JPH0411294U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0411294U JPH0411294U JP5169790U JP5169790U JPH0411294U JP H0411294 U JPH0411294 U JP H0411294U JP 5169790 U JP5169790 U JP 5169790U JP 5169790 U JP5169790 U JP 5169790U JP H0411294 U JPH0411294 U JP H0411294U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- blade
- rotor
- stator
- axial direction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図ないし第３図は本考案による真空ポンプ
の一実施例を示す図であり、第１図は本考案が適
用されたターボ分子ポンプの全体断面図、第２図
はステータ翼の平面図、第３図はロータ翼とステ
ータ翼の断面図、第４図ないし第６図は従来の真
空ポンプを示す図であり、第４図はターボ分子ポ
ンプの全体断面図、第５図はロータ翼とステータ
翼の断面図、第６図はステータ翼の平面図である
。 １……ケーシング、５……ロータ翼、６……ス
テータ翼、５ａ，６ａ……翼部、４……ロータ、
５ｂ……凹半円形状、６ｃ……凸半円形状。
の一実施例を示す図であり、第１図は本考案が適
用されたターボ分子ポンプの全体断面図、第２図
はステータ翼の平面図、第３図はロータ翼とステ
ータ翼の断面図、第４図ないし第６図は従来の真
空ポンプを示す図であり、第４図はターボ分子ポ
ンプの全体断面図、第５図はロータ翼とステータ
翼の断面図、第６図はステータ翼の平面図である
。 １……ケーシング、５……ロータ翼、６……ス
テータ翼、５ａ，６ａ……翼部、４……ロータ、
５ｂ……凹半円形状、６ｃ……凸半円形状。
Claims (1)
- 円筒状のケーシングと、このケーシングの内周
部から半径内方に伸びる翼部を円周方向に複数並
べて有し、ケーシングの軸方向に多数並べて配置
されるステータ翼と、前記ケーシングの軸線部に
回転可能に設けられるロータと、このロータの外
周部から半径外方に伸びる翼部を円周方向に複数
並べて有し、前記ケーシングの軸方向に前記ステ
ータ翼と交互に多数並べて配置されるロータ翼と
を備えた真空ポンプにおいて、前記ケーシングの
軸線に沿つた平面内における前記ステータ翼の半
径内方端を略凸円弧形状に形成し、前記平面内に
おける前記ロータ翼の翼部の付根部に前記略凸円
弧形状と嵌合する略凹円弧形状を形成することを
特徴とする真空ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5169790U JPH0411294U (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5169790U JPH0411294U (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0411294U true JPH0411294U (ja) | 1992-01-30 |
Family
ID=31571362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5169790U Pending JPH0411294U (ja) | 1990-05-17 | 1990-05-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0411294U (ja) |
-
1990
- 1990-05-17 JP JP5169790U patent/JPH0411294U/ja active Pending