JPH04110618A - 液面センサー - Google Patents
液面センサーInfo
- Publication number
- JPH04110618A JPH04110618A JP2230312A JP23031290A JPH04110618A JP H04110618 A JPH04110618 A JP H04110618A JP 2230312 A JP2230312 A JP 2230312A JP 23031290 A JP23031290 A JP 23031290A JP H04110618 A JPH04110618 A JP H04110618A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid level
- liquid
- level sensor
- electrodes
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 59
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- -1 polyphenylene sulfate Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000002828 fuel tank Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000010705 motor oil Substances 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野〕
この発明は、液体の液面レベルを測定するのに用いられ
る液面センサーに関する。
る液面センサーに関する。
液体の液面レベルを測定するものとしては、従来から、
フロートによる機械式の液面計と、電極が液体につかる
ことによる電気抵抗の変化を検出する電気式の液面計と
がある。
フロートによる機械式の液面計と、電極が液体につかる
ことによる電気抵抗の変化を検出する電気式の液面計と
がある。
Ｃ発明が解決しようとする課題〕
ところが、機械式の液面計は、フロートの大きさや動き
やすさ等で測定精度に制限を受けるという問題の他に、
フロートを含む機械式であるため大型であるという問題
がある。
やすさ等で測定精度に制限を受けるという問題の他に、
フロートを含む機械式であるため大型であるという問題
がある。
一方、従来の電気式の液面計は、ある一定の位置に一組
の電極を配置し、この位置まで液体がきたら両電極間が
導通する、あるいは抵抗値が変化するのでこれを検出す
るというものであり、つまり液体の有無を検出するだけ
のものであり、連続的な液面レベルを精密に測定するこ
とはできない。
の電極を配置し、この位置まで液体がきたら両電極間が
導通する、あるいは抵抗値が変化するのでこれを検出す
るというものであり、つまり液体の有無を検出するだけ
のものであり、連続的な液面レベルを精密に測定するこ
とはできない。
そこでこの発明は、小型化が可能であり、しかも精密な
液面レベル測定が可能な液面センサーを提供することを
主たる目的とする。
液面レベル測定が可能な液面センサーを提供することを
主たる目的とする。
１課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するため、この発明の液面センサーは、
絶縁基体の表面に交差指形電極を形成して成ることを特
徴とする。
絶縁基体の表面に交差指形電極を形成して成ることを特
徴とする。
この液面センサーの一部分を液体につけると、液体の誘
電率や抵抗率により、その液面レベルに応じて、交差指
形電極間の静電容量や抵抗値が連続的に変化する。しか
も、交差指形電極を用いているため、その各電極指に液
面が達するごとに、上記静電容量や抵抗値は階段状に明
確に変化する。
電率や抵抗率により、その液面レベルに応じて、交差指
形電極間の静電容量や抵抗値が連続的に変化する。しか
も、交差指形電極を用いているため、その各電極指に液
面が達するごとに、上記静電容量や抵抗値は階段状に明
確に変化する。
従ってこの液面センサーの静電容量や抵抗値を測定する
ことによって精密な液面レベル測定が可能になる。
ことによって精密な液面レベル測定が可能になる。
［実施例〕
第１図は、この発明の一実施例に係る液面センサーを液
体につげて示す拡大正面図である。
体につげて示す拡大正面図である。
この液面センサー２は、絶縁基体３の表面に交差指形電
極４を形成して成る。
極４を形成して成る。
絶縁基体３としては、例えば、ポリフェニレンサルフェ
イト、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等から
成るフレキシブルな樹脂フィルムや、ガラス、セラミッ
クス等からなる絶縁基板を用いることができる。
イト、ポリエチレンテレフタレート、ポリイミド等から
成るフレキシブルな樹脂フィルムや、ガラス、セラミッ
クス等からなる絶縁基板を用いることができる。
フレキシブルな絶縁基体３上に交差指形電極４を形成す
ることで、当該液面センサー２を例えば円筒形容器や変
形容器の内面に張り付けて使用することができる。
ることで、当該液面センサー２を例えば円筒形容器や変
形容器の内面に張り付けて使用することができる。
交差指形電極４は、インターディジタル形電極とも呼ば
れるものであり、一対のくし形電極４ａ、４ｂを隙間を
あけて噛み合わせたものである。５ａ、５１−＋はその
端子電極である。
れるものであり、一対のくし形電極４ａ、４ｂを隙間を
あけて噛み合わせたものである。５ａ、５１−＋はその
端子電極である。
この交差指形電極４は、例えばＡ９！、Ａｕ等の導電性
材料から成り、その電極幅は例えば数μｍ〜数ｍｍとし
、電極間隔Ｇも例えば数μｍ〜数ｍｍとし、これを適当
な長さで絶縁基体３上に形成すれば良い。
材料から成り、その電極幅は例えば数μｍ〜数ｍｍとし
、電極間隔Ｇも例えば数μｍ〜数ｍｍとし、これを適当
な長さで絶縁基体３上に形成すれば良い。
この液面センサー２の一部分を液体６につけると、液体
６の誘電率や抵抗率により、その液面レベルに応じて、
交差指形電極４間の（より具体的にはその端子電極５ａ
、５ｂ間の）静電容量や抵抗値が変化する。より具体的
には、液体６が導電性の場合は抵抗値の変化を、絶縁性
の場合は静電容量の変化を見れば良い。
６の誘電率や抵抗率により、その液面レベルに応じて、
交差指形電極４間の（より具体的にはその端子電極５ａ
、５ｂ間の）静電容量や抵抗値が変化する。より具体的
には、液体６が導電性の場合は抵抗値の変化を、絶縁性
の場合は静電容量の変化を見れば良い。
しかも、交差指形電極４を用いているため、その各電極
指４Ｃに液体６の液面が達するごとに、上記静電容量や
抵抗値は階段状に明確に変化する。
指４Ｃに液体６の液面が達するごとに、上記静電容量や
抵抗値は階段状に明確に変化する。
その−例を第２図に示す。
従ってこの液面センサー２を用いてその静電容量や抵抗
値を別の測定回路で測定することによって、液体６の精
密な液面レベル測定が可能になる。
値を別の測定回路で測定することによって、液体６の精
密な液面レベル測定が可能になる。
しかもこの液面センサー２は、絶縁基体３の表面に交差
指形電極４を形成して成るものであるから、非常に小型
にできる。
指形電極４を形成して成るものであるから、非常に小型
にできる。
ちなみに、交差指形電極４の代わりに、単なる２本の平
行電極を用いた場合は、静電容量や抵抗値は液面レベル
に応じて非常に緩やかにしが変化しないため、液面レベ
ルの精密な測定は困難である。これに対してこの実施例
のように交差指形電極４を用いると、少な（ともその電
極間隔Ｇふんの分解能で精密に液面レベル測定が可能で
ある。
行電極を用いた場合は、静電容量や抵抗値は液面レベル
に応じて非常に緩やかにしが変化しないため、液面レベ
ルの精密な測定は困難である。これに対してこの実施例
のように交差指形電極４を用いると、少な（ともその電
極間隔Ｇふんの分解能で精密に液面レベル測定が可能で
ある。
換言すれば、高分解能を得たければそれに応じて交差指
形電極４の電極間隔Ｇを小さくすれば良い。
形電極４の電極間隔Ｇを小さくすれば良い。
このような液面センサー２は、例えば、自動車等の燃料
タンク、エンジンオイル等の残量センサーや、オイルマ
ノメータの指示値の自動読み取り等にも使用することが
できる。
タンク、エンジンオイル等の残量センサーや、オイルマ
ノメータの指示値の自動読み取り等にも使用することが
できる。
以上のようにこの発明の液面センサーによれば、小型化
が可能であり、しがも精密な液面レベル測定が可能にな
る。
が可能であり、しがも精密な液面レベル測定が可能にな
る。
第１図は、この発明の一実施例に係る液面センサーを液
体につけて示す拡大正面図である。第２図は、第１図の
液面センサーにおける液面レベルと静電容量との関係の
概略を示すグラフである。 ２、・・実施例に係る液面センサー ３・・・絶縁基体
、４・・・交差指形電極、６０２．液体。
体につけて示す拡大正面図である。第２図は、第１図の
液面センサーにおける液面レベルと静電容量との関係の
概略を示すグラフである。 ２、・・実施例に係る液面センサー ３・・・絶縁基体
、４・・・交差指形電極、６０２．液体。
Claims (1)
- （１）絶縁基体の表面に交差指形電極を形成して成るこ
とを特徴とする液面センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2230312A JPH04110618A (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 液面センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2230312A JPH04110618A (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 液面センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04110618A true JPH04110618A (ja) | 1992-04-13 |
Family
ID=16905863
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2230312A Pending JPH04110618A (ja) | 1990-08-30 | 1990-08-30 | 液面センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04110618A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11108735A (ja) * | 1997-10-03 | 1999-04-23 | Nitta Ind Corp | 水位センサ |
| WO2002084228A1 (de) * | 2001-04-11 | 2002-10-24 | Robert Bosch Gmbh | Kapazitives sensorelement und verfahren zur herstellung eines kapazitiven sensorelements |
| JP2011214904A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Seiren Co Ltd | 液面検知装置および液面検知装置を備えたインクジェット記録装置 |
| CN102268807A (zh) * | 2010-06-01 | 2011-12-07 | 三星电子株式会社 | 烘干机及其控制方法 |
| KR101148630B1 (ko) * | 2010-04-30 | 2012-05-24 | 안동대학교 산학협력단 | 수위센서의 구조 |
| JP2014021073A (ja) * | 2012-07-23 | 2014-02-03 | Aisan Ind Co Ltd | 液体センサ |
| EP4312003A1 (en) * | 2022-07-28 | 2024-01-31 | ASM IP Holding B.V. | Capacitive sensor system for precursor level measurement and method therefor |
-
1990
- 1990-08-30 JP JP2230312A patent/JPH04110618A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11108735A (ja) * | 1997-10-03 | 1999-04-23 | Nitta Ind Corp | 水位センサ |
| WO2002084228A1 (de) * | 2001-04-11 | 2002-10-24 | Robert Bosch Gmbh | Kapazitives sensorelement und verfahren zur herstellung eines kapazitiven sensorelements |
| JP2011214904A (ja) * | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Seiren Co Ltd | 液面検知装置および液面検知装置を備えたインクジェット記録装置 |
| KR101148630B1 (ko) * | 2010-04-30 | 2012-05-24 | 안동대학교 산학협력단 | 수위센서의 구조 |
| CN102268807A (zh) * | 2010-06-01 | 2011-12-07 | 三星电子株式会社 | 烘干机及其控制方法 |
| JP2014021073A (ja) * | 2012-07-23 | 2014-02-03 | Aisan Ind Co Ltd | 液体センサ |
| EP4312003A1 (en) * | 2022-07-28 | 2024-01-31 | ASM IP Holding B.V. | Capacitive sensor system for precursor level measurement and method therefor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4641434A (en) | Inclination measuring device | |
| US4429343A (en) | Humidity sensing element | |
| KR950014819B1 (ko) | 경사 측정 장치 | |
| US6222376B1 (en) | Capacitive moisture detector and method of making the same | |
| US20080231290A1 (en) | Capacitive Position Sensor | |
| US4763534A (en) | Pressure sensing device | |
| JPH0512661B2 (ja) | ||
| US7550979B2 (en) | System and method for measuring conductivity of fluid | |
| JPH0337501A (ja) | 静電容量型検出装置 | |
| GB2055477A (en) | Electrostatic type fuel measuring device | |
| JPS6263852A (ja) | 温度補償の容量型湿度センサ | |
| JP7071723B2 (ja) | 複素誘電率測定用回路、複素誘電率測定装置及び複素誘電率の測定方法 | |
| CN102980630A (zh) | 一种智能数字电容液位传感器 | |
| JPH04110618A (ja) | 液面センサー | |
| US5479716A (en) | Capacitive based gravity sensor | |
| JP3165484B2 (ja) | 液量センサ | |
| JPS6379016A (ja) | 液位測定装置 | |
| EP0430651B1 (en) | Level sensor | |
| JPH03125917A (ja) | 静電容量式リニアエンコーダ | |
| JP2003057093A (ja) | 液面レベル検出器用電極 | |
| GB2064130A (en) | Electromagnetic Channel Flowmeter | |
| KR102260386B1 (ko) | 감지장치 | |
| JP4052716B2 (ja) | 圧力検出素子及び圧力センサ | |
| JPS6282313A (ja) | 傾斜測定器 | |
| JP2705257B2 (ja) | 液位検出装置 |