JPH04113650A - 熱処理工程におけるアンローディング方法及び熱処理装置 - Google Patents
熱処理工程におけるアンローディング方法及び熱処理装置Info
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- JPH04113650A JPH04113650A JP2232813A JP23281390A JPH04113650A JP H04113650 A JPH04113650 A JP H04113650A JP 2232813 A JP2232813 A JP 2232813A JP 23281390 A JP23281390 A JP 23281390A JP H04113650 A JPH04113650 A JP H04113650A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
この発明は、熱処理工程におけるアンローディング方法
に関する。
に関する。
半導体装置の製造工程には、半導体ウェーハの表面を酸
化させたり、不純物を拡散させたりする熱処理工程があ
り、縦型または横型の熱処理炉が用いられる。 この熱処理工程に用いられる熱処理装置は、被処理体で
ある半導体ウェーハを複数枚収納可能な搬送具としての
キャリアを蓄積するキャリアストッカと、複数枚のウェ
ーハを積載して熱処理炉内にロード、アンロードするボ
ートを所定位置に設置するボートステーションと、スト
ッカとボートステーションとの間でキャリアの搬送を行
なうキャリア搬送装置と、キャリアとボートとの間でつ
工−ハの移し替えを行なうウェーハの移し替え装置と、
ボートを熱処理炉に搬入し、また、熱処理の終了したボ
ートを熱処理炉から引出すボート搬送装置とを備えてい
る。 そして、キャリアストッカには、未処理のウェハを複数
枚収納しているキャリアを順次搬入すると共に、処理の
終了したウェーハを収納しているキャリアをこのキャリ
アストッカから順次に取り出すようにする。 そして、熱処理工程において、ローディング時は、キャ
リアストッカからキャリア搬送装置によって未処理の半
導体ウェーハを収納する複数個のキャリアを引き出して
、所定の位置に持ち来す。 そして、キャリア内の半導体ウェーハを、ウェーハ移し
替え装置によってボートステーションに置かれた熱処理
用の空の例えば石英製ボートに移し替える。そして、複
数枚の半導体ウェーハが搭載された移し替え完了後の石
英製ボートをボートステーションからボート搬送装置に
よって熱処理炉に移動させ、熱処理炉内にボートを挿入
して、半導体ウェーハの熱処理を行なう。 また、アンローディング時は、熱処理が終了したボート
をボート搬送装置によって熱処理炉から引き出し、ボー
トステーションのボート載置台に載置し、熱処理の終了
した半導体ウエーノ＼をホトがら空のキャリアに移し替
える。そして、処理終了したウェーハを収納するキャリ
アを、キャリア搬送装置によってキャリアストッカに搬
送する。
化させたり、不純物を拡散させたりする熱処理工程があ
り、縦型または横型の熱処理炉が用いられる。 この熱処理工程に用いられる熱処理装置は、被処理体で
ある半導体ウェーハを複数枚収納可能な搬送具としての
キャリアを蓄積するキャリアストッカと、複数枚のウェ
ーハを積載して熱処理炉内にロード、アンロードするボ
ートを所定位置に設置するボートステーションと、スト
ッカとボートステーションとの間でキャリアの搬送を行
なうキャリア搬送装置と、キャリアとボートとの間でつ
工−ハの移し替えを行なうウェーハの移し替え装置と、
ボートを熱処理炉に搬入し、また、熱処理の終了したボ
ートを熱処理炉から引出すボート搬送装置とを備えてい
る。 そして、キャリアストッカには、未処理のウェハを複数
枚収納しているキャリアを順次搬入すると共に、処理の
終了したウェーハを収納しているキャリアをこのキャリ
アストッカから順次に取り出すようにする。 そして、熱処理工程において、ローディング時は、キャ
リアストッカからキャリア搬送装置によって未処理の半
導体ウェーハを収納する複数個のキャリアを引き出して
、所定の位置に持ち来す。 そして、キャリア内の半導体ウェーハを、ウェーハ移し
替え装置によってボートステーションに置かれた熱処理
用の空の例えば石英製ボートに移し替える。そして、複
数枚の半導体ウェーハが搭載された移し替え完了後の石
英製ボートをボートステーションからボート搬送装置に
よって熱処理炉に移動させ、熱処理炉内にボートを挿入
して、半導体ウェーハの熱処理を行なう。 また、アンローディング時は、熱処理が終了したボート
をボート搬送装置によって熱処理炉から引き出し、ボー
トステーションのボート載置台に載置し、熱処理の終了
した半導体ウエーノ＼をホトがら空のキャリアに移し替
える。そして、処理終了したウェーハを収納するキャリ
アを、キャリア搬送装置によってキャリアストッカに搬
送する。
ところで、アンローディング時には、キャリア搬送装置
は、予めキャリアストッカから、空の複数個のキャリア
をボートステーションの近傍の所定位置まで搬送し、ボ
ートからウェーハをキャリアに移し替える。 ところが、この際に、キャリア搬送装置かウェーハの収
納されているキャリアを誤って搬送してきていると、ボ
ートから処理済みのウェーハをキャリアに移すと、キャ
リア内のウェーハと衝突してウェーハが破損したり、脱
落したりする。 また、キャリア搬送装置が誤り無く、すべて空のキャリ
アをキャリアストッカから引き出して来ていでも、ボー
トからウェーハの移し替えを終了したときに、キャリア
内に正しく収納されず、飛び出しているウェーハがある
と、キャリア搬送装置によりキャリアをキャリアストッ
カに搬入するときにその飛び出したウェーハが搬送杆路
のいずれかの部分にぶつかって、割れてしまう恐れがあ
る。 この発明は、以上の点に鑑み、ウェーハの破損や割れを
防ぐことができるようにしたアンローディング方法を提
供することを目的とする。
は、予めキャリアストッカから、空の複数個のキャリア
をボートステーションの近傍の所定位置まで搬送し、ボ
ートからウェーハをキャリアに移し替える。 ところが、この際に、キャリア搬送装置かウェーハの収
納されているキャリアを誤って搬送してきていると、ボ
ートから処理済みのウェーハをキャリアに移すと、キャ
リア内のウェーハと衝突してウェーハが破損したり、脱
落したりする。 また、キャリア搬送装置が誤り無く、すべて空のキャリ
アをキャリアストッカから引き出して来ていでも、ボー
トからウェーハの移し替えを終了したときに、キャリア
内に正しく収納されず、飛び出しているウェーハがある
と、キャリア搬送装置によりキャリアをキャリアストッ
カに搬入するときにその飛び出したウェーハが搬送杆路
のいずれかの部分にぶつかって、割れてしまう恐れがあ
る。 この発明は、以上の点に鑑み、ウェーハの破損や割れを
防ぐことができるようにしたアンローディング方法を提
供することを目的とする。
この発明は、熱処理の終了した被処理体を搭載するボー
トから、複数枚の被処理体が収納可能な搬送具に前記被
処理体を移し替え、移し替えの終了した搬送具を複数の
搬送具を収容するストッカに移動させるようにする熱処
理工程のアンローディング方法において、 前記搬送具内に前記被処理体が収納されているか否かを
検知するための第１のセンサと、前記搬送具に前記被処
理体が正しく収納されているか否かを検知するための第
２のセンサとを設け、 前記第１のセンサによって前記搬送具に被処理体が収納
されていないことを確認して、前記ボートから前記被処
理体を搬送具に移し替えを行ない、前記第２のセンサに
よって搬送具から被処理体の飛び出しがないことを確認
して、搬送具を前記ストッカに移動させるようにしたこ
とを特徴とする。
トから、複数枚の被処理体が収納可能な搬送具に前記被
処理体を移し替え、移し替えの終了した搬送具を複数の
搬送具を収容するストッカに移動させるようにする熱処
理工程のアンローディング方法において、 前記搬送具内に前記被処理体が収納されているか否かを
検知するための第１のセンサと、前記搬送具に前記被処
理体が正しく収納されているか否かを検知するための第
２のセンサとを設け、 前記第１のセンサによって前記搬送具に被処理体が収納
されていないことを確認して、前記ボートから前記被処
理体を搬送具に移し替えを行ない、前記第２のセンサに
よって搬送具から被処理体の飛び出しがないことを確認
して、搬送具を前記ストッカに移動させるようにしたこ
とを特徴とする。
この発明においては、上記のように、第１のセンサによ
って前記搬送具に被処理体が収納されていないことを確
認した後、ボートから被処理体を搬送具に移し替える。 したがって、被処理体が１枚でも収納具に収納されてい
るときには、ボートから搬送具への移し替えは行われな
いので、ウェーハ同志がぶつかったり、脱落したりする
ことはない。 そして、第２のセンサによって搬送具から被処理体の飛
び出しがないことを確認した後、搬送具がストッカに移
動させられる。したがって、ストッカへのキャリアの搬
送時にウェーハかキャリアから飛び出していることは全
く無く、ウェーハが破損してしまうことはない。
って前記搬送具に被処理体が収納されていないことを確
認した後、ボートから被処理体を搬送具に移し替える。 したがって、被処理体が１枚でも収納具に収納されてい
るときには、ボートから搬送具への移し替えは行われな
いので、ウェーハ同志がぶつかったり、脱落したりする
ことはない。 そして、第２のセンサによって搬送具から被処理体の飛
び出しがないことを確認した後、搬送具がストッカに移
動させられる。したがって、ストッカへのキャリアの搬
送時にウェーハかキャリアから飛び出していることは全
く無く、ウェーハが破損してしまうことはない。
以下、この発明によるボート移載装置の一実施例を図を
参照しなから説明する。 先ず、この発明か適用される熱処理装置を第１図につい
て説明する。 キャリアストッカ１には、例えば２５枚の半導体ウェー
ハＷをそれぞれ収容する搬送具例えばウェーハキャリア
２が、レール４を挟んでイン側及びアウト側にそれぞれ
複数個収容可能である。そして、イン側には、未処理の
ウェーハを収納するキャリアが搬入され、また、アウト
側には、処理済みのウェーハを収納するキャリアがスト
ックされ、順次この処理済みウェーハを収納するキャリ
アは、このアウト側から外部に取り出される。 そして、レール４に案内されてキャリア搬送装置３が、
キャリアストッカ１と、耐熱性ウェーハボートが載置さ
れるボート載置台５の側方の所定位置との間をスライド
移動可能に取り付けられている。 また、レール４の側方には、ボートステーションのボー
ト載置台５が設けられている。ボート載置台５と、レー
ル４との間には、ウェーハ移し替え装置６が設けられて
いる。 キャリア搬送装置３のキャリア載置台３１には、第２図
に示すように、例えば４個のキャリア２が載置可能であ
る。キャリア２内のウェーハＷは、互いの主面が対向す
るように平行に立て掛けられて、キャリア２内に収納さ
れている。そして、キャリア２は、４個のキャリア２内
のウェーハがすべて平行に並ぶような状態でキャリア載
置台３１上に載置されている。 そして、このキャリア載置台３１には、４個のキャリア
２内にウェーハが収納されているか否かを検知するため
の第１のセンサ３２と、収納されているウェーハＷのキ
ャリア２からの飛び出しがあるか否かを検知するための
第２のセンサ３３が設けられる。この例の場合、これら
第１及び第２のセンサ３２，３３は、発光素子例えば発
光ダイオードや半導体レーザなどと、受光素子からなる
光学センサ例えばホトトランジスタやＣＣＤなどか用い
られる。この例では、これら第１及び第２のセンサ３２
，３Ｂは、次のように取り付けられている。 すなわち、４個のキャリア２を挾んで、キャリア載置台
３１の長手方向の一方の端部には、発光素子取付は部３
４が設けられており、この取付は部３４の下部には第１
のセンサ３２の発光素子３２Ａが、取付は部３４の上部
には第２のセンサ３３の発光素子３３Ａか、それぞれ取
り付けられている。また、キャリア載置台３１の他方の
端部には、受光素子取付は部３５が設けられ、この取付
は部３５の下部には第１のセンサ３２の受光素子３２Ｂ
が、取付は部３５の上部には第２のセンサの発光素子３
３Ｂが、それぞれ取り付けられている。そして、それぞ
れの受光素子３２Ｂ、３３Ｂが発光素子３２Ａ、３３Ａ
からの光を受光するように、発光素子と受光素子とが互
いに対向して設けられる。この対向関係は、互いの面が
平行でも斜文面に位置させても良い。 この例の場合、第３図に示すように、キャリア２は、ウ
ェーハＷを収納したとき、ウェーハＷの主面の上端部と
、下端部が外部に露呈するような形状である。これらセ
ンサ３２Ａ、３２Ｂは、ワンタッチで着脱可能な取付は
構造にすると良い。 そして、第１のセンサ３２の発光素子３２Ａから受光素
子３２Ｂへの光の光軸位置は、第３図において、点４１
て示すように、すべてのキャリア２にウェーハＷが収納
されていないときは、発光素子３２Ａからの光が受光素
子３２Ｂで受光可能であり、いずれかのキャリア２にウ
ェーハＷが１枚でも収納されていると、そのウェーハＷ
によって発光素子３２Ａからの受光素子３２Ｂへの光が
遮られる位置とされている。 また、第２のセンサ３３の発光素子３３Ａから受光素子
３３Ｂへの光の光軸位置は、第３図において、点４２で
示すように、キャリア２にウェ−ハＷが正しく収納され
ているときは、発光素子３３Ａからの光が受光素子３３
Ｂで受光可能であり、キャリア２に収納されたウェーハ
Ｗが正しい位置から飛び出していると、そのウェーハＷ
によって発光素子３３Ａからの受光素子３３Ｂへの光が
遮られる位置とされている。 このような検出が周囲光か雑音となる場合、光源側の光
を予め定められた周波数でパルス変調、周波数変調する
などして、光電変換後の電気回路において周波数選択（
フィルタ回路）することにより、雑音対策が可能である
。 また、この例の場合、ローディング動作及びアンローデ
ィング動作はソフトウェア制御されるもので、第４図に
示すように、その制御のためのマイクロコンピュータを
備える制御装置５０が設けられている。そして、第１及
び第２のセンサ３２及び３３のセンサ出力が、この制御
装置５０に供給され、この制御装置５０によりウェーハ
移し替え装置６及びキャリア搬送装置３、さらにはボー
ト搬送装置８が駆動制御される。 次に、この装置におけるローディング動作及びアンロー
ディング動作について、以下に説明する。 ローディング時には、図示しないロボットかイン側のキ
ャリア２を、例えば４個、キャリア搬送装置３の搬送台
３１に載せる。そして、キャリア２からの飛び出しのウ
ェーハＷか無いことを第２のセンサ３３の検知出力によ
り確認した後、制御装置５０は、キャリア搬送装置３を
駆動して、ホード載置台５の側方の所定位置までこれら
のキャリア２を搬送する。 一方、ボート載置台５上には、空のボート７が位置決め
されて載置されている。そして、ウェーハ移し替え機構
６により、このボート載置台５上の空のボート７に、キ
ャリア２からウェーハＷか移し替えられる。 ウェーハの移し替えが終了すると、ボート７か図示しな
いボート搬送装置によって熱処理炉内に搬入され、熱処
理がなされる。 熱処理炉を複数個備える多段炉の構成の場合には、制御
装置５０はキャリア搬送装置３を駆動し、移し替えが終
了して空になった４個のキャリア２をキャリアストッカ
１に戻す。このとき、４個のキャリア２が空になったこ
とは、第１のセンサ３２の検知出力から検出することが
できる。そして、別の未処理ウェーハが収納されている
キャリア２を前記と同様にして載置し、これらをボート
載置台５の側方に搬送し、ウェーハＷをボート７に移し
替え、ボート搬送装置によって別の熱処理炉に搬入する
。 そして、いずれかの熱処理炉において、熱処理が終了す
ると、アンローディングがなされる。 このアンローディング時は、熱処理が終了したボート７
が熱処理炉から引き出され、ボート搬送装置により、ボ
ート７がボート載置台５上に載置され、位置決めされる
。一方、キャリア搬送装置３により、空のキャリア２が
キャリアストッカ１からボート載置台５の側方まて搬送
されてきている。 そして、この状態で、制御装置５ｏはキャリア搬送装置
３の第１のセンサ３２の出力をチエツクし、４個のキャ
リアは全て空か否か判別する。そして、受光素子３２Ｂ
が発光素子３２Ａがらの光を受光しており、この受光素
子３２Ｂの出力から、４個のキャリアにウェーハが１枚
も収納されていないことを確認すると、制御装置５０は
、ウェーハ移し替え装置６を駆動し、ウェーハ移し替え
装置６により、ボート７から処理済みのウェーハをキャ
リア２に移し替える。 こうして、キャリア２内にウェーハＷか収納されていな
いことを確認して、ウェーハの移し替えを行なうように
したので、ウェーハの衝突により破損したり、脱落して
ウェーハを割ってしまうことは全く無い。 移し替えが終了すると、制御装置５ｏは、第２のセンサ
３３のセンサ出力をチエツクし、すべてのウェーハがキ
ャリア内に正しく収納され、飛び出しウェーハが無いか
否か判別する。そして、受光素子３３Ｂが発光素子３３
Ａからの光を受光しており、キャリア２から飛び出して
いるウェーハが無いことを確認すると、制御装置５ｏは
キャリア搬送装置３を駆動する。すると、キャリア搬送
装置３はキャリアストッカ１に移動する。そして、その
後、処理済みウェーハを収容したキャリアを、図示しな
いロボットかキャリア搬送装置３からキャリアストッカ
１のアウト側に移す。 こうして、キャリア２からウェーハＷが飛び出していな
いことを確認して、キャリアをキャリアストッカ１に搬
送するようにしたので、搬送経路において、飛び出しウ
ェーハがぶつかって破損してしまうようなことはまった
く無い。 以上の例は、複数個のキャリアを水平な台上に並べて載
置する場合の例であるが、キャリアストッカから取り出
したキャリアを、図示しないキャリア搬送装置によって
、第５図に示すように、つ工−ハＷの主面が水平になる
ような状態で、縦方向に複数個のキャリア６１を積み重
ねて搭載するキャリアステーション６２に搬送して、こ
のキャリアステーション６２のキャリア６１から、ボー
ト載置台６３上に縦型に立てられているボート６４に、
ウェーハ移し替え装置６５によって、例えば１枚づつウ
ェーハＷを移し替えをるようにする場合にも、勿論適用
可能である。 この例の場合には、ウェーハＷの有無検出用の第１のセ
ンサは、図示しないか、キャリアステーション６２の各
キャリア載置台６２Ｃのそれぞれに設けることができる
。また、ウェーハＷの飛び出し検出用の第２のセンサは
、キャリアステーション６２において、例えば、縦方向
に積み重ねて配置された複数個のキャリア６１の上方に
、発光素子３７Ａを設け、一番下側に受光素子３’７Ｂ
を設けて、複数のキャリアに共通にウェーハの飛び出し
を検知するようにすることができる。 なお、第２図の例では、それぞれ１組の光学センサ３２
，３３により、複数のキャリアのすべてが空か否か、及
び飛び出しのウェーハがあるか否かを検知できるように
したが、各キャリアごとに第１及び第２のセンサ３２，
３３と同様の役割をするセンサを設けるようにしても良
い。ただし、第２図の例のように１組の光学センサ３２
，３３により検知できるようにした方が、センサの設置
スペースやコストの点で優れている。 また、第１及び第２のセンサとしては、光学センサに限
らず、容量センサやその他種々のセンサを使用すること
ができる。例えば重量センサを用いた場合、被処理体か
特に８インチウェーハのように大きくなると、精度良く
、被処理体の有無の検知を実行することができる。 さらに、被処理体としては半導体ウェーハに限らず、Ｌ
ＣＤ基板等種々の物が適用可能であることは言うまでも
ない。
参照しなから説明する。 先ず、この発明か適用される熱処理装置を第１図につい
て説明する。 キャリアストッカ１には、例えば２５枚の半導体ウェー
ハＷをそれぞれ収容する搬送具例えばウェーハキャリア
２が、レール４を挟んでイン側及びアウト側にそれぞれ
複数個収容可能である。そして、イン側には、未処理の
ウェーハを収納するキャリアが搬入され、また、アウト
側には、処理済みのウェーハを収納するキャリアがスト
ックされ、順次この処理済みウェーハを収納するキャリ
アは、このアウト側から外部に取り出される。 そして、レール４に案内されてキャリア搬送装置３が、
キャリアストッカ１と、耐熱性ウェーハボートが載置さ
れるボート載置台５の側方の所定位置との間をスライド
移動可能に取り付けられている。 また、レール４の側方には、ボートステーションのボー
ト載置台５が設けられている。ボート載置台５と、レー
ル４との間には、ウェーハ移し替え装置６が設けられて
いる。 キャリア搬送装置３のキャリア載置台３１には、第２図
に示すように、例えば４個のキャリア２が載置可能であ
る。キャリア２内のウェーハＷは、互いの主面が対向す
るように平行に立て掛けられて、キャリア２内に収納さ
れている。そして、キャリア２は、４個のキャリア２内
のウェーハがすべて平行に並ぶような状態でキャリア載
置台３１上に載置されている。 そして、このキャリア載置台３１には、４個のキャリア
２内にウェーハが収納されているか否かを検知するため
の第１のセンサ３２と、収納されているウェーハＷのキ
ャリア２からの飛び出しがあるか否かを検知するための
第２のセンサ３３が設けられる。この例の場合、これら
第１及び第２のセンサ３２，３３は、発光素子例えば発
光ダイオードや半導体レーザなどと、受光素子からなる
光学センサ例えばホトトランジスタやＣＣＤなどか用い
られる。この例では、これら第１及び第２のセンサ３２
，３Ｂは、次のように取り付けられている。 すなわち、４個のキャリア２を挾んで、キャリア載置台
３１の長手方向の一方の端部には、発光素子取付は部３
４が設けられており、この取付は部３４の下部には第１
のセンサ３２の発光素子３２Ａが、取付は部３４の上部
には第２のセンサ３３の発光素子３３Ａか、それぞれ取
り付けられている。また、キャリア載置台３１の他方の
端部には、受光素子取付は部３５が設けられ、この取付
は部３５の下部には第１のセンサ３２の受光素子３２Ｂ
が、取付は部３５の上部には第２のセンサの発光素子３
３Ｂが、それぞれ取り付けられている。そして、それぞ
れの受光素子３２Ｂ、３３Ｂが発光素子３２Ａ、３３Ａ
からの光を受光するように、発光素子と受光素子とが互
いに対向して設けられる。この対向関係は、互いの面が
平行でも斜文面に位置させても良い。 この例の場合、第３図に示すように、キャリア２は、ウ
ェーハＷを収納したとき、ウェーハＷの主面の上端部と
、下端部が外部に露呈するような形状である。これらセ
ンサ３２Ａ、３２Ｂは、ワンタッチで着脱可能な取付は
構造にすると良い。 そして、第１のセンサ３２の発光素子３２Ａから受光素
子３２Ｂへの光の光軸位置は、第３図において、点４１
て示すように、すべてのキャリア２にウェーハＷが収納
されていないときは、発光素子３２Ａからの光が受光素
子３２Ｂで受光可能であり、いずれかのキャリア２にウ
ェーハＷが１枚でも収納されていると、そのウェーハＷ
によって発光素子３２Ａからの受光素子３２Ｂへの光が
遮られる位置とされている。 また、第２のセンサ３３の発光素子３３Ａから受光素子
３３Ｂへの光の光軸位置は、第３図において、点４２で
示すように、キャリア２にウェ−ハＷが正しく収納され
ているときは、発光素子３３Ａからの光が受光素子３３
Ｂで受光可能であり、キャリア２に収納されたウェーハ
Ｗが正しい位置から飛び出していると、そのウェーハＷ
によって発光素子３３Ａからの受光素子３３Ｂへの光が
遮られる位置とされている。 このような検出が周囲光か雑音となる場合、光源側の光
を予め定められた周波数でパルス変調、周波数変調する
などして、光電変換後の電気回路において周波数選択（
フィルタ回路）することにより、雑音対策が可能である
。 また、この例の場合、ローディング動作及びアンローデ
ィング動作はソフトウェア制御されるもので、第４図に
示すように、その制御のためのマイクロコンピュータを
備える制御装置５０が設けられている。そして、第１及
び第２のセンサ３２及び３３のセンサ出力が、この制御
装置５０に供給され、この制御装置５０によりウェーハ
移し替え装置６及びキャリア搬送装置３、さらにはボー
ト搬送装置８が駆動制御される。 次に、この装置におけるローディング動作及びアンロー
ディング動作について、以下に説明する。 ローディング時には、図示しないロボットかイン側のキ
ャリア２を、例えば４個、キャリア搬送装置３の搬送台
３１に載せる。そして、キャリア２からの飛び出しのウ
ェーハＷか無いことを第２のセンサ３３の検知出力によ
り確認した後、制御装置５０は、キャリア搬送装置３を
駆動して、ホード載置台５の側方の所定位置までこれら
のキャリア２を搬送する。 一方、ボート載置台５上には、空のボート７が位置決め
されて載置されている。そして、ウェーハ移し替え機構
６により、このボート載置台５上の空のボート７に、キ
ャリア２からウェーハＷか移し替えられる。 ウェーハの移し替えが終了すると、ボート７か図示しな
いボート搬送装置によって熱処理炉内に搬入され、熱処
理がなされる。 熱処理炉を複数個備える多段炉の構成の場合には、制御
装置５０はキャリア搬送装置３を駆動し、移し替えが終
了して空になった４個のキャリア２をキャリアストッカ
１に戻す。このとき、４個のキャリア２が空になったこ
とは、第１のセンサ３２の検知出力から検出することが
できる。そして、別の未処理ウェーハが収納されている
キャリア２を前記と同様にして載置し、これらをボート
載置台５の側方に搬送し、ウェーハＷをボート７に移し
替え、ボート搬送装置によって別の熱処理炉に搬入する
。 そして、いずれかの熱処理炉において、熱処理が終了す
ると、アンローディングがなされる。 このアンローディング時は、熱処理が終了したボート７
が熱処理炉から引き出され、ボート搬送装置により、ボ
ート７がボート載置台５上に載置され、位置決めされる
。一方、キャリア搬送装置３により、空のキャリア２が
キャリアストッカ１からボート載置台５の側方まて搬送
されてきている。 そして、この状態で、制御装置５ｏはキャリア搬送装置
３の第１のセンサ３２の出力をチエツクし、４個のキャ
リアは全て空か否か判別する。そして、受光素子３２Ｂ
が発光素子３２Ａがらの光を受光しており、この受光素
子３２Ｂの出力から、４個のキャリアにウェーハが１枚
も収納されていないことを確認すると、制御装置５０は
、ウェーハ移し替え装置６を駆動し、ウェーハ移し替え
装置６により、ボート７から処理済みのウェーハをキャ
リア２に移し替える。 こうして、キャリア２内にウェーハＷか収納されていな
いことを確認して、ウェーハの移し替えを行なうように
したので、ウェーハの衝突により破損したり、脱落して
ウェーハを割ってしまうことは全く無い。 移し替えが終了すると、制御装置５ｏは、第２のセンサ
３３のセンサ出力をチエツクし、すべてのウェーハがキ
ャリア内に正しく収納され、飛び出しウェーハが無いか
否か判別する。そして、受光素子３３Ｂが発光素子３３
Ａからの光を受光しており、キャリア２から飛び出して
いるウェーハが無いことを確認すると、制御装置５ｏは
キャリア搬送装置３を駆動する。すると、キャリア搬送
装置３はキャリアストッカ１に移動する。そして、その
後、処理済みウェーハを収容したキャリアを、図示しな
いロボットかキャリア搬送装置３からキャリアストッカ
１のアウト側に移す。 こうして、キャリア２からウェーハＷが飛び出していな
いことを確認して、キャリアをキャリアストッカ１に搬
送するようにしたので、搬送経路において、飛び出しウ
ェーハがぶつかって破損してしまうようなことはまった
く無い。 以上の例は、複数個のキャリアを水平な台上に並べて載
置する場合の例であるが、キャリアストッカから取り出
したキャリアを、図示しないキャリア搬送装置によって
、第５図に示すように、つ工−ハＷの主面が水平になる
ような状態で、縦方向に複数個のキャリア６１を積み重
ねて搭載するキャリアステーション６２に搬送して、こ
のキャリアステーション６２のキャリア６１から、ボー
ト載置台６３上に縦型に立てられているボート６４に、
ウェーハ移し替え装置６５によって、例えば１枚づつウ
ェーハＷを移し替えをるようにする場合にも、勿論適用
可能である。 この例の場合には、ウェーハＷの有無検出用の第１のセ
ンサは、図示しないか、キャリアステーション６２の各
キャリア載置台６２Ｃのそれぞれに設けることができる
。また、ウェーハＷの飛び出し検出用の第２のセンサは
、キャリアステーション６２において、例えば、縦方向
に積み重ねて配置された複数個のキャリア６１の上方に
、発光素子３７Ａを設け、一番下側に受光素子３’７Ｂ
を設けて、複数のキャリアに共通にウェーハの飛び出し
を検知するようにすることができる。 なお、第２図の例では、それぞれ１組の光学センサ３２
，３３により、複数のキャリアのすべてが空か否か、及
び飛び出しのウェーハがあるか否かを検知できるように
したが、各キャリアごとに第１及び第２のセンサ３２，
３３と同様の役割をするセンサを設けるようにしても良
い。ただし、第２図の例のように１組の光学センサ３２
，３３により検知できるようにした方が、センサの設置
スペースやコストの点で優れている。 また、第１及び第２のセンサとしては、光学センサに限
らず、容量センサやその他種々のセンサを使用すること
ができる。例えば重量センサを用いた場合、被処理体か
特に８インチウェーハのように大きくなると、精度良く
、被処理体の有無の検知を実行することができる。 さらに、被処理体としては半導体ウェーハに限らず、Ｌ
ＣＤ基板等種々の物が適用可能であることは言うまでも
ない。
以上説明したように、この発明によれば、熱処理工程の
アンローディング時に、第１のセンサによりキャリアが
空であることを確認してから、ボートから被処理体を移
し替えるようにしたので、被処理体同志が衝突してしま
うようなことがない。 また、移し替え終了後に、キャリアから飛び出している
被処理体が無いことを第２のセンサにより確認した後、
キャリアをストッカに移送するようにしたので、被処理
体がキャリアの移送中にどこかにぶつかって割れてしま
うことを防止することができる。
アンローディング時に、第１のセンサによりキャリアが
空であることを確認してから、ボートから被処理体を移
し替えるようにしたので、被処理体同志が衝突してしま
うようなことがない。 また、移し替え終了後に、キャリアから飛び出している
被処理体が無いことを第２のセンサにより確認した後、
キャリアをストッカに移送するようにしたので、被処理
体がキャリアの移送中にどこかにぶつかって割れてしま
うことを防止することができる。
第１図は、この発明による熱処理装置の一例の概要を示
す図、第２図はキャリア搬送装置の一例の側面図、第３
図はキャリアへのウェーハ収納状況及び第１及び第２の
センサの設置位置説明のための図、第４図は熱処理装置
の駆動制御部の一例のブロック図、第５図はこの発明の
対象となる他の例を示す図である。 １；キャリアストッカ ２：キャリア ３；キャリア搬送装置 ５；ボート載置台 ６；ウェーハ移し替え装置 ７；ボート ３１：キャリア載置台 ３２；第１のセンサ ３３；第２のセンサ ３２Ａ、３３Ａ、発光素子 ３２Ｂ、３３Ｂ、受光素子 ３４；発光素子取付は部 ３５；受光素子取付は部 Ｗ ； 半導体ウェーハ
す図、第２図はキャリア搬送装置の一例の側面図、第３
図はキャリアへのウェーハ収納状況及び第１及び第２の
センサの設置位置説明のための図、第４図は熱処理装置
の駆動制御部の一例のブロック図、第５図はこの発明の
対象となる他の例を示す図である。 １；キャリアストッカ ２：キャリア ３；キャリア搬送装置 ５；ボート載置台 ６；ウェーハ移し替え装置 ７；ボート ３１：キャリア載置台 ３２；第１のセンサ ３３；第２のセンサ ３２Ａ、３３Ａ、発光素子 ３２Ｂ、３３Ｂ、受光素子 ３４；発光素子取付は部 ３５；受光素子取付は部 Ｗ ； 半導体ウェーハ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 熱処理の終了した被処理体を搭載するボートから、複数
枚の被処理体が収納可能な搬送具に前記被処理体を移し
替え、移し替えの終了した搬送具を複数の搬送具を収容
するストッカに移動させるようにする熱処理工程のアン
ローディング方法において、 前記搬送具内に前記被処理体が収納されているか否かを
検知するための第１のセンサと、 前記搬送具に前記被処理体が正しく収納されているか否
かを検知するための第２のセンサとを設け、 前記第１のセンサによって前記搬送具に被処理体が収納
されていないことを確認して、前記ボートから前記被処
理体を搬送具に移し替えを行ない、前記第２のセンサに
よって搬送具から被処理体の飛び出しがないことを確認
して、搬送具を前記ストッカに移動させるようにしたこ
とを特徴とする熱処理工程におけるアンローディング方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23281390A JP2931922B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 熱処理工程におけるアンローディング方法及び熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23281390A JP2931922B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 熱処理工程におけるアンローディング方法及び熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04113650A true JPH04113650A (ja) | 1992-04-15 |
| JP2931922B2 JP2931922B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=16945176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23281390A Expired - Fee Related JP2931922B2 (ja) | 1990-09-03 | 1990-09-03 | 熱処理工程におけるアンローディング方法及び熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2931922B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100361427B1 (ko) * | 2000-06-22 | 2002-11-18 | 메카텍스 (주) | 모듈아이씨 이송용 캐리어 |
| JP2009514235A (ja) * | 2005-10-27 | 2009-04-02 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 水平方向配列ストッカ |
| JP2013021166A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |
-
1990
- 1990-09-03 JP JP23281390A patent/JP2931922B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100361427B1 (ko) * | 2000-06-22 | 2002-11-18 | 메카텍스 (주) | 모듈아이씨 이송용 캐리어 |
| JP2009514235A (ja) * | 2005-10-27 | 2009-04-02 | アシスト テクノロジーズ インコーポレイテッド | 水平方向配列ストッカ |
| JP2013021166A (ja) * | 2011-07-12 | 2013-01-31 | Murata Mach Ltd | 搬送車 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2931922B2 (ja) | 1999-08-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |