JPH04113044U - 圧力センサ - Google Patents

圧力センサ

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JPH04113044U
JPH04113044U JP1558391U JP1558391U JPH04113044U JP H04113044 U JPH04113044 U JP H04113044U JP 1558391 U JP1558391 U JP 1558391U JP 1558391 U JP1558391 U JP 1558391U JP H04113044 U JPH04113044 U JP H04113044U
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 圧力センサの圧力検出感度の向上を図る。 【構成】 シリンダ室4と、このシリンダ室4を収容室
4Aと検知すべき流体圧が導入される流体室4Bとに仕
切っているダイヤフラム5と、収容室4Aに収容され、
ダイヤフラム5の変位が伝達されて該収容室4Aの軸方
向に沿って変位するピストン13と、ダイヤフラム5お
よびピストン13を流体室4Bの流体圧に抗する方向に
押圧するスプリング20と、このスプリング20の押圧
力を調整するアジャスティングスクリュ23と、ピスト
ン13の位置を検出する磁気センサスイッチ16とを備
えている。

Description

【考案の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】
本考案は圧力センサに関し、特に、たとえば、圧縮空気などの流体圧機器にお ける圧力を検知する圧力センサなどに適用して有効な技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
たとえば、この種の圧力センサとして、シリンダ室と、検知すべき流体圧が導 入される流体室と他の室とに前記シリンダ室を仕切っているピストンと、このピ ストンを流体室の流体圧に抗する方向に押圧する押圧手段と、この押圧手段の押 圧力を調整する調整手段と、シリンダ室を摺動するピストンの位置を検出する位 置検出手段とを備えている圧力センサが知られている(たとえば、実開昭60− 165836号)。
【0003】
【考案が解決しようとする課題】
ところで、前記した圧力センサにおいては、ピストンにOリングなどのシール 部材が嵌装されているため、ピストンの摺動抵抗が大きく、検出感度の著しい低 下、応差の極端な増大、シリンダ壁とピストンとの固着現象などが生じ、圧力セ ンサとしての機能が妨げられる場合がある。
【0004】 本考案の目的は、圧力検出性能の向上を図ることができる圧力センサを提供す ることにある。
【0005】 本考案の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述および添 付図面から明らかになるであろう。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される考案のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば 、次のとおりである。
【0007】 すなわち、本考案の圧力センサの構造は、シリンダ室と、このシリンダ室を収 容室と検知すべき流体圧が導入される流体室とに仕切っているダイヤフラムと、 前記収容室に収容され、前記ダイヤフラムの変位が伝達されて該収容室の軸方向 に沿って変位する作動部材と、前記ダイヤフラムおよび前記作動部材を前記流体 室の流体圧に抗する方向に押圧する押圧手段と、この押圧手段の押圧力を調整す る調整手段と、前記作動部材の位置を検出する位置検出手段とを備えている構造 としたものである。
【0008】 この場合に、前記ダイヤフラムの軸芯部から突出された嵌合用突起が前記作動 部材の軸芯部に形成された嵌合用雌部に嵌合されている構造とすることができる 。
【0009】 また、前記作動部材が磁性体を有し、前記位置検出手段が前記磁性体の磁気力 によってその位置検出する磁気センサである構造とすることができる。
【0010】
【作用】
前記した本考案の圧力センサの構造によれば、検知すべき流体圧の受圧部とし てダイヤフラムが用いられていることにより、Oリングなどのシール部材を用い たピストンのような大きな摺動抵抗による検出感度の著しい低下、応差の極端な 増大、シリンダ壁とピストンとの固着現象などが確実に防止され、受圧部のヒス テリシスが低下されるので、圧力検出性能の向上を図ることができる。
【0011】 この場合に、前記ダイヤフラムの軸芯部から突出された嵌合用突起が前記作動 部材の軸芯部に形成された嵌合用雌部に嵌合されている構造とすると、その嵌合 用突起と嵌合用雌部との嵌合により、結合用ねじなどによるダイヤフラムと作動 部材との結合およびダイヤフラムへのねじ挿入用穿設孔の形成などが不要とされ るので、部品点数の減少,ダイヤフラムの強度および耐久性の向上を図ることが でき、またダイヤフラムと作動部材とのセンター出しの容易化を図ることができ 、さらにセンターずれが生じることがないので、作動時の摺動抵抗の低減化やダ イヤフラムの作動部材に対する伝達性能を確実に発揮することができ、この点か らしても耐久性の向上を図ることができる。
【0012】
【実施例】
図1は本考案の一実施例である圧力センサを示す断面図、図2はその圧力セン サの平面図、図3はその圧力センサに適用されたダイヤフラムを示す断面図、図 4はそのダイヤフラムの側面図である。
【0013】 図1に示すように、本実施例の圧力センサは、本体1の両端側にアダプタ2と ボンネット3とが結合されて構成され、その本体1とアダプタ2とによってシリ ンダ室4が形成されている。
【0014】 シリンダ室4は、ダイヤフラム5により、ピストン用の収容室4Aと検知すべ き流体圧が導入される流体室4Bとに仕切られている。
【0015】 図3,4に示すように、本実施例のダイヤフラム5は、ゴム,ポリエステルな どの樹脂からなる弾性材によって形成され、円柱状の嵌合用突起6が仕切膜7の 軸芯部から軸方向に沿って一体化して突出されている。
【0016】 ダイヤフラム5の仕切膜7の外周部には、取付用およびシール用の環状膨出部 8が形成され、この環状膨出部8が図1に示すように本体1およびアダプタ2の 環状溝9に嵌合されて取り付けられている。
【0017】 シリンダ室4の流体室4Bは、本体1の外周面に開設された流体ポート10に 連通され、圧力センサによって流体圧機器(図示せず)などの被検出流体圧が該 流体ポート10を通じて流体室4Bに導入されるようになっている。なお、アダ プタ2の外周面に開設されたポート11は、プラグ12によって閉塞されている 。
【0018】 一方、シリンダ室4の収容室4Aには、磁石13Aが嵌装されているピストン 13(作動部材)が軸方向に沿って変位自在に収容されている。
【0019】 ピストン13の一端面の軸芯部には、円柱状の嵌合用凹部14(嵌合用雌部) が形成され、この嵌合用凹部14にダイヤフラム5の嵌合用突起6が嵌合されて 該ダイヤフラム5とピストン13とが互いに結合されている。
【0020】 したがって、ピストン13は、流体室4Bに導入された流体圧の作用によって ダイヤフラム5が変位した際に、このダイヤフラム5の変位が伝達されて収容室 4Aの軸方向に沿って同伴されるようになっている。
【0021】 次に、本体1内には、シリンダ室4と平行した磁気センサスイッチ用の収容室 15が形成され、この収容室15に磁気センサスイッチ16(位置検出手段)が ピストン13に平行して収容され、ねじ17によって固定されている。
【0022】 磁気センサスイッチ16のリード線16Aは、ボンネット3の外周面の電極基 板18に電気的に接続され、この電極基板18を介して被圧力検出体としての流 体圧機器(図示せず)の制御部自体ないしこの流体圧機器を制御する他の制御部 に電気的に接続されるようになっている。
【0023】 また、磁気センサスイッチ16には、ピストン13の磁石13Aの磁気を検出 することによりONないしOFFとされてピストン13の位置を検出するととも に、この検出時の表示灯16Bの点灯がセンサキャップ19を通じて外部から視 認可能とされている。
【0024】 前記ボンネット3内には、スプリング20(押圧手段)などが収容されている 収容室21がシリンダ室4と同軸的に形成されている。
【0025】 スプリング20は、本体1の一端面に係止されるピストン13のフランジ13 Bと、スプリング受け22と間に介在されている。
【0026】 スプリング受け22には、アジャスティングスクリュ23(調整手段)が螺合 し貫通されていて、ボンネット3の外端面側に露呈しているアジャスティングス クリュ23の頭部をドライバなどで回転操作させることにより、スプリング受け 22がアジャスティングスクリュ23上を軸方向に沿って螺進し、このスプリン グ受け22の螺進によりダイヤフラム5側へのスプリング20のピストン13に 対する押圧力が調整されるようになっている。
【0027】 また、スプリング受け22には、キャップ24Aに被覆された指示プレート2 4が設けられ、スプリング受け22の変位に指示プレート24が同伴されるよう になっている。
【0028】 ボンネット3の上面側には、指示プレート24が変位する長孔25が形成され 、この長孔25はラベル26によって被覆されている。
【0029】 ラベル26には、図2に示すように、指示プレート24の位置視認用の透視部 26Aおよび表示目盛26Bが設けられていて、アジャスティングスクリュ23 によって調整した設定圧力が指示プレート24の表示目盛26Bに対する指示に より、視認されるようになっている。
【0030】 次に、本実施例の圧力センサの使用例などについて説明する。
【0031】 先ず、アジャスティングスクリュ23の頭部をドライバなどで回転操作させ、 指示プレート24の表示目盛上の指示にしたがって検出すべき所定の設定圧力に 調整する。
【0032】 また、その圧力を検出すべき流体圧機器などの被検出部と圧力センサの流体ポ ート10とを接続して、該被検出部の被検出流体が該流体ポート10を通じてシ リンダ室4の流体室4Bに導入されるようにする。
【0033】 このような状態において、流体室4Bに導入される被検出流体の推力と、アジ ャスティングスクリュ23によって設定されたスプリング20の押圧力とが均衡 状態に保持されている場合には、ダイヤフラム5およびピストン13は所定位置 に位置されるが、被検出流体圧の増減によってその均衡状態が崩れることにより 、その所定位置が変位する。
【0034】 そして、このようなピストン13の位置は、磁気センサスイッチ16が所定位 置におけるピストン13の磁石13Aの磁気を検出することによりONないしO FFとされて検出する。
【0035】 したがって、この磁気センサスイッチ16によるピストン13の位置検出を通 じて被検出流体圧が検出され、またこの磁気センサスイッチ16のONないしO FFにより、圧力センサの電極基板18に電気的に接続された流体圧機器、すな わち被圧力検出体としての流体圧機器の制御部自体などを通じて該流体圧機器の 作動の制御が可能とされる。
【0036】 この場合に、本実施例の圧力センサは、被検出流体を受圧する受圧部としてダ イヤフラム5が用いられていることにより、受圧部としてOリングなどのシール 部材を用いたピストンのような大きな摺動抵抗による検出感度の著しい低下、応 差の極端な増大、シリンダ壁とピストンとの固着現象などが確実に防止され、受 圧部のヒステリシスが低下されるので、圧力検出性能の向上を図ることができる 。
【0037】 また、ダイヤフラム5の軸芯部から突出された嵌合用突起6がピストン13の 軸芯部に形成された嵌合用凹部14に嵌合されていることにより、ダイヤフラム 5とピストン13との結合関係が図られているため、その嵌合用突起6と嵌合用 凹部14との嵌合により、結合用ねじなどによるダイヤフラム5とピストン13 との結合およびダイヤフラム5へのねじ挿入用穿設孔の形成などが不要とされる ので、部品点数の減少,ダイヤフラム5の強度および耐久性の向上を図ることが でき、またダイヤフラム5とピストン13とのセンター出しの容易化を図ること ができ、さらにセンターずれが生じることがないので、作動時の摺動抵抗の低減 化やダイヤフラム5のピストン13に対する伝達性能を確実に発揮することがで き、この点からも耐久性の向上を図ることができる。
【0038】 以上、本考案者によってなされた考案を実施例に基づき具体的に説明したが、 本考案は前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種 々変更可能であることはいうまでもない。
【0039】 たとえば、前記実施例における磁気センサスイッチ16は、有接点スイッチと してのリードスイッチが適用されているが、本考案においては磁気センサスイッ チ16として無接点スイッチを適用することも可能である。
【0040】 また、前記実施例においては、ダイヤフラム5の嵌合用突起6がピストン13 の嵌合用凹部14に嵌合される構造とされているが、本考案においては、その嵌 合用凹部14に代えて嵌合用孔(嵌合用雌部)などの適用も可能である。
【0041】 さらに、たとえば、圧力センサの被圧力検出体としての流体圧機器は、リード 線に対してプラグインタイプとして接続される構造と、リード線タイプとして接 続される構造のいずれでも良い。
【0042】
【考案の効果】
本願によって開示される考案のうち、代表的なものによって得られる効果を簡 単に説明すれば、以下のとおりである。
【0043】 (1)検知すべき流体圧の受圧部としてダイヤフラムが用いられていることによ り、Oリングなどのシール部材を用いたピストンのような大きな摺動抵抗による 検出感度の著しい低下、応差の極端な増大、シリンダ壁とピストンとの固着現象 などが確実に防止され、受圧部のヒステリシスが低下されるので、圧力検出性能 の向上を図ることができる。
【0044】 (2)前記した場合に、前記ダイヤフラムの軸芯部から突出された嵌合用突起が 前記作動部材の軸芯部に形成された嵌合用雌部に嵌合されている構造とすると、 その嵌合用突起と嵌合用雌部との嵌合により、結合用ねじなどによるダイヤフラ ムと作動部材との結合およびダイヤフラムへのねじ挿入用穿設孔の形成などが不 要とされるので、部品点数の減少,ダイヤフラムの強度および耐久性の向上を図 ることができ、またダイヤフラムと作動部材とのセンター出しの容易化を図るこ とができ、さらにセンターずれが生じることがないので、作動時の摺動抵抗の低 減化やダイヤフラムの作動部材に対する伝達性能を確実に発揮することができ、 この点からしても耐久性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本考案の一実施例である圧力センサを示す断面
図である。
【図2】その圧力センサの平面図である。
【図3】その圧力センサに適用されたダイヤフラムを示
す断面図である。
【図4】そのダイヤフラムの側面図である。
【符号の説明】
1 本体 2 アダプタ 3 ボンネット 4 シリンダ室 4A 収容室 4B 流体室 5 ダイヤフラム 6 嵌合用突起 7 仕切膜 8 環状膨出部 9 環状溝 10 流体ポート 11 ポート 12 プラグ 13 ピストン(作動部材) 13A 磁石 13B フランジ 14 嵌合用凹部(嵌合用雌部) 15 収容室 16 磁気センサスイッチ(位置検出手段) 16A リード線 16B 表示灯 17 ねじ 18 電極基板 19 センサキャップ 20 スプリング(押圧手段) 21 収容室 22 スプリング受け 23 アジャスティングスクリュ(調整手段) 24 指示プレート 24A キャップ 25 長孔 26 ラベル 26A 透視部 26B 表示目盛

Claims (3)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダ室と、このシリンダ室を収容室
    と検知すべき流体圧が導入される流体室とに仕切ってい
    るダイヤフラムと、前記収容室に収容され、前記ダイヤ
    フラムの変位が伝達されて該収容室の軸方向に沿って変
    位する作動部材と、前記ダイヤフラムおよび前記作動部
    材を前記流体室の流体圧に抗する方向に押圧する押圧手
    段と、この押圧手段の押圧力を調整する調整手段と、前
    記作動部材の位置を検出する位置検出手段とを備えてい
    ることを特徴とする圧力センサ。
  2. 【請求項2】 前記ダイヤフラムの軸芯部から突出され
    た嵌合用突起が前記作動部材の軸芯部に形成された嵌合
    用雌部に嵌合されていることを特徴とする請求項1記載
    の圧力センサ。
  3. 【請求項3】 前記作動部材が磁性体を有し、前記位置
    検出手段が前記磁性体の磁気力によってその位置検出す
    る磁気センサであることを特徴とする請求項1、または
    2記載の圧力センサ。
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