JPH04114424A - 熱処理装置 - Google Patents
熱処理装置Info
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- JPH04114424A JPH04114424A JP2234183A JP23418390A JPH04114424A JP H04114424 A JPH04114424 A JP H04114424A JP 2234183 A JP2234183 A JP 2234183A JP 23418390 A JP23418390 A JP 23418390A JP H04114424 A JPH04114424 A JP H04114424A
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- boat
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
オ導体製造］−程において、例えば拡散処理は熱処理室
である筒状の反応管内に、複数枚の例λば１、００枚の
半導体ウェーハを、ｈいの土面が対向する状態で並列に
並べて搭載するボートと呼ばれる治具を挿入して行う。 反応管内にボートを挿入搬送する方法と１．では、ソフ
トランディングと呼ばれる方法が、熱処理室内に塵埃を
生じさせない等の理由により用いられている。すなわち
、例えば石英又はＳｉＣで構成されるフォークと呼ばれ
るボート支持用棒状部材の一端側を例えばアルミニウム
等の金属で構成される保持部に取り付けて、この一端側
におい”Ｃフォークを支持する。そして、このフォーク
を昇降機構によって昇降移動１３Ｊ能とし、そのフォー
クの他端側に前記つＪ−ハを複数枚搭載したボートを載
置し、この状態でフォークをその長手方向に前進させて
、他端側に載置されたボートを反応管内に搬入する。そ
の後、フォークを下げてボートの脚部を反応管内のボー
ト載置部に接触させることにより、フォークとボートと
が離間する状態になるので、フォークのみを反応管から
取り出し、反応管内へのボートの搬入設置を行うもので
ある（例えば特公昭６２−３５２６１号公報、特公昭６
２−３５７１号公報参照）。 このソフトランディング法によれば、ボートやフォーク
が反応管の壁を擦ることがないので、塵埃を発生するこ
と無く、ボートの搬入、取り出しができる。 ところで、熱処理装置において、このボート搬送装置を
熱処理室である反応管に対して設置する際、フォークの
長手方向の中心線方向を反応管の中心線方向に合わせる
と共に、フォークの昇降時にフォークの中心線が反応管
の中心線位置を丁度通るように位置合わせする必要があ
る。従来は、設置者がボート搬送装置を取り付けながら
上記のような位置関係となるように調整していた。
である筒状の反応管内に、複数枚の例λば１、００枚の
半導体ウェーハを、ｈいの土面が対向する状態で並列に
並べて搭載するボートと呼ばれる治具を挿入して行う。 反応管内にボートを挿入搬送する方法と１．では、ソフ
トランディングと呼ばれる方法が、熱処理室内に塵埃を
生じさせない等の理由により用いられている。すなわち
、例えば石英又はＳｉＣで構成されるフォークと呼ばれ
るボート支持用棒状部材の一端側を例えばアルミニウム
等の金属で構成される保持部に取り付けて、この一端側
におい”Ｃフォークを支持する。そして、このフォーク
を昇降機構によって昇降移動１３Ｊ能とし、そのフォー
クの他端側に前記つＪ−ハを複数枚搭載したボートを載
置し、この状態でフォークをその長手方向に前進させて
、他端側に載置されたボートを反応管内に搬入する。そ
の後、フォークを下げてボートの脚部を反応管内のボー
ト載置部に接触させることにより、フォークとボートと
が離間する状態になるので、フォークのみを反応管から
取り出し、反応管内へのボートの搬入設置を行うもので
ある（例えば特公昭６２−３５２６１号公報、特公昭６
２−３５７１号公報参照）。 このソフトランディング法によれば、ボートやフォーク
が反応管の壁を擦ることがないので、塵埃を発生するこ
と無く、ボートの搬入、取り出しができる。 ところで、熱処理装置において、このボート搬送装置を
熱処理室である反応管に対して設置する際、フォークの
長手方向の中心線方向を反応管の中心線方向に合わせる
と共に、フォークの昇降時にフォークの中心線が反応管
の中心線位置を丁度通るように位置合わせする必要があ
る。従来は、設置者がボート搬送装置を取り付けながら
上記のような位置関係となるように調整していた。
しかしながら、ボート搬送装置を取り付けながら反応管
に対する前記のような位置調整を行うのは、調整が非常
に難しく、厄介であり、取り付けに長時間を要する欠点
があった。 この発明は、以上の点にかんがみ、取付設置後に、熱処
理室に対する位置の微調整を行えるようにして、ボート
搬送装置の取付を簡単化し、かつ、熱処理室に対して正
確な位置調整を容易に行えるようにした熱処理装置を提
供することを目的とする。
に対する前記のような位置調整を行うのは、調整が非常
に難しく、厄介であり、取り付けに長時間を要する欠点
があった。 この発明は、以上の点にかんがみ、取付設置後に、熱処
理室に対する位置の微調整を行えるようにして、ボート
搬送装置の取付を簡単化し、かつ、熱処理室に対して正
確な位置調整を容易に行えるようにした熱処理装置を提
供することを目的とする。
この発明は、一端側が保持部に取り付けられ、他端側が
遊端とされ、この他端側に複数の被処理体が搭載される
ボートが載置されるボート支持用棒状部材を備え、この
ボート支持用棒状部材を位置調整して前記ボートを熱処
理室内に搬送するようにする熱処理装置において、 前記保持部は、取付板上に、前記ボート支持用棒状部材
の一端側において点支持され、この支持点を中心として
前記取付板上で回動可能な状態で取り付けられ、 前記取付板は、前記ボート支持用棒状部材を昇降機構に
取り付けるための取付台に対して、前記ボート支持用棒
状部材の長手方向に直交する左右方向に移動可能に取り
付けられ、かつ、前記取付板上の保持部の前記取付台上
での前記左右方向の位置が調整手段により調整されるよ
うにしたことを特徴とする。
遊端とされ、この他端側に複数の被処理体が搭載される
ボートが載置されるボート支持用棒状部材を備え、この
ボート支持用棒状部材を位置調整して前記ボートを熱処
理室内に搬送するようにする熱処理装置において、 前記保持部は、取付板上に、前記ボート支持用棒状部材
の一端側において点支持され、この支持点を中心として
前記取付板上で回動可能な状態で取り付けられ、 前記取付板は、前記ボート支持用棒状部材を昇降機構に
取り付けるための取付台に対して、前記ボート支持用棒
状部材の長手方向に直交する左右方向に移動可能に取り
付けられ、かつ、前記取付板上の保持部の前記取付台上
での前記左右方向の位置が調整手段により調整されるよ
うにしたことを特徴とする。
この発明による熱処理装置では、熱処理室に対する大ま
かな設置位置が定められてボート搬送装置が設置される
。 そして、この設置後、保持部の点支持位置が熱処理室で
ある反応管の中心線の延長上に来るように、保持部の取
付板を取付台に対して左右方向に移動させて位置調整し
て、取付台に対して、取付板をその位置に固定する。 次に、保持部を点支持位置を中心として取付板上で回動
させる。すると、ボート支持用棒状部材の他端側か、水
平面上を首振り運動をする。そして、ボート支持用棒状
部材の中心線方向が正しく反応管の中心線方向を向くよ
うに回動位置を調整する。
かな設置位置が定められてボート搬送装置が設置される
。 そして、この設置後、保持部の点支持位置が熱処理室で
ある反応管の中心線の延長上に来るように、保持部の取
付板を取付台に対して左右方向に移動させて位置調整し
て、取付台に対して、取付板をその位置に固定する。 次に、保持部を点支持位置を中心として取付板上で回動
させる。すると、ボート支持用棒状部材の他端側か、水
平面上を首振り運動をする。そして、ボート支持用棒状
部材の中心線方向が正しく反応管の中心線方向を向くよ
うに回動位置を調整する。
以下、この発明による熱処理装置の一実施例を図を参照
しながら説明する。 図の例は、この発明による熱処理装置のボート搬送装置
部の構成の一例で、ボート支持用棒状部材としてのフォ
ーク１．は、この例ではＳＬＣで構成され、第１図及び
第２図に示すように、フォーク１の一端側ＩＡは断面が
四角形の角柱状とされ、この部分がフォーク保持部２に
取り付けられており、この一端側において、フォーク１
は保持されている。 また、フォーク１の他端側ＩＢは、第３図に示すように
湾曲した板状に構成され、この他端側ＩＢ上に、ウェー
ハＷを搭載したボート３が載置される。この場合、フォ
ーク１の他端側ＩＢは、ボトうの両側の脚部３Ａ間に挿
入される状態、ｌなる。ボ〜 ト３の脚部３Ａの長さは
、フ埼−８り１の他端側ＩＢのＮ−’ｉよりも長い。し
、たかって、後；４）するよ・う１ζ、フォ・−り１に
ボート３を載置しご反応管４内に挿入し、その後、フォ
ーク１−を降下゛させて、ボー ト３の脚部３Ａか反応
管４の載置部１、・到達する状態となると、フォーク］
とボー １・３とは離間するので、フ４−り１のろを引
き抜いてボーｔ−うのみを反応管４内にロー ドするこ
とができる。また、逆に、ボート３を反応管４から取り
出すときは、フォーク１の他端側ＩＢをボー トコ０両
側の脚部３Ａ間に、フォーク］が反応管４壁及びボート
−３に接触しないようにし、て差し入れ、その後、フォ
ーク〕をト昇させると、フォ〜り１の他端側ＩＢ十にボ
ート３か載り、さらに１竹させると、ボート′うを反応
管４の載置部から離間させることができるので、フォー
ク１を後退させることによって、ボート３を反応管４か
ら引き出すことができる。 フォーク１は、十Ｆ方向回動機構５によ−〕７その全体
か１−下方向に回動Ａるように構成されている。■、ト
ｈ向回動機構５は第１図、第４図及び第５図に示すよう
に構成されている。 ずムわち５，７オ・〜り保持部２は、その取付板とし、
てのシ −ソー台５１ 、ｋに取り（＝１けられている
。 このシーソー台５〕は、そのほぼ中央部においてフ埼−
り１の長手方向に直交する水束方向に設けられる軸５２
に駆支され、この軸５２を支点と
しながら説明する。 図の例は、この発明による熱処理装置のボート搬送装置
部の構成の一例で、ボート支持用棒状部材としてのフォ
ーク１．は、この例ではＳＬＣで構成され、第１図及び
第２図に示すように、フォーク１の一端側ＩＡは断面が
四角形の角柱状とされ、この部分がフォーク保持部２に
取り付けられており、この一端側において、フォーク１
は保持されている。 また、フォーク１の他端側ＩＢは、第３図に示すように
湾曲した板状に構成され、この他端側ＩＢ上に、ウェー
ハＷを搭載したボート３が載置される。この場合、フォ
ーク１の他端側ＩＢは、ボトうの両側の脚部３Ａ間に挿
入される状態、ｌなる。ボ〜 ト３の脚部３Ａの長さは
、フ埼−８り１の他端側ＩＢのＮ−’ｉよりも長い。し
、たかって、後；４）するよ・う１ζ、フォ・−り１に
ボート３を載置しご反応管４内に挿入し、その後、フォ
ーク１−を降下゛させて、ボー ト３の脚部３Ａか反応
管４の載置部１、・到達する状態となると、フォーク］
とボー １・３とは離間するので、フ４−り１のろを引
き抜いてボーｔ−うのみを反応管４内にロー ドするこ
とができる。また、逆に、ボート３を反応管４から取り
出すときは、フォーク１の他端側ＩＢをボー トコ０両
側の脚部３Ａ間に、フォーク］が反応管４壁及びボート
−３に接触しないようにし、て差し入れ、その後、フォ
ーク〕をト昇させると、フォ〜り１の他端側ＩＢ十にボ
ート３か載り、さらに１竹させると、ボート′うを反応
管４の載置部から離間させることができるので、フォー
ク１を後退させることによって、ボート３を反応管４か
ら引き出すことができる。 フォーク１は、十Ｆ方向回動機構５によ−〕７その全体
か１−下方向に回動Ａるように構成されている。■、ト
ｈ向回動機構５は第１図、第４図及び第５図に示すよう
に構成されている。 ずムわち５，７オ・〜り保持部２は、その取付板とし、
てのシ −ソー台５１ 、ｋに取り（＝１けられている
。 このシーソー台５〕は、そのほぼ中央部においてフ埼−
り１の長手方向に直交する水束方向に設けられる軸５２
に駆支され、この軸５２を支点と
【２てシーソー台５１
がシーソー運動ｌｉｌ能に取すイ・」けられている。そ
して、シーソー台５１の、フォグ１の他端側ＩＢとは反
対側の端部には、２個のローラー ５３．５４が設けら
れる。また、シーソー台５〕の、この端部の上方には、
軸５２に平ｊ′ｊな方向に回転軸５５が設けられると共
に、この回転軸５５に２個の偏心カム５６．５７が、第
５図の拡大図にも示すように、ローラー５３．５４と圧
接ｊるような状態で取り付けられる。 そして、回転軸５５が、図示し、ない例えばパルスモー
タにより回転駆動されると、偏心カム５６゜５７が同時
にローラー５３．５４を回転させながら、例えば第５図
゛Ｃ矢印Ｃ示ずように回転する。 シーソー台５１は、フォーク１の他端側の重さにより、
系に上昇方向に移動しようとするが、偏心カム５６．５
７によりその上絆位置か規制されでいる。ぞして、回転
軸５５の位置は固定されているので、偏心カム５６．５
７の回動ににより、この偏心カム５６．５７の形状に応
じて、ローラー５３．５４側は、上下動づることになる
。したかって、偏心カム５６．５７の回動に応じて、シ
ーソー台５１は軸５２を支軸としてシーソー運動を１５
、この結果、フォーク１の他端側］Ｂが上下方向に回動
させられるものである。この場合、同転軸５５を回転駆
動するパルスモータに供給するパルス数を調整すること
により、回転軸５５の回動角を調節（７、フォーク１の
他端側１Ｂの上下方向の回動の移動量を調節できる。 また、第４図に示すように、シーソー台５１は、取ｆ＝
ｊ台６上に設置・うられた左右方向スライド板５８」８
に取イ１られでいる。このスライド板５８は、取４４台
す土にフォーク１の長手方向に直交する方向（左右力向
）に設けられている１対のレール５９に摺動移動ｉｉＪ
能に取り付けられている。そして、スライド板５８は、
取付台６の側壁６Ａに対して、雄ねじ（ボルト）６１と
雌ねじ（ナツト）６２によって取り付けられ、両ねじを
調節することにより、スライド板５８の取（＝ｊ台６上
での左右方向の位置が、したがって保持部２の左右方向
の位置が調整可能である。すなわち、雄ねじ６１は、そ
の先端によってスライド板５８の側壁を押すように作用
し、一方、雌ねじ６２は、スライド板５８を取トｊ台６
の側壁６Ａ側に引っ張るように作用する。 したがって、両ねじを緩めたり、締めたりすることによ
ってスライド板５８の取付台６の側壁６Ａに対する左右
方向の位置を調整して固定することができる。 取イ・１台６は、その側方に設けられた昇降機構７によ
って、昇降ガイド９．１０に案内されながら昇降され、
これによりフォーク１が上下方向に昇降するように構成
されている。 また、取付台６の下方には、スライダ８が設けられる。 このスライダ８は、昇降機構７に連結されている。 このスライダ８は、フォーク１の長手方向に沿って設け
られているボールスクリュー１１に取り付けられている
と共に、ガイドレール１２．１３に対して摺動移動可能
に取り付けられており、ボールスクリュー１１は、ベル
ト１４を介してモータ１５により回転駆動される。そし
て、ボールスクリュー１１が回転することにより、スラ
イダ８がガイドレール１２．１３に案内されて、フォー
ク１の長手方向に摺動移動し、このスライダ８の移動に
より取付台６、したがってフォーク１が反応管４内に向
けて、その長手方向すなわち前後移動方向に摺動移動す
る。 また、ボート３を載置する前のフォーク１の位置（ホー
ムポジション）において、フォーク１の他端側ＩＢのボ
ート３．の載置部は、第２図に示されるように、フォー
ク置き台１７の取付部材１６に取り付けられた置き台１
７によって支えられている。また、この取付部材１６は
、ボールスクリュー１１より大なる径の貫通孔１６Ａを
中央に有しており、この貫通孔１６Ａ内をボールスクリ
ュー１１が挿通される。また、この置き台１７の取付部
材１６は、ガイドレール１２．１３に対し摺動移動可能
に取り付けられている。したがって、フォーク１−の長
手方向の力を、この取付部材１６に加えると、この取付
部材１６がガイドレール１２．１３に案内されて摺動移
動するように構成されている。 なお、置き台１７の取付部材１６は、バネ２１により図
の位置にあるように常時偏倚されている。 置き台１７の取付部材１６を摺動移動可能にしたのは、
スライダ８を前進させて、フォーク１上に載置したボー
ト３を反応管４内にローディングあるいはアンローディ
ングするのに必要な摺動移動距離の途中に取付部材１６
か存在するためである。 フォーク保持部２は、この例では、第６図に示すように
、フォーク１の上方及び下方から金属例えばアルミニウ
ムからなる保持板３１．３２によってフォーク１を挟持
して保持するように構成される。図の例では、フォーク
１を弾性的に押さえるための介挿板３３が下側の保持板
３２とフォーク１との間に設けられる。そして、保持板
３１とフォーク１との間、及び介挿板３３とフォーク１
との間には、フォーク１の汚染を防止するためにシート
状部材、例えばこの例ではテフロンシート３４及び３５
がそれぞれ介挿される。 そして、保持板３１．３２間は、図示しないがボルト及
びナツトによって締め付は固定され、その際にフォーク
１はフォーク・ストッパ３６，３７によって圧着挟持さ
れて固定される。 こうして、フォーク１は、テフロンシート３４及び３５
により金属の保持板３１．３２とは直接には接触しない
ようにされるので、フォーク１が保持部２において、汚
染されることはない。 下側の保持板３２の前記上下方向回動用の偏心カム５６
．５７側の端部には貫通孔３８が穿かれ、この貫通孔３
８にはスペーサ３９が挿入される。 このスペーサ３９にも貫通孔３９Ａが穿がれており、ね
じ４０がこのスペーサ３９のＩ通孔３９Ａを介して挿入
されてシーソー台５１のねし孔５１Ａに捩じ込まれる。 これにより、下側の保持板３２がシーソー台５１に対し
てねし４０により１点支持される。したがって、下側の
保持板３２は、ねじ４０による点支持位置を中心として
シーソー台５１上で回動可能である。 また、下側の保持板３２のフォーク１の他端側の端部に
は、長孔４１が設けられている。一方、シーソー台５１
の前記長孔４１と対応する位置には、シーソー台５１の
下方から操作可能な摘み４２を回動させることにより回
動する円板４３が設けられている。そして、この円板４
３の回転中心からずれた偏心位置には、保持板３２の方
向に突出する突起４４が設けられており、この突起４４
が前記下側の保持板３２の長孔４１内に嵌合されている
。 したがって、第７図に示すように、摘み４２を回動する
と、長孔４１内の突起４４が円板４３の中心を回転中心
として回動移動し、その回動移動に伴−」で保持板３′
、２か、ねｊ、４０による点支持位置を中心・と（、て
シー ソー台５１１：：、で左右方向にｍＶ振り移動を
する。こＬ７’、） 、ｌ−き、摘め４２０同動量を調
整することにより保持板３′、？の、ずなわち−７埼り
１の左右方向の首振り位置が調節される。 以−トのよ・）に構成ｊ、た熱処理装置のボ、−ト搬送
装置の設置方法り以トに説明する。 、４：ず、熱処理室である反応管４に対する大まかな設
置位置が定められＣボーｌ＝搬送装置が設置される。 そＩ−１“Ｃ１この設置後、保持部２のねＵ ４ Ｃ）
による点支持位置が反応管４の中心線の延長りに来るよ
うに、ねじ６１．．６２によりシーソー台５１をスライ
ド板−ト、で左右方向に移動させて位置調整し２、シル
ソー台５１の取付台６に対する左右方向の位置を固定す
′る。 次に、摘み４２を回して保持部２を、ねじ４０による点
支持位置を中心とｊ、Ｃシーソー台５１−１で同動させ
、こ第１によりフォーク］の他端側ＩＢを左右方向に４
振り移動させる。そして、゛クオク１．の中心線方向が
ｉＥ １．、、、、 ＜反応ｂ４の中心線方向を向くよ
うに、摘み４２の回動量により位置調整する。 以上により、この発明による熱処理装置の設置が終ｒ（
る。 次に、この装置のボー）・搬送動作に−）いて、第８図
を参照しながら説明憚る。 まず、当初、フォーク１は、第８図Ａに示すように、そ
の他端側ＩＢのボー ト載置部と置き台］７の接触部材
１８とが削れた状態にある。そこで、オペレータは、土
千一方向回動機横５を調節Ｌ２て、第８図Ｂに示すよう
にフォーク１の他端側ＩＢのボート載置部が置き台〕７
の例λば水晶からなる接触部材１８に接触するように調
節する。なお、接触部材１８の水晶は、不純物が全く無
いようにクリーニングされている。 次に、複数枚のウユーハＷが搭載されたボート３が、図
、〕＜シないエレベータ機構？コよりフォーク１−の他
端側１Ｂに、第８図Ｃに示すように載置される。このと
きく第２図及び第３図にも示すようにして、フォ・−り
］は、接触部材１８と接触しζいるので、置き台１７に
より支えられており、ホト３を載ぜ−Ｃもフォークｌは
撓まない。 この状態から、上ト方向回動機構５を駆動させ、フォー
ク１の他端側１Ｂか置き台１．７の接触部材１８から僅
かに離れる程度の状態にＬｒ、ボー・ド３のｆｌ量、ｄ
に応じた撓み補正を行う。この状態は、第８図りのよう
になり、フォーク１は撓んでいるが、その他端側１Ｂと
一端側］Ａとは、同じ高さ位置になっている。 次に、昇降機構７を駆動して、第８図Ｅに示１よ・）に
、フォー・り１を上昇させ、反応管４内にボート３を挿
入するときに反応管４の内壁を擦らない高さ位置にする
。すると、フォーク１の他端側］Ｂと置き台］７の接触
部材１８とは、第８図Ｅに示すように離れた状態となる
。この場合、接触部材１８は水晶で構成されているので
、フォー・り１の接触部材］８との接触部位にも金属等
の不純物は付着していない。 次に、モ・−タ１５を駆動ｊ５て、ポールスクリュ１１
を回転させ、ボート３を前進させるようにスライダ８を
摺動移動さぜる。ボードうが反応管４内に挿入される前
に、スライダ８は置き台取付部材１６にぶつかり、その
後は、置き台取付部材１６はスライダ８と共に摺動移動
する。すると、フォーク１の方向は正しく反応管４に対
して位置合わぜされているので、反応管４内に、全く接
触すること無く、ボート３を載置し、たフォーク１が反
応管４内に挿入される。そして、ボート３が反応管４内
の所定位置まで挿入されると、昇降機構７によりフォー
ク１か降下されると共に、上Ｆ方向回動機構５による撓
み量の補Ｈ分が解除されて、フォーク〕が水平状態に戻
される。すると、ボート３の脚部３Ａが反応管４内のボ
ート載置部に接触し、さらにフォーク１を降下するとフ
ォーク１とボート３とが離れる状態となる。この状態か
らスライダ８が後退させられ、元の位置までフォー・り
１は戻される。 このとき、置き台取付部材１６は、バネ２１の偏倚力に
より元の位置まで戻される。 ボート３の反応管４からの取り出しは、前記と逆の動作
となる。 この場合、フォーク１の保持部２ては、フォーク１はデ
フロンシート３４．３５により、保持板３１．３２によ
り金属不純物によって汚染されるのが防止されるので、
フォーク］、が反応管４内に挿入されて、温度が上昇し
たとしても、金属不純物の拡散の心配は無い。 なお、以上の例では、フォーク１はＳｉＣで構成したが
、水晶からなるフォークを用いることも勿論できる。 また、以上の例はボートに搭載する被処理体が半導体ウ
ェーハの場合であるが、被処理体としては、ウェーハに
限らず、その他の被処理体例えばＬＣＤ基板を搭載する
ボートの搬送に、この発明が適用できることはいうまで
もない。 【発明の効果】 以上説明したように、この発明においては、ボート支持
用棒状部材の保持部を、取付台に対して水平方向にスラ
イド移動させて左右方向位置を微調させる機構と、ボー
ト支持用棒状部材の一端側を支点として、このボート支
持用棒状部材の他端側を首振り移動させて、フォークの
中心線方向と熱処理室の中心線方向とを合わせる微調機
構を設けたので、この発明のボート搬送装置の取付設置
は大まかにして、設置後に、前記微調機構により正確に
位置調整できる。また、使用により、または外的要因に
より取付位置が動いても、装置を設置し直すこと無く、
調整可能である。
がシーソー運動ｌｉｌ能に取すイ・」けられている。そ
して、シーソー台５１の、フォグ１の他端側ＩＢとは反
対側の端部には、２個のローラー ５３．５４が設けら
れる。また、シーソー台５〕の、この端部の上方には、
軸５２に平ｊ′ｊな方向に回転軸５５が設けられると共
に、この回転軸５５に２個の偏心カム５６．５７が、第
５図の拡大図にも示すように、ローラー５３．５４と圧
接ｊるような状態で取り付けられる。 そして、回転軸５５が、図示し、ない例えばパルスモー
タにより回転駆動されると、偏心カム５６゜５７が同時
にローラー５３．５４を回転させながら、例えば第５図
゛Ｃ矢印Ｃ示ずように回転する。 シーソー台５１は、フォーク１の他端側の重さにより、
系に上昇方向に移動しようとするが、偏心カム５６．５
７によりその上絆位置か規制されでいる。ぞして、回転
軸５５の位置は固定されているので、偏心カム５６．５
７の回動ににより、この偏心カム５６．５７の形状に応
じて、ローラー５３．５４側は、上下動づることになる
。したかって、偏心カム５６．５７の回動に応じて、シ
ーソー台５１は軸５２を支軸としてシーソー運動を１５
、この結果、フォーク１の他端側］Ｂが上下方向に回動
させられるものである。この場合、同転軸５５を回転駆
動するパルスモータに供給するパルス数を調整すること
により、回転軸５５の回動角を調節（７、フォーク１の
他端側１Ｂの上下方向の回動の移動量を調節できる。 また、第４図に示すように、シーソー台５１は、取ｆ＝
ｊ台６上に設置・うられた左右方向スライド板５８」８
に取イ１られでいる。このスライド板５８は、取４４台
す土にフォーク１の長手方向に直交する方向（左右力向
）に設けられている１対のレール５９に摺動移動ｉｉＪ
能に取り付けられている。そして、スライド板５８は、
取付台６の側壁６Ａに対して、雄ねじ（ボルト）６１と
雌ねじ（ナツト）６２によって取り付けられ、両ねじを
調節することにより、スライド板５８の取（＝ｊ台６上
での左右方向の位置が、したがって保持部２の左右方向
の位置が調整可能である。すなわち、雄ねじ６１は、そ
の先端によってスライド板５８の側壁を押すように作用
し、一方、雌ねじ６２は、スライド板５８を取トｊ台６
の側壁６Ａ側に引っ張るように作用する。 したがって、両ねじを緩めたり、締めたりすることによ
ってスライド板５８の取付台６の側壁６Ａに対する左右
方向の位置を調整して固定することができる。 取イ・１台６は、その側方に設けられた昇降機構７によ
って、昇降ガイド９．１０に案内されながら昇降され、
これによりフォーク１が上下方向に昇降するように構成
されている。 また、取付台６の下方には、スライダ８が設けられる。 このスライダ８は、昇降機構７に連結されている。 このスライダ８は、フォーク１の長手方向に沿って設け
られているボールスクリュー１１に取り付けられている
と共に、ガイドレール１２．１３に対して摺動移動可能
に取り付けられており、ボールスクリュー１１は、ベル
ト１４を介してモータ１５により回転駆動される。そし
て、ボールスクリュー１１が回転することにより、スラ
イダ８がガイドレール１２．１３に案内されて、フォー
ク１の長手方向に摺動移動し、このスライダ８の移動に
より取付台６、したがってフォーク１が反応管４内に向
けて、その長手方向すなわち前後移動方向に摺動移動す
る。 また、ボート３を載置する前のフォーク１の位置（ホー
ムポジション）において、フォーク１の他端側ＩＢのボ
ート３．の載置部は、第２図に示されるように、フォー
ク置き台１７の取付部材１６に取り付けられた置き台１
７によって支えられている。また、この取付部材１６は
、ボールスクリュー１１より大なる径の貫通孔１６Ａを
中央に有しており、この貫通孔１６Ａ内をボールスクリ
ュー１１が挿通される。また、この置き台１７の取付部
材１６は、ガイドレール１２．１３に対し摺動移動可能
に取り付けられている。したがって、フォーク１−の長
手方向の力を、この取付部材１６に加えると、この取付
部材１６がガイドレール１２．１３に案内されて摺動移
動するように構成されている。 なお、置き台１７の取付部材１６は、バネ２１により図
の位置にあるように常時偏倚されている。 置き台１７の取付部材１６を摺動移動可能にしたのは、
スライダ８を前進させて、フォーク１上に載置したボー
ト３を反応管４内にローディングあるいはアンローディ
ングするのに必要な摺動移動距離の途中に取付部材１６
か存在するためである。 フォーク保持部２は、この例では、第６図に示すように
、フォーク１の上方及び下方から金属例えばアルミニウ
ムからなる保持板３１．３２によってフォーク１を挟持
して保持するように構成される。図の例では、フォーク
１を弾性的に押さえるための介挿板３３が下側の保持板
３２とフォーク１との間に設けられる。そして、保持板
３１とフォーク１との間、及び介挿板３３とフォーク１
との間には、フォーク１の汚染を防止するためにシート
状部材、例えばこの例ではテフロンシート３４及び３５
がそれぞれ介挿される。 そして、保持板３１．３２間は、図示しないがボルト及
びナツトによって締め付は固定され、その際にフォーク
１はフォーク・ストッパ３６，３７によって圧着挟持さ
れて固定される。 こうして、フォーク１は、テフロンシート３４及び３５
により金属の保持板３１．３２とは直接には接触しない
ようにされるので、フォーク１が保持部２において、汚
染されることはない。 下側の保持板３２の前記上下方向回動用の偏心カム５６
．５７側の端部には貫通孔３８が穿かれ、この貫通孔３
８にはスペーサ３９が挿入される。 このスペーサ３９にも貫通孔３９Ａが穿がれており、ね
じ４０がこのスペーサ３９のＩ通孔３９Ａを介して挿入
されてシーソー台５１のねし孔５１Ａに捩じ込まれる。 これにより、下側の保持板３２がシーソー台５１に対し
てねし４０により１点支持される。したがって、下側の
保持板３２は、ねじ４０による点支持位置を中心として
シーソー台５１上で回動可能である。 また、下側の保持板３２のフォーク１の他端側の端部に
は、長孔４１が設けられている。一方、シーソー台５１
の前記長孔４１と対応する位置には、シーソー台５１の
下方から操作可能な摘み４２を回動させることにより回
動する円板４３が設けられている。そして、この円板４
３の回転中心からずれた偏心位置には、保持板３２の方
向に突出する突起４４が設けられており、この突起４４
が前記下側の保持板３２の長孔４１内に嵌合されている
。 したがって、第７図に示すように、摘み４２を回動する
と、長孔４１内の突起４４が円板４３の中心を回転中心
として回動移動し、その回動移動に伴−」で保持板３′
、２か、ねｊ、４０による点支持位置を中心・と（、て
シー ソー台５１１：：、で左右方向にｍＶ振り移動を
する。こＬ７’、） 、ｌ−き、摘め４２０同動量を調
整することにより保持板３′、？の、ずなわち−７埼り
１の左右方向の首振り位置が調節される。 以−トのよ・）に構成ｊ、た熱処理装置のボ、−ト搬送
装置の設置方法り以トに説明する。 、４：ず、熱処理室である反応管４に対する大まかな設
置位置が定められＣボーｌ＝搬送装置が設置される。 そＩ−１“Ｃ１この設置後、保持部２のねＵ ４ Ｃ）
による点支持位置が反応管４の中心線の延長りに来るよ
うに、ねじ６１．．６２によりシーソー台５１をスライ
ド板−ト、で左右方向に移動させて位置調整し２、シル
ソー台５１の取付台６に対する左右方向の位置を固定す
′る。 次に、摘み４２を回して保持部２を、ねじ４０による点
支持位置を中心とｊ、Ｃシーソー台５１−１で同動させ
、こ第１によりフォーク］の他端側ＩＢを左右方向に４
振り移動させる。そして、゛クオク１．の中心線方向が
ｉＥ １．、、、、 ＜反応ｂ４の中心線方向を向くよ
うに、摘み４２の回動量により位置調整する。 以上により、この発明による熱処理装置の設置が終ｒ（
る。 次に、この装置のボー）・搬送動作に−）いて、第８図
を参照しながら説明憚る。 まず、当初、フォーク１は、第８図Ａに示すように、そ
の他端側ＩＢのボー ト載置部と置き台］７の接触部材
１８とが削れた状態にある。そこで、オペレータは、土
千一方向回動機横５を調節Ｌ２て、第８図Ｂに示すよう
にフォーク１の他端側ＩＢのボート載置部が置き台〕７
の例λば水晶からなる接触部材１８に接触するように調
節する。なお、接触部材１８の水晶は、不純物が全く無
いようにクリーニングされている。 次に、複数枚のウユーハＷが搭載されたボート３が、図
、〕＜シないエレベータ機構？コよりフォーク１−の他
端側１Ｂに、第８図Ｃに示すように載置される。このと
きく第２図及び第３図にも示すようにして、フォ・−り
］は、接触部材１８と接触しζいるので、置き台１７に
より支えられており、ホト３を載ぜ−Ｃもフォークｌは
撓まない。 この状態から、上ト方向回動機構５を駆動させ、フォー
ク１の他端側１Ｂか置き台１．７の接触部材１８から僅
かに離れる程度の状態にＬｒ、ボー・ド３のｆｌ量、ｄ
に応じた撓み補正を行う。この状態は、第８図りのよう
になり、フォーク１は撓んでいるが、その他端側１Ｂと
一端側］Ａとは、同じ高さ位置になっている。 次に、昇降機構７を駆動して、第８図Ｅに示１よ・）に
、フォー・り１を上昇させ、反応管４内にボート３を挿
入するときに反応管４の内壁を擦らない高さ位置にする
。すると、フォーク１の他端側］Ｂと置き台］７の接触
部材１８とは、第８図Ｅに示すように離れた状態となる
。この場合、接触部材１８は水晶で構成されているので
、フォー・り１の接触部材］８との接触部位にも金属等
の不純物は付着していない。 次に、モ・−タ１５を駆動ｊ５て、ポールスクリュ１１
を回転させ、ボート３を前進させるようにスライダ８を
摺動移動さぜる。ボードうが反応管４内に挿入される前
に、スライダ８は置き台取付部材１６にぶつかり、その
後は、置き台取付部材１６はスライダ８と共に摺動移動
する。すると、フォーク１の方向は正しく反応管４に対
して位置合わぜされているので、反応管４内に、全く接
触すること無く、ボート３を載置し、たフォーク１が反
応管４内に挿入される。そして、ボート３が反応管４内
の所定位置まで挿入されると、昇降機構７によりフォー
ク１か降下されると共に、上Ｆ方向回動機構５による撓
み量の補Ｈ分が解除されて、フォーク〕が水平状態に戻
される。すると、ボート３の脚部３Ａが反応管４内のボ
ート載置部に接触し、さらにフォーク１を降下するとフ
ォーク１とボート３とが離れる状態となる。この状態か
らスライダ８が後退させられ、元の位置までフォー・り
１は戻される。 このとき、置き台取付部材１６は、バネ２１の偏倚力に
より元の位置まで戻される。 ボート３の反応管４からの取り出しは、前記と逆の動作
となる。 この場合、フォーク１の保持部２ては、フォーク１はデ
フロンシート３４．３５により、保持板３１．３２によ
り金属不純物によって汚染されるのが防止されるので、
フォーク］、が反応管４内に挿入されて、温度が上昇し
たとしても、金属不純物の拡散の心配は無い。 なお、以上の例では、フォーク１はＳｉＣで構成したが
、水晶からなるフォークを用いることも勿論できる。 また、以上の例はボートに搭載する被処理体が半導体ウ
ェーハの場合であるが、被処理体としては、ウェーハに
限らず、その他の被処理体例えばＬＣＤ基板を搭載する
ボートの搬送に、この発明が適用できることはいうまで
もない。 【発明の効果】 以上説明したように、この発明においては、ボート支持
用棒状部材の保持部を、取付台に対して水平方向にスラ
イド移動させて左右方向位置を微調させる機構と、ボー
ト支持用棒状部材の一端側を支点として、このボート支
持用棒状部材の他端側を首振り移動させて、フォークの
中心線方向と熱処理室の中心線方向とを合わせる微調機
構を設けたので、この発明のボート搬送装置の取付設置
は大まかにして、設置後に、前記微調機構により正確に
位置調整できる。また、使用により、または外的要因に
より取付位置が動いても、装置を設置し直すこと無く、
調整可能である。
第１図は、この発明による熱処理装置の要部の一実施例
の斜視図、第２図はその一部側面図、第３図はその正面
図、第４図は上下方向位置調整機構を説明するための図
、第５図は上下方向位置調整機構の要部の拡大図、第６
図はフォーク保持部及びフォーク首振り移動機構の構成
の分解図、第７図はフォーク首振り移動の説明図、第８
図はボート搬送動作を説明するための図である。 １；ボート支持用棒状部材としてのフォーク２；フォー
ク保持部 ３；ボート ４；反応管 ５；上下方向回動機構 ６；取付台 ７；昇降機構 ８；スライダ １７；置き台 ３１．３２；保持板 ４０；点支持用ねじ ４１；長孔 ４２；摘み ４４；突起 ５１；シーソー台 ５８；左右方向スライド板 ５９；レール ６１；雄ねじ ６２；雌ねじ 第４図 代理人 弁理士 佐 藤 正 美 上下方１’ｉｉ″１回動碕不糞窃舒拡大図第 図 左右方向、１７１振りｆ説明図 第７図 第 凶 動作説明図 第８図
の斜視図、第２図はその一部側面図、第３図はその正面
図、第４図は上下方向位置調整機構を説明するための図
、第５図は上下方向位置調整機構の要部の拡大図、第６
図はフォーク保持部及びフォーク首振り移動機構の構成
の分解図、第７図はフォーク首振り移動の説明図、第８
図はボート搬送動作を説明するための図である。 １；ボート支持用棒状部材としてのフォーク２；フォー
ク保持部 ３；ボート ４；反応管 ５；上下方向回動機構 ６；取付台 ７；昇降機構 ８；スライダ １７；置き台 ３１．３２；保持板 ４０；点支持用ねじ ４１；長孔 ４２；摘み ４４；突起 ５１；シーソー台 ５８；左右方向スライド板 ５９；レール ６１；雄ねじ ６２；雌ねじ 第４図 代理人 弁理士 佐 藤 正 美 上下方１’ｉｉ″１回動碕不糞窃舒拡大図第 図 左右方向、１７１振りｆ説明図 第７図 第 凶 動作説明図 第８図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一端側が保持部に取り付けられ、他端側が遊端とされ、
この他端側に複数の被処理体が搭載されるボートが載置
されるボート支持用棒状部材を備え、このボート支持用
棒状部材を位置調整して前記ボートを熱処理室内に搬送
するようにする熱処理装置において、 前記保持部は、取付板上に、前記ボート支持用棒状部材
の一端側において点支持され、この支持点を中心として
前記取付板上で回動可能な状態で取り付けられ、 前記取付板は、前記ボート支持用棒状部材を昇降機構に
取り付けるための取付台に対して、前記ボート支持用棒
状部材の長手方向に直交する左右方向に移動可能に取り
付けられ、かつ、前記取付板上の保持部の前記取付台上
での前記左右方向の位置が調整手段により調整されるよ
うにしたことを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2234183A JP2931924B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2234183A JP2931924B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04114424A true JPH04114424A (ja) | 1992-04-15 |
| JP2931924B2 JP2931924B2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=16966979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2234183A Expired - Fee Related JP2931924B2 (ja) | 1990-09-04 | 1990-09-04 | 熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2931924B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014183281A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 磁気アニール装置 |
| US9508914B2 (en) | 2013-03-21 | 2016-11-29 | Tokyo Electron Limited | Magnetic annealing apparatus |
| CN117104865A (zh) * | 2023-09-04 | 2023-11-24 | 赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司 | 一种适用卧式管式炉的自动送料装置 |
| CN120385227A (zh) * | 2025-05-13 | 2025-07-29 | 上海微世半导体有限公司 | 一种化学气相沉积炉送料装置 |
| CN120843790A (zh) * | 2025-09-22 | 2025-10-28 | 福建鑫锭亿科技有限公司 | 一种金属表面化学热处理用工装装出机 |
-
1990
- 1990-09-04 JP JP2234183A patent/JP2931924B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
| JP2014183281A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 磁気アニール装置 |
| US9508914B2 (en) | 2013-03-21 | 2016-11-29 | Tokyo Electron Limited | Magnetic annealing apparatus |
| CN117104865A (zh) * | 2023-09-04 | 2023-11-24 | 赛瑞达智能电子装备(无锡)有限公司 | 一种适用卧式管式炉的自动送料装置 |
| CN120385227A (zh) * | 2025-05-13 | 2025-07-29 | 上海微世半导体有限公司 | 一种化学气相沉积炉送料装置 |
| CN120843790A (zh) * | 2025-09-22 | 2025-10-28 | 福建鑫锭亿科技有限公司 | 一种金属表面化学热处理用工装装出机 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2931924B2 (ja) | 1999-08-09 |
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