布液を回収する余剰塗布液回収タンクと、余剰塗布液回
   収タンクを出し入れ自在に収容するタンク収納容器とか
   ら成り、カップ排液管の下端部をタンク収納容器内に突
   入するとともに、余剰塗布液回収タンクをタンク収納容
   器内へ進退スライド自在に構成し、余剰塗布液回収タン
   クの回収口をカップ排液管の突入下端部に対向させて余
   剰塗布液を回収するように構成した回転処理装置の余剰
   塗布液回収装置において、タンク収納容器内の奥寄隙間
   にスライダーを設け、スライダーを余剰塗布液回収タン
   クの出し入れ動作と連動させて前進位置と後退位置との
   間で進退移動可能に構成するとともに、スライダー上に
   雫回収容器を着脱自在に配置し、スライダーの前進位置
   では雫回収容器がカップ排液管の突入下端部に対向し、
   スライダーの後退位置では余剰塗布液回収タンクの回収
   口がカップ排液管の突入下端部に対向するように構成
   し、かつスライダーの前進及び後退に際し、カップ排液
   管の下端部が余剰塗布液回収タンクの回収口もしくは雫
   回収容器の上側にオーバーラップするように構成したこ
   とを特徴とする回転処理装置の余剰塗布液回収装置。