JPH04111599A - 超音波探触子 - Google Patents

超音波探触子

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JPH04111599A
JPH04111599A JP2232065A JP23206590A JPH04111599A JP H04111599 A JPH04111599 A JP H04111599A JP 2232065 A JP2232065 A JP 2232065A JP 23206590 A JP23206590 A JP 23206590A JP H04111599 A JPH04111599 A JP H04111599A
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JP
Japan
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main surface
piezoelectric plate
electrode
concentric
ultrasonic probe
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JP2232065A
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Yasuo Shimizu
康雄 清水
Takashi Wakabayashi
孝 若林
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Measurement Of Velocity Or Position Using Acoustic Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は超音波探触子を利用分野とし、特に超音波を同
心円状に駆動するアニユラ型の超音波探触子(以下、ア
ニユラ型探触子)に関する。
(発明の背景) 超音波探触子は、例えば医用関係の超音波詮所装置に超
音波の送受波部として有用される。近年では圧電板を同
心円状に配置して構成されるアニユラ型探触子が注目を
浴びている。
(従来技術) 第6図、第7図ははこの種のアニユラ型探触子を説明す
る第1、m2の従来例図で、同図(a)は上面図、同図
(b)は新面図である。
アニユラ型探触子は、超音波発生用としての両主面にt
c電極(ab)の形成された円状及び環状の圧電板2 
(abc)(PZT等)を同心円上に配置する。そして
、−主面の電極1aを線路3により接続して共通電極と
し、各fttpj4からリード線4を導出する(ml従
来例)、あるいは、−枚の圧電板5の一生面に中央を円
状としてその外周に環状とした複数の同心円状電極6(
abc)を形成する。他主面にはその全面に共通電極7
を形成し、各電極6.7からリード線4を導出する(第
2従来例)1通常では、いずれも−主面側の共通電極側
1a、7を0電位として被検査体(生体)側とし、他主
面の個別の電l11b、6に信号を印加する1例えば遅
延信号を印加し1機械的にセクタ駆動して生体を診断す
る。また、圧電板2.5を凹面状に形成したりあるいは
音響レンズを付加して、中心側から開法に駆動して放射
FfiMを代え、焦点距離を可変するようにする。
(従来技術の間厘点) しかしながら、第1従来例では、圧電板2が個々に独立
しているので、同心円上の位置合わせ等が困難になる。
そして、一方の主面側を共通電極とするために各[41
を接続しなければならず、作業性に欠ける問題があった
。また、第2の従来例では、同心円状電極6を形成して
その部分を振動部とするので、各振動部間にて音響的結
合による漏れ(クロストーク)を生じて音響的特性を劣
化させる問題があった。
(発明の目的) 本発明は作業性及び音響的特性ともに良好とした超音波
探触子を提供することを目的とする。
(解決手段) 本発明は、超音波発生用の圧電板における一生面側の外
周に突出部を形成し、他主面側から厚み方向へ前記突出
部に到達する溝を一方向に設け、前記圧電板の中央部を
切断して構成したことを基本的な解決手段とする。以下
、本発明の一実施例を説明する。
(実施例) 第1図は本発明の一実施例を説明する超音波探触子の図
である。なお、説明の便宜上、R造工程を示しながら説
明する。
この実施例では、先ず、円板状の圧電板10は一方の主
面を凹面、他方の主面を凸面として曲率を有する湾曲板
とする。−主面(凹面)には、その全面に共通電極]−
1が形成されている。他主面(凸面)には、前述したよ
うな、中央を円状としてその外側に環状とした複数の回
心円状電極12(abc)が形成されている「第1図」
。次に。
他主面(凸面)側から一生面側(凹面)に向かって、外
周部を残して切断し、複数の分割溝13を並設する。分
割溝13は最外側の同心円状電極120に達するように
する「第2図」。次に、例えば、分割溝13に図示しな
い有機物例えばエポキシ樹脂を充填して、切断された同
心円状電極12(abc)を銅箔等により再接続する(
未図示)。
そして、各同心円状電極112(abc)及び共通電極
11からリード線を導出し、−主面側に音響整合層等を
付与して超音波探触子を構成する(未図示)。
このような構成であれば、一つの圧電板10に同心円状
電極12(abc)を形成するので1位置合わせを容易
とする。また、−主面側の共通室Ijll(abc)は
分割溝13を設けてもその外周は切断しないので、電気
的に接続されており再接続する必要がない、さらに、同
心円状電極12(a b c)の形成された振動部は分
割溝13により、各振動部間の対向面積は小さくなるの
で、音響的結合による漏れを少なくする。ちなみに、周
波数5 M Hzとし、第1と第2の同心円状電極12
(ab)の半径をそれぞれ3.45mm、5゜03 m
 m−分割溝13を0.25mmとして、分割溝13の
ない従来例のものとを比較実験したところ、次の結果を
得た。すなわち、従来例ではそのクロストーク値を一2
0dBとしたが、本実験のものでは一30dBとし、約
10dBの改善をなし得ることができた。なお、クロス
トーク値は第1同心円状電極12aに電圧を印加したと
き、第2同心円状@極12bに発生する電圧をもって測
定した。なお、分割溝13による送受波効率の影響が懸
念されたが、実際には圧電板10の音響インピーダンス
を低下する結果、効率の良い超音波の送受波を行うこと
ができた。このようなことから1本実施例のものでは作
業性及び超音波特性ともに良好とすることができた。
°(他の実施例) なお、−Lu実施例では、圧電板10は一生面を曲率を
もった凹面、他主面を同凸面とした湾曲板として構成し
たが、要外周は残して中央部分を切断できる構成であれ
ばよいので、例えば次のようにしてもよい、すなわち、
−主面のみを曲率をもった凹面としく第3図)、他主面
から前述同様に切断する。この場合厚みが中央から外周
に向かって順次大きくなるので、広帯域化を可能にする
また、単に一生面の両端側に突起部14をもった凹字状
としく第4図)他主面から突起部14に到達する分割溝
を設ける。この場合、他主面に形成する回心円状電極1
2cの最外側の部分をも切断できるので、クロストーク
を更に良好にできる。
このことは前実施例において、!外側の同心円状電極1
2Cを圧電板の外周より内側にして同電極12cを切断
しても同様のことが言える。また、突起部14により分
割後の機械的強度を高めることができる。また、突起部
14は必ずしも圧電板と同一体でなくともよく例えば保
持具としての他の部材を付加してもよいものである(未
図示)。
また、探触子はアニユラ型としたが、例えば第5図に示
したように所謂配列型の場合にも適用できる。すなわち
、−主面の両端側に突起部15を設けて両生面を全面@
極とし、他主面側から一主面側に向かって突起部15に
達する分割溝16を設けて構成する。このようにれば、
配列型のものであっても一主面側の電極は電気的接続を
維持するので、共通電極としての機能を維持し1作業性
を向上できるとともにクロストークを良好にする。
以上のように1本発明は上記に拘らず種々の探触子への
適用を可能にするもので、そのようなものは−上記趣旨
を逸脱しない範囲で本発明の技術的範囲に含まれるもの
である。なお、特許請求の範囲の範囲の突出部とは、上
記の曲率をもった凹面あるいは突起部をもった凹字状と
したものも含み要は一生面の外周側が中央に比し突出し
ているものをa称している。
(発明の効果) 本発明は1M音波発生用の圧電板における一主面側の外
周に突出部を形成し、他主面側から厚み方向へ前記突出
部に到達する溝を一方向に、fl九ill記圧電板の中
央部を切断して構成したので、作又性及び特性ともに良
好としたM f5−波探触子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は本発明の一実施例を説明する図で、第
1図(a)は切断前における圧1を板の上面図、同図(
b)は開底面図、同図(c)は破断面図、第2図は切断
後における圧電板の上面図、同図(b)は同底面図、同
図(c)は新面図である。 第3図、第4図は本発明の他の実施例を説明する切断前
における圧電板の断面図である。第5図は本発明のさら
に他の実施例を説明する切断後における圧電板の図であ
る。 第6図は第1従来例を説明する図で同図(a)は上面図
、同図(b)は新面図、第7図は第2従来例を説明する
図で同図(、)は上面図、同図(b)は断面図である。 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  超音波発生用の圧電板における一主面側の外周に突出
    部を形成して、他主面側から一主面側に向かつて前記突
    出部に到達する分割溝を並設し、前記圧電板の中央部を
    切断して構成したことを特徴とする超音波探触子。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008067099A (ja) * 2006-09-07 2008-03-21 Toin Gakuen アレイ型超音波プローブ及びその製造方法
WO2012132261A1 (ja) * 2011-03-31 2012-10-04 Necカシオモバイルコミュニケーションズ株式会社 発振装置、および電子機器
JPWO2021176726A1 (ja) * 2020-03-06 2021-09-10

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