JPH04118916U - コレツトチヤツク - Google Patents

コレツトチヤツク

Info

Publication number
JPH04118916U
JPH04118916U JP2205791U JP2205791U JPH04118916U JP H04118916 U JPH04118916 U JP H04118916U JP 2205791 U JP2205791 U JP 2205791U JP 2205791 U JP2205791 U JP 2205791U JP H04118916 U JPH04118916 U JP H04118916U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
collet chuck
inner periphery
collet
tip
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2205791U
Other languages
English (en)
Inventor
慎司 高根
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Metals Ltd filed Critical Hitachi Metals Ltd
Priority to JP2205791U priority Critical patent/JPH04118916U/ja
Publication of JPH04118916U publication Critical patent/JPH04118916U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Gripping On Spindles (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テクスチャー加工機に使用するコレットチャ
ックとディスク内周部の摩擦係数を大きくすることによ
り、小さな力でディスクをクランプし、加工時のディス
クの変形を防止し、均一な加工状態を得る。 【構成】 ６分割構造でディスク内周部をクランプする
コレットチャックの先端部、すなわちディスク内周部と
接触する部分にタングステンカーバイトを溶射し微小な
突起を形成する。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は磁気ディスクの製造行程で使用するテクスチャー加工のディスクのチ ャックに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
テクスチャー加工はディスクの表面に微小な溝を形成することにより、磁気ヘ ッドと磁気ディスクの摩擦特性を向上するものである。テクスチャー加工の方法 にはスピンドルに装着したディスクを回転しながら研磨テープをゴムローラによ り押しつける方法と、水平に回転するスピンドル上のディスクを、その表面にダ イヤモンドスラリーを塗布しながら、スピンドル回転軸と偏心した位置で回転す る研磨パッドを上から押しつける方法がある。
【０００３】 これらの装置において、スピンドル上のディスクが加工負荷によりスリップし ないようにコレットチャックによりディスクをクランプする。従来コレットチャ ックの材質はステンレス鋼やポリカーボネイトが使用されていた。
【０００４】 しかしながら最近のディスクは小径化、薄板化が進み、加工負荷に打ち勝つだ けのクランプ力でディスクをクランプすると、ディスクが変形するという問題が 生じている。変形が弾性域内であっても、変形した状態で加工すると、加工溝が 円周方向に不均一となり、特性が一定しないという問題が発生する。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】
本考案は、前記した従来例の問題を解決し、従来に比べ小さな力でディスクが スリップすることなくクランプすることにより、加工中のディスクの変形を最小 限に抑え、良好な加工状態が得られるコレットチャックを提供することを目的と する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、ディスクの内径をクランプするコレットチャック において、該コレットチャックの先端外周部すなわち、磁気ディスクの内周部に 接触する部分にタングステンカーバイト等硬質セラミックを溶射することにより 、コレットチャックとディスクの摩擦係数を大きくするものである。
【０００７】
【実施例】
本考案の詳細について図１に基づいて説明する。図１は本考案のコレットチャ ック１０の構造を示す。図２、３は本考案のコレットチャック１０の動作説明図 を示す。
【０００８】 図１に示すように、コレットチャック１０は円筒状のステンレス鋼の中間部を 薄肉化し、上端部外形の曲率半径をディスクの内径に等しくする。上端内径部は 逆円錐状に形成する。つぎに上端から円周方向に６分割するスリット１１を薄肉 部の下部まで設け、６本の爪１５を形成する。該スリット１１の下端には開閉に 伴う変形による応力集中を分散するためにスリット１１の幅の２倍程度の孔を設 ける。 コレットチャック１０の先端部のディスク内周との接触部には、タングステン カーバイト１２を溶射する。
【０００９】 図２は閉状態であって、使用状態においてはコレットチャック１０の上端内径 部には逆円錐形状をしたウェッジ２０が装着され、該ウェッジ２０はコレットチ ャック１０の中心孔を貫通するドローバー３０に連結する。図３は、開状態であ る。
【００１０】 ドローバー３０をエアーシリンダ等のアクチュエータで引き下げると、図３の ようにウェッジ２０が下降し、コレットチャック１０は各爪１５の中間薄肉部が 変形し開く。 逆にドローバー３０を押し上げると、各爪１５は板バネの作用で復元し、閉じ る。
【００１１】 各爪１５が開きコレットチャック１０がディスクをクランプした状態において は、タングステンカーバイト１２の微細な突起がディスク内径部に食い込むため 見かけの摩擦係数は大きくなる。実際には、従来のコレットチャックに比べ約半 分のクランプ力で同程度の保持力を得ることができた。
【考案の効果】
以上のように、本考案によれば、コレットチャックは小さなクランプ力で加工 負荷に対する保持力を発生することができる。従って加工時におけるディスクの 変形量を小さく抑えることができ、均一な加工状態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案のコレットチャックの構造図
【図２】コレットチャックの動作説明図であって、閉状
態を示す。
【図３】コレットチャックの動作説明図であって、開状
態を示す。
【符号の説明】
１０ コレットチャック １１ スリット １２ タングステンカーバイト ２０ ウェッジ ３０ ドローバー

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】 磁気ディスクの記憶面を研磨する装置に
    使用されるディスクの内径をクランプするコレットチャ
    ックにおいて、該コレットチャックの先端外周部すなわ
    ち、磁気ディスクの内周部に接触する部分にタングステ
    ンカーバイト等硬質セラミックを溶射したことを特徴と
    するコレットチャック。
JP2205791U 1991-04-05 1991-04-05 コレツトチヤツク Pending JPH04118916U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2205791U JPH04118916U (ja) 1991-04-05 1991-04-05 コレツトチヤツク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2205791U JPH04118916U (ja) 1991-04-05 1991-04-05 コレツトチヤツク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04118916U true JPH04118916U (ja) 1992-10-23

Family

ID=31907655

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2205791U Pending JPH04118916U (ja) 1991-04-05 1991-04-05 コレツトチヤツク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04118916U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024019674A (ja) * 2019-03-26 2024-02-09 キヤノン電子株式会社 加工装置、加工装置のプログラム及び制御方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024019674A (ja) * 2019-03-26 2024-02-09 キヤノン電子株式会社 加工装置、加工装置のプログラム及び制御方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW567109B (en) Method and apparatus for polishing outer peripheral chamfered part of wafer
CN1076249C (zh) 给抛光板整形的方法及设备
JPH05504729A (ja) 孔加工用の工具
JPH04118916U (ja) コレツトチヤツク
JPH10122285A (ja) 円筒形状ばねの製造方法およびそれにより製造された円筒形状ばね
US4428165A (en) Flip-flop grinding method
DE10132368A1 (de) Wafer-Poliervorrichtung
JP3766764B2 (ja) バルブステム用研削加工砥石のドレッシング方法およびその装置
JP2003166539A (ja) 動圧流体軸受装置の動圧発生溝の表面を改質する方法及びその方法に用いる工具
JPS6348666B2 (ja)
US2501374A (en) Preloaded load limiting tool for dressing or cutting rotating bodies
JPH0647653Y2 (ja) 内周加工用ボ−ルバニシング工具
JP3139237B2 (ja) ホーニング加工方法及びホーニング加工装置
JP2981427B2 (ja) ダイヤモンドポイントドレッサおよびドレッシング方法
JPH0347768Y2 (ja)
US2652738A (en) Locking arbor
JP2001001243A (ja) 薄板円板状ワーク外周部面取方法および装置
JPS63183B2 (ja)
JPH0647652Y2 (ja) 内周加工用ロ−ラ−バニシング工具
JP3251124B2 (ja) ロータリーバイト
DE910374C (de) Drehvorrichtung, insbesondere Feinstdreh-Kopiervorrichtung fuer lange, duenne Werkstuecke
JPH08281540A (ja) 内面研削方法
JPS59107809A (ja) 円筒研削盤のチヤツク機構
JPS5856136Y2 (ja) 研削工具
JP3466976B2 (ja) 摺動部材のクラウニング加工方法とこれに用いる装置